JP3278551B2 - ガラス製測定テーブル - Google Patents
ガラス製測定テーブルInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ガラス製測定テ
ーブルに関し、特に、その平面度の調整が可能なガラス
製測定テーブルに関するものである。
ーブルに関し、特に、その平面度の調整が可能なガラス
製測定テーブルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】集積回路やプリント配線板の製造に使用
されるフォトマスクは、微細なパターンがフィルムに焼
付け形成されていて、その寸法形状を高精度に保つ必要
性がある。ところで、フィルムに焼き付けられているこ
の種のパターンは、製造に使用する前に、その寸法形状
が設計図面と一致しているかどうかの検査が行なわれ
る。
されるフォトマスクは、微細なパターンがフィルムに焼
付け形成されていて、その寸法形状を高精度に保つ必要
性がある。ところで、フィルムに焼き付けられているこ
の種のパターンは、製造に使用する前に、その寸法形状
が設計図面と一致しているかどうかの検査が行なわれ
る。
【０００３】この検査には、例えば、特開平７−１２５
１２号公報に開示されているような二次元座標測定機が
用いられる。この公報に開示されている測定機では、ガ
ラス製の測定テーブルの下方からフォトマスク側に向け
て照明光を照射し、フォトマスクの上面側に、例えば、
顕微鏡を設置して、顕微鏡により透過光を受光して、パ
ターンの形状や寸法が数十ミクロンといった精度で測定
される。
１２号公報に開示されているような二次元座標測定機が
用いられる。この公報に開示されている測定機では、ガ
ラス製の測定テーブルの下方からフォトマスク側に向け
て照明光を照射し、フォトマスクの上面側に、例えば、
顕微鏡を設置して、顕微鏡により透過光を受光して、パ
ターンの形状や寸法が数十ミクロンといった精度で測定
される。
【０００４】このような測定に使用される二次元座標測
定機の測定テーブルは、通常、フォトマスクが載置され
る平板状のガラス板と、このガラス板の周縁を支持する
枠体と、枠体に取り付けられた脚部とから構成されてい
たが、このような従来の測定テーブルには、以下に説明
する技術的な課題があった。
定機の測定テーブルは、通常、フォトマスクが載置され
る平板状のガラス板と、このガラス板の周縁を支持する
枠体と、枠体に取り付けられた脚部とから構成されてい
たが、このような従来の測定テーブルには、以下に説明
する技術的な課題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】すなわち、上述したよ
うな従来の測定テーブルでは、平板状のガラス板の周縁
を枠体で支持する構造なので、自重によってガラス板が
撓み平面度が悪化するという問題があった。ガラス板の
平面度が悪化すると、その上面側に載置されるフォトマ
スクの測定精度が低下することになる。
うな従来の測定テーブルでは、平板状のガラス板の周縁
を枠体で支持する構造なので、自重によってガラス板が
撓み平面度が悪化するという問題があった。ガラス板の
平面度が悪化すると、その上面側に載置されるフォトマ
スクの測定精度が低下することになる。
【０００６】このような問題に対しては、例えば、ガラ
ス板を下面側から支持する脚部を複数設けることが考え
られるが、測定対象となるフォトマスクのパターンは、
種々の形状があり、ガラス板の下面側から照射光を照射
する際に、透過光に影響を及ぼすことがない脚部位置の
選択が非常に困難であって、このような解決手段では、
高精度の測定を確保するためには不十分であった。
ス板を下面側から支持する脚部を複数設けることが考え
られるが、測定対象となるフォトマスクのパターンは、
種々の形状があり、ガラス板の下面側から照射光を照射
する際に、透過光に影響を及ぼすことがない脚部位置の
選択が非常に困難であって、このような解決手段では、
高精度の測定を確保するためには不十分であった。
【０００７】本発明は、このような従来の問題点に鑑み
てなされたものであって、その目的とするところは、平
面度の調整を行なうことにより、平面度を高精度に維持
することができるガラス製測定テーブルを提供すること
にある。
てなされたものであって、その目的とするところは、平
面度の調整を行なうことにより、平面度を高精度に維持
することができるガラス製測定テーブルを提供すること
にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、平板状ガラス板と、このガラス板の外周
縁を支持する枠体と、この枠体を支持する脚部とを備え
たガラス製測定テーブルにおいて、前記ガラス板は、相
互に積層された少なくとも一対の上，下ガラス板を有
し、前記上，下ガラス板の中央部分に設けられ、調整ロ
ッドの回転により前記上ガラス板を上下方向に移動させ
る第１平面度調整機構と、前記枠体に設けられ、この枠
