KR20100059672A

KR20100059672A - 프로브 유닛 및 검사장치

Info

Publication number: KR20100059672A
Application number: KR1020090087985A
Authority: KR
Inventors: 마사유키 안자이; 카즈요시 미우라; 히로키 사이토; 야스아키 오사나이
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2008-11-26
Filing date: 2009-09-17
Publication date: 2010-06-04
Also published as: KR101100153B1; JP2010127706A; TWI401436B; TW201020552A; CN201535789U

Abstract

본 발명의 목적은 검사작업의 효율화를 도모할 수 있는 데 있다. 본 발명은, 검사대상 패널에 설치된 복수의 단자에 복수의 프로브를 각각 접촉시켜 점등검사를 하는 프로브 블록과, 상기 각 단자에 상기 각 프로브를 각각 접촉시켜 점등검사를 할 때 상기 검사대상 패널에 선(線) 결함 등의 이상이 발생 시 각 단자를 단락(短絡)시키는 단락장치를 갖추고, 상기 단락장치가, 상기 각 단자에 대향해 설치되어 상기 각 단자에 동시에 접촉해 모든 단자를 단락시키는 단락부재와, 상기 프로브 블록 쪽에 지지된 상태로 상기 단락부재를 지지하여 상기 이상이 발생 시 상기 각 단자에 접촉시키는 압압(押壓)기구를 갖추어 구성했다. 압압기구에 의해 지지된 단락부재로 각 단자에 접촉시켜, 상기 이상이 패널에 기인한 것인지 프로브 유닛에 기인한 것인지를 판별한다.

점등검사, 프로브 유닛, 액정패널, 단락(短絡)장치, 압압(押壓)기구, 패널 수도(受渡, handling)장치, 얼라인먼트 카메라

Description

프로브 유닛 및 검사장치{Probe Unit and Inspection Apparatus}

본 발명은, 액정패널 등의 검사장치에 사용하는 프로브 유닛 및 검사장치에 관한 것이다.

액정패널 등의 제조공정에서는, 그 패널이 설명서대로의 성능을 갖는지 아닌지 등의 검사가 행해진다. 이 검사에는, 일반적으로, 복수의 프로브를 갖는 프로브 유닛을 갖춘 검사장치가 사용된다. 이 경우, 검사장치의 각 프로브를 검사대상 패널의 단자에 전부 접촉(full contact)시킨 상태로, 검사신호를 인가(印加)하여 점등시킴으로써 행해진다.

이와 같은 검사장치에서는, 점등검사 시에 선(線) 결함 등의 이상이 발생하면, 그것이 패널에 기인한 것인지, 프로브 유닛에 기인한 것인지를 판별하기 위해, 그 점등검사공정과 별도로 검사를 하고 있다. 구체적으로는, 도전성 고무를 사용한 간이 점등검사용 프로브 유닛을 사용한 검사방법이나, 1G1D 검사용 프로브 유닛을 사용한 검사방법을 사용하여, 상기 이상이, 패널에 기인한 것인지, 프로브 유닛에 기인한 것인지를 판별하고 있다. 이 같은 검사방법의 예로는, 특허문헌 1이 있다.

특허문헌 1: 일본 특허출원 공개 평9-138422호 공보

그러나, 상기 검사장치에서는, 통상의 점등검사공정과 별도로 검사를 하고 있기 때문에, 2종류의 검사공정이 필요해져, 검사효율이 나빠지는 문제점이 있다.

본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위해 만들어진 것으로, 통상의 점등검사공정에서, 상기 이상이 패널에 기인한 것인지 프로브 유닛에 기인한 것인지를 판별할 수 있는 프로브 유닛 및 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 프로브 유닛은, 검사대상 패널에 설치된 복수의 단자에 복수의 프로브를 각각 접촉시켜 점등검사를 하는 프로브 블록과, 상기 각 단자에 상기 각 프로브를 각각 접촉시켜 점등검사를 할 때 각 단자를 단락(短絡)시키는 단락장치를 갖추고, 상기 단락장치가, 상기 각 단자에 대향해 설치되어 상기 각 단자에 동시에 접촉해 모든 단자를 단락시키는 단락부재와, 상기 프로브 블록 쪽에 지지된 상태로 상기 단락부재를 지지하여 상기 각 단자에 접촉시키는 압압(押壓)기구를 갖추어 구성된 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 검사장치는, 검사대상 패널의 검사에 사용하는 검사장치로서, 외부에서 삽입된 검사대상 패널을 검사종료 후에 외부로 반출하는 패널셋트부와, 상기 패널셋트부로부터 건네받은 검사대상 패널을 지지하여 시험하는 측정부를 갖추고, 상기 측정부의 프로브 유닛으로서, 상기 프로브 유닛을 사용한 것을 특징 으로 한다.

상기 구성에서, 상기 검사대상 패널에 선 결함 등의 이상이 발생했을 때는, 상기 압압기구로 상기 단락부재를 상기 각 단자에 접촉시켜, 검사신호를 모든 단자에 인가한다. 이에 의해, 상기 검사대상 패널의 이상이 패널에 기인한 것인지 프로브 유닛에 기인한 것인지를 용이하게 판별할 수 있어, 검사효율이 향상한다.

