CN117542785B - 一种晶圆检测用反光镜卡盘 - Google Patents

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Abstract

本说明书实施例提供一种晶圆检测用反光镜卡盘，包括：卡盘本体，所述卡盘本体上开设有安装口，所述安装口周缘设置有气道，所述卡盘本体上还开设有沉槽，所述沉槽将所述气道隔断，所述沉槽内开设有若干注胶槽；反光镜，所述反光镜安装于所述安装口处，所述注胶槽内填充有胶体以粘贴反光镜，使得所述反光镜固定在所述安装口处。通过在安装口的周缘设置气道，晶圆吸附仅通过边缘一圈气道，避开需要检测的区域，避免影响光学成像，通过在安装口处安装反光镜，能够将大部分光线反射回成像系统，显著改善成像质量。

Description

一种晶圆检测用反光镜卡盘
技术领域
本说明书涉及半导体晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆检测用反光镜卡盘。
背景技术
普通的晶圆chuck(卡盘)通过气道或气孔或多孔陶瓷等，通过真空来吸附晶圆，但是在使用的过程中，对于透明/半透明片，chuck上的气道等特征由于其反光/吸光系数的不同，直接影响光学成像，尤其是对于低倍率、大景深的AOI(自动化光学检测)应用，对于透明/半透明片由于照明光线很大部分透过晶圆，相比不透明wafer，同等照明下，反射到成像系统的光强弱很多，因此成像清晰度会差很多。
发明内容
有鉴于此，本说明书实施例提供一种晶圆检测用反光镜卡盘，通过在安装口的周缘设置气道，晶圆吸附仅通过边缘一圈气道，避开需要检测的区域，避免影响光学成像，通过在安装口处安装反光镜，能够将大部分光线反射回成像系统，显著改善成像质量。
本说明书实施例提供以下技术方案：一种晶圆检测用反光镜卡盘，包括：
卡盘本体，所述卡盘本体上开设有安装口，所述安装口周缘设置有气道，所述卡盘本体上还开设有沉槽，所述沉槽将所述气道隔断，所述沉槽内开设有若干注胶槽；
反光镜，所述反光镜安装于所述安装口处，所述注胶槽内填充有胶体以粘贴反光镜，使得所述反光镜固定在所述安装口处。
优选的，所述卡盘本体上还设置有若干定位部，若干所述定位部用于对所述晶圆进行定位。
优选的，所述安装口包括弧形段和直线段，若干所述定位部分别设置在所述弧形段和所述直线段处。
优选的，所述定位部设置有三组，其中两组所述定位部设置于所述直线段处，另外一组所述定位部设置于所述弧形段处。
优选的，所述定位部包括定位槽和销钉，所述销钉至少部分容置于所述定位槽内。
优选的，所述沉槽设置于所述气道中心区域处。
优选的，所述卡盘本体上还开设有至少三组调平螺纹槽，至少其中三组所述调平螺纹槽不位于同一直线上，所述调平螺纹槽上连接有调平螺丝。
优选的，所述调平螺纹槽设置有三组，三组所述调平螺纹槽之间的连线形成等边三角形。
优选的，所述注胶槽设置有两组，所述注胶槽至少部分与所述安装口相连通。
优选的，所述卡盘本体上还开设有若干固定孔，所述固定孔用于固定所述卡盘本体。
与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
通过在安装口的周缘设置气道，晶圆吸附仅通过边缘一圈气道，避开需要检测的区域，避免影响光学成像，通过在安装口处安装反光镜，能够将大部分光线反射回成像系统，显著改善成像质量，通过在注胶槽内填充胶体将反光镜固定安装在安装口处，保证对反光镜的固定效果。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1是本申请提供的晶圆检测用反光镜卡盘的爆炸结构示意图；
图2是本申请提供的晶圆检测用反光镜卡盘的结构示意图；
图3是本申请提供的晶圆检测用反光镜卡盘的晶圆安装后的结构示意图。
图中，1、卡盘本体；2、安装口；3、沉槽；4、注胶槽；5、气道；6、反光镜；7、调平螺纹槽；8、固定孔；9、定位部；10、晶圆；。
具体实施方式