体が前記上，下ガラス板を支持する部分を上下方向に移
動させる複数の第２平面度調整機構を備え、前記第１平
面度調整機構は、前記上，下ガラス板の中心とその周囲
に複数配置し、前記第２平面度調整機構は、前記枠体が
前記上，下ガラス板を支持する部分を周方向に沿って複
数に分割し、各分割した部分にそれぞれ配置したことを
特徴とする。前記第１平面度調整機構は、前記上，下ガ
ラス板の対応する位置にそれぞれ貫通形成された孔部内
に固設される上，下ガイドブッシュと、これらのガイド
ブッシュ間に跨がるようにして装着される前記調整ロッ
ドとを備え、前記上ガイドブッシュの中心に前記調整ロ
ッドの上部側に刻設されたネジ部と螺合するネジ孔を貫
通形成するとともに、前記下ガイドブッシュの中心に前
記調整ロッドの下部側が嵌挿入される貫通孔を設け、前
記調整ロッドのネジ部を前記ネジ孔に螺着し、かつ、そ
の下部側を前記貫通孔に挿通した状態で、前記上，下ガ
ラス板間に位置する環状の鍔部を前記調整ロッドの外周
に突設するとともに、前記下ガラス板の下面側と対向す
るストッパを前記調整ロッドの下端に螺着することで構
成される。前記第２平面度調整機構は、前記ガラス板の
外周縁を載置支持する前記枠体の内周側に設けられた延
出部と、この延出部の上方にスリット状空間を介して対
向形成された前記枠体の基部と、前記延出部と前記基部
との間に介装され、先端側が前記延出部に螺着された調
整ネジとで構成することができる。前記延出部は、スリ
ット孔で周方向に沿って複数に分割され、この分割され
た複数の延出部に前記第２平面度調整機構をそれぞれ配
置することができる。上記構成の測定テーブルによれ
ば、上，下ガラス板の中央部分に設けられ、調 整ロッド
の回転により上ガラス板を上下方向に移動させる第１平
面度調整機構と、 枠体に設けられ、この枠体が上，下
ガラス板を支持する部分を上下方向に移動させる複数の
第２平面度調整機構を備え、第１平面度調整機構は、
上，下ガラス板の中心とその周囲に複数配置し、前記第
２平面度調整機構は、前記枠体が前記上，下ガラス板を
支持する部分を周方向に沿って複数に分割し、各分割し
た部分にそれぞれ配置したので、上ガラス板の中央部分
を上下方に移動させ、かつ、ガラス板の周縁を上下方向
に移動させることで、上ガラス板の平面度を自在に変化
させることができる。
め、本発明は、平板状ガラス板と、このガラス板の外周
縁を支持する枠体と、この枠体を支持する脚部とを備え
たガラス製測定テーブルにおいて、前記ガラス板は、相
互に積層された少なくとも一対の上，下ガラス板を有
し、前記上，下ガラス板の中央部分に設けられ、調整ロ
ッドの回転により前記上ガラス板を上下方向に移動させ
る第１平面度調整機構と、前記枠体に設けられ、この枠
体が前記上，下ガラス板を支持する部分を上下方向に移
動させる複数の第２平面度調整機構を備え、前記第１平
面度調整機構は、前記上，下ガラス板の中心とその周囲
に複数配置し、前記第２平面度調整機構は、前記枠体が
前記上，下ガラス板を支持する部分を周方向に沿って複
数に分割し、各分割した部分にそれぞれ配置したことを
特徴とする。前記第１平面度調整機構は、前記上，下ガ
ラス板の対応する位置にそれぞれ貫通形成された孔部内
に固設される上，下ガイドブッシュと、これらのガイド
ブッシュ間に跨がるようにして装着される前記調整ロッ
ドとを備え、前記上ガイドブッシュの中心に前記調整ロ
ッドの上部側に刻設されたネジ部と螺合するネジ孔を貫
通形成するとともに、前記下ガイドブッシュの中心に前
記調整ロッドの下部側が嵌挿入される貫通孔を設け、前
記調整ロッドのネジ部を前記ネジ孔に螺着し、かつ、そ
の下部側を前記貫通孔に挿通した状態で、前記上，下ガ
ラス板間に位置する環状の鍔部を前記調整ロッドの外周
に突設するとともに、前記下ガラス板の下面側と対向す
るストッパを前記調整ロッドの下端に螺着することで構
成される。前記第２平面度調整機構は、前記ガラス板の
外周縁を載置支持する前記枠体の内周側に設けられた延
出部と、この延出部の上方にスリット状空間を介して対
向形成された前記枠体の基部と、前記延出部と前記基部
との間に介装され、先端側が前記延出部に螺着された調
整ネジとで構成することができる。前記延出部は、スリ
ット孔で周方向に沿って複数に分割され、この分割され
た複数の延出部に前記第２平面度調整機構をそれぞれ配
置することができる。上記構成の測定テーブルによれ
ば、上，下ガラス板の中央部分に設けられ、調 整ロッド
の回転により上ガラス板を上下方向に移動させる第１平
面度調整機構と、 枠体に設けられ、この枠体が上，下
ガラス板を支持する部分を上下方向に移動させる複数の
第２平面度調整機構を備え、第１平面度調整機構は、
上，下ガラス板の中心とその周囲に複数配置し、前記第
２平面度調整機構は、前記枠体が前記上，下ガラス板を
支持する部分を周方向に沿って複数に分割し、各分割し
た部分にそれぞれ配置したので、上ガラス板の中央部分
を上下方に移動させ、かつ、ガラス板の周縁を上下方向