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛 및 검사장치에 관하여, 첨부도면을 참조하면서 설명한다.

본 실시형태에 따른 검사장치(1)는, 도2에 나타나 있듯이 주로, 패널셋트부(2)와, 측정부(3)로 구성되어 있다.

패널셋트부(2)는, 외부에서 삽입된 액정패널(5)을 측정부(3)로 반송(搬送)하고, 검사종료 후의 액정패널(5)을 외부로 반송하기 위한 장치이다. 패널셋트부(2)는, 개구부(6) 속에 패널 수도(受渡, handling)장치(7)를 갖고, 그 패널 수도장치(7)로 액정패널(5)을 외부에서 받아, 반송 암(arm)(8)으로 지지하여 측정부(3)로 반송한다. 또한, 패널 수도장치(7)는, 측정부(3)에서 검사종료 후의 액정패널(5)을 받아 외부로 반송한다.

측정부(3)는, 패널셋트부(2)로부터 건네받은 액정패널(5)을 지지하여 시험하 기 위한 장치이다. 측정부(3)는, 워크테이블(10)이나 프로브 유닛(11) 등을 갖추어 구성되어 있다.

워크테이블(10)은, 액정패널(5)을 지지하여 XYZθ방향의 조정을 하기 위한 장치이다. 워크테이블(10)은, 반송 암(8)에 의해 반송되어 온 액정패널(5)을 지지하고, 프로브 유닛(11)에 대해 정확히 위치를 맞춰 접촉시킨다. 액정패널(5)은, 도7에 나타나 있듯이, 영상이 표시되는 패널표시부(5A)와, 패널표시부(5A) 주위의 패널단자부(5B)와, 패널단자부(5B)에 설치되어 패널표시부(5A)에 신호를 보내는 단자(5C)로 구성되어 있다. 프로브 유닛(11)은, 단자(5C)에 대해 정확히 위치가 맞춰진다.

프로브 유닛(11)은, 액정패널(5)의 단자(5C)에 접촉해 검사신호를 인가하여, 액정패널(5)을 검사를 위해 점등시키기 위한 장치이다. 프로브 유닛(11)은, 도1, 도3~도7에 나타나 있듯이, 프로브 베이스(12)와, 프로브장치(13)와, 얼라인먼트 카메라(14)와, 단락장치(15)를 갖추어 구성되어 있다.

프로브 베이스(12)는, 프로브장치(13)나 얼라인먼트 카메라(14)를 일체로 지지하기 위한 판재이다. 상기 프로브 베이스(12)는, 장치 본체 쪽에 고정된 상태로, 프로브장치(13), 얼라인먼트 카메라(14) 등을, 워크테이블(10) 상의 액정패널(5)에 대향시킨 상태로 지지되어 있다.

프로브장치(13)는, 통상의 풀 콘택트(full contact) 점등검사를 하기 위한 장치이다. 상기 프로브장치(13)는, 도1 및 도4에 나타나 있듯이, 지지부(16)와, 프로브 조립체(17)로 구성되어 있다.

상기 지지부(16)는, 그 기단(基端, proximal end) 쪽이 상기 프로브 베이스(12)에 지지된 상태로, 그 선단(先端) 쪽에서 상기 프로브 조립체(17)를 지지하기 위한 부재이다. 상기 지지부(16)는, 상기 프로브 베이스(12)에 직접 설치되어 전체를 지지하는 서스펜션 블록(19)과, 상기 서스펜션 블록(19)의 선단부에 가이드 레일(20)을 통해 슬라이드 가능하게 지지된 슬라이드 블록(21)과, 상기 슬라이드 블록(21)의 아래쪽 면에 일체로 설치된 프로브 플레이트(22)를 갖추어 구성되어 있다. 슬라이드 블록(21)은, 서스펜션 블록(19)에 대해 조정나사(23)로 높이가 조정된다.

프로브 조립체(17)는, 액정패널(5)의 회로의 단자(5C)에 접촉해 검사신호를 인가하기 위한 부재이다. 프로브 조립체(17)는, 프로브 플레이트(22)의 아래쪽 면에 설치되어 있다. 상기 프로브 조립체(17)는, 프로브 블록(24)과, 프로브(25)를 갖추어 구성되어 있다. 프로브 블록(24)은 프로브 플레이트(22)의 아래쪽 면에 직접 설치되어 있다. 상기 프로브 블록(24)에 프로브(25)가 설치되어 있다. 프로브(25)는, 액정패널(5)의 회로의 단자(5C)에 접촉해 점등검사를 위한 검사신호를 인가하는 침재(針材)이다. 프로브(25)는, 프로브 블록(24)의 선단 쪽에 설치되어, 액정패널(5)의 단자(5C)에 직접 접촉한다. 프로브(25)는, 도1에 나타나 있듯이, TCP(27)와, 접속 FPC(28)와, 중계기판(29) 및 케이블(30)을 통해 신호발생기(31)에 접속되어 있다. 신호발생기(31)는, 검사신호를 발생시키기 위한 장치이다. 신호발생기(31)는, 개별로 검사신호를 작성하여, TCP(27) 등을 통해 각 프로브(25)에 송신한다.

