JPH1165475A - 表示パネル用プローブ装置およびプローブ位置決め方法 - Google Patents
表示パネル用プローブ装置およびプローブ位置決め方法Info
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- JPH1165475A JPH1165475A JP9226762A JP22676297A JPH1165475A JP H1165475 A JPH1165475 A JP H1165475A JP 9226762 A JP9226762 A JP 9226762A JP 22676297 A JP22676297 A JP 22676297A JP H1165475 A JPH1165475 A JP H1165475A
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
Abstract
(57)【要約】
【課題】表示パネル２０の電気特性測定する表示パネル
用プローブ装置およびプローブ位置決め方法において、
電極端子２１のピッチの異なる表示パネル２０に対応で
きかつプローブ１４と電極端子２１の位置合わせ確度を
高くする。 【解決手段】プローブ１４の間隔の異なる複数のプロー
ブユニット２を差し替えできる機構をもつとともプロー
ブと電極端子とを位置調整する機構を備える度アクチュ
エータ３を設けることによって、表示パネル２０の電極
端子２１のピッチの異なっても、新しくプローブユニッ
ト２を準備することなく即適用できる。また、位置合せ
するのにプローブユニット２を移動させながら両側のプ
ローブ１４と電極端子２１を含む回路抵抗を測定し最適
位置に設定する。
用プローブ装置およびプローブ位置決め方法において、
電極端子２１のピッチの異なる表示パネル２０に対応で
きかつプローブ１４と電極端子２１の位置合わせ確度を
高くする。 【解決手段】プローブ１４の間隔の異なる複数のプロー
ブユニット２を差し替えできる機構をもつとともプロー
ブと電極端子とを位置調整する機構を備える度アクチュ
エータ３を設けることによって、表示パネル２０の電極
端子２１のピッチの異なっても、新しくプローブユニッ
ト２を準備することなく即適用できる。また、位置合せ
するのにプローブユニット２を移動させながら両側のプ
ローブ１４と電極端子２１を含む回路抵抗を測定し最適
位置に設定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板に多数の検査
用パッドを有する表示パネルの電気的特性検査に用いら
れる表示パネル用プローブ装置およびプローブ位置決め
方法に関するものである。
用パッドを有する表示パネルの電気的特性検査に用いら
れる表示パネル用プローブ装置およびプローブ位置決め
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、携帯用テレビから大型のテレビと
いったように、使われる表示パネルは、種々のサイズや
矩形や正方形など形状の異なるものが製作されてきた。
そして、この表示パネルの電気特性試験するのに、表示
パネルの大きさおよび形状に応じて、表示パネルの縦横
に並ぶ電極端子の数に応じてプローブをもつプローブヘ
ッドを準備し、プローブと表示パネルの電極端子とを接
触させテスタ本体と信号の授受を行ない試験を行なって
きた。しかしがら、大型テレビのように大画面であっ
て、しかも画素数が多い場合は、その表示パネルの電極
端子の数に応じた数のプローブを準備し、そして、表示
パネルの電極端子とプローブとを何回かに分けて接触さ
せ試験を行なっていたため、試験が終了するまでに多大
な時間を要していた。
いったように、使われる表示パネルは、種々のサイズや
矩形や正方形など形状の異なるものが製作されてきた。
そして、この表示パネルの電気特性試験するのに、表示
パネルの大きさおよび形状に応じて、表示パネルの縦横
に並ぶ電極端子の数に応じてプローブをもつプローブヘ
ッドを準備し、プローブと表示パネルの電極端子とを接
触させテスタ本体と信号の授受を行ない試験を行なって
きた。しかしがら、大型テレビのように大画面であっ
て、しかも画素数が多い場合は、その表示パネルの電極
端子の数に応じた数のプローブを準備し、そして、表示
パネルの電極端子とプローブとを何回かに分けて接触さ
せ試験を行なっていたため、試験が終了するまでに多大
な時間を要していた。
【０００３】かかる問題を解消し試験時間を短縮を図っ
た表示用プローブが特開平４ー１３４４８２号公報に開
示されている。この表示パネル用プローブは、表示パネ
ルの電極と同一ピッチに配列された細い線条またはタブ
基板を利用した複数のプローブを持つプローブアセンブ
リを準備し、表示パネルの形状および大きさに応じて、
複数のプローブアセンブリを横方向および縦方向に組合
せて取付板に並べて一体的に取り付け、表示パネルの全
電極端子に対して同時にプローブを接触させ電気特性測
定を行ない試験時間の短縮を図っている。
た表示用プローブが特開平４ー１３４４８２号公報に開
示されている。この表示パネル用プローブは、表示パネ
ルの電極と同一ピッチに配列された細い線条またはタブ
基板を利用した複数のプローブを持つプローブアセンブ
リを準備し、表示パネルの形状および大きさに応じて、
複数のプローブアセンブリを横方向および縦方向に組合
せて取付板に並べて一体的に取り付け、表示パネルの全
電極端子に対して同時にプローブを接触させ電気特性測
定を行ない試験時間の短縮を図っている。
【０００４】また、この表示パネル用プローブは、個々