に移動させることで、上ガラス板の平面度を自在に変化
させることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下本発明の発明の実施の形態に
ついて添附図面を参照して詳細に説明する。図１から図
３は、本発明にかかるガラス製測定テーブルの一実施例
を示している。同図に示す実施例では、本発明をエア吸
着ガラス製測定テーブルに適用した場合を例示してい
る。測定テーブルは、ほぼ同じ厚みを有し、略正方形状
に形成され、上下方向に積層される透明な一対の上，下
ガラス板１０，１２と、これらのガラス板１０，１２の
外周縁部を支持する額縁状の枠体１４と、枠体１４を支
持する図示省略の脚部とを有している。
ついて添附図面を参照して詳細に説明する。図１から図
３は、本発明にかかるガラス製測定テーブルの一実施例
を示している。同図に示す実施例では、本発明をエア吸
着ガラス製測定テーブルに適用した場合を例示してい
る。測定テーブルは、ほぼ同じ厚みを有し、略正方形状
に形成され、上下方向に積層される透明な一対の上，下
ガラス板１０，１２と、これらのガラス板１０，１２の
外周縁部を支持する額縁状の枠体１４と、枠体１４を支
持する図示省略の脚部とを有している。
【００１０】上ガラス板１０は、図２，３に示すよう
に、ほぼ同じ形状に形成され、上下方向に積層された第
１上ガラス板１０ａと第２上ガラス板１０ｂとを有して
いて、これらの上ガラス板１０ａ，１０ｂは、紫外線硬
化型の接着剤１６により相互に接着されている。第１上
ガラス板１０ａは、その下方に配置される第２上ガラス
板１０ｂよりも厚く形成されていて、その下面側には、
凹状断面のエア吸着通路１８が設けられいる。
に、ほぼ同じ形状に形成され、上下方向に積層された第
１上ガラス板１０ａと第２上ガラス板１０ｂとを有して
いて、これらの上ガラス板１０ａ，１０ｂは、紫外線硬
化型の接着剤１６により相互に接着されている。第１上
ガラス板１０ａは、その下方に配置される第２上ガラス
板１０ｂよりも厚く形成されていて、その下面側には、
凹状断面のエア吸着通路１８が設けられいる。
【００１１】エア吸着通路１８は、この実施例では、第
１上ガラス板１０ａの中心に対して、上ガラス板１０ａ
を周方向に４等分した領域において、略十字状にクロス
するように形成されていて、３つに分けられた各エア吸
着通路１８の端部には、図外の排気装置に連通接続され
る吸引口２０がそれぞれ設けられている。また、エア吸
着通路１８には、上ガラス板１０ａの上面に開口する多
数の吸着孔（図示省略）が連通形成されている。
１上ガラス板１０ａの中心に対して、上ガラス板１０ａ
を周方向に４等分した領域において、略十字状にクロス
するように形成されていて、３つに分けられた各エア吸
着通路１８の端部には、図外の排気装置に連通接続され
る吸引口２０がそれぞれ設けられている。また、エア吸
着通路１８には、上ガラス板１０ａの上面に開口する多
数の吸着孔（図示省略）が連通形成されている。
【００１２】一方、相互に積層された上，下ガラス板１
０，１２の中央部分には、複数の第１平面度調整機構Ａ
が設けられるとともに、枠体１４が上，下ガラス板１
０，１２を支持する部分には、複数の第２平面度調整機
構Ｂが設けられている。第１平面度調整機構Ａは、上ガ
ラス板１０を上下方向に移動させるものであって、図１
に小円で示したように、ガラス板１０，１２の中心と、
この中心に対して、点対称となる位置に４箇所設けられ
ている。
０，１２の中央部分には、複数の第１平面度調整機構Ａ
が設けられるとともに、枠体１４が上，下ガラス板１
０，１２を支持する部分には、複数の第２平面度調整機
構Ｂが設けられている。第１平面度調整機構Ａは、上ガ
ラス板１０を上下方向に移動させるものであって、図１
に小円で示したように、ガラス板１０，１２の中心と、
この中心に対して、点対称となる位置に４箇所設けられ
ている。
【００１３】図２に第１平面度調整機構Ａの詳細を示し
ている。同図に示す第１平面度調整機構Ａは、上ガイド
ブッシュ２０と、下ガイドブッシュ２２と、調整ロッド
２４とを有している。上ガイドブッシュ２０は、第１お
よび第２上ガラス板１０ａ，１０ｂ間で連続するように
貫通形成された鼓状孔部２６内に接着固定されるもので
あって、皿ネジ状の第１および第２ブッシュ２０ａ，２
０ｂとから構成されている。
ている。同図に示す第１平面度調整機構Ａは、上ガイド
ブッシュ２０と、下ガイドブッシュ２２と、調整ロッド
２４とを有している。上ガイドブッシュ２０は、第１お
よび第２上ガラス板１０ａ，１０ｂ間で連続するように
貫通形成された鼓状孔部２６内に接着固定されるもので
あって、皿ネジ状の第１および第２ブッシュ２０ａ，２
０ｂとから構成されている。
【００１４】第１ブッシュ２０ａの下端側には、環状凹
部２０１ａが設けられ、この凹部２０１ａの側面には、
雌ねじ２０２ａが内設されている。第２ブッシュ２０ｂ
の上端側には、環状の凸部２０１ｂが設けられ、この凸