얼라인먼트 카메라(14)는, 도3에 나타나 있듯이, 프로브장치(13)의 프로브 블록(24)의 각 프로브(25)와, 액정패널(5)의 단자(5C)와의 위치맞춤 시, 액정패널(5)의 표면에 설치된 얼라인먼트 마크를 촬영하기 위한 카메라이다. 얼라인먼트 카메라(14)는, 3개의 프로브장치(13)의 양쪽에 각각 설치되어 있다.

단락장치(15)는, 액정패널(5)에 선 결함 등의 이상이 발생했을 때 단락검사를 하기 위한 장치이다. 즉, 단락장치(15)는, 액정패널(5)의 각 단자(5C)에 프로브 블록(24)의 각 프로브(25)를 각각 접촉시켜 액정패널(5)의 점등검사를 할 때, 그 액정패널(5)에 이상이 발생 시, 액정패널(5)의 각 단자(5C)를 단락시키기 위한 장치이다. 단락장치(15)는, 도1, 도4~도7에 나타나 있듯이, 단락부재(33)와, 압압기구(34)로 구성되어 있다.

단락부재(33)는, 상기 액정패널(5)의 각 단자(5C)에 동시에 접촉시켜 모든 단자(5C)를 단락시키기 위한 부재이다. 단락부재(33)는, 압압기구(34)에 지지된 상태로, 상기 액정패널(5)의 각 단자(5C)에 대향해 설치되어 있다. 단락부재(33)는, 세로판부(33A)와, 상부 가로판부(33B)로 구성되어, 단면이 L자형으로 되어 있다. 단락부재(33)의 길이는, 프로브 블록(24)의 폭과 거의 같은 치수로 설정되어 있다. 단락부재(33)는 도전성 고무로 구성되어 있다. 이에 의해, 유연성 있고 얇은 도전성 고무제인 세로판부(33A)가, 각 단자(5C) 전체를 덮어 한번에 확실하게 접촉하여(도7의 상태), 모든 단자(5C)를 확실히 단락할 수 있게 되어 있다.

압압기구(34)는, 단락부재(33)를 지지하여, 액정패널(5)에 이상이 발생했을 때, 단락부재(33)의 세로판부(33A)를 상기 각 단자(5C)에 접촉시키기 위한 기구이 다. 압압기구(34)는, 기판부(35)와, 지지 암(arm)부(36)와, 슬라이드판부(37)와, 홀더부(38)와, 이동지지부(39)로 구성되어 있다.

기판부(35)는, 지지 암부(36) 등을 지지하기 위한 부재이다. 기판부(35)는, 지지부(16)의 서스펜션 블록(19)의 위쪽 면에 고정되어 있다. 기판부(35)에는 복수의 나사구멍(35A)이 설치되어 있다. 상기 기판부(35)의 나사구멍(35A)에 대응하는 서스펜션 블록(19)의 위쪽 면에도 나사구멍(19A)이 설치되어 있다. 이들 나사구멍(35A, 19A)에 나사(40)가 끼워져, 기판부(35)가 서스펜션 블록(19)의 위쪽 면에 고정되어 있다.

기판부(35)의 위쪽 면에는, 힌지(hinge)(41)와, 지지대부(42)가 설치되어 있다. 힌지(41)는, 압압기구(34)를 구성하는 지지 암부(36) 등을 상기 프로브 블록(24) 쪽의 서스펜션 블록(19)에 회전가능하게 지지하는 회전기구이다. 구체적으로, 힌지(41)는, 뒤에서 설명하는 지지 암부(36)의 수평판부(45)의 기단부를 서스펜션 블록(19)에 회전가능하게 지지하기 위한 부재이다. 지지대부(42)는, 지지 암부(36)의 수평판부(45)를 수평상태로 지지하기 위한 부재이다. 지지대부(42)의 위쪽 면은 평탄면 형태로 형성되고, 이 지지대부(42)의 위쪽 면이 지지 암부(36)의 수평판부(45)의 측면(도1 중 아래쪽 면)에 접하게 되어 있다. 그리고, 지지 암부(36)의 수평판부(45)의 기단부가 힌지(41)에 의해 지지된 상태로, 수평판부(45)의 중간부가 지지대부(42)에 접함으로써, 이들 힌지(41)와 지지대부(42)에 의해 지지 암부(36)의 수평판부(45)를 수평으로 지지하게 되어 있다. 지지대부(42)에는 나사구멍(42A)이 설치되어 있다. 그리고, 상기 나사구멍(42A)과, 뒤에서 설명하는 지 지 암부(36)의 수평판부(45)의 나사구멍(45A)에, 나사(43)가 끼워져, 지지 암부(36)가 기판부(35)에 고정되게 되어 있다.

