JP6890032B2

JP6890032B2 - 載置テーブル及び載置方法

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Inventors: 伸樹井出
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Priority date: 2017-04-07
Filing date: 2017-04-07
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Description

本発明は、メタルマスク等のワークを載置するための載置テーブル及び該載置テーブルにワークを載置する載置方法に関するものである。

従来、メタルマスク等のワークを載置するガラス板の平面度を調整する平面度調整機構を備えたガラス製測定テーブルが知られている（例えば、特許文献１参照）。このガラス製測定テーブルによれば、ガラス板に撓みがない状態でワークをガラス板上に載置して検査することができる。

特開平９−０３３２０７号公報

ところで、特許文献１等に記載のガラス製測定テーブル（載置テーブル）においては、検査の際にワークを直接ガラス板に載置するため、ガラス板が傷付き易いという問題があった。そこで、ガラス板の周囲にセラミック等から成る枠状の載置テーブルを備え、該載置テーブルに矩形状のワークを載置し、検査する検査装置が使用されている。

しかしながら、上述の検査装置を用いてメタルマスク等の矩形状のワークを精度よく検査するためには、ワークを変形させることなく載置テーブルに載置する必要がある。また、ワークの載置テーブルに対する位置ずれ及び姿勢ずれが生じないようにワークを載置テーブルに載置する必要がある。

本発明の目的は、ワークを精度よく所望の位置に載置することができる載置テーブル及び該載置テーブルにワークを載置する載置方法を提供することである。

本発明の載置テーブルは、矩形状のワークを載置する載置テーブルであって、前記ワークを載置する前記載置テーブルの表面の平面度を調整する平面度調整部を備え、前記平面度調整部は、前記載置テーブルを貫通する貫通孔に配置されるボルトと、前記ボルトに挿通され、前記載置テーブルの表面側であって前記貫通孔の入口に配置される第１球面座金と、前記ボルトに挿通され、前記載置テーブルの裏面側であって前記貫通孔の出口に配置される第２球面座金と、前記載置テーブルの裏面側に配置され、前記ボルトのねじ部を受け容れる調整ねじと、前記調整ねじを固定する固定ナットとを備える。

また、本発明の載置テーブルは、矩形状のワークを載置する載置テーブルであって、前記ワークを載置する前記載置テーブルの表面内における前記ワークの位置及び姿勢を調整する位置姿勢調整部を備え、前記位置姿勢調整部は、外部から搬送される前記ワークを受取り載置する載置面を有し、前記載置面を前記載置テーブルの表面に対して交差する方向に昇降するリフトピンと、前記載置面に載置された前記ワークの前記載置面内における移動を制御する制御部と、前記ワークを前記載置面内において移動させ、前記ワークの位置及び姿勢が調整された状態で前記ワークの隅を支持するクランプ部と、を備え、前記制御部は、前記リフトピンが昇降している間、前記ワークの移動を禁止し、前記クランプ部が前記ワークを支持している間、前記ワークの移動を許可することを特徴とする。

また、本発明の載置テーブルは、矩形状のワークを載置する載置テーブルであって、前記ワークを載置する前記載置テーブルの表面の平面度を調整する平面度調整部と、前記ワークを載置する前記載置テーブルの表面内における前記ワークの位置及び姿勢を調整する位置姿勢調整部と、を備え、前記平面度調整部は、前記載置テーブルを貫通する貫通孔に配置されるボルトと、前記ボルトに挿通され、前記載置テーブルの表面側であって前記貫通孔の入口に配置される第１球面座金と、前記ボルトに挿通され、前記載置テーブルの裏面側であって前記貫通孔の出口に配置される第２球面座金と、前記載置テーブルの裏面側に配置され、前記ボルトのねじ部を受け容れる調整ねじと、前記調整ねじを固定する固定ナットと、を備え、前記位置姿勢調整部は、外部から搬送される前記ワークを受取り載置する載置面を有し、前記載置面を前記載置テーブルの表面に対して交差する方向に昇降するリフトピンと、前記載置面に載置された前記ワークの前記載置面内における移動を制御する制御部と、前記ワークを前記載置面内において移動させ、前記ワークの位置及び姿勢が調整された状態で前記ワークの隅を支持するクランプ部と、を備え、前記制御部は、少なくとも前記リフトピンが昇降している間、前記ワークの移動を禁止し、前記位置姿勢調整部において前記ワークの位置及び姿勢を調整している間、前記ワークの移動を許可することを特徴とする。