部２０１ｂの外周側面には、雌ねじ２０２ａと螺合する
雄ねじ２０２ｂが周設されている。そして、第１および
第２ブッシュ２０ａ，２０ｂの中心には、雌ねじ２０２
ａと雄ねじ２０２ｂとを螺着した状態で相互に連通する
ネジ孔２０３ａ，２０３ｂが軸方向に貫通形成されてい
る。
部２０１ａが設けられ、この凹部２０１ａの側面には、
雌ねじ２０２ａが内設されている。第２ブッシュ２０ｂ
の上端側には、環状の凸部２０１ｂが設けられ、この凸
部２０１ｂの外周側面には、雌ねじ２０２ａと螺合する
雄ねじ２０２ｂが周設されている。そして、第１および
第２ブッシュ２０ａ，２０ｂの中心には、雌ねじ２０２
ａと雄ねじ２０２ｂとを螺着した状態で相互に連通する
ネジ孔２０３ａ，２０３ｂが軸方向に貫通形成されてい
る。
【００１５】また、第２ブッシュ２０ｂの下端面には、
ネジ孔２０３ｂの外周に同心円状の環状凹部２０４ｂが
設けられている。第１および第２ブッシュ２０ａ，２０
ｂは、第１上ガラス板１０ａの上方と、第２上ガラス板
１０ｂの下方とから鼓状孔部２６内に挿入され、雌ねじ
２０２ａと雄ねじ２０２ｂとを螺着して、鼓状孔部２４
の内方に突出した部分に予圧を加えるようにして、この
鼓状孔部２６内に固着される。
ネジ孔２０３ｂの外周に同心円状の環状凹部２０４ｂが
設けられている。第１および第２ブッシュ２０ａ，２０
ｂは、第１上ガラス板１０ａの上方と、第２上ガラス板
１０ｂの下方とから鼓状孔部２６内に挿入され、雌ねじ
２０２ａと雄ねじ２０２ｂとを螺着して、鼓状孔部２４
の内方に突出した部分に予圧を加えるようにして、この
鼓状孔部２６内に固着される。
【００１６】このような第１および第２ブッシュ２０
ａ，２０ｂを採用すると、エア吸着通路１８が設けられ
た第１および第２上ガラス板１０ａ，１０ｂ間を強固に
固定して、通路１８のリークを防止し、その吸着性能を
向上させることができる。なお、この場合、第１ブッシ
ュ２０ａの上端面と第２ブッシュ２０ｂの下端面とは、
相互に螺着した状態で第１および第２上ガラス板１０
ａ，１０ｂの端面から外方に突出しないような寸法に設
定する。
ａ，２０ｂを採用すると、エア吸着通路１８が設けられ
た第１および第２上ガラス板１０ａ，１０ｂ間を強固に
固定して、通路１８のリークを防止し、その吸着性能を
向上させることができる。なお、この場合、第１ブッシ
ュ２０ａの上端面と第２ブッシュ２０ｂの下端面とは、
相互に螺着した状態で第１および第２上ガラス板１０
ａ，１０ｂの端面から外方に突出しないような寸法に設
定する。
【００１７】一方、下ガイドブッシュ２２は、下ガラス
板１２に貫通形成された皿螺子状孔部２８内に接着剤な
どで固着されるものであって、孔部２８の内周形状に対
応した皿螺子状に形成されている。この下ガイドブッシ
ュ２２の中心位置には、軸方向に貫通する貫通孔２２ａ
が設けられている。この貫通孔２２ａは、上ガイドブッ
シュ２０のネジ孔２０３ａ，２０３ｂと同軸上に位置し
て互に連通するものであって、皿螺子状孔部２８は、こ
れに対応する位置に穿設されている。
板１２に貫通形成された皿螺子状孔部２８内に接着剤な
どで固着されるものであって、孔部２８の内周形状に対
応した皿螺子状に形成されている。この下ガイドブッシ
ュ２２の中心位置には、軸方向に貫通する貫通孔２２ａ
が設けられている。この貫通孔２２ａは、上ガイドブッ
シュ２０のネジ孔２０３ａ，２０３ｂと同軸上に位置し
て互に連通するものであって、皿螺子状孔部２８は、こ
れに対応する位置に穿設されている。
【００１８】また、下ガイドブッシュ２２の上端面に
は、貫通孔２２ａと同心状の環状凹部２２ｂが設けら
れ、この環状凹部２２ｂは、上ガイドブッシュ２０側の
環状凹部２０４ｂと位置対応していて、かつ、同じ内周
径に形成されている。このように構成された下ガイドブ
ッシュ２２は、その上端面が下ガラス板１２の上端面か
ら上方に突出しない寸法に設定されている。
は、貫通孔２２ａと同心状の環状凹部２２ｂが設けら
れ、この環状凹部２２ｂは、上ガイドブッシュ２０側の
環状凹部２０４ｂと位置対応していて、かつ、同じ内周
径に形成されている。このように構成された下ガイドブ
ッシュ２２は、その上端面が下ガラス板１２の上端面か
ら上方に突出しない寸法に設定されている。
【００１９】調整ロッド２４は、円形断面の本体２４ａ
と、この本体２４ａの上半分に刻設されたネジ部２４ｂ
と、本体２４ａの軸方向の略中心において、軸と直交す
る方向に突設された環状の鍔部２４ｃと、本体２４ｂの
下端に設けられた取付ネジ２４ｄとから構成されてい
る。ネジ部２４ｂは、上ガイドブッシュ２０のネジ孔２
０３ａ，２０３ｂに螺合可能に形成され、また、本体２
４ａの鍔部２４ｃから下方部分は、下ガイドブッシュ２
２の貫通孔２２ａ内に嵌挿入可能に設定されている。鍔
部２４ｃの外径は、環状凹部２０４ｂ，２２ｂの内径よ
りも小さく形成されている。
と、この本体２４ａの上半分に刻設されたネジ部２４ｂ
と、本体２４ａの軸方向の略中心において、軸と直交す
