JPS59147277A - 半導体集積回路の測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の利用分野） 本発明はバツ゛ケージ状態におけるＩＣ，ＬＳＩ、トラ
ンジスタ、ダイオード等の半導体集積回路（以下試料と
いう）の電気的特性を測定検査する測定装置に関する。

（従来技術） 従来、かかる測定装置としで、例えばウニ・・ブローバ
が知られでいる。この構造は、測定探針部を装置の固定
部に固定し、ＸＹテーブル（こ搭載された２テーブル上
で試料が位置決め固定され、試料側をＸＹ及び２方向に
移動させて測定する。

このように、従来は試料側を移動させるので、試料が比
較的小さく、かつ軽い形状等の場合には問題は生じない
。しかしなから、ＬＳＩ、ＶＬＳＩ等のように電極リー
ド数の多い半導体集積回路のパッケージをプリントボー
ド等に取付け、この状態で測定する場合は、プリントボ
ードにはフラットケーブル等か接続されでいるので、プ
リントボードを移動させで測定すると、次のような不具
合が生じる。即ち、試料台移動時の振動によってプリン
トボードの取付け（位置すれ）不良が生じたり、またフ
ラットケーブルが接続されでいるテスターとの接続不良
が生じたりし、高信頼性の測定検査ができないという欠
点があった。

（発明の目的） 本発明の目的は、過密電気細線の接続されでいる大きな
ものでも高信頼性の測定検査ができる半導体集積回路の
測定装置を提供することにある。

（発明の実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図番こより説
明する。架台１上には載物台２が固定されており、この
載物台２上に試料取付ボード３が位置決め固定されてい
る。試料取付ボード３には試料４が電気接続部に挿入取
付けられている。また架台１上にはそれぞれ独立した２
組のＸＹテーブル５Ａ、５Ｂが相対して配設されており
、ＸＹテーブル５Ａ、５ＢはそれぞれＸ方向モータ６Ａ
。

６Ｂ、Ｙ方向モータ７Ａ、７ＢによりＸＹ方向に位置制
御される。前記ＸＹテーブルｓＡ、　５Ｂにはそれぞれ
基台取付台８Ａ、８Ｂが搭載されでおり、この基台取付
台８Ａ、８Ｂ４こは測定探針基台９Ａ、９Ｂが上下動可
能に取付けられでいる。前記測定探針基台９Ａ、９Ｂは
前記基台取付台８Ａ。

８Ｂに内蔵されたモータとスクリュー（共に図示せず）
等により垂直方向に位置制御される。また前記測定探針
基台９Ａ、９Ｂにはそれぞれ測定探針１０Ａ、ＩＯＢを
有する探針取付体１１Ａ、１１Ｂが取付けられでいる。

前記測定探針１０Ａ、１０Ｂは試料４の電極リードに接
触させて測定するもので、図示しない機構をこより方向
位置の調整ができるようになっている。また前記一方の
基台取付台８Ｂは前記試料４の上方に延在しで形成され
、この延在部に電極リード検出用カメラ１２が取付けら
れている。

次に作用について説明する。まず、測定に先立ち、測定
探針１０Ａ、ＩＯＢの調整を行う。この調整は、顕微鏡
等（図示せず）を覗きながらＸＹテーブル５Ａ、５Ｂ駆
動用の電気チェスマン（図示せず）を操作してＸＹテー
ブル５Ａ、５ＢをＸＹ方向に移動させて測定探針１０Ａ
、１０Ｂを試料４の電極リードの真上に位置させ、また
測定探針基台９Ａ、９Ｂ駆動用の電気チェスマン（図示
せず）を操作して測定探針基台９Ａ、９］３を下降させ
、測定探針１０Ａ、ＩＯＢを試料４の電極リードに接触
させる。これにより、電極リードｌこ対して位置すれし
でいる測定探針１０Ａ、ＩＯＢがある場合は、その測定
探針１０Ａ、ＩＯＢの方向位置を調整しで合せる。次に
測定探針基台９Ａ。

９Ｂを上昇及びＸＹテーブル５Ａ、５Ｂを試料４から離
れたスタート位置に移動させでおく。また試料４を試料
取付ボード３より取外す。これにより準備作業が完了す
る。

次に測定動作についで説明する。取付ボード３上に試料
４が自動又は手動で供給され、位置決め固定されると、
図示しない制御部によってＸＹテーブル５Ａ、５Ｂが駆
動されて測定探針１０Ａ１１０Ｂが試料４の電極リード
の真上に位置制御される。次に測定探針基台９Ａ、９Ｂ
が下降させられ、測定探針１０Ａ、ＩＯＢが試料４の電
極リードに接触する。そして、試料４の電気的特性が測
定検査される。測定検査が終了すると、まず測定探針基
台９Ａ、９Ｂが上昇し、続いてＸＹテーブル５Ａ、５Ｂ
が移動して試料４より離れる。その後、試料取付ボード
３を自動又は手動により載物台２より増り除く。以後、
前記動作を繰返しで順次測定検査が行われる。

このように、試料４を固定し、測定探針１０Ａ、１０Ｂ
を移動させで測定するので、試料４（ｏ振動が伝達され
ない。従って、試料取付ボード３の位置ずれが生じない
と共に、フラットケーブル等の接続に悪影響を及ぼさな
く、高信頼性の測定検査が行える。また２組のＸＹテー
ブル５Ａ、５Ｂを設けで２ヘツド測定構造による同時測
定もでき、この２ヘツド測定構造を用いることにより測
定検査時間が１ヘツド測定構造の死に大幅に短縮され、
生産性が向上する。

なお、上記実施例においでは、２組のＸＹテーブル５Ａ
、５Ｂを配設し、２ヘツド測定構造で測定する場合につ
いで説明したが、右側のＸＹテーブル５Ｂのみを用い、
測定探針１０Ａ、ＩＯＢは試料４ごとの専用の多群固定
型測定探針にしてもよい。才た電極リード検出用カメラ
１２はＸＹテ−プル５Ｂに取付けたが、架台１上に取付
けてもよい。また本発明は比較的大きな試料取付ボード
３に試料４を取付けで測定する場合に最も効果を有する
が、小さくかつ軽い試料取付ボード３の場合でも効果を
有する。

（発明の効果） 以上の説明から明らかな如く、本発明によれば、試料に
悪影響を及ぼさなく、高信頼性の測定検査が行える。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示し、第１図は平面図、第２図
は正面図である。 ２・・・献物台、　　　　３・・・試料取付ボード、４
・・・試料、　　　　　　５Ａ、５Ｂ・・・ＸＹテーブ
ル、９Ａ、９Ｂ・・・測定探針基台、　　　ＩＯＡ、Ｉ
ＯＢ・・・測定探針、　　　ＩＩＡ、ＩＩＢ・・・探針
取付体。 第１図 第２図 ４２

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）試料が位置決め固定される載物台と、ＸＹ方向ζ
   こ駆動されるＸＹテーブルと、このＸＹテーブル上に搭
   載されＺ方向に駆動される測定探針基台と、この測定探
   針基台に取付けられ前記試料の電極リードに接触させる
   測定探針を有する探針取付体とを備え、前記ＸＹテーブ
   ルのＸＹ方向移動及び前記測定探針基台のＺ方向移動に
   よって前記測定探針を移動させて前記試料の電極リード
   に接触させ、電気特性を測定検査することを特徴とする
   半導体集積回路の測定装置。
2. （２）ｘｙテーブルは、２組配設され、それぞれ測定探
   針台及び測定探針を有する探針取付体を有することを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の半導体集積回路の
   測定装置。