지지 암부(36)는, 상기 프로브장치(13)의 지지부(16) 쪽에 지지되어, 슬라이드판부(37)를 상기 프로브(25)가 접촉하는 액정패널(5)의 복수의 단자(5C) 쪽에 대향시킨 상태로 슬라이드 가능하게 지지하기 위한 부재이다. 지지 암부(36)는, 슬라이드판부(37)를, 슬라이드 가능함과 동시에 설정위치에서 고정하여 지지하게 되어 있다. 지지 암부(36)는 주로, 수평판부(45)와, 수직판부(46)로 구성되어 있다. 수평판부(45)는, 슬라이드판부(37)를 액정패널(5)의 복수의 단자(5C) 쪽에 대향시켜 지지한 상태로, 수평으로 배설되는 부재이다. 수평판부(45)는, 그 기단부가 상기 기판부(35)의 힌지(41)에 회전가능하게 지지되고, 그 한쪽 면(도1 중 아래쪽 면)이 기판부(35)의 지지대부(42)에 접하여, 수평으로 지지되게 되어 있다. 수평판부(45) 중 상기 지지대부(42)의 나사구멍(42A)에 대향하는 위치에는, 그 지지대부(42)의 나사구멍(42A)과 동일한 나사구멍(45A)이 설치되어 있다.

수직판부(46)는, 슬라이드판부(37)를 슬라이드 가능하게 지지하기 위한 부재이다. 수직판부(46)는, 수평판부(45)와 일체로 설치되어 있다. 수직판부(46)는, 수평으로 지지된 수평판부(45)에서 수직방향으로 직하하여 형성되어 있다. 수직판부(46)에는, 수직방향(수평판부(45)가 수평으로 배설된 상태에서의 수직방향)으로 가이드 레일(57)이 설치되어 있다.

슬라이드판부(37)는, 단락부재(33)를 액정패널(5)의 단자(5C)에 대향시켜 지지한 상태로 슬라이드하여, 단락부재(33)를 단자(5C)에 적절히 탈착시키기 위한 부 재이다. 슬라이드판부(37)는, 평판형의 부재로 구성되고, 그 한쪽 면에 가이드(58)가 설치되어 있다. 상기 가이드(58)가 상기 수직판부(46)의 가이드 레일(57)에 슬라이드 가능하게 끼워짐으로써, 슬라이드판부(37)가 수직판부(46)에 상하방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다.

슬라이드판부(37)의 기단부(도1의 상단(上端)부)에는, 뒤에서 설명하는 푸셔(49)의 나사봉부(screw rod portion)(54)가 끼워지는 나사구멍(37A)이 설치되어 있다. 상기 나사구멍(37A)에 푸셔(49)의 나사봉부(54)가 끼워지고 이 푸셔(49)를 적절히 회전시킴으로써, 슬라이드판부(37)의 위치가 조정되게 되어 있다. 슬라이드판부(37)의 선단부(도1의 하단(下端)부)는, 플랜지 형태로 확대해 형성되어 있고, 홀더부(38)가 설치되어 있다.

홀더부(38)는, 단락부재(33)를 지지하기 위한 부재이다. 홀더부(38)의 기단부가 슬라이드판부(37)의 선단부에 지지되고, 홀더부(38)의 선단부가 단락부재(33)를 액정패널(5)의 단자(5C)에 대향시킨 상태로 지지하고 있다.

이동지지부(39)는, 슬라이드판부(37)를 설정위치(대기위치와 단락위치)에서 지지하기 위한 기구이다. 상기 이동지지부(39)는, 도5 및 도6에 나타나 있듯이, 수평판부(45)의 선단부에 설치되어 있다. 상기 이동지지부(39)는, 푸셔(49)와, 스토퍼(stopper)(50)로 구성되어 있다.

푸셔(49)는, 슬라이드판부(37) 등을 통해 단락부재(33)를 단자(5C)에 내리누르기 위한 부재이다. 수평판부(45)의 선단부에는, 이 수평판부(45)가 수평으로 지지된 상태로, 수직방향으로 관통한 푸셔 지지구멍(51)이 설치되어 있다. 푸셔(49) 는, 이 푸셔 지지구멍(51)에 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 푸셔(49)는, 상단(上端)에 두부(頭部)(49A), 하단(下端)에 플랜지부(49B)가 설치되어, 푸셔 지지구멍(51)에서 빠지지 않게 되어 있다. 더욱이, 푸셔(49)의 두부(49A) 쪽에는 스프링(52)이 설치되어 있다. 상기 스프링(52)은, 푸셔(49)를 위쪽(지지 암부(36)의 수평판부(45)가 수평이 된 상태에서의 위쪽)으로 힘을 가하고 있다. 더욱이, 스프링(52)은, 푸셔 지지구멍(51)에 지지된 푸셔(49)가 마음대로 회전하지 않도록 회전 정지기능도 갖추고 있다. 이는, 푸셔(49)를 회전시켜, 뒤에서 설명하는 나사봉부(54)로 슬라이드판부(37)의 높이를 미세하게 조정한 후, 푸셔(49)가 회전해 슬라이드판부(37)의 높이가 어긋나지 않게 하기 위함이다.