のプローブアッセンブリのプローブ先端位置を調整可能
にするマニピュレータを設け、表示パネルの大型化に伴
なう電極の増大に対して、このプローブアッセンブリを
比較的に少ないユニット数で組合せて対処し、それぞれ
のプローブアセンブリのプローブの先端をマニュプレー
タで電極に位置合せし調整するので、大きい表示パネル
にも対応が簡単にできることを特徴としている。
のプローブアッセンブリのプローブ先端位置を調整可能
にするマニピュレータを設け、表示パネルの大型化に伴
なう電極の増大に対して、このプローブアッセンブリを
比較的に少ないユニット数で組合せて対処し、それぞれ
のプローブアセンブリのプローブの先端をマニュプレー
タで電極に位置合せし調整するので、大きい表示パネル
にも対応が簡単にできることを特徴としている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の表示パ
ネル用プローブでは、大型の表示パネルに対処できるも
のの、種々のピッチの異なる電極端子をもつ表示パネル
に対応が困難である。何となれば、ピッチが異なる毎に
プローブアッセンブリユニットを交換し調整しなければ
ならないし、しかもピッチに応じたプローブアッセンブ
リユニットを準備しなければならず運用コストが高くな
る。
ネル用プローブでは、大型の表示パネルに対処できるも
のの、種々のピッチの異なる電極端子をもつ表示パネル
に対応が困難である。何となれば、ピッチが異なる毎に
プローブアッセンブリユニットを交換し調整しなければ
ならないし、しかもピッチに応じたプローブアッセンブ
リユニットを準備しなければならず運用コストが高くな
る。
【０００６】また、個々のプローブアッセンブリにプロ
ーブの先端位置の調整するマニュプレータが設けられて
いるものの、プローブと電極端子部との位置合せを目視
で行なうかあるいは別の方法で行なうか不明であるが、
もし、個々のプローブアッセンブリユニット毎に目視で
行なうとすると、個人差により多大な調整工数を費すす
るし、測定を開始してみないと位置調整が完全であるか
否かを確認できないという欠点がある。
ーブの先端位置の調整するマニュプレータが設けられて
いるものの、プローブと電極端子部との位置合せを目視
で行なうかあるいは別の方法で行なうか不明であるが、
もし、個々のプローブアッセンブリユニット毎に目視で
行なうとすると、個人差により多大な調整工数を費すす
るし、測定を開始してみないと位置調整が完全であるか
否かを確認できないという欠点がある。
【０００７】本発明の目的は、電極端子のピッチの異な
る表示パネルに対応できプローブと電極端子の位置合わ
せ確度を高い表示パネル用プローブ装置およびプローブ
位置決め方法を提供することにある。
る表示パネルに対応できプローブと電極端子の位置合わ
せ確度を高い表示パネル用プローブ装置およびプローブ
位置決め方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、所定の
間隔に並べ配置される表示パネルの電極端子と接触する
複数本のプローブを有する一プローブユニットと、前記
電極端子の間隔の異なる該電極端子と接触する複数本の
前記プローブを有する他のプローブユニットと、前記一
プローブユニットと前記他のプローブユニットとのいず
れか挿抜して入れ換える接続機構を有するとともに差し
込まれたいずれかの該プローブユニットを移動させる移
動機構を具備するアクチュエータと、このアクチュエー
タと該アクチュエータに差し込まれる前記プローブユニ
ットとで構成されるプローブアッセンブリユニットを開
口に沿って並べて取付けるベースプレートを具備するプ
ローブヘッドと、前記表示パネルを載置して保持するス
テージと、前記ステージを回転およびＸＹ方向に独立に
移動させるコンパウンドテーブルと、前記表示パネルの
アライメントマークを認識するアライメントカメラと、
前記アクチュエータの作動と前記プローブからの信号授
受およびテスタ本体への信号授受ならびにシーケンス制
御を行なうコントローラとを備える表示パネル用プロー
ブ装置である。また、前記移動機構は、前記プローブが
並ぶ方向と該方向に垂直の方向に前記プローブユニット
を移動させることが望ましい。さらに、前記移動機構に
よる前記プローブユニットの移動がステップ状であるこ
とが望ましい。
間隔に並べ配置される表示パネルの電極端子と接触する
複数本のプローブを有する一プローブユニットと、前記
電極端子の間隔の異なる該電極端子と接触する複数本の
前記プローブを有する他のプローブユニットと、前記一
プローブユニットと前記他のプローブユニットとのいず
れか挿抜して入れ換える接続機構を有するとともに差し
込まれたいずれかの該プローブユニットを移動させる移
動機構を具備するアクチュエータと、このアクチュエー
タと該アクチュエータに差し込まれる前記プローブユニ
ットとで構成されるプローブアッセンブリユニットを開
口に沿って並べて取付けるベースプレートを具備するプ
ローブヘッドと、前記表示パネルを載置して保持するス
テージと、前記ステージを回転およびＸＹ方向に独立に
移動させるコンパウンドテーブルと、前記表示パネルの
アライメントマークを認識するアライメントカメラと、
前記アクチュエータの作動と前記プローブからの信号授
受およびテスタ本体への信号授受ならびにシーケンス制
御を行なうコントローラとを備える表示パネル用プロー
ブ装置である。また、前記移動機構は、前記プローブが
並ぶ方向と該方向に垂直の方向に前記プローブユニット
を移動させることが望ましい。さらに、前記移動機構に
よる前記プローブユニットの移動がステップ状であるこ