また、本発明の載置テーブルは、前記載置テーブルを支持する複数の脚部を備え、前記平面度調整部は、前記脚部の近傍に配置されることを特徴とする。

また、本発明の載置テーブルは、前記クランプ部が前記ワークの四隅を支持することを特徴とする。

また、本発明の載置テーブルは、前記ワークがメタルマスクフレームにメタルマスクシートを取り付けたメタルマスクまたは前記メタルマスクフレームであることを特徴とする。

また、本発明の載置方法は、矩形状のワークを載置テーブルに載置する載置方法であって、前記載置テーブルの表面より上方まで上昇させたリフトピン上部に配置された載置面に前記ワークを載置する第１載置工程と、前記第１載置工程において前記載置面に載置された前記ワークの前記載置面内における移動を禁止する第１禁止工程と、前記リフトピンを前記載置テーブルの表面近傍であって前記載置テーブルの表面より上方まで下降させ、前記ワークの前記載置面内における移動を許可する許可工程と、前記載置テーブルの表面内における前記ワークの位置及び姿勢を調整する位置姿勢調整工程と、前記位置姿勢調整工程の後、前記ワークの前記載置面内における移動を禁止する第２禁止工程と、前記リフトピンを前記載置テーブルの表面より下方に下降させ、前記載置テーブルの表面に前記ワークを載置する第２載置工程と、を含み、前記位置姿勢調整工程は、前記ワークの隅に配置されたクランプ部において、前記ワークを前記載置面内において移動させ、前記ワークの位置及び姿勢が調整された状態で前記ワークの隅を支持することを特徴とする。

また、本発明の載置方法は、前記第１載置工程の前に、前記載置テーブルの表面の平面度を調整する平面度調整工程を更に含み、前記平面度調整工程は、前記載置テーブルを貫通する貫通孔に配置されるボルトと、前記ボルトに挿通され、前記載置テーブルの表面側であって前記貫通孔の入口に配置される第１球面座金と、前記ボルトに挿通され、前記載置テーブルの裏面側であって前記貫通孔の出口に配置される第２球面座金と、前記載置テーブルの裏面側に配置され、前記ボルトのねじ部を受け容れる調整ねじと、前記調整ねじを固定する固定ナットとにより構成される平面度調整部により前記平面度を調整することを特徴とする。

また、本発明の載置方法は、前記ワークがメタルマスクフレームにメタルマスクシートを取り付けたメタルマスクまたは前記メタルマスクフレームであることを特徴とする。

本発明によれば、ワークを精度よく所望の位置に載置することができる載置テーブル及び該載置テーブルにワークを載置する載置方法を提供することができる。

実施の形態に係る検査テーブルの概略構成を示す斜視図である。実施の形態に係る検査テーブルの概略構成を示す平面図である。実施の形態に係る検査テーブルの概略構成を示す正面図である。実施の形態に係る検査テーブルの概略構成を示す右側面図である。実施の形態に係る平面度調整機構の構成を示す中央縦断面図である。実施の形態に係るリフトピンが上昇している状態を示す図である。実施の形態に係るクランプの構成について説明するための拡大図である。実施の形態に係る検査テーブルのシステム構成を示すブロック図である。実施の形態に係る検査テーブルを用いたメタルマスク載置方法について説明するためのフローチャートである。

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係る載置テーブルについて説明する。載置テーブルは矩形状のワークを載置するものであって、この実施の形態においては、矩形状のワークとしてメタルマスクを、載置テーブルとして該メタルマスクを載置して検査する検査テーブルを例に挙げて説明する。メタルマスクは、メタルマスク製造装置により枠状のメタルマスクフレームを構成する対向する二辺に、複数の帯状のメタルマスクシートの両端部を順次貼り付けることにより製造され、有機ＥＬ素子の製造工程において有機発光層を真空蒸着する際に使用される。

図１は実施の形態に係る検査テーブルの概略構成を示す斜視図、図２は実施の形態に係る検査テーブルの概略構成を示す平面図、図３は実施の形態に係る検査テーブルの概略構成を示す正面図、図４は実施の形態に係る検査テーブルの概略構成を示す右側面図である。なお、以下の説明においては、図１に示すＸＹＺ直交座標系を設定し、この直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係等について説明する。ＸＹ平面は、検査テーブルを載置する水平面に平行な面に設定されており、Ｚ軸は、鉛直方向に設定されている。

