TWI783942B - 基板處理裝置、基板處理裝置之控制方法、及儲存程式之儲存媒體 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種基板處理裝置，用於對基板進行處理，具備：圖像感測器，在基板被搬運到規定位置時，該圖像感測器檢測所述基板的至少一個對角線上的兩個角部的位置；照明裝置，該照明裝置能夠配置為：相對於處在所述規定位置的所述基板在所述圖像感測器的相反側，對所述基板的所述兩個角部進行照射；控制裝置，該控制裝置基於由所述圖像感測器檢測出的所述兩個角部的位置來判定所述基板的位置。

Description

基板處理裝置、基板處理裝置之控制方法、及儲存程式之儲存媒體
本發明係關於一種基板處理裝置、基板處理裝置之控制方法、以及儲存用於使電腦執行基板處理裝置之控制方法的程式的儲存媒體。
鍍覆裝置對安裝於基板保持架的基板進行鍍覆處理。在這樣的鍍覆裝置中，當將基板安裝於及/或脫離出基板保持架時，有基板從規定的正確位置偏離的情況。並且，由於基板保持架翹曲、搭載基板保持架的台翹曲、基板翹曲或者由基板表面的水滴、臺上的垃圾引起的基板保持架的傾斜等原因，也有可能產生基板的位置偏離。並且，當存在這樣的位置的偏離時，有可能不能對被鍍覆物件物即基板進行正確地鍍覆處理。
已有人提出如下的技術方案(例如，日本特許第5750327號說明書(專利文獻1))：在將基板向基板保持架安裝時檢測基板的位置，在基板的位置產生偏離的情況下進行補正。在日本特許第5750327號說明書(專利文獻1)所記載的技術中，在基板保持架110的固定保持部件15中的與基板500的緣部對應的位置設置缺口部17，且基板500被置於正確的位置的情況下，以能夠不被基板500遮蔽地對缺口部17的表面進行照射的方式配 置鐳射感測器1140。當基板500設置於固定保持部件15上時，鐳射感測器1140對距離進行測定，若測定距離為到缺口部17的距離A，則判斷為基板500無位置偏離。另一方面，若測定距離為到基板500的距離W1(<A)，則判斷為基板500產生位置偏離。在該技術中，在基板保持架設置位置測定用的缺口部17，因此必需改變使用的多個基板保持架的結構。並且，在基板保持架自身較薄的情況下，有難以形成能夠確保充分的檢測精度的缺口部的情況。
或者，一般來說，在各種半導體製造裝置中，今後會有以較高的精度對形成比以往更細小的圖案的基板、使用各種材料作為半導體材料的基板等迄今為止未被發現的多種基板進行處理的需求。並且，在這樣的半導體製造裝置中，也假定要求以高於以往的精度來進行基板的向處理臺上的移動載置、基板的定位等。
本發明的目的在於解決上述課題的至少一部分。
本發明一方面提供一種基板處理裝置，用於處理基板，該基板處理裝置具備：圖像感測器，在基板被搬運到規定位置時，該圖像感測器檢測所述基板的至少一個對角線上的兩個角部的位置；照明裝置，該照明裝置能夠配置為：相對於處在所述規定位置的所述基板在所述圖像感測器的相反側，對所述基板的所述兩個角部進行照射；控制裝置，該控制裝置基於由所述圖像感測器檢測出的所述兩個角部的位置來判定所述基板的 位置。控制裝置可以是單一的控制器，也可以由多個控制器協同動作構成。
本發明另一方面提供一種基板處理裝置的控制方法，所述基板處理裝置用於對基板進行處理。該控制方法包含以下步驟：在基板被搬運到規定位置時，利用照明裝置從所述基板的第一面側對所述基板進行照射，並且通過位於所述基板的第二面側的圖像感測器來檢測所述基板的至少一個對角線上的兩個角部的位置；基於由所述圖像感測器檢測出的所述兩個角部的位置來判定所述基板的位置。
本發明再一方面提供一種儲存媒體，該儲存媒體儲存用於使電腦執行基板處理裝置的控制方法的程式。該儲存媒體儲存有程式，該程式用於使電腦執行如下步驟：在基板被搬運到規定位置時，利用照明裝置從所述基板的第一面側對所述基板進行照射，並且通過位於所述基板的第二面側的圖像感測器來檢測所述基板的至少一個對角線上的兩個角部的位置；基於由所述圖像感測器檢測出的所述兩個角部的位置來判定所述基板的位置。
11:基板保持架
32:預濕槽
25:盒台
33:預浸槽
25a:盒體
34:預沖洗槽
27:自動裝置
35:吹風槽
27a:控制器
36:沖洗槽
270:基板搬運裝置
37:基板保持架搬運裝置
28:移動機構
38:溢出槽
29:基板裝卸裝置
39:鍍覆槽
290:基板裝卸部
50:清洗裝置
30:存放裝置
50a:清洗部
60:基板位置檢測裝置
120B:處理部
61、61a、61b:圖像感測器
175:控制器
62、62a、62b:照明裝置
175A:CPU
63a、63b:旋轉裝置
175B:記憶體
64a、64b:臂部
175C:控制部
70:框架
271:自動裝置主體
71:安裝結構
272、273:自動裝置機械手
72、73、74a、74b:安裝部件
300:第一保持部件
100:基板處理裝置
400:第二保持部件
110:卸載部
800:設置面
120:處理部
1210:支承板部
120A:前處理/後處理部
1200:回轉裝置
圖1是本發明的一實施方式所涉及的基板處理裝置的整體配置圖。
圖2是對第一實施方式所涉及的基板位置檢測裝置進行說明的概略圖。
圖3A是第一實施方式所涉及的基板位置檢測裝置的非攝影位置處的立體圖。
圖3B是第一實施方式所涉及的基板位置測定機構的非攝影位置處的側視圖。
圖3C是第一實施方式所涉及的基板位置檢測裝置的非攝影位置處的俯 視圖。
圖4A是第一實施方式所涉及的基板位置檢測裝置的攝影位置處的立體圖。
圖4B是第一實施方式所涉及的基板位置檢測裝置的攝影位置處的側視圖。
圖4C是第一實施方式所涉及的基板位置檢測裝置的攝影位置處的俯視圖。
圖5是表示接近攝影位置前的基板和基板位置檢測裝置的立體圖。
圖6是表示設置於攝影位置的基板及基板位置檢測裝置的立體圖。
圖7A是表示使照明裝置移動到攝影位置的狀態的基板位置檢測裝置的立體圖。
圖7B是表示使照明裝置移動到攝影位置的狀態的基板位置檢測裝置的側視圖。
圖7C是表示使照明裝置移動到攝影位置的狀態的基板位置檢測裝置的俯視圖。
圖8是基板位置調整處理的流程圖。
圖9是對第二實施方式所涉及的基板位置檢測裝置進行說明的概略圖。
圖10是表示第二實施方式所涉及的照明裝置的安裝結構的立體圖。
圖11是基板的俯視圖。
圖12是對基板的旋轉角進行說明的說明圖。
圖13是對基板的角部的位置進行說明的說明圖。
圖14A是對圖像感測器的攝影位置進行說明的說明圖。
圖14B是對圖像感測器的攝影位置進行說明的說明圖。
以下，參照附圖對本發明的實施方式進行說明。另外，在以下的各實施方式中，對於相同或等同的部件附加相同符號並省略重複的說 明。並且，在本說明書中使用“上”、“下”、“左”、“右”等表述，但這些是為了便於說明而表示例示的附圖的紙面上的位置、方向的表述，在裝置使用時等的實際的配置中有與此表述不同的情況。並且，某一部件與其他部件“相對於基板位於相反側”是指：位於面向基板的某一基板面的位置的部件，而其他部件位於面向與此相反一側的基板面的位置。另外，在基板中，有在任一面形成有佈線的情況，也有兩個面均形成有佈線的情況。
(第一實施方式)
圖1是本發明的一實施方式所涉及的基板處理裝置100的整體配置圖。在該例中，基板處理裝置100是電解鍍覆裝置。在此，對電解鍍覆裝置進行舉例說明，但本發明也能夠應用任意的鍍覆裝置、研磨裝置、研削裝置、成膜裝置及蝕刻裝置等的其他基板處理裝置。
基板處理裝置100可大致分為裝載/卸載部110、處理部120及清洗部50a，裝載/卸載部110將基板(被處理物)搭載於基板保持架11或從基板保持架11卸載基板，處理部120對基板S進行處理。處理部120進一步包含進行基板的前處理及後處理的前處理/後處理部120A和對基板進行鍍覆處理的鍍覆處理部120B。另外，基板包含方形基板、圓形基板。並且，方形基板包含矩形等的多邊形的玻璃基板、液晶基板、印刷基板及其他的多邊形的被處理物。圓形基板包含半導體晶片、玻璃基板及其他的圓形的被處理物。
裝載/卸載部110具有兩個盒台25和基板裝卸裝置29。盒台25搭載盒體25a，該盒體25a收納基板S。基板裝卸裝置29配置於基板裝卸部 290，並構成為將基板S裝卸到基板保持架11。基板裝卸裝置29具備控制裝置29a。該控制裝置29a與基板處理裝置100的控制器175進行通信而控制基板裝卸裝置29的動作。並且，在基板裝卸裝置29的附近(例如下方)設有用於收容基板保持架11的存放裝置30。在這些單元25、29、30的中央配置有基板搬運裝置270，該基板搬運裝置270具備在這些單元之間對基板進行搬運的搬運用自動裝置27。基板搬運裝置270構成為能夠通過移動機構28而移動。基板搬運裝置270具備控制器27a。該控制器27a與基板處理裝置100的控制器175進行通信而控制基板搬運裝置270的動作。
清洗部50a具有對鍍覆處理後的基板進行清洗並使其乾燥的清洗裝置50。基板搬運裝置270構成為將鍍覆處理後的基板搬運到清洗裝置50並從清洗裝置50取出清洗後的基板。
前處理/後處理部120A具有預濕槽32、預浸槽33、預沖洗槽34、吹風槽35以及沖洗槽36。在預濕槽32中將基板浸入純水。在預浸槽33中，刻蝕除去形成於基板表面的種子層等的導電層的表面的氧化膜。在預沖洗槽34中，利用清洗液(純水等)來將預浸後的基板與基板保持架一起清洗。在吹風槽35中，進行清洗後的基板的除液。在沖洗槽36中，利用清洗液將鍍覆後的基板與基板保持架一起清洗。另外，該基板處理裝置100的前處理/後處理部120A的結構僅為一例，基板處理裝置100的前處理/後處理部120A的結構不被限定，也能夠採用其他的結構。
鍍覆處理部120B具有包含溢出槽38的多個鍍覆槽39。各鍍覆槽39將一個基板收納到內部，並將基板浸入保持於內部的鍍覆液中從而在基板表面進行銅鍍覆等的鍍覆。在此，鍍覆液的種類無特別限定，根據 用途來使用各種鍍覆液。
基板處理裝置100位於這些各設備的側方，在這些各設備之間將基板保持架與基板一起搬運，並且具有採用例如線性電機方式的基板保持架搬運裝置37。該基板保持架搬運裝置37以在基板裝卸裝置29、預濕槽32、預浸槽33、預沖洗槽34、吹風槽35、沖洗槽36及鍍覆槽39之間搬運基板保持架的方式構成。
在包含如上那樣構成的基板處理裝置100的鍍覆處理系統中，具有以對上述各部件進行控制的方式構成的控制器175。控制器175具有：儲存各種設定資料及各種程式的記憶體175B、執行記憶體175B的程式的CPU175A以及通過CPU175A執行程式而實現的控制部175C。構成記憶體175B的記錄媒體可以包含ROM、RAM、硬碟、CD-ROM、DVD-ROM及軟碟等任意的記錄媒體的一種或多種。記憶體175A所儲存的套裝程式含例如進行基板搬運裝置270的搬運控制的程式、進行基板位置檢測裝置60(後述)的控制的程式、進行基板裝卸裝置29中的基板向基板保持架的裝卸控制的程式、進行基板保持架搬運裝置37的搬運控制的程式及進行各鍍覆槽39中的鍍覆處理的控制的程式。並且，控制器175構成為能夠與對基板處理裝置100及其他的關聯裝置進行綜合控制的未圖示的上位控制器進行通信，並能夠在控制器175與上位控制器所具有的資料庫之間進行資料的交換。
圖2是對第一實施方式所涉及的基板位置檢測裝置60進行說明的概略圖。基板位置檢測裝置60具備圖像感測器61(61a、61b)和照明裝置62(62a、62b)。在本實施方式中，對將基板位置檢測裝置60的圖像感測器61及照明裝置62設於基板裝卸部290的情況進行舉例說明。如圖2所 示，基板裝卸部290具備包含回轉裝置1200的基板裝卸裝置29。在回轉裝置1200的支承板部1210上安裝有基板保持架11的第二保持部件400。在該狀態下，基板S安裝於第二保持部件400。基板S通過搬運用自動裝置27而被從盒體25a取出，並被搬運到第二保持部件400上。另外，基板保持架11還具有未圖示的第一保持部件，基板保持架11是在第一保持部件與第二保持部件400之間對基板S進行夾持保持的部件。
搬運用自動裝置27具備自動裝置主體271、安裝於自動裝置主體271的自動裝置機械手272及控制器27a。自動裝置機械手272的動作由控制器27a控制。自動裝置機械手272能夠接觸或非接觸地對基板S進行保持。自動裝置機械手272例如通過伯努利吸盤而非接觸地對基板S進行保持。搬運用自動裝置27是多軸自動裝置，能夠使保持於自動裝置機械手272的基板S的位置向x、y、z方向及旋轉方向移動。x、y、z軸定義為圖3A所示的方向。例如，能夠將x軸設為與回轉裝置1200的往復移動的方向正交的方向，將y軸設為回轉裝置1200的往復移動的方向，將z軸設為與x、y軸正交的方式。該情況下，x、y軸變為與設置面800平行，z軸變為與設置面800正交。另外，自動裝置機械手也有設置兩個以上的情況。
圖像感測器61a、61b與基板裝卸裝置29相鄰地配置。圖像感測器61a、61b是例如攝像機。圖像感測器61a、61b配置於如下位置：在基板S由自動裝置機械手272搬運到基板保持架11的第二保持部件400上的基板S的目標設置位置的正上方時，能夠檢測基板S的角部的位置。
「目標設置位置」是在將基板S載置於第二保持部件400上時基板S所應處於的正確位置。在本實施方式中，“目標設置位置”由基板 S的中心的目標中心位置(xt、yt)和基板S的目標旋轉角θ0定義。基板S的旋轉角定義為在x-y平面內基板S的沿著x軸(或y軸)的邊相對於x軸(或y軸)傾斜的角度θ。圖12表示將沿著x軸的邊L4相對於x軸傾斜的角度設為旋轉角θ的情況。目標旋轉角θ0是基板S的目標方向相對於x軸(或y軸)的角度，該目標方向是基板S在第二保持部件400上所應該朝向的方向。在本實施方式中，使目標方向與x軸(或y軸)一致，從而使目標旋轉角θ0=0。該情況下，在基板S的沿著x軸(或y軸)的邊相對於x軸(或y軸)平行且不傾斜時，基板S的旋轉角θ=0與目標旋轉角θ0=0一致。另外，基板S的在第二保持部件400上所應該朝向的目標方向也可以不必與x軸或y軸平行。
「目標設置位置的正上方」是指如下位置：在使基板S沿著z方向向正下方下降時，能夠原樣地將基板S配置到第二保持部件400的目標設置位置(目標中心位置及目標旋轉角)的位置。換言之，為基板S在x-y平面內的位置(中心位置、旋轉角)與第二保持部件400上的目標設置位置(目標中心位置及目標旋轉角)一致而僅z方向上的座標不同的情況。
照明裝置62a、62b設於基板S的與圖像感測器61a、61b相反的一側。照明裝置62a、62b以從與圖像感測器61a、61b相反的一側對基板S的角部進行照射的方式配置。照明裝置62a、62b是由LED構成的背光源。照明裝置62a、62b構成為能夠在與圖像感測器61a、61b相對的位置即攝影位置和從攝影位置移動到外側的退避位置之間移動。這是為了不對基於自動裝置機械手272的基板S的向第二保持部件400的搬運路徑產生妨礙。在基於圖像感測器61a、61b對基板S的角部進行攝影時，若通過照明裝置62a、62b來從相反側對基板S進行照射，則基板S的背景變白，能夠明確基板S的輪廓。 並且，由於將照明裝置62a、62b配置在基板S與第二保持部件400之間，因此即使在基板S的外周部附近的顏色與第二保持部件400的顏色類似的情況下，也能夠明確基板S的輪廓。
當基板S通過自動裝置機械手272而搬運到基板保持架11的第二保持部件400的目標設置位置的正上方時，照明裝置62a、62b移動到攝影位置並對基板S的四個角部中的兩個角部進行照射。該狀態下，圖像感測器61a、61b對基板S的處於對角線上的兩個角部處的基板S的圖像進行攝影。通過該圖像來檢測角部的位置(x、y方向的座標)、各角部或一個角部的相鄰兩邊中的至少一邊的方向(x-y平面中的方向)。通過兩個角部的位置來算出基板S的中心位置的座標(x0、y0)及通過相鄰兩邊中的至少一邊的方向來算出基板S的旋轉角θ。判定算出的中心位置的座標(x0、y0)及旋轉角θ與目標設置位置(目標中心位置(xt、yt)及目標旋轉角θ0=0)的誤差是否在規定的範圍內。若算出的中心位置的座標(x0、y0)及旋轉角θ與目標中心位置及目標旋轉角的誤差在規定的範圍內，則使照明裝置62a、62b移動到退避位置，使基板S下降而載置於第二保持部件400上。另一方面，若算出的中心位置的座標(x0、y0)及旋轉角θ與目標中心位置及目標旋轉角的誤差在規定的範圍外，則以如下方式對基板S的位置進行補正：使自動裝置機械手272向x方向、y方向及/或x-y平面內的旋轉方向移動，從而使基板S的中心位置的座標(x0、y0)及旋轉角θ接近目標中心位置及目標旋轉角。其後，再一次對基板S的位置進行攝影，並由此求出基板S的中心位置的座標(x0、y0)及旋轉角θ，在此基礎上，在這些基板S的中心位置的座標及旋轉角與目標中心位置及目標旋轉角的誤差變為規定的範圍內之後， 使基板S下降而載置到第二保持部件400上。
(基板位置檢測裝置之結構)
圖3A、圖3B、圖3C分別是第一實施方式所涉及的基板位置檢測裝置60的非攝影位置處的立體圖、側視圖、俯視圖。圖4A、圖4B、圖4C是第一實施方式所涉及的基板位置檢測裝置60的攝影位置處的立體圖、側視圖、俯視圖。
基板位置檢測裝置60具備圖像感測器61a、61b和照明裝置62a、62b。圖像感測器61a、61b和照明裝置62a、62b在基板裝卸部290中與基板裝卸裝置29相鄰地配置。並且，設有對圖像感測器及照明裝置的動作進行控制的控制器60a。控制器60a與圖像感測器61a、61b及照明裝置62a、62b連接為能夠進行通信。在基板裝卸裝置29的周圍設有由多個柱及梁構成的框架70。框架70在基板裝卸裝置29的設置面800上與基板裝卸裝置29相鄰地設置。該框架70固定有安裝結構71，該安裝結構71用於安裝圖像感測器61a、61b及照明裝置62a、62b。
安裝結構71具備安裝部件72、安裝部件73及安裝部件74a、74b。安裝部件72固定於框架70。安裝部件73固定於安裝部件72，並且在基板裝卸裝置29的回轉裝置1200的支承板部1210的上方與支承板部1210大致平行地延伸。在俯視下，安裝部件73為大致矩形，並包圍比支承板部1210小的範圍。在安裝部件73的處於對角線上的兩個角部安裝有圖像感測器61a、61b。圖像感測器61a、61b的攝影方向朝向支承板部1210的方向。
安裝部件74a、74b分別安裝在安裝部件73的安裝有圖像感測器61a、61b的兩個角部的附近。安裝部件74a、74b在比安裝部件73更靠近支 承板部1210的一側以朝向安裝部件73的外側彼此遠離的方式延伸。在安裝部件74a、74b的各頂端部安裝有旋轉裝置63a、63b，在旋轉裝置63a、63b的臂部64a、64b的頂端安裝有照明裝置62a、62b。照明裝置62a、62b的照射方向朝向遠離支承板部1210的一側。
圖像感測器61a、61b是例如攝像機。攝像機是黑白攝像機或彩色攝像機。從位置檢測的精度的觀點來看，優選黑白攝像機，因此在本實施方式中採用黑白攝像機作為圖像感測器61a、61b。另外，在基於彩色攝像機的位置檢測精度充分的情況下，也可以使用彩色攝像機。或者，也可以使用如下的黑白/彩色切換攝像機：在例如裝置內的照度為規定值以上的情況下(明亮的情況下)，通過在攝像機內部的攝像元件之間插入紅外截止濾光器來進行彩色攝影，而在裝置內的照度不足規定值的情況下(暗的情況下)，能夠取下紅外截止濾光器而進行黑白攝影。圖像感測器61a、61b安裝於俯視大致矩形的安裝部件73的對角線上的兩個角部。圖像感測器61a、61b以其攝影方向朝向支承板部1210的方式安裝。在基板S被搬運到支承板部1210上的第二保持部件400的上方時，圖像感測器61a、61b配置於對基板S的對角線上的兩個角部進行攝影的位置。
圖11是基板S的俯視圖。圖12是對基板S的旋轉角進行說明的說明圖。圖13是對基板的角部的位置進行說明的說明圖。在本實施方式中，基板S是大致矩形的方形基板，且具有四個邊L1、L2、L3、L4和四個角部P1、P2、P3、P4。基板S的中心P0能夠定義為兩個對角線的交點。另外，在本實施方式中，為了測量對角線上的兩個角部(例如角部P1、P3)，算出連結角部P1、P3的對角線的中點作為中心P0的中心位置(x0、y0)。
角部P1~P4的位置定義為在各角部相鄰的兩邊(兩相鄰邊)的交點。角部P1~P4的位置是指基板S的各頂點的位置，但通過將角部的位置定義為兩相鄰邊的交點，從而即使在角部具有R的情況、頂點的位置不清楚的情況下，也能夠正確地算出角部的位置。例如圖13所示，當基板S在角部P3具有R時，取得角部處的兩相鄰邊L2、L3的直線部分的圖像資訊並算出各邊的直線部分的延長線交叉的位置作為角部P3的位置。
圖14A及圖14B是對圖像感測器的攝影位置進行說明的說明圖。圖像感測器61a、61b安裝於如下位置：在將基板S搬運到支承板部1210上方的規定位置(第二保持部件400上的目標設置位置的正上方)時，對基板S的兩個角部P1、P3進行攝影的位置。例如，將基板S安裝到支承板部1210上的第二保持部件400的目標設置位置，預先調整圖像感測器61a、61b的位置進而將圖像感測器61a、61b安裝到安裝部件73。在本實施方式中，如圖14A，圖14B所示，圖像感測器61a、61b以如下方式安裝：在俯視下，其攝像部(例如透鏡)的中心C配置在從基板S的角部P1、P3僅在x、y方向上向內側位移規定的距離△x、△y的位置。即，圖像感測器61a、61b的中心C與比基板S的角部(頂點)的位置更靠近基板的內側的位置對應。根據該結構，通過圖像感測器61a、61b，能夠對基板S的角部P1、P3附近的更廣的範圍進行攝影，能夠提高角部的位置的檢測精度。例如，能夠對兩相鄰邊(L1-L4，L2-L3)的更長的範圍進行攝影，能夠提高作為兩相鄰邊的交點的角部P1、P3的位置的計算精度、提高通過兩相鄰邊中至少一邊的傾斜度而算出的基板S的旋轉角θ的計算精度。另外，使攝像部的中心C向基板S的內側位移的距離也可以根據各圖像感測器而不同，也可以僅使一部分的圖像感測器的 攝像部的中心向內側位移。在其他實施方式中，在俯視下，一部分或全部的圖像感測器的攝像部的中心C也可以與基板的角部(頂點)的位置一致，也可以比基板的角部(頂點)的位置更靠近基板的外側。
照明裝置62a、62b能夠由例如矩形的背光源構成(圖3A、圖3C)。作為背光源，能夠使用例如基恩士公司(Keyence)的CA-D系列。背光源的照射區域能夠使用例如77mm*77mm。照明裝置62a、62b安裝於旋轉裝置63a、63b的臂部64a、64b，並且能夠在與圖像感測器61a、61b相對的位置即攝影位置(圖4A-C)和從攝影位置移動到外側的退避位置(圖3A-C)之間移動。通過使照明裝置62a、62b移動到退避位置，能夠不妨礙攝影後的基板S的向第二保持部件400的搬運路徑。旋轉裝置63a、63b能夠使用例如由氣缸構成的旋轉致動器。但是，只要旋轉裝置63a、63b能夠使照明裝置62a、62b在攝影位置和退避位置之間移動，則能夠採用任意的驅動源及驅動機構的裝置。並且，從節約空間化的觀點看優選旋轉裝置63a、63b，但也可以使用能夠使照明裝置62a、62b在攝影位置和退避位置之間直線運動的任意的直線運動裝置。
控制器60a安裝於安裝部件72。控制器60a具有儲存規定程式的記憶體、執行記憶體的程式的CPU及通過CPU執行程式而實現的控制部。記憶體的套裝程式含控制圖像感測器61a、61b的攝像的程式、基於攝像圖像來算出基板S的中心的位置、旋轉角的程式。並且，記憶體的套裝程式含對照明裝置62a、62b的旋轉裝置63a、63b的動作進行控制的程式、對照明裝置62a、62b的點亮、熄滅進行控制的程式。
圖5是表示接近攝影位置前的基板S和基板位置檢測裝置60 的立體圖。圖6是表示設置於攝影位置的基板S和基板位置檢測裝置60的立體圖。圖7A、圖7B、圖7C是表示使照明裝置62a、62b移動到攝影位置的狀態的基板位置檢測裝置60的立體圖、側視圖、俯視圖。圖8是基板位置調整處理的流程圖。以下，參照圖5~圖8對本實施方式所涉及的基板位置調整處理進行說明。本實施方式所涉及的基板位置調整處理通過控制器175、控制器60a及搬運用自動裝置27的控制器27a協同動作來執行，控制器175對基板處理裝置100整體進行控制，控制器60a對基板位置檢測裝置60進行控制。另外，本實施方式所涉及的基板位置調整處理也可以在接受來自控制器175的搬運指示之後僅通過控制器60a及控制器27a來執行。
在基板位置調整處理的開始之前，基板保持架11的第二保持部件400如圖5所示，定位並固定於回轉裝置1200的支承板部1210。
在圖8的步驟S10中，通過搬運用自動裝置27的自動裝置機械手272，基板S被搬運到第二保持部件400上的目標設置位置的正上方(圖5、圖6)。在本實施方式中，基板S保持於自動裝置機械手272的下表面。第二保持部件400上的目標設置位置被預先設定作為在第二保持部件400上基板S的中心所應該位於的位置(目標中心位置(xt、yt))及基板S所應該朝向的方向(目標旋轉角θ0=0)，並預先儲存於控制器175、控制器60a及/或控制器27a。
在步驟S20中，通過旋轉裝置63a、63b使照明裝置62a、62b從退避位置移動到攝影位置。攝影位置是照明裝置62a、62b在基板S的對角線上的兩個角部P1、P3(圖11)的下方與圖像感測器61a、61b相對的位置(圖7A~C)。
在步驟S30中，將照明裝置62a、62b點亮，從而對基板S的對角線上的兩個角部P1、P3進行照射。另外，將照明裝置62a、62b點亮的時期可以是照明裝置62a、62b旋轉移動到攝影位置之後，也可以是移動到攝影位置之前。並且，也可以一直將照明裝置62a、62b點亮。換言之，步驟S20和步驟S30的處理可以先執行任意一個，也可以同時執行。照明裝置62a、62b及旋轉裝置63a、63b的控制通過控制器175及控制器60a或通過控制器60a來執行。
在步驟S40中，利用圖像感測器61a、61b對基板S的角部P1、P3的圖像進行攝影，從而取得角部P1、P3中的兩相鄰邊的圖像資訊。圖像資訊包含兩相鄰邊L1-L4、L2-L3的直線部分在x-y平面中的方向及構成兩相鄰邊的直線部分的點的座標的集合。並且，根據各角部中的兩相鄰邊的圖像資訊，算出兩相鄰邊的交點作為各角部P1、P3的位置(x1、y1)、(x3、y3)。此時，根據需要來進行將各邊的直線部分延長的處理。並且，作為連結角部P1、P3的位置(x1、y1)、(x3、y3)的對角線的中點，算出中心位置(x0，y0)。並且，在各角部中的兩相鄰邊的圖像資訊中，算出邊L4及/或邊L2的從x軸傾斜的角度作為旋轉角θ。例如，算出邊L4的從x軸傾斜的角度作為旋轉角θ(圖12)。另外，也可以將邊L4的從x軸的旋轉角和邊L2的從x軸的旋轉角平均來作為基板S的旋轉角θ。另外，也可以算出邊L1及邊L3的從y軸傾斜的角度作為旋轉角θ。另外，也可以將邊L4及邊L2的從x軸傾斜的角度和邊L1及邊L3的從y軸傾斜的角度的平均值作為旋轉角θ。在該情況下使從x軸及從y軸傾斜的角度的測量方向一致。
並且，在步驟S40中，對算出的基板S的中心位置(x0、y0) 及旋轉角θ與目標中心位置(xt、yt)及目標旋轉角θ0=0的誤差進行計算。圖像感測器61a、61b的攝像控制由控制器175及控制器60a或由控制器60a執行。並且，上述運算由圖像感測器61a、61b、控制器60a及/或控制器175執行。
在步驟S50中，判定算出的基板S的中心位置(x0、y0)及旋轉角θ與目標中心位置(xt、yt)及目標旋轉角θ0=0的誤差是否在規定範圍內。即，判定誤差是否在第一規定值以上且第二規定值以下(第一規定值及第二規定值的絕對值可以相同也可以不同)或判定誤差的絕對值是否在規定值以下。該判定處理由控制器175或控制器60a執行。
當誤差在規定範圍內時進入步驟S60。在步驟S60中，通過旋轉裝置63a、63b來使照明裝置62a、62b旋轉移動到退避位置。其後，通過自動裝置機械手272來使基板S下降並載置到第二保持部件400上。
當誤差在規定範圍外時進入步驟S70。在步驟S70中，以如下方式對基板S的位置進行補正：基於測定的誤差使自動裝置機械手272移動，並由此使基板S的中心位置及旋轉角接近目標中心位置及目標旋轉角。其後，返回步驟S40，直到在步驟S50判定為基板S的位置的誤差在規定範圍內為止重複進行步驟S40、S50、S70的處理。
當在步驟S50中判定為基板S的位置的誤差在規定範圍內時，在步驟S60中，通過旋轉裝置63a、63b使照明裝置62a、62b旋轉移動到退避位置，並通過自動裝置機械手272使基板S下降並載置到第二保持部件400上。另外，照明裝置62a、62b的熄滅可以當在步驟S50中判定為基板S的位置的誤差在規定範圍內之後的任意時刻進行。
在將基板S載置於第二保持部件400上之後，通過第二保持部件400上的固定部件(未圖示)而將固定於第二保持部件400，回轉裝置1200的支承板部1210在鉛錘方向上旋轉90°。其後，回轉裝置1200朝向沿鉛錘方向保持於未圖示的保持站的第一保持部件前進移動，將第二保持部件400按壓到第一保持部件，並通過未圖示的夾具將第二保持部件400固定於第一保持部件。其結果，基板S夾持並固定於基板保持架11的第二保持部件400及第一保持部件。
根據以上的基板位置調整處理，即使在基板的尺寸存在公差的情況下，也能夠基於基板S的對角線上的兩個角部的位置而將基板S設置到第二保持部件400上的正確的位置。並且，由於對基板S的對角線上的兩個角部的兩相鄰邊進行攝影，並對基板S的中心位置及旋轉角進行測量及補正，因此能夠提高對位的精度。
並且，由於利用照明裝置62從基板S的一方側照射，並通過圖像感測器61從基板S的相反側對基板的角部的位置進行檢測，因此能夠提高基板S與背景的對比度而能夠明確地檢測到基板S的邊界。由此，能夠進一步提高基板S的位置檢測精度。
並且，由於在基板S的角部取得兩相鄰邊的直線部分的圖像資訊，並基於該圖像資訊來算出基板S的中心位置及旋轉角，因此即使在基板S的角部有R的情況下、頂點不清楚的情況下，也能夠正確地確定角部的位置並正確地算出中心位置。
(第二實施方式)
圖9是對第二實施方式所涉及的基板位置檢測裝置進行說明的概略 圖。圖10是表示第二實施方式所涉及的照明裝置的安裝結構的立體圖。在上述實施方式中，將照明裝置62a、62b配置於基板裝卸部290，但在本實施方式中，將照明裝置62a、62b配置於基板搬運裝置270(搬運用自動裝置27)。標記與第一實施方式相同的符號並省略重複的說明。
在本實施方式中，搬運用自動裝置27具備自動裝置機械手272和自動裝置機械手273。自動裝置機械手272是用於搬運基板處理前的基板S的所謂幹式機械手。自動裝置機械手272與第一實施方式所說明的自動裝置機械手272相同，因此省略說明。自動裝置機械手273是用於在基板處理後搬運清洗及乾燥前的基板S的所謂濕式機械手。鍍覆液、清洗液有可能從鍍覆處理後的基板S滴落，因此以防止自動裝置機械手272的污染為目的，自動裝置機械手273配置於自動裝置機械手272的下方。
與自動裝置機械手272相同，自動裝置機械手273在下表面對基板S進行保持。基板保持的方法與自動裝置機械手273相同，都是通過接觸或非接觸的方式來對基板S進行保持。如圖10所示，照明裝置62a、62b在與對基板S進行保持的下表面的相反側的上表面安裝於兩個地方。照明裝置62a、62b分別安裝在與基板S的對角線上的兩個角部P3、P1(圖11)對應的位置。如第一實施方式所說明的那樣，當自動裝置機械手272將基板S搬運並保持到第二保持部件400上的目標設置位置的正上方時，自動裝置機械手273(優選處於未對基板S進行保持的狀態)配置於自動裝置機械手272的下方。此時，照明裝置62a、62b位於基板S的對角線上的兩個角部P3、P1的下方，並且與圖像感測器61a、61b相對。即，照明裝置62a、62b通過自動裝置機械手273而移動到與第一實施方式中的攝影位置相同的攝影位置。該狀態 下，照明裝置62a、62b對基板S的角部P1、P3進行照射，並且利用圖像感測器61a、61b對基板的角部P1、P3進行攝影。在基板S對位元之後，照明裝置62a、62b通過自動裝置機械手273而移動到退避位置。在本實施方式中，照明裝置62a、62b的移動是通過自動裝置機械手273的移動來進行的，並由控制器175及/或控制器27a控制。另外，自動裝置機械手272及自動裝置機械手273可以先移動任意一個，也可以同時移動。
照明裝置62a、62b的安裝結構及照明裝置62a、62b的向攝影位置的移動方法不同，但其他的結構及控制與第一實施方式相同。第二實施方式所進行的控制中的不同點如下：在圖8的流程圖中，在步驟S20中通過自動裝置機械手273使照明裝置62a、62b移動到攝影位置，在步驟S30中通過搬運用自動裝置27的控制器27a來點亮照明裝置62a、62b，在步驟S60中通過自動裝置機械手273使照明裝置62a、62b移動到退避位置。其他的點與第一實施方式相同。
根據本實施方式，能夠在基板裝卸部290中省略照明裝置62a、62b及旋轉裝置63a、63b以及安裝這些裝置的安裝部件74a、74b，實現基板裝卸部290中的節約空間化。並且，由於將照明裝置安裝于原本就具備移動功能的自動裝置機械手，因此能夠省略使照明裝置62a、62b在攝影位置和回避位置之間移動的旋轉裝置63a、63b。
(其他實施方式)
(變形例1)在上述實施方式中，將圖像感測器61a、61b配置於基板S的對角線上的兩個角部P1、P3，但也可以在對三個以上的角部進行攝影的位置分別配置圖像感測器。該情況下，照明裝置與圖像感測器的個數對應地設置。如此，若設置三個以上圖像感測器，則能夠進一步提高基板S 的位置的檢測精度。例如，在圖11中，求出三個角部P1~P3的位置，算出連結角部P1、P2、P3的三角形，並將該三角形相對於斜邊對稱地折疊，由此，也能夠算出角部P4的位置。並且，能夠根據角部P1-P3間的對角線與角部P2-P4的對角線的交點算出中心P0的位置。由此，能夠提高中心位置的測量精度。並且，例如在圖11中，求出四個角部P1~P4的位置，根據角部P1-P3間的對角線與角部P2-P4的對角線的交點算出中心P0的位置，由此能夠進一步提高中心位置的測量精度。
或者，在角部P1-P3間的對角線的線段的長度的一半的點與角部P2-P4間的對角線的線段的長度的一半的點不一致，這兩點間的距離超過規定值的情況下，也能夠判定為有可能在將基板S載置於第二保持部件400上時基板產生翹曲變形、有可能基板存在尺寸誤差。該情況下，能夠再一次將基板S保持於自動裝置機械手272，之後，重新將基板S載置於第二保持部件400上。
(變形例2)在上述實施方式中，使基板S及第二保持部件400處於水準的狀態下進行定位，但在使基板S及第二保持部件400處於鉛錘狀態的情況下，也能夠同樣地進行定位。例如，能夠在置於鉛錘狀態的基板S的水準方向的兩側配置圖像感測器及照明裝置，並在對基板S的角部進行照射的同時利用圖像感測器進行攝影。並且，在上述實施方式中，對從基板保持架的上方設置基板S的情況進行了說明，但從基板保持架的下方設置基板S的結構也能夠應用于本申請發明。該情況下，圖像感測器配置於基板的下方，照明裝置在基板的上方配置於基板與基板保持架之間。
(變形例3)在上述實施方式中，對在基板裝卸部中將基板對位到基板保持架(第二保持部件)的情況進行了說明，但上述實施方式能夠在將基板相對於任意的部件或裝置定位時使用。例如，也能夠在將基板定位載置到鍍覆裝置、研磨裝置、研削裝置、成膜裝置及蝕刻裝置等的任意的基板處理裝置中的臨時放置台、處理台等的情況下使用。並且，在 將基板固定到板部件的工作單元的狀態下，當在對基板進行研削及/或研磨的研削裝置中，相對於板部件定位設置基板時，也能夠使用本發明。
(變形例4)在上述實施方式中，對基板為矩形的情況進行了舉例，但基板可以是正方形，也可以是除此之外的多邊形形狀，例如五邊形、六邊形。並且，基板也可以是圓形形狀。在圓形基板的情況下，考慮例如通過測定基板的槽口位置的輪廓、夾著中心且與槽口位置相對的位置的外周的輪廓、相對于該線成90°直角交叉並且夾著基板中心且相對的兩個位置的外周的輪廓來確認基板的位置的結構。或者，如上述實施方式那樣，根據將圖像感測器和照明裝置相對配置於基板的兩側的結構，能夠更正確地檢測任意的形狀的基板的輪廓。另外，在四邊形以外的多邊形的基板的情況下，也可以算出不相鄰的兩個角部的位置並將連結各角部的線段的中點作為代替四邊形時的中心位置的基板的基準位置。並且，基板的旋轉角也可以由兩相鄰邊中的至少一邊的相對於規定方向的傾斜度定義。另外，若是六邊形等具有偶數邊的多邊形，以至少算出一個最遠的角部之間的對角線(最長的對角線)的方式選擇兩個角部，則與第一及第二實施方式所述的情況相同，能夠將該對角線的中點作為基板的中心位置。並且，能夠根據角部的兩相鄰邊中的至少一邊的傾斜度來算出旋轉角。
通過上述實施方式至少把握以下的技術思想。
[1]根據第一方式，提供一種用於對基板進行處理的基板處理裝置，該基板處理裝置具備圖像感測器、照明裝置及控制裝置，在基板被搬運到規定位置時，該圖像感測器檢測所述基板的至少一個對角線上的兩個角部的位置，照明裝置能夠配置為：相對於處在所述規定位置的所述基板，在所述圖像感測器的相反側對所述基板的所述兩個角部進行照射，控制裝置基於由所述圖像感測器檢測出的所述兩個角部的位置來判定所述基板的位置。控制裝置可以是單一的控制器，也可以是多個控制器協作協同動作而構成的裝置。
根據第一方式，利用照明裝置從圖像感測器的相反側對基板進行照射，並且通過圖像感測器來檢測基板的角部的位置，因此能夠提高基板與背景的對比度，從而更加明確地檢測到基板與背景的邊界(基板的輪廓)。由此，能夠更加正確地檢測基板的角部並更加正確地算出基板的中心位置。當通過利用圖像感測器對基板及基板保持架進行攝影並進行圖像診斷來檢測基板的位置偏離時，在基板與背景(例如，基板保持架的載置面)為相似顏色的情況下，有難以辨別基板與背景的邊界的情況，但根據第一方式，通過由照明裝置進行照射，從而基板與背景的對比度提高，而不受基板材料及基板圖案影響，邊界變得更加明確。
並且，在基板的尺寸具有公差的情況下，基板的緣部的位置不均，但由於基於基板的至少一個對角線上的兩個角部的位置來判定基板的位置，因此即使在基板的尺寸具有公差的情況下，也能夠正確地求出基板的位置。
[2]根據第二方式，在第一方式的基板處理裝置中，所述規定位置是對設於基板保持部件的基板進行保持的位置，該基板保持部件對基板進行保持。基板保持部件包含基板保持架、臨時放置台及處理台。
根據第二方式，能夠正確地求出基板相對於基板保持架、臨時放置台等的基板保持部件的位置。
[3]根據協力廠商式，在第一或第二方式的基板處理裝置中，所述圖像感測器檢測所述基板的相鄰兩邊，所述控制裝置算出這些兩邊所交叉的位置作為所述角部的位置。
根據協力廠商式，通過求出相鄰的兩邊所交叉的位置，能夠正確地檢測基板的角部的位置。尤其是在基板的角部的頂點不明確的情況下、在角部設有R的情況下，能夠正確地檢測基板的角部的位置。
[4]根據第四方式，在第一至協力廠商式的任一基板處理裝置中，所述控制裝置算出所述基板的中心位置及旋轉角作為所述基板的位置。
根據第四方式，根據至少一個對角線上的兩個角部的位置來求出基板的中心位置。並且，能夠檢測角部中相鄰的兩邊的位置，並基於這兩邊的至少一個，求出相對於規定的方向的基板的旋轉角。其結果，能夠根據基板的中心位置及旋轉角而更加正確地求出基板的位置。由於對基板的中心位置及旋轉角進行特定，因此即使在例如基板的尺寸存在公差的情況下，也能夠正確地求出各基板的位置。
[5]根據第五方式，在第一至第四方式的任一基板處理裝置中，所述角部的位置是所述基板的頂點的位置，所述圖像感測器的中心與比所述頂點的位置更靠近所述基板的內側的位置對應。
根據第五方式，能夠在角部通過圖像感測器對基板的更廣的範圍進行攝影，從而更加正確地算出角部的位置。例如，由於能夠在角部通過圖像感測器對相鄰的兩邊的更長的範圍進行攝影，因此能夠更加正確地算出角部的位置及旋轉角。
[6]根據第六方式，在第一至第五方式的任一基板處理裝置中，所述控制裝置判定算出的所述基板的位置是否在規定的範圍，並所述基板的位置不在所述規定的範圍時，對所述基板的位置進行補正。
根據第六方式，基於基板的至少一個對角線上的兩個角部的位置來對基板的位置進行補正，由此，即使在基板的尺寸存在公差的情況下，也能夠正確地對各基板的位置進行補正。
[7]根據第七方式，在第一至第六方式的任一基板處理裝置中，當所述基板位於與基板保持架的上方、下方或側方相鄰的位置時，所述圖像感測器測量所述基板的位置，所述基板保持架作為基板保持部件配置於基板裝卸裝置，並且在所述控制裝置基於由所述圖像感測器得到的測量結果來進行所述基板的相對於所述基板保持架的定位之後，將所述基板設置於所述基板保持架。
根據第七方式，在與基板保持架相鄰的位置通過圖像感測器來測定基 板的位置，因此能夠在將基板向基板保持架安裝之前，根據需要來對基板的相對於基板保持架的位置進行補正並對位。其結果，能夠將基板相對於基板保持架設置在正確地位置。
[8]根據第八方式，在第七方式的基板處理裝置中，所述照明裝置能夠在攝影位置和退避位置之間移動，攝影位置是在所述基板和所述基板保持架之間與所述圖像感測器相對的位置，退避位置是所述照明裝置從所述基板與所述基板保持架之間退避的位置。
根據第八方式，在使用圖像感測器及照明裝置來進行基板的對準之後，使照明裝置退避，因此能夠將基板安裝到基板保持架。由此，能夠防止基板與照明裝置發生干涉。
[9]根據第九方式，在第一至第八方式的任一基板處理裝置中具備搬運用自動裝置，該搬運用自動裝置為將所述基板搬運到所述規定位置並進行保持的搬運裝置，所述搬運用自動裝置具有第一機械手和第二機械手，該第一機械手將所述基板搬運到所述規定位置並進行保持，該第二機械手設有所述照明裝置。
根據第九方式，由於將照明裝置設置於搬運用自動裝置的第二機械手，因此與在每一個基板保持架設置照明裝置的情況相比較，能夠抑制照明裝置的個數。並且，能夠減少基板裝卸部等的其他部分的結構的改變。並且，若在第二機械手的基板保持側的相反側設置照明裝置，則能夠抑制由第二機械手而導致的對基板的搬運能力的影響。第一機械手及第二機械手可以是例如用於在基板處理前搬運基板的所謂幹式機械手和用於在基板處理後搬運清洗及乾燥前的基板的所謂濕式機械手。
[10]根據第十方式，在第一至第九方式的任一基板處理裝置中，所述圖像感測器具有設於分別對所述兩個角部進行攝影的位置的第一及第二圖像感測器。
根據第十方式，通過在對各角部進行攝影的位置設置第一及第二圖像 感測器，能夠抑制圖像感測器的尺寸受到基板的尺寸影響。並且，能夠提高基於各圖像感測器的各角部的位置檢測的精度。
[11]根據第十一方式，在第一至第十方式的任一基板處理裝置中，所述照明裝置具有設於分別對所述兩個角部進行照射的位置的第一及第二照明裝置。
根據第十一方式，通過在對各角部進行照射的位置設置第一及第二照明裝置，能夠抑制照明裝置的尺寸受到基板的尺寸影響。並且，由於能夠抑制光照射到位置檢測所必要的部位以外的基板的區域，因此能夠抑制照明光對基板的影響。並且，能夠通過各照明裝置有效地對角部進行照射。
[12]根據第十二方式，提供一種用於對基板進行處理的基板處理裝置的控制方法。該控制方法包含以下步驟：在基板被搬運到規定位置時，利用照明裝置從所述基板的第一面側對所述基板進行照射，並且通過位於所述基板的第二面側的圖像感測器來檢測所述基板的至少一個對角線上的兩個角部的位置；基於由所述圖像感測器檢測出的所述兩個角部的位置來判定所述基板的位置。根據第十二方式，也能夠起到第一方式所述的作用效果。
[13]根據第十三方式，提供一種儲存媒體，該儲存媒體儲存用於使電腦執行基板處理裝置的控制方法的程式。該儲存媒體儲存有程式，該程式用於使電腦執行如下步驟：在基板被搬運到規定位置時，利用照明裝置從所述基板的第一面側對所述基板進行照射，並且通過位於所述基板的第二面側的圖像感測器來檢測所述基板的至少一個對角線上的兩個角部的位置；基於由所述圖像感測器檢測出的所述兩個角部的位置來判定所述基板的位置。根據第十三方式，也能夠起到第一方式所述的作用效果。
以上，基於幾個例子對本發明的實施方式進行了說明，但上述的發明的實施方式是用於使本發明容易理解的例子，而不對本發明進行限定。本發明能夠在不脫離其主旨的範圍內進行變更、改良，並且自不必 說，本發明也包含其等效的發明。例如，也可以在上述的任意的實施方式的鍍覆裝置中，在基板載置於第二保持部件400之後，不改變基板的姿態而使第一保持部件接近基板，從而利用第一保持部件和第二保持部件來挾持基板。並且，在能夠解決至少一部分上述課題的範圍或起到至少一部分效果的範圍內，能夠任意地組合或省略本申請所要求保護的範圍及說明書所記載的各構成要素。
本申請基於2017年3月30日申請的日本特許申請第2017-067804號並主張其優先權。包含2017年3月30日申請的日本特許申請第2017-067804號的說明書、申請專利範圍、附圖及摘要的全部的公開內容通過參照而整體地編入本申請。
包含日本特許專利第5750327號(專利文獻1)的說明書、申請專利範圍、附圖及摘要的全部的發明通過參照而整體地編入本申請。
11:基板保持架
27:自動裝置
27a:控制器
29:基板裝卸裝置
290:基板裝卸部
60:基板位置檢測裝置
61、61a、61b:圖像感測器
62、62a、62b:照明裝置
100:基板處理裝置
400:第二保持部件
800:設置面
1200:回轉裝置
S:基板

Claims (17)

  1. 一種基板處理裝置，用於對基板進行處理，所述基板處理裝置具備：基板裝卸裝置，用於支持基板保持部件；多軸自動裝置，具備用於對基板進行保持的第一機械手，將所保持的所述基板搬運至所述基板裝卸裝置；圖像感測器，在所述基板被所述第一機械手搬運到規定位置時，位於所述第一機械手上方的該圖像感測器檢測所述基板的至少一個對角線上的兩個角部的位置；照明裝置，位於所述基板裝卸裝置與所述第一機械手之間，該照明裝置相對於處在所述規定位置的所述基板在所述圖像感測器的相反側，對所述基板的所述兩個角部進行照射；以及控制裝置，該控制裝置基於由所述圖像感測器檢測出的所述兩個角部的位置來判定所述基板的位置；其中所述圖像感測器檢測所述基板的相鄰兩邊，所述控制裝置算出這兩邊所交叉的位置作為所述角部的位置；其中所述控制裝置判定基於所述兩個角部的位置之所述基板的位置是否在規定的範圍，並當所述基板的位置不在所述規定的範圍時，對所述基板的位置進行補正。
  2. 如請求項1所述的基板處理裝置，其中所述規定位置是對設於所述基板保持部件的基板進行保持的位置的正上方。
  3. 如請求項1所述的基板處理裝置，其中所述控制裝置算出所述基板的中心位置及旋轉角作為所述基板的位置。
  4. 如請求項1所述的基板處理裝置，其中：所述角部的位置是所述基板的頂點的位置，所述圖像感測器的中心與比所述頂點的位置靠所述基板的內側的位置對應。
