TWI667182B - Mounting table and mounting method - Google Patents

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井出伸樹
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Abstract

本發明提供一種可將工件高精度地載置於所需位置的載置台。本發明的載置台2載置矩形狀的工件，且具備對載置所述工件的所述載置台的表面10a的平面度進行調整的平面度調整部4a～平面度調整部4x，所述平面度調整部具備：螺栓16，配置於貫通所述載置台的貫通孔28中；第一球面墊圈18，供所述螺栓穿插，配置於所述載置台的表面側且所述貫通孔的入口；第二球面墊圈20，供所述螺栓穿插，配置於所述載置台的背面側且所述貫通孔的出口；調整螺紋22，配置於所述載置台的背面側，接納所述螺栓的螺紋部；以及固定螺母24，將所述調整螺紋固定。

Description

載置台以及載置方法
本發明是有關於一種用以載置金屬掩模（metal mask）等工件（work）的載置台以及於該載置台上載置工件的載置方法。
先前，具有對載置金屬掩模等工件的玻璃板的平面度進行調整的平面度調整機構（平面度調整部）的玻璃製測定台已為人所知（例如參照專利文獻1）。根據該玻璃製測定台，可於玻璃板不撓曲的狀態下將工件載置於玻璃板上進行檢查。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開平9-033207號公報
[發明所欲解決之課題] 且說，專利文獻1等中記載的玻璃製測定台（載置台）因於檢查時將工件直接載置於玻璃板上，故有玻璃板容易損傷等問題。因此使用如下檢查裝置，該檢查裝置於玻璃板的周圍具備由陶瓷等所構成的框狀的載置台，於該載置台上載置矩形狀的工件並進行檢查。
然而，為了使用所述檢查裝置高精度地檢查金屬掩模等矩形狀的工件，必須使工件不變形而將其載置於載置台上。另外，必須以工件相對於載置台不產生位置偏移及姿勢偏移的方式將工件載置於載置台上。
本發明的目的在於提供一種可將工件高精度地載置於所需位置的載置台以及於該載置台上載置工件的載置方法。 [解決課題之手段]
本發明的載置台載置矩形狀的工件，且所述載置台的特徵在於：具備對載置所述工件的所述載置台的表面的平面度進行調整的平面度調整部，所述平面度調整部具備：螺栓，配置於貫通所述載置台的貫通孔中；第一球面墊圈，供所述螺栓穿插，配置於所述載置台的表面側且所述貫通孔的入口；第二球面墊圈，供所述螺栓穿插，配置於所述載置台的背面側且所述貫通孔的出口；調整螺紋，配置於所述載置台的背面側，接納所述螺栓的螺紋部；以及固定螺母，將所述調整螺紋固定。
另外，本發明的載置台載置矩形狀的工件，且所述載置台的特徵在於：具備對載置所述工件的所述載置台的表面內的所述工件的位置及姿勢進行調整的位置姿勢調整部，所述位置姿勢調整部具備：提昇銷，具有承接載置自外部搬送的所述工件的載置面，使所述載置面於相對於所述載置台的表面交叉的方向上升降；控制部，控制載置於所述載置面上的所述工件於所述載置面內的移動；以及夾具部，使所述工件於所述載置面內移動，於所述工件的位置及姿勢經調整的狀態下支持所述工件的角落；並且所述控制部於所述提昇銷升降的期間中禁止所述工件移動，於所述夾具部支持所述工件的期間中允許所述工件移動。
另外，本發明的載置台載置矩形狀的工件，且所述載置台的特徵在於具備：平面度調整部，對載置所述工件的所述載置台的表面的平面度進行調整；以及位置姿勢調整部，對載置所述工件的所述載置台的表面內的所述工件的位置及姿勢進行調整；所述平面度調整部具備：螺栓，配置於貫通所述載置台的貫通孔中；第一球面墊圈，供所述螺栓穿插，配置於所述載置台的表面側且所述貫通孔的入口；第二球面墊圈，供所述螺栓穿插，配置於所述載置台的背面側且所述貫通孔的出口；調整螺紋，配置於所述載置台的背面側，接納所述螺栓的螺紋部；以及固定螺母，將所述調整螺紋固定；所述位置姿勢調整部具備：提昇銷，具有承接載置自外部搬送的所述工件的載置面，使所述載置面於相對於所述載置台的表面交叉的方向上升降；控制部，控制載置於所述載置面上的所述工件於所述載置面內的移動；以及夾具部，使所述工件於所述載置面內移動，於所述工件的位置及姿勢經調整的狀態下支持所述工件的角落；並且所述控制部至少於所述提昇銷升降的期間中禁止所述工件的移動，於在所述位置姿勢調整部中調整所述工件的位置及姿勢的期間中允許所述工件移動。