検査テーブル２は、図１〜図４に示すように、ガラス板８、テーブル部１０、複数（この実施の形態では２４個）の脚部１２ａ〜１２ｗ及び図示しない脚部、基台１４、複数（この実施の形態では２４個）の平面度調整機構４ａ〜４ｘ、複数（この実施の形態では１０個）のリフトピン５ａ〜５ｊ、並びに複数（この実施の形態では４個）のクランプ６ａ〜６ｄを備えている。ガラス板８は中央部に配置されており、枠状のテーブル部１０はガラス板８の周囲に配置されている。テーブル部１０は、セラミック等から成り、検査対象物であるメタルマスクを載置する。脚部１２ａ〜１２ｗ及び図示しない脚部はテーブル部１０を支持しており、脚部１２ａ〜１２ｃはテーブル部１０の＋Ｙ方向側に、脚部１２ｄ〜１２ｈはテーブル部１０の−Ｙ方向側に、脚部１２ｉ〜１２ｐはテーブル部１０の＋Ｘ方向側に、脚部１２ｑ〜１２ｗ及び図示しない脚部はテーブル部１０の−Ｘ方向側に設けられている。

平面度調整機構４ａ〜４ｃそれぞれは、テーブル部１０の＋Ｙ方向側であって、脚部１２ａ〜１２ｃそれぞれの近傍に配置されている。同様に、平面度調整機構４ｄ〜４ｈそれぞれはテーブル部１０の−Ｙ方向側であって脚部１２ｄ〜１２ｈそれぞれの近傍に、平面度調整機構４ｉ〜４ｐそれぞれはテーブル部１０の＋Ｘ方向側であって脚部１２ｉ〜１２ｐそれぞれの近傍に、平面度調整機構４ｑ〜４ｘそれぞれはテーブル部１０の−Ｘ方向側であって脚部１２ｑ〜１２ｗ及び図示しない脚部それぞれの近傍に配置されている。平面度調整機構４ａ〜４ｘは、テーブル部１０の表面、即ちテーブル部１０の載置面１０ａの平面度を調整する。

図５は、平面度調整機構４ｈの構成を示す中央縦断面図である。平面度調整機構４ｈは、図５に示すように、ボルト１６、第１球面座金１８、第２球面座金２０、調整ねじ２２及び固定ナット２４を備えている。ボルト１６は、テーブル部１０の載置面１０ａに設けられている凹部２６、及び凹部２６からテーブル部１０をＺ方向に貫通する貫通孔２８に配置されている。第１球面座金１８は、ボルト１６に挿通され、テーブル部１０の載置面１０ａ側（＋Ｚ方向側）であって貫通孔２８の入口に配置されている。即ち、第１球面座金１８は、ボルト１６の頭部と凹部２６の底部との間に配置されている。第２球面座金２０は、ボルト１６に挿通され、テーブル部１０の裏面側（−Ｚ方向側）であって貫通孔２８の出口に配置されている。脚部１２ｈがテーブル部１０を支持する支持部には、Ｚ方向に貫通する貫通孔が設けられており、第２球面座金２０は、テーブル部１０の裏面と脚部１２ｈに設けられている貫通孔の入口（＋Ｚ方向側）との間に配置されている。

調整ねじ２２は、テーブル部１０の裏面側であって、脚部１２ｈに設けられている貫通孔に配置されている。調整ねじ２２の＋Ｚ方向側の端部には、ボルト１６の−Ｚ方向側のねじ部を受け容れる受容部２２ａが形成されている。調整ねじ２２を一方に回転させることによりボルト１６は締められ、テーブル部１０の載置面１０ａの平面度が変化する。また、調整ねじ２２を他方に回転させることによりボルト１６は緩められ、テーブル部１０の載置面１０ａの平面度が変化する。固定ナット２４は、調整ねじ２２を固定する。なお、第１球面座金１８及び第２球面座金２０は、ＸＹ平面におけるテーブル部１０の平面度調整機構４ｈ周りの傾きを吸収する。また、平面度調整機構４ａ〜４ｇ及び４ｉ〜４ｘの構成は、平面度調整機構４ｈの構成と同一のため、説明を省略する。