푸셔(49)의 중간부에는, 스토퍼(50)가 끼워지는 감합(嵌合) 홈(53)이 설치되어 있다. 상기 감합 홈(53)은, 푸셔(49)의 중간부에 고리형태로 형성되어 있다. 감합 홈(53)은, 스토퍼(50)가 이 감합 홈(53)에 끼워져 푸셔(49)가 위치결정되고 지지된 상태로, 슬라이드판부(37)의 홀더부(38)를 사이에 두고 지지된 단락부재(33)가, 액정패널(5)의 복수의 단자(5C)에 확실하게 접촉하는 위치(단락위치)에 설치되어 있다. 푸셔(49)의 하단부에는 나사봉부(54)가 설치되어, 슬라이드판부(37)에 끼워져 있다. 이에 의해, 푸셔(49)는, 스토퍼(50)가 감합 홈(53)에 끼워짐으로써 단락위치에 지지되어, 액정패널(5)의 단자(5C)가 프로브(25)에 접촉될 때, 슬라이드판부(37) 등을 통해 단락부재(33)를 단자(5C)에 내리누른다.

스토퍼(50)는, 푸셔(49)를, 대기위치와 단락위치로 전환하기 위한 부재이다. 상기 스토퍼(50)는, 수평판부(45)의 선단부에 설치되어 있다. 수평판부(45)의 선단 부에는, 수평방향(수평판부(45)가 수평이 된 상태에서의 수평방향)으로 스토퍼 지지구멍(55)이 설치되어 있다. 상기 스토퍼 지지구멍(55)은, 수평판부(45)의 선단부에서 푸셔 지지구멍(51)까지 관통해 설치되어 있다. 스토퍼 지지구멍(55)의 내벽에는 나사산이 형성되어, 스토퍼(50)가 끼워지게 되어 있다. 스토퍼(50)는, 감합 조부(爪部, claw portion)(50A)와, 나사부(50B)와, 손잡이부(50C)로 구성되어 있다. 감합 조부(50A)는, 푸셔(49)의 감합 홈(53)에 끼워져 푸셔(49)를 단락위치에서 지지하기 위한 부분이다. 나사부(50B)는, 스토퍼 지지구멍(55)에 끼우기 위한 부분이다. 손잡이부(50C)는, 스토퍼(50)를 회전시켜 스토퍼 지지구멍(55) 내에서 이동시켜, 감합 조부(50A)를 푸셔(49)의 감합 홈(53)에 대해 끼우고 빼기 위한 부분이다. 상기 손잡이부(50C)를 돌려, 감합 조부(50A)를 감합 홈(53)에서 빼냄으로써 푸셔(49)를 스프링(52)에 의해 대기위치로 이동시키고, 푸셔(49)를 눌러내려 감합 조부(50A)를 감합 홈(53)에 끼우게 함으로써 푸셔(49)를 단락위치에 지지하게 되어 있다.

이상과 같이 구성된 프로브 유닛(11)은 다음과 같이 작용한다. 또한, 검사장치 전체의 작용은 종래의 검사장치와 동일하기 때문에, 여기서는, 프로브 유닛(11)의 작용을 중심으로 설명한다.

워크테이블(10)에 지지된 액정패널(5)의 위치가 정확히 맞춰져, 액정패널(5)의 단자(5C)와, 프로브 블록(24)의 프로브(25)가 서로 접촉된다.

이어서, 신호발생기(31)에서 발생시킨 검사신호가 케이블(30) 등을 통해 프로브(25)에서 액정패널(5)의 단자(5C)로 인가되어 액정패널(5)의 점등검사가 행해 진다.

이때, 이상이 발생하면, 그 이상이 발생한 위치에 대응하는 프로브 유닛(11)의 단락장치(15)를 대기모드에서, 단락검사를 하는 단락모드로 전환한다.

통상적으로는, 대기모드로 되어 있다. 즉, 스토퍼(50)의 감합 조부(50A)가, 푸셔(49)의 감합 홈(53)에서 빠져, 슬라이드판부(37)가 스프링(52)에 의해 위쪽으로 밀려올라가 대기위치에 대기된 대기모드로 되어 있다. 이에 의해, 단락부재(33)가 단자(5C)에서 떨어진 위치에 지지되어 있다. 상기 대기모드에서 단락모드로 전환한다.

단락모드에서는, 푸셔(49)를 눌러내려, 푸셔(49)의 감합 홈(53)과, 스토퍼(50)의 감합 조부(50A)의 위치를 맞춰 스토퍼(50)를 끼워, 감합 조부(50A)를 감합 홈(53)에 끼우게 한다. 이에 의해, 단락부재(33)의 선단부(하단부)가, 프로브(25)의 선단과 같은 높이나, 프로브(25)의 선단보다 낮은 위치에 지지된다.

이 상태에서, 워크테이블(10)을 작동시켜, 액정패널(5)의 단자(5C)를 프로브(25)에 접촉시키면, 이와 동시에 프로브(25)가 접촉한 모든 단자(5C)에 단락부재(33)가 접촉하여, 이들 단자(5C)를 모두 단락시킨다.