另外，本發明的載置台的特徵在於：具備支持所述載置台的多個腳部，所述平面度調整部是配置於所述腳部的附近。
另外，本發明的載置台的特徵在於：所述夾具部支持所述工件的四角。
另外，本發明的載置台的特徵在於：所述工件為於金屬掩模框架上安裝有金屬掩模片的金屬掩模或所述金屬掩模框架。
另外，本發明的載置方法將矩形狀的工件載置於載置台上，且所述載置方法的特徵在於包括：第一載置步驟，在配置於經上升至較所述載置台的表面更靠上方的提昇銷上部的載置面上載置所述工件；第一禁止步驟，禁止所述第一載置步驟中載置於所述載置面上的所述工件於所述載置面內移動；允許步驟，使所述提昇銷下降至所述載置台的表面附近且較所述載置台的表面更靠上方，允許所述工件於所述載置面內移動；位置姿勢調整步驟，對所述載置台的表面內的所述工件的位置及姿勢進行調整；第二禁止步驟，於所述位置姿勢調整步驟之後，禁止所述工件於所述載置面內移動；以及第二載置步驟，使所述提昇銷下降至較所述載置台的表面更靠下方，將所述工件載置於所述載置台的表面上；並且所述位置姿勢調整步驟在配置於所述工件的角落的夾具部中，使所述工件於所述載置面內移動，於所述工件的位置及姿勢經調整的狀態下支持所述工件的角落。
另外，本發明的載置方法的特徵在於：於所述第一載置步驟之前，更包括對所述載置台的表面的平面度進行調整的平面度調整步驟，所述平面度調整步驟藉由平面度調整部而調整所述平面度，所述平面度調整部是由以下構件所構成：螺栓，配置於貫通所述載置台的貫通孔中；第一球面墊圈，供所述螺栓穿插，配置於所述載置台的表面側且所述貫通孔的入口；第二球面墊圈，供所述螺栓穿插，配置於所述載置台的背面側且所述貫通孔的出口；調整螺紋，配置於所述載置台的背面側，接納所述螺栓的螺紋部；以及固定螺母，將所述調整螺紋固定。
另外，本發明的載置方法的特徵在於：所述工件為於金屬掩模框架上安裝有金屬掩模片的金屬掩模或所述金屬掩模框架。 [發明的效果]
根據本發明，可提供一種可將工件高精度地載置於所需位置的載置台以及於該載置台上載置工件的載置方法。
以下，參照圖式對本發明的實施形態的載置台進行說明。載置台載置矩形狀的工件，且於本實施形態中，作為矩形狀的工件而列舉金屬掩模為例，作為載置台而列舉載置該金屬掩模並進行檢查的檢查台為例進行說明。金屬掩模是藉由利用金屬掩模製造裝置於構成框狀的金屬掩模框架的相向兩邊上依序貼附多個帶狀的金屬掩模片的兩端部而製造，且於有機電致發光（Electroluminescence，EL）元件的製造步驟中真空蒸鍍有機發光層時使用。
圖1為表示實施形態的檢查台的概略構成的立體圖，圖2為表示實施形態的檢查台的概略構成的平面圖，圖3為表示實施形態的檢查台的概略構成的正面圖，圖4為表示實施形態的檢查台的概略構成的右側面圖。再者，於以下的說明中，設定圖1所示的XYZ正交座標系，一面參照該正交座標系一面對各構件的位置關係等進行說明。XY平面是設定為與載置檢查台的水平面平行的面，Z軸是設定在鉛垂方向上。
如圖1～圖4所示，檢查台2具備玻璃板8、台部10、多個（本實施形態中為24個）腳部12a～腳部12w及未圖示的腳部、基台14、多個（本實施形態中為24個）平面度調整機構（平面度調整部）4a～平面度調整機構（平面度調整部）4x、多個（本實施形態中為10個）提昇銷5a～提昇銷5j以及多個（本實施形態中為4個）夾具6a～夾具6d。玻璃板8是配置於中央部，框狀的台部10是配置於玻璃板8的周圍。台部10是由陶瓷等所構成，載置作為檢查對象物的金屬掩模。腳部12a～腳部12w及未圖示的腳部支持台部10，腳部12a～腳部12c是設於台部10的+Y方向側，腳部12d～腳部12h是設於台部10的-Y方向側，腳部12i～腳部12p是設於台部10的+X方向側，腳部12q～腳部12w及未圖示的腳部是設於台部10的-X方向側。
平面度調整機構（平面度調整部）4a～平面度調整機構（平面度調整部）4c是分別配置於台部10的+Y方向側且腳部12a～腳部12c各自的附近。同樣地，平面度調整機構（平面度調整部）4d～平面度調整機構（平面度調整部）4h是分別配置於台部10的-Y方向側且腳部12d～腳部12h各自的附近，平面度調整機構（平面度調整部）4i～平面度調整機構（平面度調整部）4p是分別配置於台部10的+X方向側且腳部12i～腳部12p各自的附近，平面度調整機構（平面度調整部）4q～平面度調整機構（平面度調整部）4x是分別配置於台部10的-X方向側且腳部12q～腳部12w及未圖示的腳部各自的附近。平面度調整機構（平面度調整部）4a～平面度調整機構（平面度調整部）4x調整台部10的表面、即台部10的載置面10a的平面度。