リフトピン５ａはテーブル部１０の＋Ｘ方向側であって平面度調整機構４ｉと４ｊとの間に、リフトピン５ｂはテーブル部１０の＋Ｘ方向側であって平面度調整機構４ｊと４ｋとの間に、リフトピン５ｃはテーブル部１０の＋Ｘ方向側であって平面度調整機構４ｌと４ｍとの間に、リフトピン５ｄはテーブル部１０の＋Ｘ方向側であって平面度調整機構４ｎと４ｏとの間に、リフトピン５ｅはテーブル部１０の＋Ｘ方向側であって平面度調整機構４ｏと４ｐとの間に設けられている。また、リフトピン５ｆはテーブル部１０の−Ｘ方向側であって平面度調整機構４ｑと４ｒとの間に、リフトピン５ｇはテーブル部１０の−Ｘ方向側であって平面度調整機構４ｒと４ｓとの間に、リフトピン５ｈはテーブル部１０の−Ｘ方向側であって平面度調整機構４ｔと４ｕとの間に、リフトピン５ｉはテーブル部１０の−Ｘ方向側であって平面度調整機構４ｖと４ｗとの間に、リフトピン５ｊはテーブル部１０の−Ｘ方向側であって平面度調整機構４ｗと４ｘとの間に設けられている。

リフトピン５ａ〜５ｊは、テーブル部１０の下方（−Ｚ方向）であって基台１４の上側（＋Ｚ方向側）近傍である待機位置（図１〜図４参照）から、リフトピン５ａ〜５ｊそれぞれに対して設けられているテーブル部１０の切欠き部を介して、テーブル部１０の上方（＋Ｚ方向）のワーク受取り位置（図６参照）までの間を移動可能に構成されている。即ち、リフトピン５ａ〜５ｊは、Ｚ方向に昇降する。また、リフトピン５ａ〜５ｊは、ワーク受取り位置において、外部から検査テーブル２へと搬送されてきたメタルマスクを受取り載置する載置面を有している。リフトピン５ａ〜５ｊは、ワーク受取り位置において外部からテーブル部１０に搬送されるメタルマスクを受取り、−Ｚ方向に移動してメタルマスクをテーブル部１０の載置面１０ａ上に載置する。また、リフトピン５ａは、載置されたメタルマスクの載置面（ＸＹ平面）内における移動を制御するセンタリングユニット（図示せず）を備えている。同様に、リフトピン５ｂ〜５ｊそれぞれは、載置されたメタルマスクの載置面（ＸＹ平面）内における移動を制御するセンタリングユニット（図示せず）を備えている。

クランプ６ａ〜６ｄは、テーブル部１０の四隅にそれぞれ配置されており、リフトピン５ａ〜５ｊの載置面に載置されているメタルマスクを載置面内において移動させる。図７は、図２に示す円Ａで囲んだ部材の拡大図である。図７に示すように、クランプ６ａは、テーブル部１０に固定されているＬ字型の固定部材３０、固定部材３０に対して±Ｘ方向に移動可能なＸ方向可動部材３２、固定部材に対して±Ｙ方向に移動可能なＹ方向可動部材３４を備えている。Ｘ方向可動部材３２の先端部３２ａ及びＹ方向可動部材３４の先端部３４ａは回転可能なボールからなり、Ｘ方向可動部材３２が−Ｘ方向へ、Ｙ方向可動部材３４が−Ｙ方向へ移動することにより先端部３２ａ及び３４ａがメタルマスクの角に触れる。先端部３２ａ及び３４ａがメタルマスクの角に触れることにより、メタルマスクはリフトピン５ａ〜５ｊの載置面（ＸＹ平面）内において移動し、メタルマスクの位置及び姿勢が調整される。また、クランプ６ａのＸ方向可動部材３２及びＹ方向可動部材３４は、メタルマスクの位置及び姿勢が調整された状態でメタルマスクの隅を支持する。

なお、クランプ６ｂの構成は、テーブル部１０の短手方向（Ｘ方向）の中心線を線対称として、図７に示すクランプ６ａの構成と同一である。また、クランプ６ｃの構成は、テーブル部１０の長手方向（Ｙ方向）の中心線を線対称として、図７に示すクランプ６ａの構成と同一である。また、クランプ６ｄの構成は、テーブル部１０の中心を点対称として、図７に示すクランプ６ａの構成と同一である。クランプ６ａ〜６ｄそれぞれがメタルマスクの隅を支持することによりメタルマスクの四隅が支持される。なお、リフトピン５ａ〜５ｊ及びクランプ６ａ〜６ｄは、テーブル部１０の載置面１０ａ内におけるメタルマスクの位置及び姿勢を調整する位置姿勢調整装置を構成する。

