CN211454227U - 一种用于制备电极的掩模版组件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于制备电极的掩模版组件，包括透明玻璃板、PET材质菲林，以及将两者牢固且平整贴合在一起的PET材质双面胶，所述透明玻璃板的外周设有限位部，所述PET材质双面胶置于所述限位部内且顶面与所述透明玻璃板的顶面平齐，通过在透明玻璃板的适当位置设置限位部，并通过PET材质双面胶及所述限位部的相互配合，从而可以解决现有技术在牢固性和平整性方面的缺陷，且无需大幅增加成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及制备电子元器件设备技术领域，特别是涉及用于制备更高精度电极的掩模版组件的结构改良。
背景技术
曝光工艺在电子元器件行业一直用于制备精度更高的电极，曝光时选用什么样的掩膜版至关重要，比如，可以采用铬板(也有人写作铬版)，也可以采用将菲林粘加透明玻璃板的方法，但由于铬板(苏打玻璃材质的光刻掩膜版)制作周期长，成本高(一张铬板的价格大约是一张菲林的15-20倍)，且产品开发阶段电极图案会经常改变，所以使用铬板大大增加了开发的直接成本和时间。如果采用菲林代替铬板，则因为菲林是PET材质，厚度较薄，配合透明玻璃板才能使用，但存在菲林与透明玻璃板之间难以实现牢固粘贴，以及粘贴的平整度不佳等缺陷，最终会导致各个区域的菲林与被曝光的涂层之间间隙不一样，进而影响曝光精度，极大的影响了制备电极的精度和性能效果，因此亟需对此做出改进。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于克服现有技术的不足，提供一种用于制备电极的掩模版组件，可在低成本前提下实现更高精度电极的制作。
为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种用于制备电极的掩模版组件，包括透明玻璃板、PET材质菲林，以及将两者牢固且平整贴合在一起的PET材质双面胶，所述透明玻璃板的外周设有限位部，所述PET材质双面胶置于所述限位部内且顶面与所述透明玻璃板的顶面平齐。
可选的，所述限位部是设于所述透明玻璃板的外周缘的限位台阶，该限位台阶的顶面至所述透明玻璃板的顶面的距离等于所述PET材质双面胶的厚度。
可选的，所述限位台阶的宽度与所述PET材质双面胶的宽度一致。
可选的，所述限位部是两个以上设于所述透明玻璃板的边缘部位的限位凹槽，所述限位凹槽的深度等于所述PET材质双面胶的厚度。
可选的，所述限位部是设于所述透明玻璃板的边缘部位的限位凹槽，至少有四个，分别设于所述透明玻璃板的四个边的靠外缘部位，且所述限位凹槽的深度等于所述PET材质双面胶的厚度。
可选的，所述限位凹槽的尺寸与所述PET材质双面胶的外形尺寸相同。
本实用新型与现有技术相比具有如下有益效果：通过在透明玻璃板的适当位置设置限位部，并通过PET材质双面胶及所述限位部的相互配合，从而可以解决现有技术在牢固性和平整性方面的缺陷，且无需大幅增加成本。此外，所述限位部采用限位台阶这种结构，方便限位部的加工和进行所述PET材质双面胶的粘贴操作。所述限位部采用限位凹槽这种结构，则有利于将其粘贴作用的所述PET材质双面胶隐藏于所述透明玻璃板和所述菲林之间，避免对后续可能造成的不利影响。
附图说明
图1为本实用新型一实施例的结构分解示意图。
图2为图1实施例的剖视示意图。
图3为另一实施例的玻璃板结构示意图。
具体实施方式
以下对本实用新型的具体实施方式作详细说明。需要强调的是，下述说明仅仅是示例性的，而不是为了限制本实用新型的范围及其应用。
实施例一
参阅图1、图2，本实施例中，用于制备电极的掩模版组件，包括透明玻璃板1、PET材质菲林2，以及将两者牢固且平整贴合在一起的PET材质双面胶3，所述透明玻璃板1的外周设有限位部101，所述PET材质双面胶3置于所述限位部101内且顶面与所述透明玻璃板1的顶面平齐。
其中，所述限位部101是设于所述透明玻璃板1的外周缘的限位台阶，该限位台阶的顶面至所述透明玻璃板1的顶面的距离等于所述PET材质双面胶3的厚度。优选采用所述限位台阶的宽度与所述PET材质双面胶的宽度一致，以方便所述PET材质菲林2的粘贴及尽可能的增大粘贴面积。
