JP2009268983A - 液状材料硬化方法および液状材料硬化装置 - Google Patents
液状材料硬化方法および液状材料硬化装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009268983A JP2009268983A JP2008122267A JP2008122267A JP2009268983A JP 2009268983 A JP2009268983 A JP 2009268983A JP 2008122267 A JP2008122267 A JP 2008122267A JP 2008122267 A JP2008122267 A JP 2008122267A JP 2009268983 A JP2009268983 A JP 2009268983A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid material
- substrate
- ink
- defect
- ultraviolet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
【課題】基板上の微細領域に塗布された液状材料を基板に歪を与えることなく、短時間で低コストで硬化させることが可能な液状材料硬化方法を提供する。
【解決手段】この欠陥修正方法では、白欠陥3に修正インク5を塗布し、塗布した修正インク5に紫外線と赤外線を同時に照射し、紫外線照射によって修正インク5を硬化させ、赤外線照射によって修正インク5の溶剤成分を除去する。したがって、紫外線と赤外線を別々に照射していた従来に比べ、修正タクトタイムの短縮化が可能である。
【選択図】図3
【解決手段】この欠陥修正方法では、白欠陥3に修正インク5を塗布し、塗布した修正インク5に紫外線と赤外線を同時に照射し、紫外線照射によって修正インク5を硬化させ、赤外線照射によって修正インク5の溶剤成分を除去する。したがって、紫外線と赤外線を別々に照射していた従来に比べ、修正タクトタイムの短縮化が可能である。
【選択図】図3
Description
この発明は液状材料硬化方法および液状材料硬化装置に関し、特に、基板上の微細領域に塗布された液状材料を硬化させる液状材料硬化方法および液状材料硬化装置に関する。
近年、LCD(液晶ディスプレイ)の大型化、高精細化に伴い画素数も増大し、LCDを無欠陥で製造することは困難となり、欠陥の発生確率も増加してきている。またLCDの大型化に伴って画素サイズも大型化し、修正サイズも大きくなってきている。このような状況下において歩留まり向上のために、LCDのカラーフィルタの製造工程において発生する欠陥を修正する欠陥修正装置が生産ラインに不可欠となってきている。
図8(a)〜(c)は、LCDのカラーフィルタの製造工程において発生する欠陥を示す図である。図8(a)〜(c)において、カラーフィルタは、ガラス基板と、その表面に形成されたブラックマトリクス50と呼ばれる格子状のパターンと、複数組のR(赤色)画素51、G(緑色)画素52、およびB(青色)画素53とを含む。カラーフィルタの製造工程においては、図8(a)に示すように画素やブラックマトリクス50の色が抜けてしまった白欠陥54や、図8(b)に示すように隣の画素と色が混色したり、ブラックマトリクス50が画素にはみ出してしまった黒欠陥55や、図8(c)に示すように画素に異物が付着した異物欠陥56などが発生する。
白欠陥54を修正する方法としては、白欠陥54が存在する画素と同色の修正インク(修正液)を塗布針の先端部に付着させ、塗布針の先端を白欠陥54に接触させて修正インクを塗布する方法がある(たとえば特許文献1参照)。
また、黒欠陥55や異物欠陥56を修正する方法としては、欠陥部分をレーザカットして矩形の白欠陥54を形成し、形成した白欠陥54に塗布針を用いて修正インクを塗布する方法がある(たとえば特許文献2参照)。
白欠陥54に塗布した修正インクが紫外線硬化型である場合は紫外線を照射し、修正インクが熱硬化型である場合は赤外線または可視光線を照射して、修正インクを硬化させる(たとえば特許文献3参照)。
特開平9−236933号公報
特開平9−262520号公報
特開平9−61296号公報
しかし、修正インクが紫外線硬化型である場合、硬化した修正インクに溶剤成分が残り、後工程で問題となる場合があった。この問題を解決する手段として、欠陥修正装置に紫外線照明と赤外線照明の両方を搭載し、白欠陥54に塗布した修正インクに紫外線を照射して修正インクを硬化させた後、赤外線を照射して修正インクの溶剤成分を除去する方法がある。しかし、この方法では、紫外線照射の後に赤外線照射を行なうので、光照射に掛かる時間が長くなり、1枚の基板上の欠陥数が多い場合、修正タクトタイムが長くなるという問題があった。