図８は、検査テーブル２のシステム構成を示すブロック図である。検査テーブル２は、図８に示すように、検査テーブル２の各部、特にリフトピン５ａ〜５ｊ及びクランプ６ａ〜６ｄの各部を統括的に制御する制御部３６を備えている。制御部３６には、リフトピン５ａのリフトピン駆動部３８が接続されている。制御部３６はリフトピン駆動部３８の駆動を制御し、リフトピン駆動部３８はリフトピン５ａを駆動する。即ち、制御部３６は、リフトピン駆動部３８を介して、リフトピン５ａを±Ｚ方向に移動させる。

また、制御部３６には、リフトピン５ａのロック部４０が接続されている。ロック部４０は、制御部３６による制御に従い、リフトピン５ａのセンタリングユニットのロック及びロック解除を制御する。即ち、制御部３６は、少なくともリフトピン５ａ〜５ｊが昇降している間、ロック部４０を介して、リフトピン５ａのセンタリングユニットをロックすることにより、リフトピン５ａの載置面内におけるメタルマスクの移動を禁止する。また、制御部３６は、上述した位置姿勢調整装置においてメタルマスクの位置及び姿勢を調整している間、ロック部４０を介して、リフトピン５ａのセンタリングユニットのロックを解除することにより、リフトピン５ａの載置面内におけるメタルマスクの移動を許可する。

なお、リフトピン５ｂ〜５ｊもリフトピン駆動部（図示せず）及びロック部（図示せず）をそれぞれ備えており、リフトピン５ｂ〜５ｊのリフトピン駆動部及びロック部は、制御部３６にそれぞれ接続されている。また、リフトピン５ｂ〜５ｊのリフトピン駆動部及びロック部の構成は、リフトピン駆動部３８及びロック部４０の構成と同一である。

また、制御部３６には、クランプ６ａのＸ側クランプ駆動部４２及びＹ側クランプ駆動部４４が接続されている。制御部３６はＸ側クランプ駆動部４２の駆動を制御し、Ｘ側クランプ駆動部４２はＸ方向可動部材３２の駆動を制御する。即ち、制御部３６は、Ｘ側クランプ駆動部４２を介して、Ｘ方向可動部材３２を±Ｘ方向に移動させる。また、制御部はＹ側クランプ駆動部４４の駆動を制御し、Ｙ側クランプ駆動部４４はＹ方向可動部材３４の駆動を制御する。即ち、制御部３６は、Ｙ側クランプ駆動部４４を介して、Ｙ方向可動部材３４を±Ｙ方向に移動させる。

なお、クランプ６ｂ〜６ｄもＸ側クランプ駆動部（図示せず）及びＹ側クランプ駆動部（図示せず）をそれぞれ備えており、クランプ６ｂ〜６ｄのＸ側クランプ駆動部及びＹ側クランプ駆動部は、制御部３６にそれぞれ接続されている。また、クランプ６ｂ〜６ｄのＸ側クランプ駆動部及びＹ側クランプ駆動部の構成は、Ｘ側クランプ駆動部４２及びＹ側クランプ駆動部４４の構成と同一である。

また、制御部３６には、記憶部４６及び入力部４８が接続されている。記憶部４６には種々のメタルマスクの大きさに関する情報が記憶されており、制御部３６は、入力部４８を介して入力された検査対象であるメタルマスクに関する情報を取得し、取得した情報に基づいて記憶部４６に記憶されている検査対象であるメタルマスクの大きさに関する情報を読み込む。制御部３６は、読み込んだ情報に基づいて、クランプ６ａのＸ側クランプ駆動部４２及びＹ側クランプ駆動部４４、並びにクランプ６ｂ〜６ｄのＸ側クランプ駆動部及びＹ側クランプ駆動部の駆動を制御する。

次に、図面を参照して、この実施の形態に係る検査テーブル２において、メタルマスクを検査テーブル２（テーブル部１０）に載置するメタルマスク載置方法について説明する。図９は、検査テーブル２においてメタルマスクをテーブル部１０に載置する際の処理について説明するためのフローチャートである。

まず、制御部３６は、テーブル部１０の載置面１０ａの平面度を調整する（ステップＳ１）。具体的には、制御部３６は、図示しない平面度計測装置により計測された載置面１０ａの平面度計測結果を取得し、取得結果を図示しない出力部に対して出力するよう指示する。ユーザは、出力部に出力された平面度計測結果を参照し、平面度調整機構４ａ〜４ｘを用いて平面度を調整する。具体的には、調整ねじ２２または他の調整ねじを時計回りまたは反時計回りに回転させることによりボルト１６を諦緩させ、テーブル部１０の平面度を調整する。テーブル部１０の平面度の計測及び調整を繰り返すことにより、テーブル部１０の平面度をあげていく。