とが望ましい。
【０００９】本発明の他の特徴は、表示パネルに形成さ
れ縦横に並べ配置される電極端子群がなす矩形あるいは
正方形の中心とプローブヘッドに縦横に並べ配置される
プローブ群がなす矩形あるいは正方形の中心とを合せた
後、前記プローブを前記電極端子と接触させ、複数の前
記プローブを所定数の前記プローブを含む複数のブロッ
クに分割し、分割された前記ブロックの両端の前記プロ
ーブと接触する前記電極端子とを含む回路抵抗を測定し
ながら前記ブロックを移動させ前記プローブと前記電極
端子とを位置合せするプローブ位置決め方法である。
れ縦横に並べ配置される電極端子群がなす矩形あるいは
正方形の中心とプローブヘッドに縦横に並べ配置される
プローブ群がなす矩形あるいは正方形の中心とを合せた
後、前記プローブを前記電極端子と接触させ、複数の前
記プローブを所定数の前記プローブを含む複数のブロッ
クに分割し、分割された前記ブロックの両端の前記プロ
ーブと接触する前記電極端子とを含む回路抵抗を測定し
ながら前記ブロックを移動させ前記プローブと前記電極
端子とを位置合せするプローブ位置決め方法である。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１１】図１（ａ）および（ｂ）は本発明の一実施
の形態における表示パネル用プローブ装置を示す平面図
および正面面である。この表面パネル用プローブ装置
は、図１に示すように、表示パネル２０の電極端子２１
と接触する複数本のプローブ１４が前端面から並んで突
出し後端面にプローブ１４と一体のプラグが突出するプ
ローブユニット２と、このプローブユニット２のプラグ
が差し込まれて取付けられるとともにプローブユニット
２を縦横方向に微動させるアクチュエータ３と、このプ
ローブユニット２とアクチューエータ３とで構成するプ
ローブアッセンブリユニット１を開口１９に沿って並べ
て取付けるベースプレート６ａとこのベースプレート６
ａを支持するポール８とを有し上下動するプローブヘッ
ド６と、表示パネル２０を載置して保持するステージ９
と、ステージ９を回転およびＸＹ方向に独立に移動させ
るコンパウンドテーブル１０と、表示パネル２０のアラ
イメントマークを認識するアライメントカメラ７と、ア
クチュエータ３の作動とプローブ１４からの信号授受お
よびテスタ本体５への信号授受ならびにシーケンス制御
を行なうコントローラ４とを備えている。
の形態における表示パネル用プローブ装置を示す平面図
および正面面である。この表面パネル用プローブ装置
は、図１に示すように、表示パネル２０の電極端子２１
と接触する複数本のプローブ１４が前端面から並んで突
出し後端面にプローブ１４と一体のプラグが突出するプ
ローブユニット２と、このプローブユニット２のプラグ
が差し込まれて取付けられるとともにプローブユニット
２を縦横方向に微動させるアクチュエータ３と、このプ
ローブユニット２とアクチューエータ３とで構成するプ
ローブアッセンブリユニット１を開口１９に沿って並べ
て取付けるベースプレート６ａとこのベースプレート６
ａを支持するポール８とを有し上下動するプローブヘッ
ド６と、表示パネル２０を載置して保持するステージ９
と、ステージ９を回転およびＸＹ方向に独立に移動させ
るコンパウンドテーブル１０と、表示パネル２０のアラ
イメントマークを認識するアライメントカメラ７と、ア
クチュエータ３の作動とプローブ１４からの信号授受お
よびテスタ本体５への信号授受ならびにシーケンス制御
を行なうコントローラ４とを備えている。
【００１２】図２（ａ）〜（ｃ）は図１のプローブアッ
センブリユニットを説明するための平面図および断面図
である。プローブアッセンブリユニットは、図２（ａ）
に示すように、プローブユニット２のプローブ１４の他
端がプラグ１７となっており、このプラグ１７がアクチ
ュエータ３のブッシュ１８に差し込まれアクチュエータ
３にプローブユニット２が装填される。すなわち、図２
（ａ）プローブ１４のピッチの狭いプローブユニット２
からピッチの粗いプローブユニット２ａに交換したいと
きは、プラグ１７を抜き差しで容易に交換できる。ま
た、プローブユニット２が抜けてこないように、図２
（ｃ）に示すように、フック１５がプローブユニット２
の溝１６に入り込む構造になっている。
センブリユニットを説明するための平面図および断面図
である。プローブアッセンブリユニットは、図２（ａ）
に示すように、プローブユニット２のプローブ１４の他
端がプラグ１７となっており、このプラグ１７がアクチ
ュエータ３のブッシュ１８に差し込まれアクチュエータ
３にプローブユニット２が装填される。すなわち、図２
（ａ）プローブ１４のピッチの狭いプローブユニット２
からピッチの粗いプローブユニット２ａに交換したいと
きは、プラグ１７を抜き差しで容易に交換できる。ま
た、プローブユニット２が抜けてこないように、図２
（ｃ）に示すように、フック１５がプローブユニット２
の溝１６に入り込む構造になっている。
【００１３】また、プローブ１４と接触するブッシュ１
８と接続する導線は後部の柔軟なフラットケーブル１１
の各芯線と接続されている。そして、スリ割りが形成さ
れ径がブッシュ１８に入り易くようにされたプローブ１
４とプラグ１７と一体構造で、それ自体はバネ性があっ
て良導体の棒状の部材である。この棒状部材は、例え
ば、ベリリウム銅で製作され、精密な金型で樹脂封止さ
れ樹脂外郭体に形成されプローブユニット２となってい
る。
８と接続する導線は後部の柔軟なフラットケーブル１１
の各芯線と接続されている。そして、スリ割りが形成さ