이 상태에서, 신호발생기(31)에서 검사신호를 발생시키면, 이상이 프로브 유닛에 기인한 경우라도, 각 프로브(25)에 송신된 검사신호가, 단락부재(33)에 의해 단락한 상태에서 모든 단자(5C)에 인가된다. 즉, 각 단자(5C)에 검사신호가 확실히 인가된다.

상기 단락모드에서도, 액정패널(5)에 이상이 발생하는 경우는, 패널에 기인 한 이상임을 알 수 있다. 한편, 단락모드에서, 액정패널(5)에 이상이 발생하지 않는 경우는, 프로브 유닛에 기인한 이상임을 알 수 있다. 이에 의거해, 이후의 처리가 이루어진다.

프로브 유닛(11)에서는, 스토퍼(50)를 느슨하게 해 감합 조부(50A)를 감합 홈(53)에서 빼내, 슬라이드판부(37)를 대기위치로 되돌린다.

메인터넌스(maintenance) 시에는, 도4에 나타나 있듯이, 나사(43)를 빼고, 회전기구인 힌지(41)를 중심으로 단락장치(15)를 회전시킨다. 이 상태에서, 프로브 블록(24) 등의 메인터넌스를 한다. 단락장치(15) 자체의 메인터넌스도 한다.

이상과 같이, 프로브장치(13)에 단락장치(15)를 설치하여, 대기모드와 단락모드로 전환할 수 있게 했으므로, 점등검사공정에서 이상이 발생 시, 그 이상이 패널에 기인한 것인지 프로브 유닛에 기인한 것인지를, 용이하고 확실하게 판별할 수 있게 된다.

이에 의해, 점등검사공정과 다른 검사공정을 설치할 필요가 없어져, 검사작업의 효율화를 도모할 수 있다.

또한, 단락장치(15)가 회전기구인 힌지(41)를 중심으로 회전하기 때문에, 메인터넌스를 용이하게 할 수 있다.

단락부재(33)를, 액정패널(5)의 복수의 단자(5C) 전체를 덮어 한번에 접촉하는 도전성 고무로 구성했으므로, 모든 단자(5C)를 용이하고 확실하게 단락시킬 수 있다.

압압기구(34)를, 단락부재(33)를 액정패널(5)의 단자(5C)에 대향시켜 지지한 상태로 슬라이드하여 단락부재(33)를 단자(5C)에 탈착시키는 슬라이드판부(37)와, 상기 슬라이드판부(37)를 대기위치와 단락위치로 이동시켜 지지하는 이동지지부(39)를 갖추었으므로, 이상이 발생했을 때, 수동으로 용이하게 단락모드로 전환할 수 있어, 검사작업의 효율화를 도모할 수 있다.

이동지지부(39)를, 슬라이드판부(37)를 통해 단락부재(33)를 각 단자(5C)에 내리누르는 푸셔(49)와, 상기 푸셔(49)를 상기 슬라이드판부(37)의 대기위치와 단락위치에서 지지하는 스토퍼(50)를 갖추어 구성했으므로, 단락모드와 대기모드로 수동으로 용이하게 전환할 수 있다.

[제1 변형예]

상기 실시형태에서는, 이동지지부(39)를, 푸셔(49)와 스토퍼(50)로 이루어진 수동식 이동지지부로 구성했지만, 자동식 이동지지부로 해도 된다. 구체적으로는, 도8에 나타나 있는 것처럼 구성해도 된다.

도8은 구동 실린더를 1개만 설치한 예이다. 검사장치의 전체구성은 상기 실시형태와 동일하기 때문에, 여기서는 프로브 유닛의 단락장치를 중심으로 설명한다. 도8의 프로브 유닛에서, 단락장치(59)는, 지지 암부(60)와, 슬라이드판부(61)와, 구동 실린더(62)와, 제어부(63)를 갖추고 있다.

지지 암부(60)는, 프로브 베이스(12)에 회전가능하게 지지되어 있다. 상기 지지 암부(60)는, 넓은 판상으로 형성되어, 5개의 프로브 블록(24)을 커버할 수 있게 되어 있다. 지지 암부(60)는, 그 기단부가 힌지(65)에 의해 프로브 베이스(12) 에 회전가능하게 지지되어 있다. 힌지(65)의 단부(端部)에는 스토퍼(66)가 설치되어 있다. 상기 스토퍼(66)는, 핀 형태로 형성되어, 힌지(65)의 회전축에 고정된 직육면체 형태의 핀 받이(67)에 설치된다. 핀 받이(67)에는, 직교방향으로 2개의 핀구멍(68)이 설치되어 있다. 상기 핀 구멍(68)에 대응하는 프로브 베이스(12)에는, 핀 지지구멍(69)이 설치되어 있다. 스토퍼(66)는, 핀 받이(67)의 핀 구멍(68)을 통과해, 프로브 베이스(12)의 핀 지지구멍(69)에 끼워짐으로써 고정되어, 지지 암부(60)를 회전하지 않게 고정하고 있다. 그리고, 스토퍼(66)를 빼냄으로써, 지지 암부(60)를 회전하여, 메인터넌스 등을 할 수 있게 되어 있다.