  5. 如請求項1所述的基板處理裝置，其中：在所述基板被所述第一機械手搬運到所述規定位置時，位於所述第一機械手上方的該圖像感測器檢測所述基板的第一對角線上的兩個角部的位置及第二對角線上的另兩個角部的位置；且當所述第一對角線上的所述兩個角部的位置之間長度一半的點，與所述第二對角線上的所述另兩個角部的位置之間長度一半的點彼此一致、或是彼此之間的距離小於規定值時，所述控制裝置判定所述基板的位置是在所述規定的範圍。
  6. 如請求項1所述的基板處理裝置，其中：所述圖像感測器配置於基板裝卸部，當所述基板位於與基板保持架的上方相鄰的位置時，所述圖像感測器測量所述基板的位置，所述基板保持架作為基板保持部件配置於所述基板裝卸裝置，所述控制裝置在基於由所述圖像感測器得到的測量結果來進行所述基板相對於所述基板保持架的定位，之後將所述基板設置於所述基板保持架。
  7. 如請求項6所述的基板處理裝置，其中所述照明裝置能夠在攝影位置和退避位置之間移動，該攝影位置是在所述基板和所述基板保持架之間與所述圖像感測器相對的位置，該退避位置是所述照明裝置從所述基板與所述基板保持架之間退避的位置。
  8. 如請求項1所述的基板處理裝置，其中：所述多軸自動裝置更具有第二機械手，該第二機械手設有所述照明裝置。
  9. 如請求項1所述的基板處理裝置，其中所述圖像感測器具有設於分別對所述兩個角部進行攝影的位置的第一圖像感測器及第二圖像感測器。
  10. 如請求項1所述的基板處理裝置，其中所述照明裝置具有設於分別對所述兩個角部進行照射的位置的第一照明裝置及第二照明裝置。
  11. 一種基板處理裝置的控制方法，所述基板處理裝置用於對基板進行處理，所述基板處理裝置的控制方法包含以下步驟： 在基板被多軸自動裝置的機械手搬運到規定位置時，利用位於保持著所述基板的所述機械手與用於支持基板保持部件的基板裝卸裝置之間的照明裝置，從所述基板的下方側對所述基板進行照射，並且通過位於所述機械手的上方側的圖像感測器來檢測所述基板的至少一個對角線上的兩個角部的位置；基於由所述圖像感測器檢測出的所述兩個角部的位置來判定所述基板的位置是否在規定的範圍，並當所述基板的位置不在所述規定的範圍時，對所述基板的位置進行補正；其中通過位於所述圖像感測器來檢測所述基板的至少一個對角線上的兩個角部的位置，係藉由所述圖像感測器檢測所述基板的相鄰兩邊，算出這兩邊所交叉的位置作為所述角部的位置。
  12. 如請求項11所述的基板處理裝置的控制方法，其中：在所述基板被所述機械手搬運到所述規定位置時，位於所述機械手上方的該圖像感測器檢測所述基板的第一對角線上的兩個角部的位置及第二對角線上的另兩個角部的位置；且當所述第一對角線上的所述兩個角部的位置之間長度一半的點，與所述第二對角線上的所述另兩個角部的位置之間長度一半的點彼此一致、或是彼此之間的距離小於規定值時，所述控制裝置判定所述基板的位置是在所述規定的範圍。
  13. 一種儲存媒體，儲存用於使電腦執行基板處理裝置的控制方法的程式，其中所述儲存媒體儲存有程式，該程式用於使電腦執行如下步驟：在基板被多軸自動裝置的機械手搬運到規定位置時，利用位於保持著所述基板的所述機械手與用於支持基板保持部件的基板裝卸裝置之間的照明裝置，從所述基板的下方側對所述基板進行照射，並且通過位於所述機械手的上方側的圖像感測器來檢測所述基板的至少一個對角線上的兩個角部的位置，藉由所述圖像感測器檢測所述基板的相鄰兩邊，算出這兩邊所交叉的位置作為所述角部的位置； 基於由所述圖像感測器檢測出的所述兩個角部的位置來判定所述基板的位置是否在規定的範圍，並當所述基板的位置不在所述規定的範圍時，對所述基板的位置進行補正。
  14. 如請求項13所述的儲存媒體，其中：在所述基板被所述機械手搬運到所述規定位置時，位於所述機械手上方的該圖像感測器檢測所述基板的第一對角線上的兩個角部的位置及第二對角線上的另兩個角部的位置；且當所述第一對角線上的所述兩個角部的位置之間長度一半的點，與所述第二對角線上的所述另兩個角部的位置之間長度一半的點彼此一致、或是彼此之間的距離小於規定值時，所述控制裝置判定所述基板的位置是在所述規定的範圍。
  15. 一種基板處理裝置，用於對基板進行處理，所述基板處理裝置具備：圖像感測器，在基板被搬運到規定位置時，該圖像感測器檢測所述基板的至少一個對角線上的兩個角部的位置；照明裝置，該照明裝置能夠配置為：相對於處在所述規定位置的所述基板在所述圖像感測器的相反側，對所述基板的所述兩個角部進行照射；以及控制裝置，該控制裝置基於由所述圖像感測器檢測出的所述兩個角部的位置來判定所述基板的位置是否在規定的範圍，並當所述基板的位置不在所述規定的範圍時，對所述基板的位置進行補正；其中：所述照明裝置能夠在攝影位置和退避位置之間移動，該攝影位置是在所述基板和基板保持架之間與所述圖像感測器相對的位置，該退避位置是所述照明裝置從所述基板與所述基板保持架之間退避的位置； 所述圖像感測器配置於基板裝卸部，當所述基板位於與基板保持架的上方、下方或側方相鄰的位置時，所述圖像感測器檢測所述基板的相鄰兩邊，所述控制裝置算出這兩邊所交叉的位置作為所述角部的位置，所述基板保持架作為基板保持部件配置於基板裝卸裝置；所述控制裝置在基於所述基板的兩個角部的位置來進行所述基板相對於所述基板保持架的定位，之後將所述基板設置於所述基板保持架。
  16. 一種基板處理裝置，用於對基板進行處理，所述基板處理裝置具備：圖像感測器，在基板被搬運到規定位置時，該圖像感測器檢測所述基板的至少一個對角線上的兩個角部的位置；照明裝置，該照明裝置能夠配置為：相對於處在所述規定位置的所述基板在所述圖像感測器的相反側，對所述基板的所述兩個角部進行照射；控制裝置，該控制裝置基於由所述圖像感測器檢測出的所述兩個角部的位置來判定所述基板的位置是否在規定的範圍，並當所述基板的位置不在所述規定的範圍時，對所述基板的位置進行補正；以及搬運用自動裝置，該搬運用自動裝置為將所述基板搬運並保持到所述規定位置的搬運裝置，其中所述搬運用自動裝置具有第一機械手和第二機械手，該第一機械手將所述基板搬運並保持到所述規定位置，該第二機械手設有所述照明裝置。
  17. 如請求項15或16所述的基板處理裝置，其中：在所述基板被搬運到所述規定位置時，該圖像感測器檢測所述基板的第一對角線上的兩個角部的位置及第二對角線上的另兩個角部的位置；且當所述第一對角線上的所述兩個角部的位置之間長度一半的點，與所 述第二對角線上的所述另兩個角部的位置之間長度一半的點彼此一致、或是彼此之間的距離小於規定值時，所述控制裝置判定所述基板的位置是在所述規定的範圍。
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