圖5為表示平面度調整機構（平面度調整部）4h的構成的中央縱剖面圖。如圖5所示，平面度調整機構（平面度調整部）4h具備螺栓16、第一球面墊圈18、第二球面墊圈20、調整螺紋22以及固定螺母24。螺栓16是配置於設於台部10的載置面10a上的凹部26、及自凹部26於Z方向上貫通台部10的貫通孔28中。第一球面墊圈18供螺栓16穿插，配置於台部10的載置面10a側（+Z方向側）且貫通孔28的入口。即，第一球面墊圈18是配置於螺栓16的頭部與凹部26的底部之間。第二球面墊圈20供螺栓16穿插，配置於台部10的背面側（-Z方向側）且貫通孔28的出口。於腳部12h支持台部10的支持部中設有於Z方向上貫通的貫通孔，第二球面墊圈20是配置於台部10的背面與設於腳部12h中的貫通孔的入口（+Z方向側）之間。
調整螺紋22是配置於台部10的背面側且設於腳部12h中的貫通孔中。於調整螺紋22的+Z方向側的端部，形成有接納螺栓16的-Z方向側的螺紋部的接納部22a。藉由使調整螺紋22向一側旋轉而使螺栓16緊固，台部10的載置面10a的平面度變化。另外，藉由使調整螺紋22向另一側旋轉而使螺栓16鬆弛，台部10的載置面10a的平面度變化。固定螺母24將調整螺紋22固定。再者，第一球面墊圈18及第二球面墊圈20吸收XY平面中的台部10的平面度調整機構（平面度調整部）4h周圍的傾斜。另外，平面度調整機構（平面度調整部）4a～平面度調整機構（平面度調整部）4g及平面度調整機構（平面度調整部）4i～平面度調整機構（平面度調整部）4x的構成與平面度調整機構（平面度調整部）4h的構成相同，因此省略說明。
提昇銷5a是設於台部10的+X方向側且平面度調整機構（平面度調整部）4i與平面度調整機構（平面度調整部）4j之間，提昇銷5b是設於台部10的+X方向側且平面度調整機構（平面度調整部）4j與平面度調整機構（平面度調整部）4k之間，提昇銷5c是設於台部10的+X方向側且平面度調整機構（平面度調整部）4l與平面度調整機構（平面度調整部）4m之間，提昇銷5d是設於台部10的+X方向側且平面度調整機構（平面度調整部）4n與平面度調整機構（平面度調整部）4o之間，提昇銷5e是設於台部10的+X方向側且平面度調整機構（平面度調整部）4o與平面度調整機構（平面度調整部）4p之間。另外，提昇銷5f是設於台部10的-X方向側且平面度調整機構（平面度調整部）4q與平面度調整機構（平面度調整部）4r之間，提昇銷5g是設於台部10的-X方向側且平面度調整機構（平面度調整部）4r與平面度調整機構（平面度調整部）4s之間，提昇銷5h是設於台部10的-X方向側且平面度調整機構（平面度調整部）4t與平面度調整機構（平面度調整部）4u之間，提昇銷5i是設於台部10的-X方向側且平面度調整機構（平面度調整部）4v與平面度調整機構（平面度調整部）4w之間，提昇銷5j是設於台部10的-X方向側且平面度調整機構（平面度調整部）4w與平面度調整機構（平面度調整部）4x之間。
提昇銷5a～提昇銷5j是以可自台部10的下方（-Z方向）且基台14的上側（+Z方向側）附近的待機位置（參照圖1～圖4），經由相對於提昇銷5a～提昇銷5j各自而設置的台部10的缺口部，移動至台部10的上方（+Z方向）的工件承接位置（參照圖6）的方式構成。即，提昇銷5a～提昇銷5j於Z方向上升降。另外，提昇銷5a～提昇銷5j具有載置面，該載置面於工件承接位置承接載置自外部搬送至檢查台2的金屬掩模。提昇銷5a～提昇銷5j於工件承接位置承接自外部搬送至台部10的金屬掩模，向-Z方向移動而將金屬掩模載置於台部10的載置面10a上。另外，提昇銷5a具備控制所載置的金屬掩模於載置面（XY平面）內的移動的定心單元（centering unit）（未圖示）。同樣地，提昇銷5b～提昇銷5j分別具備控制所載置的金屬掩模於載置面（XY平面）內的移動的定心單元（未圖示）。
夾具6a～夾具6d是分別配置於台部10的四角，使載置於提昇銷5a～提昇銷5j的載置面上的金屬掩模於載置面內移動。圖7為由圖2所示的圓A包圍的構件的放大圖。如圖7所示，夾具6a具備固定於台部10上的L字型的固定構件30、相對於固定構件30可於±X方向上移動的X方向可動構件32、及相對於固定構件可於±Y方向上移動的Y方向可動構件34。X方向可動構件32的前端部32a及Y方向可動構件34的前端部34a是由可旋轉的球構成，藉由X方向可動構件32向-X方向移動，Y方向可動構件34向-Y方向移動，前端部32a及前端部34a接觸金屬掩模的角。藉由前端部32a及前端部34a接觸金屬掩模的角，金屬掩模於提昇銷5a～提昇銷5j的載置面（XY平面）內移動，調整金屬掩模的位置及姿勢。另外，夾具6a的X方向可動構件32及Y方向可動構件34於金屬掩模的位置及姿勢經調整的狀態下支持金屬掩模的角落。