る方向に突設された環状の鍔部２４ｃと、本体２４ｂの
下端に設けられた取付ネジ２４ｄとから構成されてい
る。ネジ部２４ｂは、上ガイドブッシュ２０のネジ孔２
０３ａ，２０３ｂに螺合可能に形成され、また、本体２
４ａの鍔部２４ｃから下方部分は、下ガイドブッシュ２
２の貫通孔２２ａ内に嵌挿入可能に設定されている。鍔
部２４ｃの外径は、環状凹部２０４ｂ，２２ｂの内径よ
りも小さく形成されている。
【００２０】このように構成された調整ロッド２４は、
図２に示したように、上，下ガラス板１０，１２を積層
する前に、ネジ部２４ｂを上ガイドブッシュ２０のネジ
孔２０３ａ，２０３ｂに螺着し、その後に、本体２４ａ
の下方部分を貫通孔２２ａ内に嵌挿するようにして装着
する。そして、調整ロッド２４の下端に設けられた取付
ネジ２４ｄに円盤状のストッパ３０を螺着して第１平面
度調整機構Ａが設置される。
図２に示したように、上，下ガラス板１０，１２を積層
する前に、ネジ部２４ｂを上ガイドブッシュ２０のネジ
孔２０３ａ，２０３ｂに螺着し、その後に、本体２４ａ
の下方部分を貫通孔２２ａ内に嵌挿するようにして装着
する。そして、調整ロッド２４の下端に設けられた取付
ネジ２４ｄに円盤状のストッパ３０を螺着して第１平面
度調整機構Ａが設置される。
【００２１】なお、図２に符号３０ａで示した部分は、
取付ネジ２４ｄと螺合するネジ孔であって、ストッパ３
０の中心に設けられている。このとき、調整ロッド２４
は、鍔部２４ｃが上，下ガイドブッシュ２０，２２の環
状凹部２０４ｂ，２２ｂの中間に位置し、かつ、その先
端が第１上ガラス板１０ａの上端面から上方に突出しな
いようにする。また、下ガラス板１２の下面と対向する
ストッパ３０は、その上面と下ガラス板１２の下面との
間の間隔ｌ1 が、鍔部２４ｃの上面と環状凹部２０４ｂ
の底面との間隔ｌ2 よりも小さくなるようにセットす
る。
取付ネジ２４ｄと螺合するネジ孔であって、ストッパ３
０の中心に設けられている。このとき、調整ロッド２４
は、鍔部２４ｃが上，下ガイドブッシュ２０，２２の環
状凹部２０４ｂ，２２ｂの中間に位置し、かつ、その先
端が第１上ガラス板１０ａの上端面から上方に突出しな
いようにする。また、下ガラス板１２の下面と対向する
ストッパ３０は、その上面と下ガラス板１２の下面との
間の間隔ｌ1 が、鍔部２４ｃの上面と環状凹部２０４ｂ
の底面との間隔ｌ2 よりも小さくなるようにセットす
る。
【００２２】このような設置状態で、調整ロッド２４を
回転して、その本体２４が下方に移動するように操作す
ると、鍔部２４ｃの下面が環状凹部２２ｂの底面に当接
するまでは、単に調整ロッド２４だけが下方に移動す
る。そして、鍔部２４ｃの下面が環状凹部２２ｂの底面
に当接した後にさらにロッド２４を回すと、ロッド２４
は、それ以上下方に移動しないが、上ガラス板１０と調
整ロッド２４とは、ネジ部２４ｂとネジ孔２０３ａ，２
０３ｂとが螺合しているので、調整ロッド２４を回した
量に対応した分だけ、上ガラス板１０が上方に移動す
る。
回転して、その本体２４が下方に移動するように操作す
ると、鍔部２４ｃの下面が環状凹部２２ｂの底面に当接
するまでは、単に調整ロッド２４だけが下方に移動す
る。そして、鍔部２４ｃの下面が環状凹部２２ｂの底面
に当接した後にさらにロッド２４を回すと、ロッド２４
は、それ以上下方に移動しないが、上ガラス板１０と調
整ロッド２４とは、ネジ部２４ｂとネジ孔２０３ａ，２
０３ｂとが螺合しているので、調整ロッド２４を回した
量に対応した分だけ、上ガラス板１０が上方に移動す
る。
【００２３】一方、調整ロッド２４が上方に移動するよ
うに回転させると、間隔ｌ1 が間隔ｌ2 よりも小さくな
っているので、この移動に伴って、まず、ストッパ３０
の上面が下ガラス板１２の下面に当接し、この状態さら
に調整ロッド２４を上方に移動させると、上ガラス板１
０と調整ロッド２４とは、ネジ部２４ｂとネジ孔２０３
ａ，２０３ｂとが螺合しているので、調整ロッド２４を
回した量に対応した分だけ、上ガラス板１０が下方に移
動する。
うに回転させると、間隔ｌ1 が間隔ｌ2 よりも小さくな
っているので、この移動に伴って、まず、ストッパ３０
の上面が下ガラス板１２の下面に当接し、この状態さら
に調整ロッド２４を上方に移動させると、上ガラス板１
０と調整ロッド２４とは、ネジ部２４ｂとネジ孔２０３
ａ，２０３ｂとが螺合しているので、調整ロッド２４を
回した量に対応した分だけ、上ガラス板１０が下方に移
動する。
【００２４】図３には、第２平面度調整機構Ｂの詳細が
示されている。同図に示す第２平面度調整機構Ｂは、ガ
ラス板１０，１２の外周縁を載置支持する枠体１４の内
周側に設けられた延出部１４ａと、この延出部１４ａの
上方にスリット状空間３２を介して対向形成された枠体
１４の基部１４ｂと、延出部１４ａと基部１４ｂとの間
に介装され、先端側が延出部１４ａに螺着された調整ネ
ジ１４ｃとから構成されている。
示されている。同図に示す第２平面度調整機構Ｂは、ガ