지지 암부(60)는, 측면형상이 L자형으로 형성되어 있고, 그 세로판부(60A)가 각 프로브 블록(24)을 덮도록 배설되어 있다. 세로판부(60A)에는, 가이드 레일(71)이 세로방향으로 설치되어 있다.

슬라이드판부(61)는, 1장의 판재로 구성되고, 5개의 프로브 블록(24)에 각각 대응한 5개의 가지부(枝部)(61A)가 설치되어 있다. 슬라이드판부(61)의 뒷면에는 가이드(도시되어 있지 않음)가 설치되어 있고, 가이드 레일(71)에 끼워져, 슬라이드판부(61)를 상하로 슬라이드 가능하게 지지하고 있다.

각 가지부(61A)의 선단(하단)에, 상기 실시형태와 동일한 홀더부(38)가 설치되어 있고, 이 홀더부(38)에 단락부재(33)가 설치되어 있다. 이에 의해, 하나의 슬라이드판부(61)로 모든 단락부재(33)를 동시에 지지하고 있다.

구동 실린더(62)는, 슬라이드판부(61)를 상하방향으로 이동시키기 위한 구동장치이다. 구동 실린더(62)는, 전진 위치와 후퇴 위치의 두 위치에서 슬라이드판 부(61)를 지지하여, 단락위치와 대기위치로 이동시키게 되어 있다. 상기 구동 실린더(62)로 슬라이드판부(61)를 전진시켜 단락위치로 만든 상태에서, 워크테이블(10)로 액정패널(5)의 단자(5C)를 프로브(25)에 접촉시킴으로써, 단락부재(33)를 각 단자(5C)에 내리누를 수 있게 되어 있다.

제어부(63)는, 구동 실린더(62)를 제어하여 슬라이드판부(61)를 대기위치와 단락위치로 이동시키기 위한 장치이다. 제어부(63)는, 검사장치(1) 전체를 제어하는 제어부를 이용하거나, 구동 실린더(62)의 전용 제어부를 설치하거나 한다.

이상의 구성에 따라, 액정패널(5)에 이상이 발생하면, 제어부(63)가 구동 실린더(62)를 작동시켜 슬라이드판부(61)를 대기상태에서 단락상태로 이동시킨다. 이 상태에서, 워크테이블(10)로 액정패널(5)의 단자(5C)를 프로브(25)에 접촉시켜, 상기 실시형태와 마찬가지로 판단한다.

이에 의해, 상기 실시형태와 동일한 작용, 효과를 가져올 수 있음과 동시에, 액정패널(5)의 검사라인에서, 자동으로 이상의 원인을 판단할 수 있다. 그 결과, 검사작업의 효율화를 도모할 수 있다.

[제2 변형예]

상기 제1 변형예에서는, 구동 실린더(62)를 1개만 설치하여, 하나의 슬라이드판부(61)를 구동해 모든 단락부재(33)를 한번에 이동시키게 했으나, 각 프로브 블록(24)에 대응해 복수 설치해도 된다. 본 변형예의 프로브 유닛의 전체구성은, 상기 제1 변형예의 프로브 유닛과 거의 같기 때문에, 여기서는 단락장치를 중심으 로 설명한다.

본 변형예의 단락장치는, 구동 실린더를 각 프로브 블록(24)마다 설치한 것이다.

슬라이드판부(73)는, 각 프로브 블록(24)에 각각 대응해 5개 설치되어 있다. 지지 암부(60)의 세로판부(60A)에, 가이드 레일(71)을 통해 슬라이드 가능하게 지지되어 있다.

구동 실린더(74)는, 상기 각 슬라이드판부(73)에 각각 설치되어 각 슬라이드판부(73)를 개별로 구동하고 있다. 각 구동 실린더(74)는, 제어부(63)(도8 참조)에 각각 접속되어, 제어부(63)에 의해 개별로 제어되게 되어 있다. 그리고, 제어부(63)에 의해, 각 구동 실린더(74) 중 이상이 발생한 위치에 대응하는 구동 실린더(74)만이 구동되어, 단락검사가 행해진다.

이 경우도, 상기 실시형태 및 제1 변형예와 동일한 작용, 효과를 가져올 수 있다. 더욱이, 본 변형예에서는, 각 구동 실린더(74)로 각 단락부재(33)를 개별로 단자(5C)에 접촉시키기 때문에, 신속하게 검사작업을 할 수 있다.

[다른 변형예]

상기 실시형태에 따른 프로브 유닛(11)을 갖춘 검사장치(1)는, 앞서 설명한 검사장치(1)에 한정되지 않고, 프로브 유닛(11)을 갖출 수 있는 모든 검사장치에 대해 본원 발명을 적용할 수 있다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

도1은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛을 나타낸 일부 파단 측면도이다.

도2는 검사장치를 나타낸 사시도이다.

도3은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛을 나타낸 사시도이다.

도4는 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 단락장치를 회전시킨 상태를 나타낸 사시도이다.

도5는 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 단락장치를 일부 파단한 상태로 나타낸 요부 확대도이다.