再者，夾具6b的構成以台部10的短邊方向（X方向）的中心線作為對稱線而與圖7所示的夾具6a的構成相同。另外，夾具6c的構成以台部10的長邊方向（Y方向）的中心線作為對稱線而與圖7所示的夾具6a的構成相同。另外，夾具6d的構成以台部10的中心作為對稱點而與圖7所示的夾具6a的構成相同。夾具6a～夾具6d各自支持金屬掩模的角落，藉此支持金屬掩模的四角。再者，提昇銷5a～提昇銷5j及夾具6a～夾具6d構成對台部10的載置面10a內的金屬掩模的位置及姿勢進行調整的位置姿勢調整裝置（位置姿勢調整部）。
圖8為表示檢查台2的系統構成的區塊圖。如圖8所示，檢查台2具備一統地控制檢查台2的各部、特別是提昇銷5a～提昇銷5j及夾具6a～夾具6d各部的控制部36。控制部36上連接有提昇銷5a的提昇銷驅動部38。控制部36控制提昇銷驅動部38的驅動，提昇銷驅動部38驅動提昇銷5a。即，控制部36經由提昇銷驅動部38而使提昇銷5a於±Z方向上移動。
另外，控制部36上連接有提昇銷5a的鎖定部40。鎖定部40按照控制部36的控制而控制提昇銷5a的定心單元的鎖定及鎖定解除。即，控制部36至少於提昇銷5a～提昇銷5j升降的期間中經由鎖定部40而鎖定提昇銷5a的定心單元，藉此禁止金屬掩模於提昇銷5a的載置面內移動。另外，控制部36於在所述位置姿勢調整裝置（位置姿勢調整部）中調整金屬掩模的位置及姿勢的期間中，經由鎖定部40而解除提昇銷5a的定心單元的鎖定，藉此允許金屬掩模於提昇銷5a的載置面內移動。
再者，提昇銷5b～提昇銷5j亦分別具備提昇銷驅動部（未圖示）及鎖定部（未圖示），提昇銷5b～提昇銷5j的提昇銷驅動部及鎖定部分別連接於控制部36。另外，提昇銷5b～提昇銷5j的提昇銷驅動部及鎖定部的構成與提昇銷驅動部38及鎖定部40的構成相同。
另外，於控制部36上連接有夾具6a的X側夾具驅動部42及Y側夾具驅動部44。控制部36控制X側夾具驅動部42的驅動，X側夾具驅動部42控制X方向可動構件32的驅動。即，控制部36經由X側夾具驅動部42使X方向可動構件32於±X方向上移動。另外，控制部控制Y側夾具驅動部44的驅動，Y側夾具驅動部44控制Y方向可動構件34的驅動。即，控制部36經由Y側夾具驅動部44使Y方向可動構件34於±Y方向上移動。
再者，夾具6b～夾具6d亦分別具備X側夾具驅動部（未圖示）及Y側夾具驅動部（未圖示），夾具6b～夾具6d的X側夾具驅動部及Y側夾具驅動部分別連接於控制部36。另外，夾具6b～夾具6d的X側夾具驅動部及Y側夾具驅動部的構成與X側夾具驅動部42及Y側夾具驅動部44的構成相同。
另外，於控制部36上連接有記憶部46及輸入部48。於記憶部46中記憶有與各種金屬掩模的大小相關的資訊，控制部36取得經由輸入部48所輸入的與作為檢查對象的金屬掩模相關的資訊，並根據所取得的資訊而讀入記憶部46中記憶的與作為檢查對象的金屬掩模的大小相關的資訊。控制部36根據所讀入的資訊，控制夾具6a的X側夾具驅動部42及Y側夾具驅動部44、以及夾具6b～夾具6d的X側夾具驅動部及Y側夾具驅動部的驅動。
繼而，參照圖式，對在本實施形態的檢查台2中將金屬掩模載置於檢查台2（台部10）上的金屬掩模載置方法進行說明。圖9為用於對在檢查台2中將金屬掩模載置於台部10上時的處理進行說明的流程圖。
首先，控制部36調整台部10的載置面10a的平面度（步驟S1）。具體而言，控制部36指示取得藉由未圖示的平面度測量裝置所測量的載置面10a的平面度測量結果，並將取得結果輸出至未圖示的輸出部。用戶參照輸出部中輸出的平面度測量結果，使用平面度調整機構（平面度調整部）4a～平面度調整機構（平面度調整部）4x調整平面度。具體而言，藉由使調整螺紋22或其他調整螺紋順時針或逆時針旋轉而使螺栓16緊固或鬆弛，調整台部10的平面度。藉由反覆進行台部10的平面度的測量及調整而逐漸改善台部10的平面度。
然後，控制部36於步驟S1中台部10的平面度經調整後，使提昇銷5a～提昇銷5j自待機位置（參照圖1）上升至圖6所示的位置、即較台部10的載置面10a更靠上方（步驟S2）。具體而言，控制部36控制提昇銷驅動部38及其他提昇銷驅動部的驅動，藉此使提昇銷5a～提昇銷5j向+Z方向上升既定距離。
繼而，控制部36若確認已將自外部搬送至檢查台2的金屬掩模載置於配置在提昇銷5a～提昇銷5j上部的載置面上（步驟S3），則鎖定提昇銷5a～提昇銷5j的定心單元，禁止金屬掩模於提昇銷5a～提昇銷5j的載置面內移動（步驟S4）。具體而言，控制部36例如藉由接收經由輸入部所輸入的確認信號或自未圖示的偵測感測器等所發送的確認信號，而確認已將作為檢查對象的金屬掩模載置於提昇銷5a～提昇銷5j的載置面上。然後，控制部36對鎖定部40及其他鎖定部指示鎖定提昇銷5a～提昇銷5j的定心單元，鎖定部40及其他鎖定部各自鎖定提昇銷5a～提昇銷5j各自的定心單元。藉由鎖定提昇銷5a～提昇銷5j的定心單元，而將金屬掩模於提昇銷5a～提昇銷5j的載置面內固定。
然後，控制部36使提昇銷5a～提昇銷5j自圖6所示的位置下降至台部10的載置面10a附近且較載置面10a更靠上方、即微小量地較載置面10a更靠上方（步驟S5）。具體而言，控制部36控制提昇銷驅動部38及其他提昇銷驅動部的驅動，藉此使提昇銷5a～提昇銷5j向-Z方向下降既定距離。
繼而，控制部36解除提昇銷5a～提昇銷5j的定心單元的鎖定，允許金屬掩模於提昇銷5a～提昇銷5j的載置面內移動（步驟S6）。具體而言，控制部36對鎖定部40及其他鎖定部指示解除提昇銷5a～提昇銷5j的定心單元的鎖定，鎖定部40及其他鎖定部各自解除提昇銷5a～提昇銷5j各自的定心單元的鎖定。藉由解除提昇銷5a～提昇銷5j的定心單元的鎖定，金屬掩模可於提昇銷5a～提昇銷5j的載置面內移動。
然後，控制部36調整台部10的載置面10a上的金屬掩模的位置及姿勢（步驟S7）。具體而言，控制部36取得經由輸入部48所輸入的與金屬掩模有關的資訊，並根據所取得的資訊而讀入記憶部46中記憶的與金屬掩模的大小有關的資訊。然後，控制部36根據所讀入的資訊，控制夾具6a的X側夾具驅動部42及Y側夾具驅動部44、以及夾具6b～夾具6d的X側夾具驅動部及Y側夾具驅動部的驅動。X側夾具驅動部42及其他X側夾具驅動部各自使夾具6a的X方向可動構件32及夾具6b～夾具6d的X方向可動構件各自於X方向上移動既定距離。同樣地，Y側夾具驅動部44及其他Y側夾具驅動部各自使夾具6a的Y方向可動構件34及夾具6b～夾具6d的Y方向可動構件各自於Y方向上移動既定距離。藉由X方向可動構件32、其他X方向可動構件、Y方向可動構件34及其他Y方向可動構件移動，金屬掩模於XY平面內移動。繼而，於金屬掩模相對於載置面10a的位置及姿勢經調整的狀態下，金屬掩模的四角經夾具6a～夾具6d支持。
然後，控制部36於步驟S7中結束金屬掩模的位置及姿勢的調整之後，鎖定提昇銷5a～提昇銷5j的定心單元，禁止金屬掩模於提昇銷5a～提昇銷5j的載置面內移動（步驟S8）。即，控制部36對鎖定部40及其他鎖定部指示鎖定提昇銷5a～提昇銷5j的定心單元，鎖定部40及其他鎖定部各自鎖定提昇銷5a～提昇銷5j各自的定心單元。然後，控制部36控制提昇銷驅動部38及其他提昇銷驅動部的驅動，藉此使提昇銷5a～提昇銷5j下降至較台部10的載置面10a更靠下方（步驟S9），將金屬掩模載置於台部10的載置面10a上。於將金屬掩模載置於台部10的載置面10a上後，提昇銷5a～提昇銷5j下降至待機位置。
根據本實施形態的檢查台2，因具備平面度調整機構（平面度調整部）4a～平面度調整機構（平面度調整部）4x，故可高精度地維持台部10的載置面10a的平面度，可使金屬掩模不變形而將其載置於台部10的載置面10a上。另外，因具備由提昇銷5a～提昇銷5j及夾具6a～夾具6d構成的位置姿勢調整裝置（位置姿勢調整部），故可調整金屬掩模相對於台部10的位置及姿勢，可將金屬掩模載置於台部10的載置面10a的所需位置。
另外，根據本實施形態的金屬掩模的載置方法，因使用平面度調整機構（平面度調整部）4a～平面度調整機構（平面度調整部）4x調整台部10的載置面10a的平面度，故可高精度地維持載置面10a的平面度，可使金屬掩模不變形而將其載置於台部10的載置面10a上。另外，因使用由提昇銷5a～提昇銷5j及夾具6a～夾具6d構成的位置姿勢調整裝置（位置姿勢調整部）來調整金屬掩模相對於台部10的位置及姿勢，故可將金屬掩模載置於台部10的載置面10a的所需位置。
另外，所述實施形態中具備平面度調整裝置（平面度調整部）及位置姿勢調整裝置（位置姿勢調整部）兩者，亦可為具備僅平面度調整裝置（平面度調整部）或僅位置姿勢調整裝置（位置姿勢調整部的構成。
另外，所述實施形態中，列舉載置金屬掩模的情形為例進行說明，但於載置金屬掩模以外的矩形狀的工件（例如金屬掩模框架等）的情形時亦可應用本發明。另外，所述實施形態中，列舉設於檢查裝置中的檢查台為例進行說明，但對於設於檢查裝置以外的裝置（例如金屬掩模製造裝置等）中的載置台亦可應用本發明。
另外，所述實施形態中具備24個平面度調整機構（平面度調整部），但只要可良好地調整檢查台（載置台）的平面度即可，平面度調整機構（平面度調整部）的個數並無限定。另外，平面度調整機構（平面度調整部）是配置於圖1～圖4所示的位置，但只要可良好地調整檢查台（載置台）的平面度，則亦可配置於其他位置。另外，所述實施形態中具備10個提昇銷，但只要可良好地支持金屬掩模（工件）即可，提昇銷的個數並無限定。另外，所述實施形態中具備分別支持金屬掩模的四角的4個夾具，但只要可良好地支持金屬掩模的角落即可，夾具的個數並無限定。
2‧‧‧檢查台
4a～4x‧‧‧平面度調整機構（平面度調整部）
5a～5j‧‧‧提昇銷
6a～6d‧‧‧夾具
8‧‧‧玻璃板
10‧‧‧台部
10a‧‧‧載置面
12a～12w‧‧‧腳部
14‧‧‧基台
16‧‧‧螺栓
18‧‧‧第一球面墊圈
20‧‧‧第二球面墊圈
22‧‧‧調整螺紋
22a‧‧‧接納部
24‧‧‧固定螺母
26‧‧‧凹部
28‧‧‧貫通孔
30‧‧‧固定構件
32‧‧‧X方向可動構件
32a、34a‧‧‧前端部
34‧‧‧Y方向可動構件
36‧‧‧控制部
38‧‧‧提昇銷驅動部
40‧‧‧鎖定部
42‧‧‧X側夾具驅動部
44‧‧‧Y側夾具驅動部
46‧‧‧記憶部
48‧‧‧輸入部
S1～S9‧‧‧步驟
A‧‧‧圓
圖1為表示實施形態的檢查台的概略構成的立體圖。 圖2為表示實施形態的檢查台的概略構成的平面圖。 圖3為表示實施形態的檢查台的概略構成的正面圖。 圖4為表示實施形態的檢查台的概略構成的右側面圖。 圖5為表示實施形態的平面度調整機構（平面度調整部）的構成的中央縱剖面圖。 圖6為表示實施形態的提昇銷上升的狀態的圖。 圖7為用以對實施形態的夾具的構成進行說明的放大圖。 圖8為表示實施形態的檢查台的系統構成的區塊圖。 圖9為用以對使用實施形態的檢查台的金屬掩模載置方法進行說明的流程圖。

Claims (9)

  1. 一種載置台，載置矩形狀的工件，且所述載置台的特徵在於：具備對載置所述工件的所述載置台的表面的平面度進行調整的平面度調整部，以及支持所述載置台的多個腳部，所述平面度調整部具備：螺栓，配置於貫通所述載置台的貫通孔中；第一球面墊圈，供所述螺栓穿插，配置於所述載置台的表面側且所述貫通孔的入口；第二球面墊圈，供所述螺栓穿插，配置於所述載置台的背面側且所述貫通孔的出口；調整螺紋，配置於所述載置台的背面側，接納所述螺栓的螺紋部；以及固定螺母，將所述調整螺紋固定，並且所述平面度調整部是配置於所述腳部的附近。
  2. 一種載置台，載置矩形狀的工件，且所述載置台的特徵在於：具備對載置所述工件的所述載置台的表面內的所述工件的位置及姿勢進行調整的位置姿勢調整部，所述位置姿勢調整部具備：提昇銷，具有承接載置自外部搬送的所述工件的載置面，使所述載置面於相對於所述載置台的表面交叉的方向上升降；控制部，控制載置於所述載置面上的所述工件於所述載置面內的移動；以及夾具部，使所述工件於所述載置面內移動，於所述工件的位置及姿勢經調整的狀態下支持所述工件的角落；並且所述控制部至少於所述提昇銷升降的期間中禁止所述工件移動，於在所述位置姿勢調整部中調整所述工件的位置及姿勢的期間中允許所述工件移動。
  3. 一種載置台，載置矩形狀的工件，且所述載置台的特徵在於具備：平面度調整部，對載置所述工件的所述載置台的表面的平面度進行調整；以及位置姿勢調整部，對載置所述工件的所述載置台的表面內的所述工件的位置及姿勢進行調整；所述平面度調整部具備：螺栓，配置於貫通所述載置台的貫通孔中；第一球面墊圈，供所述螺栓穿插，配置於所述載置台的表面側且所述貫通孔的入口；第二球面墊圈，供所述螺栓穿插，配置於所述載置台的背面側且所述貫通孔的出口；調整螺紋，配置於所述載置台的背面側，接納所述螺栓的螺紋部；以及固定螺母，將所述調整螺紋固定；所述位置姿勢調整部具備：提昇銷，具有承接載置自外部搬送的所述工件的載置面，使所述載置面於相對於所述載置台的表面交叉的方向上升降；控制部，控制載置於所述載置面上的所述工件於所述載置面內的移動；以及夾具部，使所述工件於所述載置面內移動，於所述工件的位置及姿勢經調整的狀態下支持所述工件的角落；並且所述控制部於所述提昇銷升降的期間中禁止所述工件移動，於所述夾具部支持所述工件的期間中允許所述工件移動。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的載置台，具備支持所述載置台的多個腳部，所述平面度調整部是配置於所述腳部的附近。
  5. 如申請專利範圍第2項或第3項所述的載置台，其中所述夾具部支持所述工件的四角。
  6. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的載置台，其中所述工件為於金屬掩模框架上安裝有金屬掩模片的金屬掩模或所述金屬掩模框架。
  7. 一種載置方法，將矩形狀的工件載置於載置台上，且所述載置方法的特徵在於包括：第一載置步驟，在配置於經上升至較所述載置台的表面更靠上方的提昇銷上部的載置面上載置所述工件；第一禁止步驟，禁止所述第一載置步驟中載置於所述載置面上的所述工件於所述載置面內移動；允許步驟，使所述提昇銷下降至所述載置台的表面附近且較所述載置台的表面更靠上方，允許所述工件於所述載置面內移動；位置姿勢調整步驟，對所述載置台的表面內的所述工件的位置及姿勢進行調整；第二禁止步驟，於所述位置姿勢調整步驟之後，禁止所述工件於所述載置面內移動；以及第二載置步驟，使所述提昇銷下降至較所述載置台的表面更靠下方，將所述工件載置於所述載置台的表面上；並且所述位置姿勢調整步驟在配置於所述工件的角落的夾具部中使所述工件於所述載置面內移動，於所述工件的位置及姿勢經調整的狀態下支持所述工件的角落。
  8. 如申請專利範圍第7項所述的載置方法，其中於所述第一載置步驟之前，更包括對所述載置台的表面的平面度進行調整的平面度調整步驟，所述平面度調整步驟藉由平面度調整部而調整所述平面度，所述平面度調整部是由以下構件所構成：螺栓，配置於貫通所述載置台的貫通孔中；第一球面墊圈，供所述螺栓穿插，配置於所述載置台的表面側且所述貫通孔的入口；第二球面墊圈，供所述螺栓穿插，配置於所述載置台的背面側且所述貫通孔的出口；調整螺紋，配置於所述載置台的背面側，接納所述螺栓的螺紋部；以及固定螺母，將所述調整螺紋固定。
  9. 如申請專利範圍第7項或第8項所述的載置方法，其中所述工件為於金屬掩模框架上安裝有金屬掩模片的金屬掩模或所述金屬掩模框架。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2967585A (en) * 1957-12-06 1961-01-10 Charles L Bybee Adjustable scaffold support
US4565263A (en) * 1985-06-10 1986-01-21 Southworth Ted J Sawhorse with extendible and contractible leg assemblies
TW276293B (en) * 1994-05-04 1996-05-21 Jochen Corts Bearing support especially for the application in the ship body
US5865269A (en) * 1996-08-20 1999-02-02 Joe D. Hill Adjustable height and levelable work support
TW476358U (en) * 2001-07-06 2002-02-11 Nan Yih Tien Ind Co Ltd Level adjusting structure for floor supporting frame
TW201008723A (en) * 2008-08-26 2010-03-01 Nihon Micronics Kk Table height adjusting mechanism and height adjusting table using the same

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62242812A (ja) * 1986-04-15 1987-10-23 Daihatsu Motor Co Ltd 自動計測装置
JP3278551B2 (ja) 1995-07-20 2002-04-30 株式会社ソキア ガラス製測定テーブル