次に、制御部３６は、ステップＳ１においてテーブル部１０の平面度が調整された後、リフトピン５ａ〜５ｊを待機位置（図１参照）から図６に示す位置、即ちテーブル部１０の載置面１０ａよりも上方まで上昇させる（ステップＳ２）。具体的には、制御部３６は、リフトピン駆動部３８及びその他のリフトピン駆動部の駆動を制御することにより、リフトピン５ａ〜５ｊを＋Ｚ方向に所定距離上昇させる。

次に、制御部３６は、外部から検査テーブル２に搬送されてきたメタルマスクがリフトピン５ａ〜５ｊ上部に配置された載置面に載置されたことを確認すると（ステップＳ３）、リフトピン５ａ〜５ｊのセンタリングユニットをロックし、リフトピン５ａ〜５ｊの載置面内におけるメタルマスクの移動を禁止する（ステップＳ４）。具体的には、制御部３６は、検査対象であるメタルマスクがリフトピン５ａ〜５ｊの載置面に載置されたことを、例えば入力部を介して入力された確認信号または図示しない検知センサ等から送信される確認信号を受信することにより確認する。そして、制御部３６は、ロック部４０及びその他のロック部に対してリフトピン５ａ〜５ｊのセンタリングユニットをロックするよう指示し、ロック部４０及びその他のロック部のそれぞれは、リフトピン５ａ〜５ｊそれぞれのセンタリングユニットをロックする。リフトピン５ａ〜５ｊのセンタリングユニットがロックされることにより、メタルマスクは、リフトピン５ａ〜５ｊの載置面内において固定される。

次に、制御部３６は、リフトピン５ａ〜５ｊを図６に示す位置からテーブル部１０の載置面１０ａ近傍であって載置面１０ａより上方、即ち載置面１０ａより微小量上方まで下降させる（ステップＳ５）。具体的には、制御部３６は、リフトピン駆動部３８及びその他のリフトピン駆動部の駆動を制御することにより、リフトピン５ａ〜５ｊを−Ｚ方向に所定距離下降させる。

次に、制御部３６は、リフトピン５ａ〜５ｊのセンタリングユニットのロックを解除し、リフトピン５ａ〜５ｊの載置面内におけるメタルマスクの移動を許可する（ステップＳ６）。具体的には、制御部３６は、ロック部４０及びその他のロック部に対してリフトピン５ａ〜５ｊのセンタリングユニットのロックを解除するよう指示し、ロック部４０及びその他のロック部のそれぞれは、リフトピン５ａ〜５ｊそれぞれのセンタリングユニットのロックを解除する。リフトピン５ａ〜５ｊのセンタリングユニットのロックが解除されることにより、メタルマスクは、リフトピン５ａ〜５ｊの載置面内において移動可能となる。

次に、制御部３６は、テーブル部１０の載置面１０ａにおけるメタルマスクの位置及び姿勢を調整する（ステップＳ７）。具体的には、制御部３６は、入力部４８を介して入力されたメタルマスクに関する情報を取得し、取得した情報に基づいて記憶部４６に記憶されているメタルマスクの大きさに関する情報を読み込む。そして、制御部３６は、読み込んだ情報に基づいて、クランプ６ａのＸ側クランプ駆動部４２及びＹ側クランプ駆動部４４、並びにクランプ６ｂ〜６ｄのＸ側クランプ駆動部及びＹ側クランプ駆動部の駆動を制御する。Ｘ側クランプ駆動部４２及びその他のＸ側クランプ駆動部のそれぞれは、クランプ６ａのＸ方向可動部材３２及びクランプ６ｂ〜６ｄのＸ方向可動部材それぞれをＸ方向に所定距離移動させる。同様に、Ｙ側クランプ駆動部４４及びその他のＹ側クランプ駆動部のそれぞれは、クランプ６ａのＹ方向可動部材３４及びクランプ６ｂ〜６ｄのＹ方向可動部材それぞれをＹ方向に所定距離移動させる。Ｘ方向可動部材３２、その他のＸ方向可動部材、Ｙ方向可動部材３４及びその他のＹ方向可動部材が移動することにより、メタルマスクはＸＹ平面内において移動する。そして、載置面１０ａに対するメタルマスクの位置及び姿勢が調整された状態で、メタルマスクの四隅はクランプ６ａ〜６ｄにより支持される。

次に、制御部３６は、ステップＳ７においてメタルマスクの位置及び姿勢の調整を終えた後、リフトピン５ａ〜５ｊのセンタリングユニットをロックし、リフトピン５ａ〜５ｊの載置面内におけるメタルマスクの移動を禁止する（ステップＳ８）。即ち、制御部３６は、ロック部４０及びその他のロック部に対してリフトピン５ａ〜５ｊのセンタリングユニットをロックするよう指示し、ロック部４０及びその他のロック部のそれぞれは、リフトピン５ａ〜５ｊそれぞれのセンタリングユニットをロックする。そして、制御部３６は、リフトピン駆動部３８及びその他のリフトピン駆動部の駆動を制御することによりリフトピン５ａ〜５ｊをテーブル部１０の載置面１０ａより下方に下降させ（ステップＳ９）、メタルマスクをテーブル部１０の載置面１０ａに載置する。メタルマスクがテーブル部１０の載置面１０ａに載置された後、リフトピン５ａ〜５ｊは、待機位置まで下降する。

この実施の形態に係る検査テーブル２によれば、平面度調整機構４ａ〜４ｘを備えているため、テーブル部１０の載置面１０ａの平面度を高精度に維持することができ、メタルマスクを変形させることなくテーブル部１０の載置面１０ａに載置することができる。また、リフトピン５ａ〜５ｊ及びクランプ６ａ〜６ｄにより構成される位置姿勢調整装置を備えているため、テーブル部１０に対するメタルマスクの位置及び姿勢を調整することができ、メタルマスクをテーブル１０の載置面１０ａの所望の位置に載置することができる。

また、この実施の形態に係るメタルマスクの載置方法によれば、平面度調整機構４ａ〜４ｘを用いてテーブル部１０の載置面１０ａの平面度を調整するため、載置面１０ａの平面度を高精度に維持することができ、メタルマスクを変形させることなくテーブル部１０の載置面１０ａに載置することができる。また、リフトピン５ａ〜５ｊ及びクランプ６ａ〜６ｄにより構成される位置姿勢調整装置を用いてテーブル部１０に対するメタルマスクの位置及び姿勢を調整するため、メタルマスクをテーブル部１０の載置面１０ａの所望の位置に載置することができる。

また、上述の実施の形態においては、平面度調整装置及び位置姿勢調整装置の両方を備えているが、平面度調整装置のみまたは位置姿勢調整装置のみを備える構成であってもよい。

また、上述の実施の形態においては、メタルマスクを載置する場合を例に挙げて説明したが、メタルマスク以外の矩形状のワーク（例えばメタルマスクフレーム等）を載置する場合にも本発明を適用することができる。また、上述の実施の形態においては、検査装置に設けられている検査テーブルを例に挙げて説明したが、検査装置以外の装置（例えばメタルマスク製造装置等）に設けられている載置テーブルにも本発明を適用することができる。

また、上述の実施の形態においては、２４個の平面度調整機構を備えているが、検査テーブル（載置テーブル）の平面度を良好に調整可能であればよく、平面度調整機構の数は限定されない。また、平面度調整機構は図１〜図４に示す位置に配置されているが、検査テーブル（載置テーブル）の平面度を良好に調整可能であれば他の位置に配置されてもよい。また、上述の実施の形態においては、１０個のリフトピンを備えているが、メタルマスク（ワーク）を良好に支持可能であればよく、リフトピンの数は限定されない。また、上述の実施の形態においては、メタルマスクの四隅それぞれを支持する４つのクランプを備えているが、メタルマスクの隅を良好に支持可能であればよく、クランプの数は限定されない。

２…検査テーブル、４ａ〜４ｘ…平面度調整機構、６ａ〜６ｄ…クランプ、８…ガラス板、１０…テーブル部、１２ａ〜１２ｗ…脚部、１４…基台、１６…ボルト、１８…第１球面座金、２０…第２球面座金、２２…調整ねじ、２４…固定ナット、２６…凹部、２８…貫通孔、３０…固定部材、３２…Ｘ方向可動部材、３４…Ｙ方向可動部材、３６…制御部、３８…リフトピン駆動部、４０…ロック部、４２…Ｘ側クランプ駆動部、４４…Ｙ側クランプ駆動部、４６…記憶部、４８…入力部。

Claims

矩形状のワークを載置する載置テーブルであって、
前記ワークを載置する前記載置テーブルの表面の平面度を調整する平面度調整部を備え、
前記平面度調整部は、
前記載置テーブルを貫通する貫通孔に配置されるボルトと、
前記ボルトに挿通され、前記載置テーブルの表面側であって前記貫通孔の入口に配置される第１球面座金と、
前記ボルトに挿通され、前記載置テーブルの裏面側であって前記貫通孔の出口に配置される第２球面座金と、
前記載置テーブルの裏面側に配置され、前記ボルトのねじ部を受け容れる調整ねじと、
前記調整ねじを固定する固定ナットと、
を備えることを特徴とする載置テーブル。
矩形状のワークを載置する載置テーブルであって、
前記ワークを載置する前記載置テーブルの表面の平面度を調整する平面度調整部と、
前記ワークを載置する前記載置テーブルの表面内における前記ワークの位置及び姿勢を調整する位置姿勢調整部と、を備え、
前記平面度調整部は、
前記載置テーブルを貫通する貫通孔に配置されるボルトと、
前記ボルトに挿通され、前記載置テーブルの表面側であって前記貫通孔の入口に配置される第１球面座金と、
前記ボルトに挿通され、前記載置テーブルの裏面側であって前記貫通孔の出口に配置される第２球面座金と、
前記載置テーブルの裏面側に配置され、前記ボルトのねじ部を受け容れる調整ねじと、
前記調整ねじを固定する固定ナットと、を備え、
前記位置姿勢調整部は、
外部から搬送される前記ワークを受取り載置する載置面を有し、前記載置面を前記載置テーブルの表面に対して交差する方向に昇降するリフトピンと、
前記載置面に載置された前記ワークの前記載置面内における移動を制御する制御部と、
前記ワークを前記載置面内において移動させ、前記ワークの位置及び姿勢が調整された状態で前記ワークの隅を支持するクランプ部と、を備え、
前記制御部は、前記リフトピンが昇降している間、前記ワークの移動を禁止し、前記クランプ部が前記ワークを支持している間、前記ワークの移動を許可することを特徴とする載置テーブル。
前記載置テーブルを支持する複数の脚部を備え、
前記平面度調整部は、前記脚部の近傍に配置されることを特徴とする請求項１または請求項２記載の載置テーブル。
前記クランプ部は、前記ワークの四隅を支持することを特徴とする請求項２記載の載置テーブル。
前記ワークは、メタルマスクフレームにメタルマスクシートを取り付けたメタルマスクまたは前記メタルマスクフレームであることを特徴とする請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の載置テーブル。
矩形状のワークを載置テーブルに載置する載置方法であって、
前記載置テーブルを貫通する貫通孔に配置されるボルトと、前記ボルトに挿通され、前記載置テーブルの表面側であって前記貫通孔の入口に配置される第１球面座金と、前記ボルトに挿通され、前記載置テーブルの裏面側であって前記貫通孔の出口に配置される第２球面座金と、前記載置テーブルの裏面側に配置され、前記ボルトのねじ部を受け容れる調整ねじと、前記調整ねじを固定する固定ナットとにより構成される平面度調整部を用いて、前記載置テーブルの表面の平面度を調整する平面度調整工程と、
前記載置テーブルの表面より上方まで上昇させたリフトピン上部に配置された載置面に前記ワークを載置する第１載置工程と、
前記第１載置工程において前記載置面に載置された前記ワークの前記載置面内における移動を禁止する第１禁止工程と、
前記リフトピンを前記載置テーブルの表面近傍であって前記載置テーブルの表面より上方まで下降させ、前記ワークの前記載置面内における移動を許可する許可工程と、
前記載置テーブルの表面内における前記ワークの位置及び姿勢を調整する位置姿勢調整工程と、
前記位置姿勢調整工程の後、前記ワークの前記載置面内における移動を禁止する第２禁止工程と、
前記リフトピンを前記載置テーブルの表面より下方に下降させ、前記載置テーブルの表面に前記ワークを載置する第２載置工程と、を含み、
前記位置姿勢調整工程は、前記ワークの隅に配置されたクランプ部において、前記ワークを前記載置面内において移動させ、前記ワークの位置及び姿勢が調整された状態で前記ワークの隅を支持することを特徴とする載置方法。
前記ワークは、メタルマスクフレームにメタルマスクシートを取り付けたメタルマスクまたは前記メタルマスクフレームであることを特徴とする請求項６記載の載置方法。