このため、白欠陥54に修正インクを塗布した後、複数の基板を一括して電気炉で焼成する方法が多く採用されている。しかし、この方法では、基板の大型化に伴って電気炉が大型化し、クリーンルームにおける電気炉の設置面積が広くなり、設備費が高価になって修正コストが高くなるという問題があった。また、大型化した基板全体を電気炉で焼成する回数が増え、熱による歪みが基板に発生するという問題もあった。
それゆえに、この発明の主たる目的は、基板上の微細領域に塗布された液状材料を基板に歪を与えることなく、短時間で低コストで硬化させることが可能な液状材料硬化方法および液状材料硬化装置を提供することである。
この発明に係る液状材料硬化方法は、基板上の微細領域に塗布された液状材料を硬化させる液状材料硬化方法において、液状材料に紫外線と赤外線を同時に照射し、紫外線によって液状材料を硬化させるとともに、赤外線によって液状材料の溶剤成分を除去することを特徴とする。
好ましくは、紫外線と赤外線を基板の一方側から照射する。
また好ましくは、紫外線を基板の一方側から照射し、赤外線を基板の他方側から照射する。
また好ましくは、紫外線を基板の一方側から照射し、赤外線を基板の他方側から照射する。
また、この発明に係る液状材料塗布装置は、基板上の微細領域に塗布された液状材料を硬化させる液状材料硬化装置において、液状材料に紫外線を照射して液状材料を硬化させる紫外線照射手段と、液状材料に赤外線を照射して液状材料の溶剤成分を除去する赤外線照射手段とを備え、液状材料に紫外線と赤外線を同時に照射することを特徴とする。
好ましくは、紫外線照射手段と赤外線照射手段は基板の一方側に設けられている。
また好ましくは、紫外線照射手段は基板の一方側に設けられ、赤外線照射手段は基板の他方側に設けられている。
また好ましくは、紫外線照射手段は基板の一方側に設けられ、赤外線照射手段は基板の他方側に設けられている。
また好ましくは、微細領域は基板上に形成された微細パターンの欠陥部であり、液状材料は欠陥部を修正する修正液である。
この発明に係る液状材料硬化方法および液状材料硬化装置では、液状材料に紫外線と赤外線を同時に照射するので、紫外線と赤外線を別々に照射していた従来に比べ、タクトタイムの短縮化を図ることができる。また、電気炉を使用しないので、基板に歪を与えることなく、低コストで液状材料を硬化させることができる。
図1(a)〜(c)は、この発明の一実施の形態による欠陥修正方法のインク塗布工程を示す図である。図1(a)〜(c)において、ガラス基板1の表面にカラーフィルタ膜2が形成され、そのカラーフィルタ膜2に白欠陥3が発生しているものとする。カラーフィルタ膜2は、図8で示したR画素51、G画素52、またはB画素53を構成している。まず図1(a)に示すように、塗布針4の先端部にカラーフィルタ膜2と同色の修正インク5を付着させ、塗布針4の先端を白欠陥3の真上に位置決めする。
次に図1(b)に示すように、塗布針4の先端を白欠陥3に接触させて修正インク5を白欠陥3に付着させる。次いで図1(c)に示すように、塗布針4を白欠陥3から離間させ、インク塗布工程を終了する。ブラックマトリックスの白欠陥に修正インク5を塗布する場合も同様である。
また、図2(a)(b)は、ガラス基板10の表面に形成されたカラーフィルタ膜2に発生した異物欠陥6を修正する方法を示す図である。異物欠陥6は、ガラス基板1に付着した異物7がインクに覆われて残存した欠陥である。図2(a)に示すように、レーザビーム8を異物欠陥6に照射して異物欠陥6を除去する。これにより、図2(b)に示すように、異物欠陥6は白欠陥3に変換される。白欠陥3には、図1(a)〜(c)で示した方法で修正インク5が塗布される。黒欠陥も異物欠陥6と同様に白欠陥3に変換してから修正する。
また、図3(a)(b)は、この欠陥修正方法のインク硬化工程を示す図であり、図3(b)は図3(a)のIIIB−IIIB線断面図である。図3(a)(b)において、ガラス基板1の表面に格子状のブラックマトリックス9が形成され、各ブラックマトリックス9で囲まれた領域にカラーフィルタ膜2が形成され、そのカラーフィルタ膜2に白欠陥3があるものとする。図3(a)(b)では、異物欠陥6にレーザビーム8が照射されて形成された矩形の白欠陥3が示されている。白欠陥3には、紫外線硬化型の修正インク5が塗布されている。
この欠陥修正方法では、ガラス基板1の上方に紫外線照明10と赤外線照明11が配置される。紫外線照明10は、紫外線を発生する光源と、その光源で発生した紫外線を集光するレンズとを含む。赤外線照明11は、赤外線を発生する光源と、その光源で発生した赤外線を集光するレンズとを含む。照明10,11は、それらの光軸がガラス基板1の表面で交差するように、ガラス基板1に対して斜めに配置されている。照明10,11の光軸を修正対象の白欠陥3の中心に位置決めした後、紫外線と赤外線を同時に照射する。紫外線によって白欠陥3内の修正インク5が硬化されるとともに、赤外線照射によって修正インク5が加熱され、修正インク5の温度上昇によって修正インク5の溶剤成分が除去される。
図4は、この実施の形態の変更例を示す図であって、図3(b)と対比される図である。図4において、この変更例では、ガラス基板1の上方に紫外線照明10が配置され、ガラス基板1の下方に赤外線照明11が配置される。照明10,11は、互いに対向してガラス基板1に対して垂直に配置されており、それらの光軸は一直線に配置される。照明10,11の光軸を修正対象の白欠陥3の中心に位置決めした後、紫外線と赤外線を同時に照射して、白欠陥3内の修正インク5を硬化させるとともに修正インク5の溶剤成分を除去する。この変更例でも、実施の形態と同じ効果が得られる。なお、図5に示すように、ガラス基板1の上方に赤外線照明11を配置し、ガラス基板1の下方に紫外線照明10を配置してもよい。
図6は、図1(a)〜(c)で示したインク塗布工程を実行するためのインク塗布機構21の構成を示す一部省略した斜視図である。図6において、このインク塗布機構21は、インク塗布用の塗布針4と、塗布針4を垂直駆動させるための塗布針駆動シリンダ22とを含む。塗布針4は、保持部材24を介して塗布針駆動シリンダ22の駆動軸23の先端部に設けられる。
このインク塗布機構21は、水平に設けられた回転テーブル25を含み、回転テーブル25上には円周方向に複数のインクタンク28〜31が順次配置され、さらに、回転テーブル25上には洗浄装置32とエアパージ装置33とが設けられる。回転テーブル25の中心には回転軸26が立設されている。また、回転テーブル25には、インク塗布時に塗布針4を通過させるための切欠部27が形成されている。インクタンク28〜31には、それぞれR(赤)、G(緑)、B(青)および黒の各色のインク5が適宜注入されている。洗浄装置32は、塗布針4に付着したインク5を除去するためのものであり、エアパージ装置33は塗布針4に付着した洗浄液を吹き飛ばすためのものである。
さらに、このインク塗布機構21は、回転テーブル25の回転軸26を回転させるためのインデックス用モータ34を含み、さらに回転軸26とともに回転するインデックス板35と、インデックス板35を介して回転テーブル25の回転位置を検出するためのインデックス用センサ36と、インデックス板35を介して回転テーブル25の回転位置が原点に復帰したことを検出するための原点復帰用センサ37とが設けられる。モータ34はセンサ36,37の出力に基づいて制御され、回転テーブル25を回転させて切欠部27、インクタンク28〜31、洗浄装置32およびエアパージ装置33のうちいずれかを塗布針4の下方に位置させる。
なお、塗布針駆動シリンダ22とモータ34はZ軸テーブル(図示せず)に固定され、Z軸テーブルと欠陥修正の対象となるカラーフィルタ基板とは、塗布針4の下方のXYテーブル(図示せず)によって相対的に位置決めされる。
次に、このインク塗布機構21の動作について説明する。まず、XYテーブルおよびZ軸テーブルが駆動され、カラーフィルタ基板の白欠陥3の上方の所定位置に塗布針4の先端が位置決めされる。次いで、モータ34によって回転テーブル25が回転され、所望のインクタンク(たとえば28)が塗布針4の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ22によって塗布針4が上下に駆動され、塗布針4の先端部にインク5が付着される。
次いで、モータ34によって回転テーブル25が回転され、切欠部27が塗布針4の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ22によって塗布針4が上下に駆動され、塗布針4の先端部に付着したインク5がカラーフィルタ基板の白欠陥3に塗布される(図1(a)〜(c)参照)。
塗布針4の洗浄時は、モータ34によって回転テーブル25が回転され、洗浄装置32が塗布針4の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ22によって塗布針4が上下に駆動され、塗布針4に付着したインク5が洗浄される。次いで、モータ34によって回転テーブル25が回転され、エアパージ装置33が塗布針4の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ22によって塗布針4が上下に駆動され、塗布針4に付着した洗浄液が吹き飛ばされる。
図7は、図6に示したインク塗布機構21を搭載した欠陥修正装置の全体構成を示す図である。図7において、この欠陥修正装置は、大きく分類すると、観察光学系40、CCDカメラ41、レーザ42、インク塗布機構21、紫外線照明10、および赤外線照明11から構成される欠陥修正ヘッド部と、この欠陥修正ヘッド部を基板1に対して垂直方向(Z軸方向)に移動させるZ軸テーブル43と、Z軸テーブル43を搭載してX軸方向に移動させるためのX軸テーブル44と、基板1を搭載してY軸方向に移動させるためのY軸テーブル45と、装置全体の動作を制御する制御用コンピュータ46と、制御用コンピュータ46に作業者からの指令を入力するための操作パネル47から構成される。
観察光学系40は、基板1の表面状態や、インク塗布機構21でインク塗布した状態を観察するためのものである。観察光学系40によって観察される画像は、CCDカメラ41により電気信号に変換され、制御用コンピュータ46のモニタ画面に表示される。紫外線照明10および赤外線照明11は、インク塗布機構21で塗布されたインク5を硬化させるための光を照射する(図3(b)参照)。
なお、基板1の上下から紫外線または赤外線を照射する場合は(図4および図5参照)、紫外線照明10および赤外線照明11のうちの一方が欠陥修正ヘッド部に配置され、他方が基板1の下方に配置される。基板1の下方に配置された紫外線照明10または赤外線照明11は、水平および垂直方向移動機構(図示せず)によって、基板1の上方に配置された赤外線照明11または紫外線照明10と連動される。レーザ42は、黒欠陥や異物欠陥6を除去するために用いられる(図2(a)参照)。本装置構成により、カラーフィルタに発生した白欠陥、黒欠陥、異物欠陥の修正が可能である。
この実施の形態では、白欠陥3に塗布した修正インク5に紫外線と赤外線を同時に照射するので、紫外線と赤外線を別々に照射していた従来に比べ、タクトタイムの短縮化が可能である。また、赤外線照射によってインク温度を上げた状態で紫外線を照射するので、インク硬化の反応速度が速くなり、さらに短時間での硬化が可能となる。また、電気炉での焼成工程を省くことが可能となり、電気炉の設備費と、クリーンルーム内での電気炉設置面積が不要となり、製造プロセスにおける大幅なランニングコストの削減も可能となる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 ガラス基板、2 カラーフィルタ膜、3,54 白欠陥、4 塗布針、5 修正インク、6,56 異物欠陥、7 異物、8 レーザビーム、9,50 ブラックマトリックス、10 紫外線照明、11 赤外線照明、21 インク塗布機構、22 塗布針駆動シリンダ、23 駆動軸、24 保持部材、25 回転テーブル、26 回転軸、27 切欠部、28〜31 インクタンク、32 洗浄装置、33 エアパージ装置、34 モータ、35 インデックス板、36 インデックス用センサ、37 原点復帰用センサ、40 観察光学系、41 CCDカメラ、42 レーザ、43 Z軸テーブル、44 X軸テーブル、45 Y軸テーブル、46 制御用コンピュータ、47 操作パネル、51 R画素、52 G画素、53 B画素、55 黒欠陥。
Claims (8)
- 基板上の微細領域に塗布された液状材料を硬化させる液状材料硬化方法において、
前記液状材料に紫外線と赤外線を同時に照射し、前記紫外線によって前記液状材料を硬化させるとともに、前記赤外線によって前記液状材料の溶剤成分を除去することを特徴とする、液状材料硬化方法。 - 前記紫外線と前記赤外線を前記基板の一方側から照射することを特徴とする、請求項1に記載の液状材料硬化方法。
- 前記紫外線を前記基板の一方側から照射し、前記赤外線を前記基板の他方側から照射することを特徴とする、請求項1に記載の液状材料硬化方法。
- 前記微細領域は前記基板上に形成された微細パターンの欠陥部であり、
前記液状材料は前記欠陥部を修正する修正液であることを特徴とする、請求項1から請求項3までのいずれかに記載の液状材料硬化方法。 - 基板上の微細領域に塗布された液状材料を硬化させる液状材料硬化装置において、
前記液状材料に紫外線を照射して前記液状材料を硬化させる紫外線照射手段と、
前記液状材料に赤外線を照射して前記液状材料の溶剤成分を除去する赤外線照射手段とを備え、
前記液状材料に前記紫外線と前記赤外線を同時に照射することを特徴とする、液状材料硬化装置。 - 前記紫外線照射手段と前記赤外線照射手段は前記基板の一方側に設けられていることを特徴とする、請求項5に記載の液状材料硬化装置。
- 前記紫外線照射手段は前記基板の一方側に設けられ、
前記赤外線照射手段は前記基板の他方側に設けられていることを特徴とする、請求項5に記載の液状材料硬化装置。 - 前記微細領域は前記基板上に形成された微細パターンの欠陥部であり、
前記液状材料は前記欠陥部を修正する修正液であることを特徴とする、請求項5から請求項7までのいずれかに記載の液状材料硬化装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008122267A JP2009268983A (ja) | 2008-05-08 | 2008-05-08 | 液状材料硬化方法および液状材料硬化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008122267A JP2009268983A (ja) | 2008-05-08 | 2008-05-08 | 液状材料硬化方法および液状材料硬化装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009268983A true JP2009268983A (ja) | 2009-11-19 |
Family
ID=41436001
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008122267A Withdrawn JP2009268983A (ja) | 2008-05-08 | 2008-05-08 | 液状材料硬化方法および液状材料硬化装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009268983A (ja) |
-
2008
- 2008-05-08 JP JP2008122267A patent/JP2009268983A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4410042B2 (ja) | 微細パターン修正装置 | |
JP4890024B2 (ja) | 塗布針固定方法と、それを用いた液状材料塗布機構および欠陥修正装置 | |
JP2006240015A (ja) | パターン形成装置、アライメント装置、基板処理装置、パターン形成方法、基板処理方法 | |
JP4924192B2 (ja) | 透明導電性膜付きカラーフィルタ基板の欠陥修正方法および透明導電性膜付きカラーフィルタ基板 | |
JP5015552B2 (ja) | パターン修正装置 | |
JP2006239976A (ja) | パターン形成装置、位置補正方法 | |
CN112230459B (zh) | 显示面板亮点缺陷修复系统及修复方法 | |
JP4335422B2 (ja) | パターン修正装置 | |
JP2009268983A (ja) | 液状材料硬化方法および液状材料硬化装置 | |
JP2016114451A (ja) | 塗布装置およびそれを用いた欠陥修復装置 | |
JP2007315882A (ja) | 基板位置決め装置、基板位置決め方法、カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法 | |
JP4617236B2 (ja) | カラーフィルターの修正方法 | |
JP2008107467A (ja) | パターン修正方法およびパターン修正装置 | |
JP2009014665A (ja) | 微細パターン観察装置およびそれを用いた微細パターン修正装置 | |
JP2008180796A (ja) | 欠陥修正方法および欠陥修正装置 | |
JP2008003287A (ja) | パターン修正方法およびパターン修正装置 | |
JP2013117615A (ja) | 欠陥修正装置および欠陥修正方法 | |
JP4937185B2 (ja) | パターン修正方法 | |
JP5263861B2 (ja) | 欠陥修正装置 | |
KR100751709B1 (ko) | 액정표시장치의 컬러필터 수정장치 및 방법 | |
JP2008107625A (ja) | パターン修正装置 | |
JP2008261995A (ja) | 欠陥修正方法および欠陥修正装置 | |
JP2008102285A (ja) | パターン修正装置 | |
JP2009037107A (ja) | 欠陥修正装置 | |
JP2007061695A (ja) | 薄膜の修正方法及び修正装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20110802 |