JPH09186225A (ja) * 1995-12-29 1997-07-15 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板保持装置
US5822877A (en) * 1996-06-20 1998-10-20 Brown & Sharpe Manufacturing Company Multi-probe system for dimensional metrology
JPH10141350A (ja) * 1996-11-14 1998-05-26 Kokusai Electric Co Ltd 水平面度調整機構
JP2000114149A (ja) * 1998-10-07 2000-04-21 Hitachi Ltd ガラス基板保持装置
JP2002273631A (ja) * 2001-03-15 2002-09-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd ワーク保持・位置決め方法及び装置
KR100722163B1 (ko) * 2005-04-01 2007-05-28 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 검사 장치
CN100517631C (zh) * 2006-09-22 2009-07-22 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 举升装置及调整举升装置平面度的方法
JP5019602B2 (ja) 2007-08-31 2012-09-05 新東エスプレシジョン株式会社 二次元座標測定機の測定テーブル
JP2009251529A (ja) * 2008-04-10 2009-10-29 Micronics Japan Co Ltd 点灯検査装置
KR100969539B1 (ko) * 2008-04-10 2010-07-12 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 점등 검사장치
JP2016137534A (ja) * 2015-01-27 2016-08-04 セイコーエプソン株式会社 治具の姿勢調整方法、治具及び治具の姿勢調整用補助具
CN104880318A (zh) * 2015-05-25 2015-09-02 南车戚墅堰机车有限公司 柴油机可移动支承调节装置
JP6563758B2 (ja) * 2015-09-25 2019-08-21 新東エスプレシジョン株式会社 メタルマスク製造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2967585A (en) * 1957-12-06 1961-01-10 Charles L Bybee Adjustable scaffold support
US4565263A (en) * 1985-06-10 1986-01-21 Southworth Ted J Sawhorse with extendible and contractible leg assemblies
TW276293B (en) * 1994-05-04 1996-05-21 Jochen Corts Bearing support especially for the application in the ship body
US5865269A (en) * 1996-08-20 1999-02-02 Joe D. Hill Adjustable height and levelable work support
TW476358U (en) * 2001-07-06 2002-02-11 Nan Yih Tien Ind Co Ltd Level adjusting structure for floor supporting frame
TW201008723A (en) * 2008-08-26 2010-03-01 Nihon Micronics Kk Table height adjusting mechanism and height adjusting table using the same

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