下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。
目前，普通的chuck在使用的过程中，主要存在着如下问题：
对于透明/半透明片，chuck上的气道等特征由于其反光/吸光系数的不同，直接影响光学成像，尤其是对于低倍率、大景深的AOI应用；
对于透明/半透明片由于照明光线很大部分透过晶圆，相比不透明wafer，同等照明下，反射到成像系统的光强弱很多，因此成像清晰度会差很多；
在检测的过程中，期望晶圆表面的Z向变化尽可能小，否则聚焦系统的搜索范围大或者Z轴的调节量大，影响效率；
手动放置晶圆如果没有定位，晶圆的位置重复性差，可能出现根据recipe(方法)找不到定位mark(标准点)，影响效率；甚至出现漏真空机台报错的情况
发明人经过了广泛和深入的试验，设计出一种晶圆检测用反光镜卡盘。
更具体的，本发明采用的解决方案包括：通过在安装口的周缘设置气道，晶圆吸附仅通过边缘一圈气道，避开需要检测的区域，避免影响光学成像，通过在安装口处安装反光镜，能够将大部分光线反射回成像系统，显著改善成像质量，通过在注胶槽内填充胶体将反光镜固定安装在安装口处，保证对反光镜的固定效果。
以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。
如图1-图3所示，一种晶圆检测用反光镜卡盘，晶圆10为平边尺寸晶圆10，包括：
卡盘本体1，所述卡盘本体1上开设有安装口2，所述安装口2周缘设置有气道5，所述卡盘本体1上还开设有沉槽3，所述沉槽3将所述气道5隔断，所述沉槽3内开设有若干注胶槽4；
反光镜6，所述反光镜6安装于所述安装口2处，所述注胶槽4内填充有胶体以粘贴反光镜6，使得所述反光镜6固定在所述安装口2处。
通过在卡盘本体1上开设安装口2，在安装口2内安装反光镜6，反光镜6能够将大部分光线反射回成像系统，显著改善成像质量，通过在注胶槽4内填充胶体将反光镜6固定安装在安装口2处，保证对反光镜6的固定效果，气道5沿着安装口2的周缘设置，晶圆10吸附仅通过安装口2边缘一圈气道5，能够避开需要检测的区域，避免影响光学成像。
需要说明的是，气道5仅设置一圈，反光镜6的尺寸小于气道5的尺寸，避免反光镜6遮挡气道，当晶圆10放置时，气道5处于晶圆10的边缘处，既保证能够吸附晶圆10，同时使得气道10不会对检测区域造成影响。
如图1-图3所示，在一些实施方式中，所述卡盘本体1上还设置有若干定位部9，若干所述定位部9用于对所述晶圆10进行定位，通过在卡盘本体1上设置若干定位部9，当放置晶圆10时，通过定位部9可实现对晶圆10的定位操作，从而保证位置的重复精度。
如图1-图3所示，在一些实施方式中，所述安装口2包括弧形段和直线段，若干所述定位部9分别设置在所述弧形段和所述直线段处，通过在安装口2的弧形段和直线段处均设置定位部9，弧形段处的定位部9与晶圆10的弧形边相对应，直线段处的定位部9与晶圆10的平边相对应，通过对晶圆10的弧形边和平边均进行定位，保证对晶圆10的定位精度。
如图1-图3所示，在一些实施方式中，所述定位部9设置有三组，其中两组所述定位部9设置于所述直线段处，另外一组所述定位部9设置于所述弧形段处，通过在直线段处设置两组定位部9，两组定位部9对晶圆10的平边段进行定位，由于两点可以确定一条线，因此通过两组定位部9即可实现对晶圆10平边段的精准定位，同时在弧形段处设置一组定位部9，该定位部9对晶圆10的弧形边进行定位，通过三组定位部9分别对晶圆10的弧形边和平边段进行定位，实现对晶圆10的精准定位。
如图1-图3所示，在一些实施方式中，所述定位部9包括定位槽和销钉，所述销钉至少部分容置于所述定位槽内，定位槽开设于卡盘本体1上，销钉与定位槽相配合，销钉与晶圆10边部相接触，实现对晶圆10的定位操作。
需要说明的是，在其他实施方式中，也可以不采用销钉，通过机加的方式配合定位槽实现定位操作。
还需要说明的是，可以通过更换定位部，方便的实现多种平边尺寸晶圆的定位，否则需要加工多种卡盘或者定位不准对于光机系统找标准点带来很大的难度，既降低了成本，又提高了效率。
如图1-图3所示，在一些实施方式中，所述沉槽3设置于所述气道5中心区域处，通过在气道5的中心区域开设沉槽3，能够在不影响气道5通气的情况下实现沉槽3的开设，保证对反光镜6的安装。
如图1-图3所示，在一些实施方式中，所述卡盘本体1上还开设有至少三组调平螺纹槽7，至少其中三组所述调平螺纹槽7不位于同一直线上，所述调平螺纹槽7上连接有调平螺丝，通过在卡盘本体1上设置多组调平螺纹槽7，通过在卡盘本体1上开设多个调平螺纹槽7，其中至少三个调平螺纹槽7不位于同一直线上，通过调平螺丝与调平螺纹槽7相配合，辅助进行对卡盘本体1的调平操作，可以尽量减小面内运动过程中的Z向变化，便于聚焦系统进行聚焦操作。
如图1-图3所示，在一些实施方式中，所述调平螺纹槽7设置有三组，三组所述调平螺纹槽7之间的连线形成等边三角形，通过设置三组成等边三角形分布的调平螺纹槽7，保证对卡盘本体1的调平效果。
需要说明的是，在其他实施方式中，调平螺纹槽7的数量也可以为四组、五组、六组等数量，可以根据实际情况进行选择。
如图1-图2所示，在一些实施方式中，所述注胶槽4设置有两组，所述注胶槽4至少部分与所述安装口2相连通，通过在沉槽3内开设两组注胶槽4，注胶槽4与安装口2相连通，保证对反光镜6的固定效果。
需要说明的是，在其他实施方式中，注胶槽4的数量也可以为三组、四组、五组等数量，可以根据实际情况进行选择，或者也可以在沉槽3内开设一个长条形的注胶槽4。
如图1-图3所示，在一些实施方式中，所述卡盘本体1上还开设有若干固定孔8，所述固定孔8用于固定所述卡盘本体1，通过在卡盘本体1上开设固定孔8，通过固定孔8对卡盘本体1进行安装固定，固定孔8设置有五组，五组固定孔8成U型分布，沉槽3处于U型的两个边线之间。
本说明书中的各个实施例均之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于后面说明的方法实施例而言，由于其与系统是对应的，描述比较简单，相关之处参见系统实施例的部分说明即可。
以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种晶圆检测用反光镜卡盘，其特征在于，包括：
卡盘本体，所述卡盘本体上开设有安装口，所述安装口周缘设置有气道，所述卡盘本体上还开设有沉槽，所述沉槽将所述气道隔断，所述沉槽内开设有若干注胶槽；
反光镜，所述反光镜安装于所述安装口处，所述注胶槽内填充有胶体以粘贴反光镜，使得所述反光镜固定在所述安装口处；
所述卡盘本体上还设置有若干定位部，若干所述定位部用于对所述晶圆进行定位；
所述安装口包括弧形段和直线段，若干所述定位部分别设置在所述弧形段和所述直线段处。
2.根据权利要求1所述的晶圆检测用反光镜卡盘，其特征在于，所述定位部设置有三组，其中两组所述定位部设置于所述直线段处，另外一组所述定位部设置于所述弧形段处。
3.根据权利要求2所述的晶圆检测用反光镜卡盘，其特征在于，所述定位部包括定位槽和销钉，所述销钉至少部分容置于所述定位槽内。
4.根据权利要求1所述的晶圆检测用反光镜卡盘，其特征在于，所述沉槽设置于所述气道中心区域处。
5.根据权利要求1所述的晶圆检测用反光镜卡盘，其特征在于，所述卡盘本体上还开设有至少三组调平螺纹槽，至少其中三组所述调平螺纹槽不位于同一直线上，所述调平螺纹槽上连接有调平螺丝。
6.根据权利要求5所述的晶圆检测用反光镜卡盘，其特征在于，所述调平螺纹槽设置有三组，三组所述调平螺纹槽之间的连线形成等边三角形。
7.根据权利要求1所述的晶圆检测用反光镜卡盘，其特征在于，所述注胶槽设置有两组，所述注胶槽至少部分与所述安装口相连通。
8.根据权利要求1所述的晶圆检测用反光镜卡盘，其特征在于，所述卡盘本体上还开设有若干固定孔，所述固定孔用于固定所述卡盘本体。
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