在对电子元器件曝光时，如图2所示，所述透明玻璃板1、PET材质双面胶3、PET材质菲林2依次牢固且平整地贴合在一起，其中，PET材质双面胶3嵌于所述透明玻璃板1的外周缘的限位台阶内，两个表明分别与所述透明玻璃板1和PET材质菲林2紧密粘接，而所述透明玻璃板1的上表面与PET材质菲林2直接接触并平整贴合在一起。
本实施例中，所述PET材质双面胶3在贴合状态下呈方形环状，该结构能够将PET材质菲林2与透明玻璃板1更牢靠的粘贴，更容易贴合平整，且操作简单，节约成本。
实施例二
如图3所示，本实施例与前述实施例一的区别是：所述限位部101是设于所述透明玻璃板1的边缘部位的限位凹槽，所述限位凹槽的深度等于所述PET材质双面胶3的厚度。所述限位部101可根据实际需要进行数量的选择，比如本实施例中有8个，分别设于所述透明玻璃板1的四个边的靠外缘部位(每边设2个)，且所述限位凹槽的深度等于所述PET材质双面胶3的厚度。当然，也可以根据粘贴牢固性的需要选择更多个限位凹槽，按需要的方式设置。此外，本实施例中，所述PET材质双面胶3的数量与所述限位部101相等，为了更便于粘贴操作和避免后续可能的干扰，各个所述PET材质双面胶3的外形及尺寸设为与相应的所述限位凹槽fa的形状和尺寸相同。
以上内容是结合具体/优选的实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，其还可以对这些已描述的实施方式做出若干替代或变型，而这些替代或变型方式都应当视为属于本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种用于制备电极的掩模版组件，其特征在于，包括透明玻璃板、PET材质菲林，以及将两者牢固且平整贴合在一起的PET材质双面胶，所述透明玻璃板的外周设有限位部，所述PET材质双面胶置于所述限位部内且顶面与所述透明玻璃板的顶面平齐。
2.如权利要求1所述的用于制备电极的掩模版组件，其特征在于，所述限位部是设于所述透明玻璃板的外周缘的限位台阶，该限位台阶的顶面至所述透明玻璃板的顶面的距离等于所述PET材质双面胶的厚度。
3.如权利要求2所述的用于制备电极的掩模版组件，其特征在于，所述限位台阶的宽度与所述PET材质双面胶的宽度一致。
4.如权利要求1所述的用于制备电极的掩模版组件，其特征在于，所述限位部是两个以上设于所述透明玻璃板的边缘部位的限位凹槽，所述限位凹槽的深度等于所述PET材质双面胶的厚度。
5.如权利要求1所述的用于制备电极的掩模版组件，其特征在于，所述限位部是设于所述透明玻璃板的边缘部位的限位凹槽，至少有四个，分别设于所述透明玻璃板的四个边的靠外缘部位，且所述限位凹槽的深度等于所述PET材质双面胶的厚度。
6.如权利要求4或5所述的用于制备电极的掩模版组件，其特征在于，所述限位凹槽的尺寸与所述PET材质双面胶的外形尺寸相同。
Priority Applications (1)
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| CN202020018892.9U CN211454227U (zh) | 2020-01-06 | 2020-01-06 | 一种用于制备电极的掩模版组件 |
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Publications (1)
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| CN211454227U true CN211454227U (zh) | 2020-09-08 |
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ID=72316825
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2020
- 2020-01-06 CN CN202020018892.9U patent/CN211454227U/zh active Active
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