れ径がブッシュ１８に入り易くようにされたプローブ１
４とプラグ１７と一体構造で、それ自体はバネ性があっ
て良導体の棒状の部材である。この棒状部材は、例え
ば、ベリリウム銅で製作され、精密な金型で樹脂封止さ
れ樹脂外郭体に形成されプローブユニット２となってい
る。
【００１４】アクチュエータ３は、ブッシュ１８とその
接続線が埋設される可動部３ａと図１のベースプレート
６ａに固定される固定部３ｂとで構成されている。そし
て、可動部３ａは、圧電素子１３ａおよび１３ｂの厚み
の方向の力で板ばね１２ａおよび１２ｂに抗して押され
ＸおよびＹ方向に移動することになっている。また、可
動部３ａが固定部３ｂから抜けないようにプレート３ｃ
で止められている。さらに、可動部３ａの移動が円滑に
なるように、固定部３ｂとプレート３ｃの接触部分には
テフロン（商品名）などが貼り付けられている。
接続線が埋設される可動部３ａと図１のベースプレート
６ａに固定される固定部３ｂとで構成されている。そし
て、可動部３ａは、圧電素子１３ａおよび１３ｂの厚み
の方向の力で板ばね１２ａおよび１２ｂに抗して押され
ＸおよびＹ方向に移動することになっている。また、可
動部３ａが固定部３ｂから抜けないようにプレート３ｃ
で止められている。さらに、可動部３ａの移動が円滑に
なるように、固定部３ｂとプレート３ｃの接触部分には
テフロン（商品名）などが貼り付けられている。
【００１５】ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛系セラミッ
クス）などの圧電素子１３ａ，１３ｂは、直流電圧１０
０Ｖを印加したとき最大５０μｍが得られるように、複
数の素子を重ねた積層型圧電素子である。また、５０Ｖ
を中間位置を維持する電圧とし、±１０Ｖづつステップ
毎に印加することで可動部３ａをステップ状に移動させ
る。一方、可動部３ａに反発力を与える板ばね１２ａ，
１２ｂは、ばね定数の高いスプリング鋼から製作され、
ガタ付きを起さないように可動部３ａを圧電素子１３
ａ，１３ｂ側に押し付けている。
クス）などの圧電素子１３ａ，１３ｂは、直流電圧１０
０Ｖを印加したとき最大５０μｍが得られるように、複
数の素子を重ねた積層型圧電素子である。また、５０Ｖ
を中間位置を維持する電圧とし、±１０Ｖづつステップ
毎に印加することで可動部３ａをステップ状に移動させ
る。一方、可動部３ａに反発力を与える板ばね１２ａ，
１２ｂは、ばね定数の高いスプリング鋼から製作され、
ガタ付きを起さないように可動部３ａを圧電素子１３
ａ，１３ｂ側に押し付けている。
【００１６】図３は図１の表示パネル用プローブ装置の
動作を説明するためのフローチャートである。次に、図
１、図２および図３を参照してこの表示パネル用プロー
ブ装置の動作を説明する。まず、図３のステップＡで、
図１のステージ９に表示パネル２０を載置し、ステージ
９に設けられたＸおよびＹ方向のストッパに表示パネル
２０の側端を当て機械的に位置決めする。しかる後、真
空ポンプを作動させ表示パネル２０をステージ９に吸着
保持する。
動作を説明するためのフローチャートである。次に、図
１、図２および図３を参照してこの表示パネル用プロー
ブ装置の動作を説明する。まず、図３のステップＡで、
図１のステージ９に表示パネル２０を載置し、ステージ
９に設けられたＸおよびＹ方向のストッパに表示パネル
２０の側端を当て機械的に位置決めする。しかる後、真
空ポンプを作動させ表示パネル２０をステージ９に吸着
保持する。
【００１７】ステップＡでは表示パネル２０を単に機械
的に位置決めしたものの、成膜工程で形成された表示パ
ネル２０の縦横に並べ配置される電極端子２１がなす正
方形や矩形の領域の中心と表示パネル２０の外形の中心
とは必ずしも一致していない。そこで、ステップＢで
は、電極端子２１群がなす矩形領域あるいは正方形領域
の中心とプローブ群がなす矩形領域あるいは正方形領域
の中心と合せるために軸芯アライメントを行なうことで
ある。
的に位置決めしたものの、成膜工程で形成された表示パ
ネル２０の縦横に並べ配置される電極端子２１がなす正
方形や矩形の領域の中心と表示パネル２０の外形の中心
とは必ずしも一致していない。そこで、ステップＢで
は、電極端子２１群がなす矩形領域あるいは正方形領域
の中心とプローブ群がなす矩形領域あるいは正方形領域
の中心と合せるために軸芯アライメントを行なうことで
ある。
【００１８】この軸芯アライメントは、表示パネル２０
の四隅の内の二個所にあるＸＹ方向を示す十字状のアラ
イメントマークをアライメントカメラ７で認識する。そ
して、コントローラ４に記憶された基準のＸＹ軸と比較
する。このときアライメントマークのＸ軸あるいはＹ軸
が基準のＸＹ軸に傾きがあれば、ＣＰＵがこの傾き度を
演算し、そのずれ量を求め、そのずれ量に相当する角度
だけコンパウンドテーブル１０を回転し修正する。ま
た、もし、基準のＸＹ軸の座標値とアライメントマーク
のＸＹ軸の座標値にずれがあれば、コンパウンドテーブ
ル１０をＸあるいはＹまたはＸおよびＸＹ方向にずれた
量だけ移動させる。
の四隅の内の二個所にあるＸＹ方向を示す十字状のアラ
イメントマークをアライメントカメラ７で認識する。そ
して、コントローラ４に記憶された基準のＸＹ軸と比較
する。このときアライメントマークのＸ軸あるいはＹ軸
が基準のＸＹ軸に傾きがあれば、ＣＰＵがこの傾き度を
演算し、そのずれ量を求め、そのずれ量に相当する角度
だけコンパウンドテーブル１０を回転し修正する。ま
た、もし、基準のＸＹ軸の座標値とアライメントマーク
のＸＹ軸の座標値にずれがあれば、コンパウンドテーブ