ラス板１０，１２の外周縁を載置支持する枠体１４の内
周側に設けられた延出部１４ａと、この延出部１４ａの
上方にスリット状空間３２を介して対向形成された枠体
１４の基部１４ｂと、延出部１４ａと基部１４ｂとの間
に介装され、先端側が延出部１４ａに螺着された調整ネ
ジ１４ｃとから構成されている。
【００２５】延出部１４ａは、この実施例では、図１に
示すように、周方向に沿って設けられた複数のスリット
孔１４ｄにより複数に分割されていて、角部を除く分割
された部分に、それぞれ第２平面度調整機構Ｂが配設さ
れている。そして、延出部１４ａには、調整ネジ１４ｃ
と螺合するネジ孔１４ｅが貫通形成されている。調整ネ
ジ１４ｃは、ボルト状のものであって、基部１４ｂに
は、ネジ孔１４ｅに位置対応するようにして、調整ネジ
１４ｃと同一形状の貫通孔１４ｆが形成されている。
示すように、周方向に沿って設けられた複数のスリット
孔１４ｄにより複数に分割されていて、角部を除く分割
された部分に、それぞれ第２平面度調整機構Ｂが配設さ
れている。そして、延出部１４ａには、調整ネジ１４ｃ
と螺合するネジ孔１４ｅが貫通形成されている。調整ネ
ジ１４ｃは、ボルト状のものであって、基部１４ｂに
は、ネジ孔１４ｅに位置対応するようにして、調整ネジ
１４ｃと同一形状の貫通孔１４ｆが形成されている。
【００２６】この実施例では、調整ネジ１４ｃの設置位
置が、ガラス板１０，１２の固定機構と同軸上に設置さ
れている。ガラス板１０，１２の固定機構は、ガラス板
１０，１２に貫通形成された孔部に固設されたブッシュ
３４と、このブッシュ３４に螺着されるボルト３６とを
有している。また、延出部１４ａには、ブッシュ３４の
中心に対応してネジ孔１４ｇが貫通形成され、延出部１
４ａと下ガラス板１２の上面との間に緩衝シート３８を
介在させて、ボルト３６をブッシュ３４とネジ孔１４ｇ
との間にねじ込むことにより、ガラス板１０，１２が延
出部１４ａ上に載置支持されている。
置が、ガラス板１０，１２の固定機構と同軸上に設置さ
れている。ガラス板１０，１２の固定機構は、ガラス板
１０，１２に貫通形成された孔部に固設されたブッシュ
３４と、このブッシュ３４に螺着されるボルト３６とを
有している。また、延出部１４ａには、ブッシュ３４の
中心に対応してネジ孔１４ｇが貫通形成され、延出部１
４ａと下ガラス板１２の上面との間に緩衝シート３８を
介在させて、ボルト３６をブッシュ３４とネジ孔１４ｇ
との間にねじ込むことにより、ガラス板１０，１２が延
出部１４ａ上に載置支持されている。
【００２７】また、この実施例では、調整ネジ１４ｃを
中心にして、これを挟むようにして、かつ、調整ネジ１
４ｃよりもガラス板１０，１２側に位置するようにし
て、一対の小径調整ネジ４０が設けられている。この小
径調整ネジ４０は、基部１４ｂに穿設されたネジ孔に螺
着され、その先端が延出部１４ａの上面に当接するよう
になっている。
中心にして、これを挟むようにして、かつ、調整ネジ１
４ｃよりもガラス板１０，１２側に位置するようにし
て、一対の小径調整ネジ４０が設けられている。この小
径調整ネジ４０は、基部１４ｂに穿設されたネジ孔に螺
着され、その先端が延出部１４ａの上面に当接するよう
になっている。
【００２８】このように構成された第２平面度調整機構
Ｂでは、調整ネジ１４ｃの頭部下面が貫通孔１４ｆの底
面に当接した状態で、調整ネジ１４ｃを下方ないしは上
方に移動するように回転させると、この調整ネジ１４ｃ
が延出部１４ａのネジ孔１４ｅと螺合しているので、調
整ネジ１４ｃの回転量に対応した分だけ延出部１４ａが
上下方向に移動し、その結果、上，下ガラス板１０，１
２が上下方向に移動する。このとき、本実施例の場合に
は、延出部１４ａが周方向に沿ってスリッド孔１４ｄに
より分割され、この分割された部分にそれぞれ第２平面
度調整機構Ｂが配置されているので、上，下ガラス板１
０，１２の周縁の平面度を細かく調整することができ
る。
Ｂでは、調整ネジ１４ｃの頭部下面が貫通孔１４ｆの底
面に当接した状態で、調整ネジ１４ｃを下方ないしは上
方に移動するように回転させると、この調整ネジ１４ｃ
が延出部１４ａのネジ孔１４ｅと螺合しているので、調
整ネジ１４ｃの回転量に対応した分だけ延出部１４ａが
上下方向に移動し、その結果、上，下ガラス板１０，１
２が上下方向に移動する。このとき、本実施例の場合に
は、延出部１４ａが周方向に沿ってスリッド孔１４ｄに
より分割され、この分割された部分にそれぞれ第２平面
度調整機構Ｂが配置されているので、上，下ガラス板１
０，１２の周縁の平面度を細かく調整することができ
る。
【００２９】また、本実施例の場合には、調整ネジ１４
ｃその両側に一対の小径調整ネジ４０を配置しているの
で、調整ネジ１４ｃで平面度を調整した後に、小径調整
ネジ４０の先端を延出部１４ａの上面に当接させておく
と、調整ネジ１４ｃの緩みが防止され、調整された平面
度を維持することができるとともに、調整ネジ１４ｃで
平面度を調整した後の微調整も可能になる。
