CN108687722A - 载置台及载置方法 - Google Patents

Abstract

提供一种能够将工件高精度地载置于所希望的位置的载置台及载置方法。所述载置台为载置矩形形状的工件的载置台(2)，具备对载置所述工件的所述载置台的表面(10a)的平面度进行调整的平面度调整部(4a～4x)，所述平面度调整部具备：螺栓(16)，配置于贯通所述载置台的贯通孔(28)；第一球面垫片(18)，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片(20)，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉(22)，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母(24)，将所述调整螺钉固定。

Description

载置台及载置方法

技术领域

本发明涉及用于载置金属掩模等工件的载置台及向该载置台载置工件的载置方法。

背景技术

以往，已知有具备对载置金属掩模等工件的玻璃板的平面度进行调整的平面度调整机构的玻璃制测定台(例如，参照专利文献1)。根据该玻璃制测定台，能够在玻璃板没有挠曲的状态下将工件载置于玻璃板上来进行检查。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开平9-033207号公报

【发明要解决的课题】

然而，在专利文献1等记载的玻璃制测定台(载置台)中，由于在检查时将工件直接载置于玻璃板，因此存在玻璃板容易损伤的问题。因此，在玻璃板的周围具备由陶瓷等构成的框状的载置台，在该载置台上载置矩形形状的工件并进行检查的检查装置被使用。

然而，为了使用上述的检查装置高精度地检查金属掩模等矩形形状的工件，需要使工件不变形地载置于载置台。而且，需要以避免产生工件相对于载置台的位置偏离及姿势偏离的方式将工件载置于载置台。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够将工件高精度地载置于所希望的位置的载置台及向该载置台载置工件的载置方法。

【用于解决课题的方案】

本发明的载置台是载置矩形形状的工件的载置台，具备对载置所述工件的所述载置台的表面的平面度进行调整的平面度调整部，所述平面度调整部具备：螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母，将所述调整螺钉固定。

另外，本发明的载置台是载置矩形形状的工件的载置台，其特征在于，所述载置台具备对载置所述工件的所述载置台的表面内的所述工件的位置及姿势进行调整的位置姿势调整部，所述位置姿势调整部具备：升降销，具有对于从外部搬运的所述工件进行接收载置的载置面，使所述载置面沿着与所述载置台的表面交叉的方向升降；控制部，对载置于所述载置面的所述工件的在所述载置面内的移动进行控制；及夹紧部，使所述工件在所述载置面内移动，在调整了所述工件的位置及姿势的状态下支承所述工件的角部，所述控制部在所述升降销升降期间，禁止所述工件的移动，在所述夹紧部支承所述工件期间，允许所述工件的移动。

另外，本发明的载置台是载置矩形形状的工件的载置台，其特征在于，具备：平面度调整部，对载置所述工件的所述载置台的表面的平面度进行调整；及位置姿势调整部，对载置所述工件的所述载置台的表面内的所述工件的位置及姿势进行调整，所述平面度调整部具备：螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母，将所述调整螺钉固定，所述位置姿势调整部具备：升降销，具有对于从外部搬运的所述工件进行接收载置的载置面，使所述载置面沿着与所述载置台的表面交叉的方向升降；控制部，对载置于所述载置面的所述工件的在所述载置面内的移动进行控制；及夹紧部，使所述工件在所述载置面内移动，在调整了所述工件的位置及姿势的状态下支承所述工件的角部，所述控制部至少在所述升降销升降期间，禁止所述工件的移动，在所述位置姿势调整部调整所述工件的位置及姿势期间，允许所述工件的移动。

另外，本发明的载置台的特征在于，所述载置台具备对所述载置台进行支承的多个腿部，所述平面度调整部配置在所述腿部的附近。

另外，本发明的载置台的特征在于，所述夹紧部支承所述工件的四个角部。

另外，本发明的载置台的特征在于，所述工件是在金属掩模框架安装有金属掩模片的金属掩模或所述金属掩模框架。

另外，本发明的载置方法是将矩形形状的工件向载置台载置的载置方法，其特征在于，包括如下工序：第一载置工序，向配置于上升至比所述载置台的表面靠上方处的升降销上部的载置面载置所述工件；第一禁止工序，在所述第一载置工序中禁止载置于所述载置面的所述工件的在所述载置面内的移动；允许工序，使所述升降销下降至所述载置台的表面附近且比所述载置台的表面靠上方处，允许所述工件的在所述载置面内的移动；位置姿势调整工序，调整所述载置台的表面内的所述工件的位置及姿势；第二禁止工序，在所述位置姿势调整工序之后，禁止所述工件的在所述载置面内的移动；及第二载置工序，使所述升降销下降到比所述载置台的表面靠下方处，向所述载置台的表面载置所述工件，所述位置姿势调整工序在配置于所述工件的角部的夹紧部，使所述工件在所述载置面内移动，在调整了所述工件的位置及姿势的状态下支承所述工件的角部。

另外，本发明的载置方法的特征在于，还包括平面度调整工序，所述平面度调整工序在所述第一载置工序之前调整所述载置台的表面的平面度，所述平面度调整工序利用平面度调整部来调整所述平面度，所述平面度调整部由如下构件构成：螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母，将所述调整螺钉固定。

另外，本发明的载置方法的特征在于，所述工件是在金属掩模框架安装有金属掩模片的金属掩模或所述金属掩模框架。

【发明效果】

根据本发明，能够提供一种可将工件高精度地载置于所希望的位置的载置台及向该载置台载置工件的载置方法。

附图说明

图1是表示实施方式的检查台的概略结构的立体图。

图2是表示实施方式的检查台的概略结构的俯视图。

图3是表示实施方式的检查台的概略结构的主视图。

图4是表示实施方式的检查台的概略结构的右侧视图。

图5是表示实施方式的平面度调整机构的结构的中央纵剖视图。

图6是表示实施方式的升降销上升的状态的图。

图7是用于说明实施方式的夹紧件的结构的放大图。

图8是表示实施方式的检查台的系统结构的框图。

图9是用于说明使用了实施方式的检查台的金属掩模载置方法的流程图。

【标号说明】

2…检查台，4a～4x…平面度调整机构，6a～6d…夹紧件，8…玻璃板，10…台部，12a～12w…腿部，14…基台，16…螺栓，18…第一球面垫片，20…第二球面垫片，22…调整螺钉，24…固定螺母，26…凹部，28…贯通孔，30…固定构件，32…X方向可动构件，34…Y方向可动构件，36…控制部，38…升降销驱动部，40…锁定部，42…X侧夹紧件驱动部，44…Y侧夹紧件驱动部，46…存储部，48…输入部。

具体实施方式

以下，参照附图，说明本发明的实施方式的载置台。载置台是载置矩形形状的工件的结构，在该实施方式中，列举金属掩模作为矩形形状的工件，并列举载置该金属掩模而进行检查的检查台作为载置台的例子进行说明。金属掩模通过利用金属掩模制造装置向构成框状的金属掩模框架的相对的两边依次粘贴多个带状的金属掩模片的两端部来制造，在有机EL元件的制造工序中对有机发光层进行真空蒸镀时使用。

图1是表示实施方式的检查台的概略结构的立体图，图2是表示实施方式的检查台的概略结构的俯视图，图3是表示实施方式的检查台的概略结构的主视图，图4是表示实施方式的检查台的概略结构的右侧视图。需要说明的是，在以下的说明中，设定图1所示的XYZ正交坐标系，参照该正交坐标系来说明各构件的位置关系等。XY平面设定为与载置检查台的水平面平行的面，Z轴设定为铅垂方向。

如图1～图4所示，检查台2具备玻璃板8、台部10、多个(在该实施方式中为24个)腿部12a～12w及未图示的腿部、基台14、多个(在该实施方式中为24个)平面度调整机构4a～4x、多个(在该实施方式中为10个)升降销5a～5j、以及多个(在该实施方式中为4个)夹紧件6a～6d。玻璃板8配置于中央部，框状的台部10配置于玻璃板8的周围。台部10由陶瓷等构成，载置作为检查对象物的金属掩模。腿部12a～12w及未图示的腿部对台部10进行支承，腿部12a～12c设置在台部10的+Y方向侧，腿部12d～12h设置在台部10的-Y方向侧，腿部12i～12p设置在台部10的+X方向侧，腿部12q～12w及未图示的腿部设置在台部10的-X方向侧。

平面度调整机构4a～4c分别配置在台部10的+Y方向侧且腿部12a～12c各自的附近。同样，平面度调整机构4d～4h分别配置在台部10的-Y方向侧且腿部12d～12h各自的附近，平面度调整机构4i～4p分别配置在台部10的+X方向侧且腿部12i～12p各自的附近，平面度调整机构4q～4x分别配置在台部10的-X方向侧且腿部12q～12w及未图示的腿部各自的附近。平面度调整机构4a～4x调整台部10的表面，即台部10的载置面10a的平面度。

图5是表示平面度调整机构4h的结构的中央纵剖视图。如图5所示，平面度调整机构4h具备螺栓16、第一球面垫片18、第二球面垫片20、调整螺钉22及固定螺母24。螺栓16配置于在台部10的载置面10a设置的凹部26、及从凹部26沿Z方向贯通台部10的贯通孔28。第一球面垫片18被螺栓16插通，第一球面垫片18在台部10的载置面10a侧(+Z方向侧)且在贯通孔28的入口配置。即，第一球面垫片18配置于螺栓16的头部与凹部26的底部之间。第二球面垫片20被螺栓16插通，第二球面垫片20在台部10的背面侧(-Z方向侧)且在贯通孔28的出口配置。腿部12h在支承台部10的支承部设有沿Z方向贯通的贯通孔，第二球面垫片20配置在台部10的背面与设于腿部12h的贯通孔的入口(+Z方向侧)之间。

调整螺钉22在台部10的背面侧且在设于腿部12h的贯通孔配置。在调整螺钉22的+Z方向侧的端部形成有容纳螺栓16的-Z方向侧的螺纹部的容纳部22a。通过使调整螺钉22向一方旋转而将螺栓16拧紧，台部10的载置面10a的平面度变化。而且，通过使调整螺钉22向另一方旋转而将螺栓16松缓，台部10的载置面10a的平面度变化。固定螺母24对调整螺钉22进行固定。需要说明的是，第一球面垫片18及第二球面垫片20吸收XY平面上的台部10的平面度调整机构4h周围的倾斜。而且，平面度调整机构4a～4g及4i～4x的结构与平面度调整机构4h的结构相同，因此省略说明。

升降销5a在台部10的+X方向侧且在平面度调整机构4i与4j之间设置，升降销5b在台部10的+X方向侧且在平面度调整机构4j与4k之间设置，升降销5c在台部10的+X方向侧且在平面度调整机构4l与4m之间设置，升降销5d在台部10的+X方向侧且在平面度调整机构4n与4o之间设置，升降销5e在台部10的+X方向侧且在平面度调整机构4j与4k之间设置。而且，升降销5f在台部10的-X方向侧且在平面度调整机构4q与4r之间设置，升降销5g在台部10的-X方向侧且在平面度调整机构4s与4t之间设置，升降销5h在台部10的-X方向侧且在平面度调整机构4u与4v之间设置，升降销5i在台部10的-X方向侧且在平面度调整机构4w与4x之间设置，升降销5j在台部10的-X方向侧且在平面度调整机构4j与4k之间设置。

升降销5a～5j构成为能够在从待机位置(参照图1～图4)经由对于升降销5a～5j分别设置的台部10的切口部直至台部10的上方(+Z方向)的工件接收位置(参照图6)之间移动，所述待机位置位于台部10的下方(-Z方向)且基台14的上侧(+Z方向侧)附近。即，升降销5a～5j沿Z方向升降。而且，升降销5a～5j在工件接收位置具有对于从外部向检查台2搬运的金属掩模进行接收载置的载置面。升降销5a～5j在工件接收位置接收从外部向台部10搬运的金属掩模，向-Z方向移动而将金属掩模载置于台部10的载置面10a上。而且，升降销5a具备对于载置的金属掩模的载置面(XY平面)内的移动进行控制的定心单元(未图示)。同样，升降销5b～5j分别具备对于载置的金属掩模的载置面(XY平面)内的移动进行控制的定心单元(未图示)。

夹紧件6a～6d分别配置在台部10的四个角部，使在升降销5a～5j的载置面上载置的金属掩模在载置面内移动。图7是图2所示的由圆A包围的构件的放大图。如图7所示，夹紧件6a具备：固定于台部10的L字型的固定构件30；相对于固定构件30能够沿±X方向移动的X方向可动构件32；相对于固定构件能够沿±Y方向移动的Y方向可动构件34。X方向可动构件32的前端部32a及Y方向可动构件34的前端部34a由能够旋转的滚珠构成，通过X方向可动构件32向-X方向移动且Y方向可动构件34向-Y方向移动而前端部32a及34a与金属掩模的角接触。通过前端部32a及34a与金属掩模的角接触而金属掩模在升降销5a～5j的载置面(XY平面)内移动，来调整金属掩模的位置及姿势。而且，夹紧件6a的X方向可动构件32及Y方向可动构件34在调整了金属掩模的位置及姿势的状态下支承金属掩模的角部。

需要说明的是，夹紧件6b的结构以台部10的宽度方向(X方向)的中心线为线对称地与图7所示的夹紧件6a的结构相同。而且，夹紧件6c的结构以台部10的长度方向(Y方向)的中心线为线对称地与图7所示的夹紧件6a的结构相同。而且，夹紧件6d的结构以台部10的中心为点对称地与图7所示的夹紧件6a的结构相同。夹紧件6a～6d分别对金属掩模的角部进行支承，由此支承金属掩模的四个角部。需要说明的是，升降销5a～5j及夹紧件6a～6d构成对台部10的载置面10a内的金属掩模的位置及姿势进行调整的位置姿势调整装置。

图8是表示检查台2的系统结构的框图。如图8所示，检查台2具备对检查台2的各部，尤其是升降销5a～5j及夹紧件6a～6d的各部进行集中控制的控制部36。在控制部36连接有升降销5a的升降销驱动部38。控制部36对升降销驱动部38的驱动进行控制，升降销驱动部38对升降销5a进行驱动。即，控制部36经由升降销驱动部38而使升降销5a沿±Z方向移动。

另外，在控制部36连接有升降销5a的锁定部40。锁定部40按照控制部36的控制，对升降销5a的定心单元的锁定及锁定解除进行控制。即，控制部36至少在升降销5a～5j升降期间，经由锁定部40将升降销5a的定心单元锁定，由此禁止升降销5a的载置面内的金属掩模的移动。而且，控制部36在上述的位置姿势调整装置中调整金属掩模的位置及姿势期间，经由锁定部40将升降销5a的定心单元的锁定解除，由此允许升降销5a的载置面内的金属掩模的移动。

需要说明的是，升降销5b～5j也分别具备升降销驱动部(未图示)及锁定部(未图示)，升降销5b～5j的升降销驱动部及锁定部与控制部36分别连接。而且，升降销5b～5j的升降销驱动部及锁定部的结构与升降销驱动部38及锁定部40的结构相同。

另外，在控制部36连接有夹紧件6a的X侧夹紧件驱动部42及Y侧夹紧件驱动部44。控制部36对X侧夹紧件驱动部42的驱动进行控制，X侧夹紧件驱动部42对X方向可动构件32的驱动进行控制。即，控制部36经由X侧夹紧件驱动部42使X方向可动构件32沿±X方向移动。而且，控制部对Y侧夹紧件驱动部44的驱动进行控制，Y侧夹紧件驱动部44对Y方向可动构件34的驱动进行控制。即，控制部36经由Y侧夹紧件驱动部44使Y方向可动构件34沿±Y方向移动。

需要说明的是，夹紧件6b～6d也分别具备X侧夹紧件驱动部(未图示)及Y侧夹紧件驱动部(未图示)，夹紧件6b～6d的X侧夹紧件驱动部及Y侧夹紧件驱动部与控制部36分别连接。而且，夹紧件6b～6d的X侧夹紧件驱动部及Y侧夹紧件驱动部的结构与X侧夹紧件驱动部42及Y侧夹紧件驱动部44的结构相同。

另外，在控制部36连接有存储部46及输入部48。在存储部46存储有与各种金属掩模的尺寸相关的信息，控制部36取得经由输入部48输入的与作为检查对象的金属掩模相关的信息，基于取得的信息来读入存储部46中存储的与作为检查对象的金属掩模的尺寸相关的信息。控制部36基于读入的信息，来控制夹紧件6a的X侧夹紧件驱动部42及Y侧夹紧件驱动部44、以及夹紧件6b～6d的X侧夹紧件驱动部及Y侧夹紧件驱动部的驱动。

接下来，参照附图，说明在该实施方式的检查台2中将金属掩模向检查台2(台部10)载置的金属掩模载置方法。图9是用于说明在检查台2中将金属掩模向台部10载置时的处理的流程图。

首先，控制部36调整台部10的载置面10a的平面度(步骤S1)。具体而言，控制部36以取得由未图示的平面度计测装置计测到的载置面10a的平面度计测结果并将取得结果向未图示的输出部输出的方式进行指示。使用者参照向输出部输出的平面度计测结果，使用平面度调整机构4a～4x来调整平面度。具体而言，通过使调整螺钉22或其他的调整螺钉向顺时针方向或逆时针方向旋转来使螺栓16拧紧松缓，调整台部10的平面度。通过反复进行台部10的平面度的计测及调整来提高台部10的平面度。

接下来，控制部36在步骤S1中调整了台部10的平面度之后，使升降销5a～5j从待机位置(参照图1)上升至图6所示的位置，即比台部10的载置面10a靠上方处(步骤S2)。具体而言，控制部36对升降销驱动部38及其他的升降销驱动部的驱动进行控制，由此使升降销5a～5j向+Z方向上升规定距离。

接下来，控制部36当确认到从外部向检查台2搬运的金属掩模载置于在升降销5a～5j上部配置的载置面的情况时(步骤S3)，将升降销5a～5j的定心单元锁定，禁止升降销5a～5j的载置面内的金属掩模的移动(步骤S4)。具体而言，控制部36例如通过接收经由输入部输入的确认信号或从未图示的检测传感器等发送的确认信号来确认作为检查对象的金属掩模载置于升降销5a～5j的载置面的情况。并且，控制部36对于锁定部40及其他的锁定部以将升降销5a～5j的定心单元锁定的方式进行指示，锁定部40及其他的锁定部分别将升降销5a～5j各自的定心单元锁定。通过将升降销5a～5j的定心单元锁定而金属掩模在升降销5a～5j的载置面内被固定。

接下来，控制部36使升降销5a～5j从图6所示的位置下降至台部10的载置面10a附近且比载置面10a靠上方处，即比载置面10a微小量靠上方处(步骤S5)。具体而言，控制部36通过控制升降销驱动部38及其他的升降销驱动部的驱动而使升降销5a～5j向-Z方向下降规定距离。

接下来，控制部36解除升降销5a～5j的定心单元的锁定，允许升降销5a～5j的载置面内的金属掩模的移动(步骤S6)。具体而言，控制部36对于锁定部40及其他的锁定部以将升降销5a～5j的定心单元的锁定解除的方式进行指示，锁定部40及其他的锁定部分别解除升降销5a～5j各自的定心单元的锁定。通过解除升降销5a～5j的定心单元的锁定而金属掩模在升降销5a～5j的载置面内能够移动。

接下来，控制部36调整台部10的载置面10a中的金属掩模的位置及姿势(步骤S7)。具体而言，控制部36取得经由输入部48输入的与金属掩模相关的信息，基于取得的信息来读入存储部46中存储的与金属掩模的尺寸相关的信息。并且，控制部36基于读入的信息，对于夹紧件6a的X侧夹紧件驱动部42及Y侧夹紧件驱动部44以及夹紧件6b～6d的X侧夹紧件驱动部及Y侧夹紧件驱动部的驱动进行控制。X侧夹紧件驱动部42及其他的X侧夹紧件驱动部分别使夹紧件6a的X方向可动构件32及夹紧件6b～6d的X方向可动构件沿X方向分别移动规定距离。同样，Y侧夹紧件驱动部44及其他的Y侧夹紧件驱动部分别使夹紧件6a的Y方向可动构件34及夹紧件6b～6d的Y方向可动构件沿Y方向分别移动规定距离。通过X方向可动构件32、其他的X方向可动构件、Y方向可动构件34及其他的Y方向可动构件的移动而金属掩模在XY平面内移动。并且，在调整了金属掩模相对于载置面10a的位置及姿势的状态下，金属掩模的四个角部由夹紧件6a～6d支承。

接下来，控制部36在步骤S7中结束了金属掩模的位置及姿势的调整之后，将升降销5a～5j的定心单元锁定，禁止升降销5a～5j的载置面内的金属掩模的移动(步骤S8)。即，控制部36对于锁定部40及其他的锁定部以将升降销5a～5j的定心单元锁定的方式进行指示，锁定部40及其他的锁定部分别将升降销5a～5j各自的定心单元锁定。并且，控制部36通过控制升降销驱动部38及其他的升降销驱动部的驱动而使升降销5a～5j下降到比台部10的载置面10a靠下方处(步骤S9)，将金属掩模载置于台部10的载置面10a。在金属掩模载置于台部10的载置面10a之后，升降销5a～5j下降至待机位置。

根据该实施方式的检查台2，由于具备平面度调整机构4a～4x，因此能够高精度地维持台部10的载置面10a的平面度，能够使金属掩模不变形地载置于台部10的载置面10a。而且，由于具备由升降销5a～5j及夹紧件6a～6d构成的位置姿势调整装置，因此能够调整金属掩模相对于台部10的位置及姿势，能够将金属掩模载置于台10的载置面10a的所希望的位置。

另外，根据该实施方式的金属掩模的载置方法，由于使用平面度调整机构4a～4x来调整台部10的载置面10a的平面度，因此能够高精度地维持载置面10a的平面度，能够使金属掩模不变形地载置于台部10的载置面10a。而且，由于使用由升降销5a～5j及夹紧件6a～6d构成的位置姿势调整装置来调整金属掩模相对于台部10的位置及姿势，因此能够将金属掩模载置于台10的载置面10a的所希望的位置。

另外，在上述的实施方式中，具备平面度调整装置及位置姿势调整装置这两方，但也可以是仅具备平面度调整装置的结构或仅具备位置姿势调整装置的结构。

另外，在上述的实施方式中，列举载置金属掩模的情况为例进行了说明，但是在载置金属掩模以外的矩形形状的工件(例如金属掩模框架等)的情况下也能够适用本发明。而且，在上述的实施方式中，列举设于检查装置的检查台为例进行了说明，但是在设于检查装置以外的装置(例如金属掩模制造装置等)的载置台中也可以适用本发明。

另外，在上述的实施方式中，虽然具备24个平面度调整机构，但是只要能够良好地调整检查台(载置台)的平面度即可，平面度调整机构的个数没有限定。而且，虽然平面度调整机构配置于图1～图4所示的位置，但是只要能够良好地调整检查台(载置台)的平面度即可，也可以配置于其他的位置。而且，在上述的实施方式中，虽然具备10个升降销，但是只要能够良好地支承金属掩模(工件)即可，升降销的个数不受限定。而且，在上述的实施方式中，具备对金属掩模的四个角部分别进行支承的4个夹紧件，但是只要能够良好地支承金属掩模的角部即可，夹紧件的个数不受限定。

Claims (9)

1.一种载置台，载置矩形形状的工件，所述载置台的特征在于，

所述载置台具备对载置所述工件的所述载置台的表面的平面度进行调整的平面度调整部，

所述平面度调整部具备：

螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；

第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；

第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；

调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及

固定螺母，将所述调整螺钉固定。

2.一种载置台，载置矩形形状的工件，所述载置台的特征在于，

所述载置台具备对载置所述工件的所述载置台的表面内的所述工件的位置及姿势进行调整的位置姿势调整部，

所述位置姿势调整部具备：

升降销，具有对于从外部搬运的所述工件进行接收载置的载置面，使所述载置面沿着与所述载置台的表面交叉的方向升降；

控制部，对载置于所述载置面的所述工件的在所述载置面内的移动进行控制；及

夹紧部，使所述工件在所述载置面内移动，在调整了所述工件的位置及姿势的状态下支承所述工件的角部，

所述控制部至少在所述升降销升降期间，禁止所述工件的移动，在所述位置姿势调整部调整所述工件的位置及姿势期间，允许所述工件的移动。

3.一种载置台，载置矩形形状的工件，所述载置台的特征在于，具备：

平面度调整部，对载置所述工件的所述载置台的表面的平面度进行调整；及

位置姿势调整部，对载置所述工件的所述载置台的表面内的所述工件的位置及姿势进行调整，

所述平面度调整部具备：

螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；

第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；

第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；

调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及

固定螺母，将所述调整螺钉固定，

所述位置姿势调整部具备：

升降销，具有对于从外部搬运的所述工件进行接收载置的载置面，使所述载置面沿着与所述载置台的表面交叉的方向升降；

控制部，对载置于所述载置面的所述工件的在所述载置面内的移动进行控制；及

夹紧部，使所述工件在所述载置面内移动，在调整了所述工件的位置及姿势的状态下支承所述工件的角部，

所述控制部在所述升降销升降期间，禁止所述工件的移动，在所述夹紧部支承所述工件期间，允许所述工件的移动。

4.根据权利要求1或3所述的载置台，其特征在于，

所述载置台具备对所述载置台进行支承的多个腿部，

所述平面度调整部配置在所述腿部的附近。

5.根据权利要求2或3所述的载置台，其特征在于，

所述夹紧部支承所述工件的四个角部。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的载置台，其特征在于，

所述工件是在金属掩模框架安装有金属掩模片的金属掩模或所述金属掩模框架。

7.一种载置方法，将矩形形状的工件向载置台载置，所述载置方法的特征在于，包括如下工序：

第一载置工序，向配置于上升至比所述载置台的表面靠上方处的升降销上部的载置面载置所述工件；

第一禁止工序，在所述第一载置工序中禁止载置于所述载置面的所述工件的在所述载置面内的移动；

允许工序，使所述升降销下降至所述载置台的表面附近且比所述载置台的表面靠上方处，允许所述工件的在所述载置面内的移动；

位置姿势调整工序，调整所述载置台的表面内的所述工件的位置及姿势；

第二禁止工序，在所述位置姿势调整工序之后，禁止所述工件的在所述载置面内的移动；及

第二载置工序，使所述升降销下降到比所述载置台的表面靠下方处，向所述载置台的表面载置所述工件，

所述位置姿势调整工序在配置于所述工件的角部的夹紧部，使所述工件在所述载置面内移动，在调整了所述工件的位置及姿势的状态下支承所述工件的角部。

8.根据权利要求7所述的载置方法，其特征在于，

所述载置方法还包括平面度调整工序，所述平面度调整工序在所述第一载置工序之前调整所述载置台的表面的平面度，

所述平面度调整工序利用平面度调整部来调整所述平面度，所述平面度调整部由如下构件构成：螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母，将所述调整螺钉固定。

9.根据权利要求7或8所述的载置方法，其特征在于，

所述工件是在金属掩模框架安装有金属掩模片的金属掩模或所述金属掩模框架。