ル１０をＸあるいはＹまたはＸおよびＸＹ方向にずれた
量だけ移動させる。
【００１９】この軸芯アライメントは、コントローラ４
に内蔵しているマイクロコンピュータとパルス発生電源
とコンパウンドテーブル１０のパルスモータによる数値
制御機構で自動的に行なわれる公知の技術である。た
だ、演算や制御のし易さから回転テーブルは上にある方
が良い。なお、二つのアライメントマークと基準のＸＹ
軸とのずれ量に若干の違いがある場合は、ずれ量の平均
により補正する。
に内蔵しているマイクロコンピュータとパルス発生電源
とコンパウンドテーブル１０のパルスモータによる数値
制御機構で自動的に行なわれる公知の技術である。た
だ、演算や制御のし易さから回転テーブルは上にある方
が良い。なお、二つのアライメントマークと基準のＸＹ
軸とのずれ量に若干の違いがある場合は、ずれ量の平均
により補正する。
【００２０】次に、図３のステップＣで、個々のプロー
ブユニット２のプローブ１４と電極端子２１との位置合
せは、図２に示すプローブユニットの外側のプローブ１
４（ＡとＢ）と電極端子２１とを位置合せすることで行
なわれる。そして、位置合せは、二本のプローブ１４と
接触する電極端子２１を介して表示パネル２０の内部回
路の抵抗を測定することで行なわれる。そして、二本の
プローブに電圧を印加し規程の範囲の電流が流れば位置
が合ったと定義する。また、仮に、ここでは、説明し易
いように、プローブユニット２が並ぶ方向を仮にＸ方向
とし、それに垂直の方向をＹ方向とする。
ブユニット２のプローブ１４と電極端子２１との位置合
せは、図２に示すプローブユニットの外側のプローブ１
４（ＡとＢ）と電極端子２１とを位置合せすることで行
なわれる。そして、位置合せは、二本のプローブ１４と
接触する電極端子２１を介して表示パネル２０の内部回
路の抵抗を測定することで行なわれる。そして、二本の
プローブに電圧を印加し規程の範囲の電流が流れば位置
が合ったと定義する。また、仮に、ここでは、説明し易
いように、プローブユニット２が並ぶ方向を仮にＸ方向
とし、それに垂直の方向をＹ方向とする。
【００２１】まず、ステップＣのプローブユニット調整
開始で、プローブヘッド６が下降しベースプレート６ａ
の開口１９に表示パネル２０を入れる。次に、圧電素子
で構成される押圧機構によりプローブ１４を電極端子２
１に所定の圧力で接触させる。そして、各アクチュエー
タ３の圧電素子１３ａ，１３ｂに中間電圧を印加する。
このことにより、プローブユニット２は中間位置に維持
される。
開始で、プローブヘッド６が下降しベースプレート６ａ
の開口１９に表示パネル２０を入れる。次に、圧電素子
で構成される押圧機構によりプローブ１４を電極端子２
１に所定の圧力で接触させる。そして、各アクチュエー
タ３の圧電素子１３ａ，１３ｂに中間電圧を印加する。
このことにより、プローブユニット２は中間位置に維持
される。
【００２２】次に、ステップＤで、プログラムシーケン
サが動作し、プローブユニット２が一斉に一ステップを
前後（Ｙ方向）に移動する。そして、電流の変化がある
か否かをチェックするとと同時に二本のプローブに流れ
る電流が規程の範囲内にあるか否かを次のステップＥで
判定する。電流の変化がなくかつ電流が規程の範囲内で
あれば、中間位置を維持した状態にする。また、変化は
ないが規程の範囲の電流まで得られないプローブユニッ
ト２に対しては、さらに、二ステップに前後に移動さ
せ、規程の電流の範囲に達したか否かを判定する。そし
て、規程の電流の範囲に至ったら、その位置にプローブ
ユニット２が留まるように圧電素子１３ｂに電圧を印加
した状態にする。それでも電流が規程の範囲に入らない
場合は、さらに一ステップ加えて前後に移動させ判定す
る。
サが動作し、プローブユニット２が一斉に一ステップを
前後（Ｙ方向）に移動する。そして、電流の変化がある
か否かをチェックするとと同時に二本のプローブに流れ
る電流が規程の範囲内にあるか否かを次のステップＥで
判定する。電流の変化がなくかつ電流が規程の範囲内で
あれば、中間位置を維持した状態にする。また、変化は
ないが規程の範囲の電流まで得られないプローブユニッ
ト２に対しては、さらに、二ステップに前後に移動さ
せ、規程の電流の範囲に達したか否かを判定する。そし
て、規程の電流の範囲に至ったら、その位置にプローブ
ユニット２が留まるように圧電素子１３ｂに電圧を印加
した状態にする。それでも電流が規程の範囲に入らない
場合は、さらに一ステップ加えて前後に移動させ判定す
る。
【００２３】この動作を繰返して行ない、全てのプロー
ブユニット２のＹ方向の調整が完了したら、次のステッ
プＦに進む、そして、プローブユニット２を横方向（Ｘ
方向）に一ステップづつ左右に移動させ電流が変化ある
か否かと同時に規程の電流が流れているか、ステップＧ
で判定する。もし、規程電流以上あれば、そのプローブ
ユニット２は中間位置に留まる。また、変化があっても
規程電流以上あれば、そのプローブユニットは中間位置
に留まる。電流が変化し規程電流以上に電流が得られな
いプローブユニット２は二ステップ左右に移動させ、規
程電流に達するか否かをチェックする。もし、右に移動
したとき規程電流に達したら、右に移動した状態にプロ
ーブユニット２を維持させる。
ブユニット２のＹ方向の調整が完了したら、次のステッ
プＦに進む、そして、プローブユニット２を横方向（Ｘ
方向）に一ステップづつ左右に移動させ電流が変化ある
か否かと同時に規程の電流が流れているか、ステップＧ
で判定する。もし、規程電流以上あれば、そのプローブ
ユニット２は中間位置に留まる。また、変化があっても
規程電流以上あれば、そのプローブユニットは中間位置
に留まる。電流が変化し規程電流以上に電流が得られな
いプローブユニット２は二ステップ左右に移動させ、規
程電流に達するか否かをチェックする。もし、右に移動
したとき規程電流に達したら、右に移動した状態にプロ
ーブユニット２を維持させる。
【００２４】このような位置合せ動作を繰返して行ない
全てのプローブユニット２の位置を設定する。そして、
位置調整が完了したら、ステップＨで、表示パネル２０
の電気特性試験を開始する。また、電極端子２１のピッ
チが大きい表示パネルを試験する場合は、図２（ａ）の
プローブユニット２から図２（ｂ）のプローブユニット
２ａに差し換えて図３のステップを行ないプローブユニ
ット２ａの位置調整を行なう。
全てのプローブユニット２の位置を設定する。そして、
位置調整が完了したら、ステップＨで、表示パネル２０
の電気特性試験を開始する。また、電極端子２１のピッ
チが大きい表示パネルを試験する場合は、図２（ａ）の
プローブユニット２から図２（ｂ）のプローブユニット
２ａに差し換えて図３のステップを行ないプローブユニ
ット２ａの位置調整を行なう。
【００２５】この実施の形態では、プローブユニットを
左右前後に移動させるようにアクチュエータに移動機構
をもたせたが、アクチュエータにプローブユニットをＸ
方向のみ移動させる機構でも良い。何となれば、電極端
子はプローブの伸びる方向には長く幅が狭いので、前後
方向（Ｙ方向）にずれることは殆ど無く横方向（Ｘ方
向）のずれることが多いからである。
左右前後に移動させるようにアクチュエータに移動機構
をもたせたが、アクチュエータにプローブユニットをＸ
方向のみ移動させる機構でも良い。何となれば、電極端
子はプローブの伸びる方向には長く幅が狭いので、前後
方向（Ｙ方向）にずれることは殆ど無く横方向（Ｘ方
向）のずれることが多いからである。
【００２６】また、プローブユニットを回転させる機構
でも本実施の形態に適用できる。そして、この機構は、
図２（ｃ）に示す可動部３ａの後端側（フラットケーブ
ル１１側）に回転軸を取付け、この回転軸の他端にクラ
ンクアームを取付け、このクランクアームを微動させプ
ローブユニットを僅な角度だけ旋回させれば、Ｘ方向に
僅に移動させることと同じとなる。
でも本実施の形態に適用できる。そして、この機構は、
図２（ｃ）に示す可動部３ａの後端側（フラットケーブ
ル１１側）に回転軸を取付け、この回転軸の他端にクラ
ンクアームを取付け、このクランクアームを微動させプ
ローブユニットを僅な角度だけ旋回させれば、Ｘ方向に
僅に移動させることと同じとなる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、プローブ
の間隔の異なる複数のプローブユニットを差し替えでき
る機構をもつとともプローブと電極端子とを位置調整す
る機構を備える度アクチュエータを設けることによっ
て、表示パネルの電極端子のピッチの異なっても、新し
くプローブユニットを準備することなく即適用でき、汎
用性が高く運用コストが安価に済むという効果がある。
の間隔の異なる複数のプローブユニットを差し替えでき
る機構をもつとともプローブと電極端子とを位置調整す
る機構を備える度アクチュエータを設けることによっ
て、表示パネルの電極端子のピッチの異なっても、新し
くプローブユニットを準備することなく即適用でき、汎
用性が高く運用コストが安価に済むという効果がある。
【００２８】また、電極端子とプローブとの位置合せ確
度が確実なものとなり、試験精度が向上し不良品の混入
が無くなり、後工程に無駄なコストを発生させないとい
う効果もある。
度が確実なものとなり、試験精度が向上し不良品の混入
が無くなり、後工程に無駄なコストを発生させないとい
う効果もある。
【図１】本発明の一実施の形態における表示パネル用プ
ローブ装置を示す平面図および正面面である。
ローブ装置を示す平面図および正面面である。
【図２】図１のプローブアッセンブリユニットを説明す
るための平面図および断面図である。
るための平面図および断面図である。
【図３】図１の表示パネル用プローブ装置の動作を説明
するためのフローチャートである。
するためのフローチャートである。
【符号の説明】 １ プローブアッセンブリユニット ２，２ａ プローブユニット ３ アクチュエータ ３ａ 可動部 ３ｂ 固定部 ４ コントローラ ５ テスタ本体 ６ プローブヘッド ７ アライメントカメラ ８ ポール ９ ステージ １０ コンパウンドテーブル １１ フラットケーブル １２ａ，１２ｂ 板ばね １３ａ，１３ｂ 圧電素子 １４ プローブ １５ フック １６ 溝 １７ プラグ １８ ブッシュ １９ 開口 ２０ 表示パネル ２１ 電極端子
Claims (4)
- 【請求項１】 所定の間隔に並べ配置される表示パネル
の電極端子と接触する複数本のプローブを有する一プロ
ーブユニットと、前記電極端子の間隔の異なる該電極端
子と接触する複数本の前記プローブを有する他のプロー
ブユニットと、前記一プローブユニットと前記他のプロ
ーブユニットとのいずれか挿抜して入れ換える接続機構
を有するとともに差し込まれたいずれかの該プローブユ
ニットを移動させる移動機構を具備するアクチュエータ
と、このアクチュエータと該アクチュエータに差し込ま
れる前記プローブユニットとで構成されるプローブアッ
センブリユニットを開口に沿って並べて取付けるベース
プレートを具備するプローブヘッドと、前記表示パネル
を載置して保持するステージと、前記ステージを回転お
よびＸＹ方向に独立に移動させるコンパウンドテーブル
と、前記表示パネルのアライメントマークを認識するア
ライメントカメラと、前記アクチュエータの作動と前記
プローブからの信号授受およびテスタ本体への信号授受
ならびにシーケンス制御を行なうコントローラとを備え
ることを特徴とする表示パネル用プローブ装置。 - 【請求項２】 前記移動機構は、前記プローブが並ぶ方
向と該方向に垂直の方向に前記プローブユニットを移動
させることを特徴とする請求項１記載の表示パネル用プ
ローブ装置。 - 【請求項３】 前記移動機構による前記プローブユニッ
トの移動がステップ状であることを特徴とする請求項２
記載の表示パネル用プローブ装置。 - 【請求項４】 表示パネルに形成され縦横に並べ配置さ
れる電極端子群がなす矩形あるいは正方形の中心とプロ
ーブヘッドに縦横に並べ配置されるプローブ群がなす矩
形あるいは正方形の中心とを合せた後、前記プローブを
前記電極端子と接触させ、複数の前記プローブを所定数
の前記プローブを含む複数のブロックに分割し、分割さ
れた前記ブロックの両端の前記プローブと接触する前記
電極端子とを含む回路抵抗を測定しながら前記ブロック
を移動させ前記プローブと前記電極端子とを位置合せす
ることを特徴とするプローブ位置決め方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22676297A JP3206509B2 (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 表示パネル用プローブ装置 |
| TW087113748A TW382114B (en) | 1997-08-22 | 1998-08-20 | Probe apparatus for display panel and probe positioning method |
| KR1019980034174A KR100275641B1 (ko) | 1997-08-22 | 1998-08-22 | 표시 패널용의 프로브 장치 및 프로브 위치 설정 방법 |
| US09/138,331 US6137300A (en) | 1997-08-22 | 1998-08-24 | Test probe device for a display panel and test probe positioning method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22676297A JP3206509B2 (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 表示パネル用プローブ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1165475A true JPH1165475A (ja) | 1999-03-05 |
| JP3206509B2 JP3206509B2 (ja) | 2001-09-10 |
Family
ID=16850225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22676297A Expired - Fee Related JP3206509B2 (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 表示パネル用プローブ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6137300A (ja) |
| JP (1) | JP3206509B2 (ja) |
| KR (1) | KR100275641B1 (ja) |
| TW (1) | TW382114B (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100431621B1 (ko) * | 2002-05-13 | 2004-05-20 | 배일순 | 브이에프디 피치 유니트 교체형 취부대 |
| JP2005274487A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ装置 |
| JP2007286244A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像表示装置およびその接続部構造 |
| US7298155B2 (en) | 2005-01-12 | 2007-11-20 | Tokyo Cathode Laboratory, Co., Ltd. | Probing apparatus |
| US20160356812A1 (en) * | 2015-06-05 | 2016-12-08 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Display panel testing bench |
| KR102121887B1 (ko) * | 2020-04-03 | 2020-06-11 | 주식회사 케이에스디 | 유기발광 다이오드(oled) 패널 테스트용 가변 프로브 유닛 |
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| WO2002008773A2 (en) * | 2000-07-19 | 2002-01-31 | Orbotech Ltd. | Apparatus and method for electrical testing of electrical circuits |
| KR100758809B1 (ko) * | 2000-12-30 | 2007-09-13 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자의 검사장치 |
| JP2003092061A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-28 | Canon Inc | 電圧印加装置、電子源の製造装置及び製造方法 |
| JP4685336B2 (ja) * | 2003-06-06 | 2011-05-18 | 株式会社島津製作所 | Ｔｆｔアレイ検査装置 |
| US20050174139A1 (en) * | 2003-10-14 | 2005-08-11 | Mahendran Chidambaram | Apparatus for high speed probing of flat panel displays |
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| US7463042B2 (en) * | 2005-06-30 | 2008-12-09 | Northrop Grumman Corporation | Connector probing system |
| TWI273248B (en) | 2006-01-26 | 2007-02-11 | Au Optronics Corp | Universal probing apparatus for TFT array test |
| KR100820752B1 (ko) * | 2006-06-05 | 2008-04-10 | 양 전자시스템 주식회사 | 평판표시소자의 프로브 검사장치 및 이를 이용한 프로브검사방법 |
| KR100843148B1 (ko) * | 2006-12-22 | 2008-07-02 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치, 액정 표시 장치의 테스트용 커넥터 및이의 테스트 방법 |
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| KR100902246B1 (ko) * | 2008-01-03 | 2009-06-11 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기발광 표시장치의 원장단위 검사 장치 |
| KR101010534B1 (ko) * | 2009-04-29 | 2011-01-24 | 주식회사 크라또 | 비주얼검사용 머니퓰레이터부 및 프로브블록부를 구비한 프로브 유닛 |
| CN103293771B (zh) * | 2013-06-26 | 2015-11-25 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶配向检查机及方法 |
| CN106910444B (zh) * | 2017-02-28 | 2020-11-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 点灯装置和点灯测试方法 |
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| CN108873490A (zh) * | 2018-08-27 | 2018-11-23 | 惠科股份有限公司 | 紫外线配向照射系统及其检测装置 |
| CN109298209B (zh) * | 2018-09-11 | 2021-02-12 | 北京无线电测量研究所 | 一种用于模块测试的装置 |
| CN109917569A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-06-21 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 面板检测装置 |
| CN113484722B (zh) * | 2021-07-06 | 2022-07-08 | 广州弘高科技股份有限公司 | 一种手机pcb板的测试装置及测试方法 |
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1997
- 1997-08-22 JP JP22676297A patent/JP3206509B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-08-20 TW TW087113748A patent/TW382114B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-08-22 KR KR1019980034174A patent/KR100275641B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-08-24 US US09/138,331 patent/US6137300A/en not_active Expired - Fee Related
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| KR19990023807A (ko) | 1999-03-25 |
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