ｃその両側に一対の小径調整ネジ４０を配置しているの
で、調整ネジ１４ｃで平面度を調整した後に、小径調整
ネジ４０の先端を延出部１４ａの上面に当接させておく
と、調整ネジ１４ｃの緩みが防止され、調整された平面
度を維持することができるとともに、調整ネジ１４ｃで
平面度を調整した後の微調整も可能になる。
【００３０】さて、以上のように構成された測定テーブ
ルによると、上，下ガラス板１０，１２の中央部分に設
けられ、上ガラス板１０を上下方向に移動させる第１平
面度調整機構ａと、ガラス板１０，１２の周縁を支持す
る枠体１４に設けられ、この枠体１４が上，下ガラス板
１０，１２を支持する延出部１４ａを上下方向に移動さ
せる複数の第２平面度調整機構Ｂとを備えているので、
上ガラス板１０の中央部分を上下方向に移動させ、か
つ、ガラス板１０，１２の周縁を上下方向に移動させる
ことで、上ガラス板１０の平面度を自在に変化させるこ
とができ、その結果、上ガラス板１０の平面度を高精度
に維持することができる。
ルによると、上，下ガラス板１０，１２の中央部分に設
けられ、上ガラス板１０を上下方向に移動させる第１平
面度調整機構ａと、ガラス板１０，１２の周縁を支持す
る枠体１４に設けられ、この枠体１４が上，下ガラス板
１０，１２を支持する延出部１４ａを上下方向に移動さ
せる複数の第２平面度調整機構Ｂとを備えているので、
上ガラス板１０の中央部分を上下方向に移動させ、か
つ、ガラス板１０，１２の周縁を上下方向に移動させる
ことで、上ガラス板１０の平面度を自在に変化させるこ
とができ、その結果、上ガラス板１０の平面度を高精度
に維持することができる。
【００３１】なお、上記実施例では、上ガラス板１０を
２枚のガラス板で構成し、このガラス板間にエア吸着通
路１８を設けたいわゆるエアチャックガラステーブルに
本発明を適用した場合を例示したが、本発明の実施は、
この構造に限定されることはなく、通常のエアチャック
なしのガラス製測定テーブルにも二重ガラスとすること
で適用することができる。
２枚のガラス板で構成し、このガラス板間にエア吸着通
路１８を設けたいわゆるエアチャックガラステーブルに
本発明を適用した場合を例示したが、本発明の実施は、
この構造に限定されることはなく、通常のエアチャック
なしのガラス製測定テーブルにも二重ガラスとすること
で適用することができる。
【００３２】また、本発明の実施は、少なくとも２枚の
ガラス板を積層するテーブルであれば同様に適用するこ
とができる。
ガラス板を積層するテーブルであれば同様に適用するこ
とができる。
【００３３】
【発明の効果】以上、実施例で詳細に説明したように、
本発明にかかるガラス製測定テーブルによれば、平面度
を高精度に調整できるので、例えば、測定テーブルの表
面に倣わせて測定が行なわれるフィルムのような場合
に、その機能を効果的に発揮させることができる。
本発明にかかるガラス製測定テーブルによれば、平面度
を高精度に調整できるので、例えば、測定テーブルの表
面に倣わせて測定が行なわれるフィルムのような場合
に、その機能を効果的に発揮させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるガラス製測定テーブルの一実施
例を示す上面図である。
例を示す上面図である。
【図２】図１の測定テーブルに採用した第１平面度調整
機構の一例を示す断面図である。
機構の一例を示す断面図である。
【図３】図１の測定テーブルに採用した第２平面度調整
機構の一例を示す断面図と平面図である。
機構の一例を示す断面図と平面図である。
１０ 上ガラス板 １０ａ 第１上ガラス板 １０ｂ 第２上ガラス板 １２ 下ガラス板 １４ 枠体 １４ａ 延出部 １４ｃ 調整ネジ １４ｄ スリット孔 ２０ 上ガイドブッシュ ２０ａ 第１ブッシュ ２０ｂ 第２ブッシュ ２０３ａ，２０３ｂ ネジ孔 ２０４ｂ 環状凹部 ２２ 下ガイドブッシュ ２２ａ 貫通孔 ２２ｂ 環状凹部 ２４ 調整ロッド ２４ｂ ネジ部 ２４ｃ 鍔部 ２６ 鼓状孔部 ２８ 皿螺子状孔部 ３０ ストッパ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 G01B 21/00 G12B 5/00 G01N 21/88
Claims (4)
- 【請求項１】 平板状ガラス板と、このガラス板の外周
縁を支持する枠体と、この枠体を支持する脚部とを備え
たガラス製測定テーブルにおいて、 前記ガラス板は、相互に積層された少なくとも一対の
上，下ガラス板を有し、 前記上，下ガラス板の中央部分に設けられ、調整ロッド
の回転により前記上ガラス板を上下方向に移動させる第
１平面度調整機構と、 前記枠体に設けられ、この枠体が前記上，下ガラス板を
支持する部分を上下方向に移動させる複数の第２平面度
調整機構を備え、前記第１平面度調整機構は、前記上，下ガラス板の中心
とその周囲に複数配置し、 前記枠体が前記上，下ガラス板を支持する部分を周方向
に沿って複数の分割し、各分割した部分に前記第２平面