도6은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 단락장치를 나타낸 분해 사시도이다.

도7은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛을 그 단락장치를 떼어낸 상태로 나타낸 평면도이다.

도8은 제1 변형예를 나타낸 사시도이다.

도9는 제2 변형예를 나타낸 사시도이다.

*도면의 주요 부호에 대한 설명*

1: 검사장치 2: 패널셋트부

3: 측정부 5: 액정패널

5A: 패널표시부 5B: 패널단자부

5C: 단자 6: 개구부

7: 패널 수도(受渡, handling)장치

8: 반송 암(搬送 arm) 10: 워크테이블

11: 프로브 유닛 12: 프로브 베이스

13: 프로브장치 14: 얼라인먼트 카메라

15: 단락(短絡)장치 16: 지지부

17: 프로브 조립체 18: 단락장치

19: 서스펜션 블록 20: 가이드 레일

21: 슬라이드 블록 22: 프로브 플레이트

23: 조정나사 24: 프로브 블록

25: 프로브 31: 신호발생기

33: 단락부재 34: 압압(押壓)기구

35: 기판부 36: 지지 암(arm)부

37: 슬라이드판부 38: 홀더부

39: 이동지지부 41: 힌지(hinge)

42: 지지대부 45: 수평판부

46: 수직판부 48: 위치조정부

49: 푸셔 50: 스토퍼(stopper)

51: 푸셔 지지구멍 53: 감합(嵌合) 홈

54: 나사봉부(screw rod portion)

55: 스토퍼 지지구멍 57: 가이드 레일

58: 가이드 59: 단락장치

60: 지지 암부 61: 슬라이드판부

62: 구동 실린더 63: 제어부

65: 힌지 66: 스토퍼

67: 핀 받이 68: 핀 구멍

69: 핀 지지구멍 71: 가이드 레일

73: 슬라이드판부 74: 구동 실린더

Claims

검사대상 패널에 설치된 복수의 단자에 복수의 프로브를 각각 접촉시켜 점등검사를 하는 프로브 블록; 및

상기 각 단자에 상기 각 프로브를 각각 접촉시켜 점등검사를 할 때 각 단자를 단락(短絡)시키는 단락장치;

를 갖추고,

상기 단락장치가, 상기 각 단자에 대향해 설치되어 상기 각 단자에 동시에 접촉해 모든 단자를 단락시키는 단락부재; 및

상기 프로브 블록 쪽에 지지된 상태로 상기 단락부재를 지지하여 상기 각 단자에 접촉시키는 압압(押壓)기구;

를 갖추어 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제1항에 있어서, 상기 단락부재가, 상기 검사대상 패널의 복수의 단자 전체를 덮어 한번에 접촉하는 도전성 고무로 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제1항에 있어서, 상기 압압기구가, 상기 단락부재를 상기 검사대상 패널의 단자에 대향시켜 지지한 상태로 슬라이드하여 상기 단락부재를 상기 단자에 탈착시 키는 슬라이드판부; 및

상기 슬라이드판부를 대기위치와 단락위치로 이동시켜 지지하는 이동지지부;

를 갖춘 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제3항에 있어서, 상기 이동지지부가, 상기 슬라이드판부를 통해 상기 단락부재를 상기 단자에 내리누르는 푸셔; 및

상기 푸셔를 상기 슬라이드판부의 대기위치와 단락위치에서 지지하는 스토퍼(stopper);

를 갖추어 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제3항에 있어서, 상기 이동지지부가, 상기 슬라이드판부를 통해 상기 단락부재를 상기 단자에 내리누르는 구동 실린더; 및

상기 구동 실린더를 제어하여 상기 슬라이드판부를 대기위치와 단락위치로 이동시키는 제어부;

를 갖추어 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제5항에 있어서, 상기 슬라이드판부가 1개만 설치됨과 동시에, 복수 배설된 상기 프로브 블록에 각각 대응한 가지부(枝部)를 갖고 모든 단락부재를 동시에 지지하며,

상기 구동 실린더가 1개만 설치되고, 상기 슬라이드판부를 구동해 모든 단락부재를 동시에 이동시키는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제5항에 있어서, 상기 슬라이드판부가, 복수 배설된 상기 프로브 블록에 각각 대응해 복수 설치되고,

상기 구동 실린더가, 상기 복수의 슬라이드판부에 각각 설치되어 각 슬라이드판부를 개별로 구동하고, 각 구동 실린더 중 이상이 발생한 위치에 대응하는 구동 실린더만을 구동시키는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제1항에 있어서, 상기 압압기구를 상기 프로브 블록 쪽에 회전가능하게 지지하는 회전기구를 더 갖춘 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
검사대상 패널의 검사에 사용하는 검사장치로서,

외부에서 삽입된 검사대상 패널을 검사종료 후에 외부로 반출하는 패널셋트부; 및

상기 패널셋트부로부터 건네받은 검사대상 패널을 지지하여 시험하는 측정부;

를 갖추고,

상기 측정부의 프로브 유닛으로서, 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 프로브 유닛을 사용한 것을 특징으로 하는 검사장치.