度調整機構をそれぞれ配置した ことを特徴とするガラス
製測定テーブル。 - 【請求項２】 前記第１平面度調整機構は、前記上，下
ガラス板の対応する位置にそれぞれ貫通形成された孔部
内に固設される上，下ガイドブッシュと、これらのガイ
ドブッシュ間に跨がるようにして装着される前記調整ロ
ッドとを備え、 前記上ガイドブッシュの中心に前記調整ロッドの上部側
に刻設されたネジ部と螺合するネジ孔を貫通形成すると
ともに、前記下ガイドブッシュの中心に前記調整ロッド
の下部側が嵌挿入される貫通孔を設け、 前記調整ロッドのネジ部を前記ネジ孔に螺着し、かつ、
その下部側を前記貫通孔に挿通した状態で、前記上，下
ガラス板間に位置する環状の鍔部を前記調整ロッドの外
周に突設するとともに、前記下ガラス板の下面側と対向
するストッパを前記調整ロッドの下端に螺着したことを
特徴とする請求項１記載のガラス測定テーブル。 - 【請求項３】 前記第２平面度調整機構は、前記ガラス
板の外周縁を載置支持する前記枠体の内周側に設けられ
た延出部と、この延出部の上方にスリット状空間を介し
て対向形成された前記枠体の基部と、前記延出部と前記
基部との間に介装され、先端側が前記延出部に螺着され
た調整ネジとからなることを特徴とする請求項１記載の
ガラス測定テーブル。 - 【請求項４】 前記延出部は、スリット孔で周方向に沿
って複数に分割され、この分割された複数の延出部に前
記第２平面度調整機構をそれぞれ配置したことを特徴と
する請求項３記載のガラス測定テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18386195A JP3278551B2 (ja) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | ガラス製測定テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18386195A JP3278551B2 (ja) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | ガラス製測定テーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0933207A JPH0933207A (ja) | 1997-02-07 |
| JP3278551B2 true JP3278551B2 (ja) | 2002-04-30 |
Family
ID=16143114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18386195A Expired - Fee Related JP3278551B2 (ja) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | ガラス製測定テーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3278551B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002130269A (ja) * | 2000-10-27 | 2002-05-09 | Sigma Technos Kk | 直線運動ステージ、複合ステージ、直線運動ステージ用ガイド及び可動部材 |
| JP4469659B2 (ja) | 2004-06-11 | 2010-05-26 | 株式会社ミツトヨ | 載物台装置、画像測定装置 |
| DE102005058504B3 (de) * | 2005-12-02 | 2007-05-16 | Zeiss Ind Messtechnik Gmbh | Vorrichtung zum Bestimmen einer Messgröße an einem Messobjekt |
| GB2443644B (en) * | 2006-11-09 | 2010-01-20 | Vistec Lithography Ltd | Component mounting in movement sensitive equipment |
| JP5795964B2 (ja) * | 2012-01-26 | 2015-10-14 | 西部電機株式会社 | レベル調整治具を備える板材保持装置と板材の配置調整方法 |
| JP6890032B2 (ja) | 2017-04-07 | 2021-06-18 | 新東エスプレシジョン株式会社 | 載置テーブル及び載置方法 |
-
1995
- 1995-07-20 JP JP18386195A patent/JP3278551B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0933207A (ja) | 1997-02-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |