KR102073473B1 - 탑재 테이블 및 탑재 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 과제는 워크를 정밀도 양호하게 소망의 위치에 탑재할 수 있는 탑재 테이블을 제공한다.
해결 수단으로서 직사각 형상의 워크를 탑재하는 탑재 테이블(2)에 있어서, 상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면(10a)의 평면도를 조정하는 평면도 조정부(4a 내지 4x)를 구비하고, 상기 평면도 조정부는, 상기 탑재 테이블을 관통하는 관통 구멍(28)에 배치되는 볼트(16)와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 표면측에서 상기 관통 구멍의 입구에 배치되는 제 1 구면 와셔(18)와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 이면측에서 상기 관통 구멍의 출구에 배치되는 제 2 구면 와셔(20)와, 상기 탑재 테이블의 이면측에 배치되며, 상기 볼트의 나사부를 수용하는 조정 나사(22)와, 상기 조정 나사를 고정하는 고정 너트(24)를 구비한다.

Description

탑재 테이블 및 탑재 방법{MOUNTING TABLE AND MOUNTING METHOD}
본 발명은, 메탈 마스크 등의 워크를 탑재하기 위한 탑재 테이블 및 해당 탑재 테이블에 워크를 탑재하는 탑재 방법에 관한 것이다.
종래, 메탈 마스크 등의 워크를 탑재하는 유리판의 평면도를 조정하는 평면도 조정 기구를 구비한 유리제 측정 테이블이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 이 유리제 측정 테이블에 의하면, 유리판에 휨이 없는 상태에서 워크를 유리판 상에 탑재하여 검사할 수 있다.
일본 특허 공개 평 9-033207 호 공보
그런데, 특허문헌 1 등에 기재된 유리제 측정 테이블(탑재 테이블)에서는, 검사 시에 워크를 직접 유리판에 탑재하기 때문에, 유리판이 손상되기 쉽다는 문제가 있었다. 그래서, 유리판의 주위에 세라믹 등으로 이루어지는 프레임 형상의 탑재 테이블을 구비하고, 해당 탑재 테이블에 직사각 형상의 워크를 탑재하여, 검사하는 검사 장치가 사용되고 있다.
그렇지만, 상술의 검사 장치를 이용하여 메탈 마스크 등의 직사각 형상의 워크를 정밀도 양호하게 검사하기 위해서는, 워크를 변형시키는 일 없이 탑재 테이블에 탑재할 필요가 있다. 또한, 워크의 탑재 테이블에 대한 위치 어긋남 및 자세 어긋남이 생기지 않도록 워크를 탑재 테이블에 탑재할 필요가 있다.
본 발명의 목적은, 워크를 정밀도 양호하게 소망의 위치에 탑재할 수 있는 탑재 테이블 및 해당 탑재 테이블에 워크를 탑재하는 탑재 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 탑재 테이블은, 직사각 형상의 워크를 탑재하는 탑재 테이블로서, 상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면의 평면도를 조정하는 평면도 조정부를 구비하고, 상기 평면도 조정부는, 상기 탑재 테이블을 관통하는 관통 구멍에 배치되는 볼트와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 표면측에서 상기 관통 구멍의 입구에 배치되는 제 1 구면(球面) 와셔와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 이면측에서 상기 관통 구멍의 출구에 배치되는 제 2 구면 와셔와, 상기 탑재 테이블의 이면측에 배치되며, 상기 볼트의 나사부를 받고 수용하는 조정 나사와, 상기 조정 나사를 고정하는 고정 너트를 구비한다.
또한, 본 발명의 탑재 테이블은, 직사각 형상의 워크를 탑재하는 탑재 테이블로서, 상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면 내에서의 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하는 위치 자세 조정부를 구비하고, 상기 위치 자세 조정부는, 외부로부터 반송되는 상기 워크를 받아 탑재하는 탑재면을 갖고, 상기 탑재면을 상기 탑재 테이블의 표면에 대하여 교차하는 방향으로 승강시키는 리프트 핀과, 상기 탑재면에 탑재된 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 제어하는 제어부와, 상기 워크를 상기 탑재면 내에서 이동시키고, 상기 워크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서 상기 워크의 모서리를 지지하는 클램프부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 리프트 핀이 승강하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 금지하고, 상기 클램프 부가 상기 워크를 지지하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 허가하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 탑재 테이블은, 직사각 형상의 워크를 탑재하는 탑재 테이블로서, 상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면의 평면도를 조정하는 평면도 조정부와, 상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면 내에서의 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하는 위치 자세 조정부를 구비하고, 상기 평면도 조정부는, 상기 탑재 테이블을 관통하는 관통 구멍에 배치되는 볼트와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 표면측에서 상기 관통 구멍의 입구에 배치되는 제 1 구면 와셔와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 이면측에서 상기 관통 구멍의 출구에 배치되는 제 2 구면 와셔와, 상기 탑재 테이블의 이면측에 배치되며, 상기 볼트의 나사부를 수용하는 조정 나사와, 상기 조정 나사를 고정하는 고정 너트를 구비하고, 상기 위치 자세 조정부는, 외부로부터 반송되는 상기 워크를 받아 탑재하는 탑재면을 갖고, 상기 탑재면을 상기 탑재 테이블의 표면에 대하여 교차하는 방향으로 승강시키는 리프트 핀과, 상기 탑재면에 탑재된 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 제어하는 제어부와, 상기 워크를 상기 탑재면 내에서 이동시키고, 상기 워크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서 상기 워크의 모서리를 지지하는 클램프부를 구비하고, 상기 제어부는, 적어도 상기 리프트 핀이 승강하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 금지하고, 상기 위치 자세 조정부에 있어서 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 허가하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 탑재 테이블은, 상기 탑재 테이블을 지지하는 복수의 레그부를 구비하고, 상기 평면도 조정부는, 상기 레그부의 근방에 배치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 탑재 테이블은, 상기 클램프부가 상기 워크의 네 모서리를 지지하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 탑재 테이블은, 상기 워크가 메탈 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트를 장착한 메탈 마스크 또는 상기 메탈 마스크 프레임인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 탑재 방법은, 직사각 형상의 워크를 탑재 테이블에 탑재하는 탑재 방법으로서, 상기 탑재 테이블의 표면보다 상방까지 상승시킨 리프트 핀 상부에 배치된 탑재면에 상기 워크를 탑재하는 제 1 탑재 공정과, 상기 제 1 탑재 공정에서 상기 탑재면에 탑재된 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 금지하는 제 1 금지 공정과, 상기 리프트 핀을 상기 탑재 테이블의 표면 근방에 있어서 상기 탑재 테이블의 표면보다 상방까지 하강시켜, 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 허가하는 허가 공정과, 상기 탑재 테이블의 표면 내에 있어서의 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하는 위치 자세 조정 공정과, 상기 위치 자세 조정 공정 후, 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 금지하는 제 2 금지 공정과, 상기 리프트 핀을 상기 탑재 테이블의 표면보다 하방으로 하강시켜, 상기 탑재 테이블의 표면에 상기 워크를 탑재하는 제 2 탑재 공정을 포함하며, 상기 위치 자세 조정 공정은, 상기 워크의 모서리에 배치된 클램프부에 있어서, 상기 워크를 상기 탑재면 내에서 이동시키고, 상기 워크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서 상기 워크의 모서리를 지지하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 탑재 방법은, 상기 제 1 탑재 공정 전에, 상기 탑재 테이블의 표면의 평면도를 조정하는 평면도 조정 공정을 추가로 포함하고, 상기 평면도 조정 공정은, 상기 탑재 테이블을 관통하는 관통 구멍에 배치되는 볼트와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 표면측에서 상기 관통 구멍의 입구에 배치되는 제 1 구면 와셔와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 이면측에서 상기 관통 구멍의 출구에 배치되는 제 2 구면 와셔와, 상기 탑재 테이블의 이면측에 배치되며, 상기 볼트의 나사부를 수용하는 조정 나사와, 상기 조정 나사를 고정하는 고정 너트에 의해 구성되는 평면도 조정부에 의해 상기 평면도를 조정하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 탑재 방법은, 상기 워크가 메탈 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트를 장착한 메탈 마스크 또는 상기 메탈 마스크 프레임인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 워크를 정밀도 양호하게 소망의 위치에 탑재할 수 있는 탑재 테이블 및 해당 탑재 테이블에 워크를 탑재하는 탑재 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 사시도,
도 2는 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 평면도,
도 3은 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 정면도,
도 4는 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 우측면도,
도 5는 실시형태에 따른 평면도 조정 기구의 구성을 도시하는 중앙 종단면도,
도 6은 실시형태에 따른 리프트 핀이 상승하고 있는 상태를 도시하는 도면,
도 7은 실시형태에 따른 클램프의 구성에 대하여 설명하기 위한 확대도,
도 8은 실시형태에 따른 검사 테이블의 시스템 구성을 나타내는 블록도,
도 9는 실시형태에 따른 검사 테이블을 이용한 메탈 마스크 탑재 방법에 대하여 설명하기 위한 흐름도.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 따른 탑재 테이블에 대하여 설명한다. 탑재 테이블은 직사각 형상의 워크를 탑재하는 것으로서, 이 실시형태에서는, 직사각 형상의 워크로서 메탈 마스크를, 탑재 테이블로서 해당 메탈 마스크를 탑재하여 검사하는 검사 테이블을 예로 들어 설명한다. 메탈 마스크는, 메탈 마스크 제조 장치에 의해 프레임 형상의 메탈 마스크 프레임을 구성하는 대향하는 2변에, 복수의 띠 형상의 메탈 마스크 시트의 양 단부를 순차 부착하는 것에 의해 제조되며, 유기 EL 소자의 제조 공정에서 유기 발광층을 진공 증착할 때에 사용된다.
도 1은 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 사시도, 도 2는 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 평면도, 도 3은 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 정면도, 도 4는 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 우측면도이다. 또한, 이하의 설명에서는, 도 1에 나타내는 XYZ 직교 좌표계를 설정하고, 이 직교 좌표계를 참조하면서 각 부재의 위치 관계 등에 대하여 설명한다. XY 평면은, 검사 테이블을 탑재하는 수평면에 평행한 면으로 설정되어 있으며, Z축은, 연직 방향으로 설정되어 있다.
검사 테이블(2)은, 도 1 내지 도 4에 도시하는 바와 같이, 유리판(8), 테이블부(10), 복수(이 실시형태에서는 24개)의 레그부(12a 내지 12w) 및 도시하지 않는 레그부, 기대(14), 복수(이 실시형태에서는 24개)의 평면도 조정 기구(4a 내지 4x), 복수(이 실시형태에서는 10개)의 리프트 핀(5a 내지 5j), 및 복수(이 실시형태에서는 4개)의 클램프(6a 내지 6d)를 구비하고 있다. 유리판(8)은 중앙부에 배치되어 있으며, 프레임 형상의 테이블부(10)는 유리판(8)의 주위에 배치되어 있다. 테이블부(10)는, 세라믹 등으로 이루어지며, 검사 대상물인 메탈 마스크를 탑재한다. 레그부(12a 내지 12w) 및 도시하지 않는 레그부는 테이블부(10)를 지지하고 있으며, 레그부(12a 내지 12c)는 테이블부(10)의 ＋Y 방향측에, 레그부(12 내지 12h)는 테이블부(10)의 -Y 방향측에, 레그부(12i 내지 12p)는 테이블부(10)의 ＋X 방향측에, 레그부(12q 내지 12w) 및 도시하지 않는 레그부는 테이블부(10)의 -X 방향측에 마련되어 있다.
평면도 조정 기구(4a 내지 4c) 각각은, 테이블부(10)의 ＋Y 방향측에 있어서, 레그부(12a 내지 12c) 각각의 근방에 배치되어 있다. 마찬가지로, 평면도 조정 기구(4d 내지 4h) 각각은 테이블부(10)의 -Y 방향측에 있어서 레그부(12d 내지 12h) 각각의 근방에, 평면도 조정 기구(4i 내지 4p) 각각은 테이블부(10)의 ＋X 방향측에 있어서 레그부(12i 내지 12p) 각각의 근방에, 평면도 조정 기구(4q 내지 4x) 각각은 테이블부(10)의 -X 방향측에 있어서 레그부(12q 내지 12w) 및 도시하지 않는 레그부 각각의 근방에 배치되어 있다. 평면도 조정 기구(4a 내지 4x)는, 테이블부(10)의 표면, 즉 테이블부(10)의 탑재면(10a)의 평면도를 조정한다.
도 5는, 평면도 조정 기구(4h)의 구성을 도시하는 중앙 종단면도이다. 평면도 조정 기구(4h)는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 볼트(16), 제 1 구면 와셔(18), 제 2 구면 와셔(20), 조정 나사(22) 및 고정 너트(24)를 구비하고 있다. 볼트(16)는, 테이블부(10)의 탑재면(10a)에 마련되어 있는 오목부(26), 및 오목부(26)로부터 테이블부(10)를 Z 방향으로 관통하는 관통 구멍(28)에 배치되어 있다. 제 1 구면 와셔(18)는, 볼트(16)에 관통 삽입되며, 테이블부(10)의 탑재면(10a)측(＋Z 방향측)에 있어서 관통 구멍(28)의 입구에 배치되어 있다. 즉, 제 1 구면 와셔(18)는, 볼트(16)의 헤드부와 오목부(26)의 저부의 사이에 배치되어 있다. 제 2 구면 와셔(20)는, 볼트(16)에 관통 삽입되며, 테이블부(10)의 이면측(-Z 방향측)에 있어서 관통 구멍(28)의 출구에 배치되어 있다. 레그부(12h)가 테이블부(10)를 지지하는 지지부에는, Z 방향으로 관통하는 관통 구멍이 마련되어 있으며, 제 2 구면 와셔(20)는, 테이블부(10)의 이면과 레그부(12h)에 마련되어 있는 관통 구멍의 입구(＋Z 방향측)의 사이에 배치되어 있다.
조정 나사(22)는, 테이블부(10)의 이면측에서, 레그부(12h)에 마련되어 있는 관통 구멍에 배치되어 있다. 조정 나사(22)의 ＋Z 방향측의 단부에는, 볼트(16)의 -Z 방향측의 나사부를 수용하는 수용부(22a)가 형성되어 있다. 조정 나사(22)를 한쪽으로 회전시키는 것에 의해 볼트(16)는 조여지고, 테이블부(10)의 탑재면(10a)의 평면도가 변화한다. 또한, 조정 나사(22)를 다른쪽으로 회전시키는 것에 의해 볼트(16)는 느슨해지고, 테이블부(10)의 탑재면(10a)의 평면도가 변화한다. 고정 너트(24)는, 조정 나사(22)를 고정한다. 또한, 제 1 구면 와셔(18) 및 제 2 구면 와셔(20)는, XY 평면에 있어서의 테이블부(10)의 평면도 조정 기구(4h)주위의 경사를 흡수한다. 또한, 평면도 조정 기구(4a 내지 4g) 및 (4i 내지 4x)의 구성은, 평면도 조정 기구(4h)의 구성과 동일하기 때문에, 설명을 생략한다.
리프트 핀(5a)은 테이블부(10)의 ＋X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4i)와 (4j)의 사이에, 리프트 핀(5b)은 테이블부(10)의 ＋X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4j)와 (4k)의 사이에, 리프트 핀(5c)은 테이블부(10)의 ＋X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4l)와 (4m)의 사이에, 리프트 핀(5d)은 테이블부(10)의 ＋X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4n)와 (4o)의 사이에, 리프트 핀(5e)은 테이블부(10)의 ＋X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4o)와 (4p)의 사이에 마련되어 있다. 또한, 리프트 핀(5f)은 테이블부(10)의 -X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4q)와 (4r)의 사이에, 리프트 핀(5g)은 테이블부(10)의 -X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4r)와 (4s)의 사이에, 리프트 핀(5h)은 테이블부(10)의 -X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4t)와 (4u)의 사이에, 리프트 핀(5i)은 테이블부(10)의 -X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4v)와 (4w)의 사이에, 리프트 핀(5j)은 테이블부(10)의 -X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4w)와 (4x)의 사이에 마련되어 있다.
리프트 핀(5a 내지 5j)은, 테이블부(10)의 하방(-Z 방향)에 있으며 기대(14)의 상측(＋Z 방향측) 근방인 대기 위치(도 1 내지 도 4 참조)로부터, 리프트 핀(5a 내지 5j) 각각에 대하여 마련되어 있는 테이블부(10)의 노치부를 거쳐서, 테이블부(10)의 상방(＋Z 방향)의 워크를 받는 위치(도 6 참조)까지의 사이를 이동 가능하게 구성되어 있다. 즉, 리프트 핀(5a 내지 5j)은, Z 방향으로 승강한다. 또한, 리프트 핀(5a 내지 5j)은, 워크를 받는 위치에 있어서, 외부로부터 검사 테이블(2)로 반송되어 온 메탈 마스크를 받아 탑재하는 탑재면을 갖고 있다. 리프트 핀(5a 내지 5j)은, 워크를 받는 위치에 있어서 외부로부터 테이블부(10)에 반송되는 메탈 마스크를 받고, -Z 방향으로 이동하여 메탈 마스크를 테이블부(10)의 탑재면(10a) 상에 탑재한다. 또한, 리프트 핀(5a)은, 탑재된 메탈 마스크의 탑재면(XY 평면) 내에서의 이동을 제어하는 센터링 유닛(도시하지 않음)을 구비하고 있다. 마찬가지로, 리프트 핀(5b 내지 5j) 각각은, 탑재된 메탈 마스크의 탑재면(XY 평면) 내에서의 이동을 제어하는 센터링 유닛(도시하지 않음)을 구비하고 있다.
클램프(6a 내지 6d)는, 테이블부(10)의 네 모서리에 각각 배치되어 있으며, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면에 탑재되어 있는 메탈 마스크를 탑재면 내에서 이동시킨다. 도 7은, 도 2에 나타내는 원(A)으로 둘러싼 부재의 확대도이다. 도 7에 도시하는 바와 같이 클램프(6a)는, 테이블부(10)에 고정되어 있는 L자형의 고정 부재(30), 고정 부재(30)에 대하여 ±X 방향으로 이동 가능한 X 방향 가동 부재(32), 고정 부재에 대하여 ±Y 방향으로 이동 가능한 Y 방향 가동 부재(34)를 구비하고 있다. X 방향 가동 부재(32)의 선단부(32a) 및 Y 방향 가동 부재(34)의 선단부(34a)는 회전 가능한 볼로 이루어지며, X 방향 가동 부재(32)가 -X 방향으로, Y 방향 가동 부재(34)가 -Y 방향으로 이동하는 것에 의해 선단부(32a) 및 (34a)가 메탈 마스크의 귀퉁이에 접촉한다. 선단부(32a) 및 (34a)가 메탈 마스크의 귀퉁이에 접촉하는 것에 의해, 메탈 마스크는 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면(XY 평면) 내에서 이동하여, 메탈 마스크의 위치 및 자세가 조정된다. 또한, 클램프(6a)의 X 방향 가동 부재(32) 및 Y 방향 가동 부재(34)는, 메탈 마스크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서 메탈 마스크의 모서리를 지지한다.
또한, 클램프(6b)의 구성은, 테이블부(10)의 단측 방향(X 방향)의 중심선을 선대칭으로 하여, 도 7에 도시하는 클램프(6a)의 구성과 동일하다. 또한, 클램프(6c)의 구성은, 테이블부(10)의 장측 방향(Y 방향)의 중심선을 선대칭으로 하여, 도 7에 도시하는 클램프(6a)의 구성과 동일하다. 또한, 클램프(6d)의 구성은, 테이블부(10)의 중심을 점대칭으로 하여, 도 7에 도시하는 클램프(6a)의 구성과 동일하다. 클램프(6a 내지 6d) 각각이 메탈 마스크의 모서리를 지지하는 것에 의해 메탈 마스크의 네 모서리가 지지된다. 또한, 리프트 핀(5a 내지 5j) 및 클램프(6a 내지 6d)는, 테이블부(10)의 탑재면(10a) 내에서의 메탈 마스크의 위치 및 자세를 조정하는 위치 자세 조정 장치를 구성한다.
도 8은, 검사 테이블(2)의 시스템 구성을 나타내는 블록도이다. 검사 테이블(2)은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 검사 테이블(2)의 각 부, 특히 리프트 핀(5a 내지 5j) 및 클램프(6a 내지 6d)의 각 부를 통괄적으로 제어하는 제어부(36)를 구비하고 있다. 제어부(36)에는, 리프트 핀(5a)의 리프트 핀 구동부(38)가 접속되어 있다. 제어부(36)는 리프트 핀 구동부(38)의 구동을 제어하고, 리프트 핀 구동부(38)는 리프트 핀(5a)을 구동한다. 즉, 제어부(36)는, 리프트 핀 구동부(38)를 거쳐서, 리프트 핀(5a)을 ±Z 방향으로 이동시킨다.
또한, 제어부(36)에는, 리프트 핀(5a)의 로크부(40)가 접속되어 있다. 로크부(40)는, 제어부(36)에 의한 제어에 따라서, 리프트 핀(5a)의 센터링 유닛의 로크 및 로크 해제를 제어한다. 즉, 제어부(36)는, 적어도 리프트 핀(5a 내지 5j)이 승강하고 있는 동안, 로크부(40)를 거쳐서, 리프트 핀(5a)의 센터링 유닛을 로크하는 것에 의해 리프트 핀(5a)의 탑재면 내에서의 메탈 마스크의 이동을 금지한다. 또한, 제어부(36)는, 상술한 위치 자세 조정 장치에서 메탈 마스크의 위치 및 자세를 조정하고 있는 동안, 로크부(40)를 거쳐서, 리프트 핀(5a)의 센터링 유닛의 로크를 해제하는 것에 의해, 리프트 핀(5a)의 탑재면 내에서의 메탈 마스크의 이동을 허가한다.
또한, 리프트 핀(5b 내지 5j)도 리프트 핀 구동부(도시하지 않음) 및 로크부(도시하지 않음)를 각각 구비하고 있으며, 리프트 핀(5b 내지 5j)의 리프트 핀 구동부 및 로크부는, 제어부(36)에 각각 접속되어 있다. 또한, 리프트 핀(5b 내지 5j)의 리프트 핀 구동부 및 로크부의 구성은, 리프트 핀 구동부(38) 및 로크부(40)의 구성과 동일하다.
또한, 제어부(36)에는, 클램프(6a)의 X측 클램프 구동부(42) 및 Y측 클램프 구동부(44)가 접속되어 있다. 제어부(36)는 X측 클램프 구동부(42)의 구동을 제어하고, X측 클램프 구동부(42)는 X 방향 가동 부재(32)의 구동을 제어한다. 즉, 제어부(36)는, X측 클램프 구동부(42)를 거쳐서, X 방향 가동 부재(32)를 ±X 방향으로 이동시킨다. 또한, 제어부는 Y측 클램프 구동부(44)의 구동을 제어하고, Y측 클램프 구동부(44)는 Y 방향 가동 부재(34)의 구동을 제어한다. 즉, 제어부(36)는, Y측 클램프 구동부(44)를 거쳐서, Y 방향 가동 부재(34)를 ±Y 방향으로 이동시킨다.
또한, 클램프(6b 내지 6d)도 X측 클램프 구동부(도시하지 않음) 및 Y측 클램프 구동부(도시하지 않음)를 각각 구비하고 있으며, 클램프(6b 내지 6d)의 X측 클램프 구동부 및 Y측 클램프 구동부는, 제어부(36)에 각각 접속되어 있다. 또한, 클램프(6b 내지 6d)의 X측 클램프 구동부 및 Y측 클램프 구동부의 구성은, X측 클램프 구동부(42) 및 Y측 클램프 구동부(44)의 구성과 동일하다.
또한, 제어부(36)에는, 기억부(46) 및 입력부(48)가 접속되어 있다. 기억부(46)에는 여러 가지의 메탈 마스크의 크기에 관한 정보가 기억되어 있으며, 제어부(36)는, 입력부(48)를 거쳐서 입력된 검사 대상인 메탈 마스크에 관한 정보를 취득하고, 취득한 정보에 기초하여 기억부(46)에 기억되어 있는 검사 대상인 메탈 마스크의 크기에 관한 정보를 판독한다. 제어부(36)는, 판독한 정보에 기초하여, 클램프(6a)의 X측 클램프 구동부(42) 및 Y측 클램프 구동부(44), 및 클램프(6b 내지 6d)의 X측 클램프 구동부 및 Y측 클램프 구동부의 구동을 제어한다.
다음에, 도면을 참조하여, 이 실시형태에 따른 검사 테이블(2)에 있어서, 메탈 마스크를 검사 테이블(2)(테이블부(10))에 탑재하는 메탈 마스크 탑재 방법에 대하여 설명한다. 도 9는, 검사 테이블(2)에 있어서 메탈 마스크를 테이블부(10)에 탑재할 때의 처리에 대하여 설명하기 위한 흐름도이다.
우선, 제어부(36)는, 테이블부(10)의 탑재면(10a)의 평면도를 조정한다(단계(S1)). 구체적으로는, 제어부(36)는, 도시하지 않는 평면도 계측 장치에 의해 계측된 탑재면(10a)의 평면도 계측 결과를 취득하고, 취득 결과를 도시하지 않는 출력부에 대하여 출력하도록 지시한다. 사용자는, 출력부에 출력된 평면도 계측 결과를 참조하여, 평면도 조정 기구(4a 내지 4x)를 이용해 평면도를 조정한다. 구체적으로는, 조정 나사(22) 또는 다른 조정 나사를 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전시키는 것에 의해 볼트(16)의 체결을 느슨하게 하여(諦緩), 테이블부(10)의 평면도를 조정한다. 테이블부(10)의 평면도의 계측 및 조정을 반복하는 것에 의해, 테이블부(10)의 평면도를 높여나간다.
다음에, 제어부(36)는, 단계(S1)에서 테이블부(10)의 평면도가 조정된 후, 리프트 핀(5a 내지 5j)을 대기 위치(도 1 참조)로부터 도 6에 도시하는 위치, 즉 테이블부(10)의 탑재면(10a)보다 상방까지 상승시킨다(단계(S2)). 구체적으로는, 제어부(36)는, 리프트 핀 구동부(38) 및 그 이외의 리프트 핀 구동부의 구동을 제어하는 것에 의해, 리프트 핀(5a 내지 5j)을 ＋Z 방향으로 소정 거리 상승시킨다.
다음에, 제어부(36)는, 외부로부터 검사 테이블(2)에 반송되어 온 메탈 마스크가 리프트 핀(5a 내지 5j) 상부에 배치된 탑재면에 탑재된 것을 확인하면(단계 (S3)), 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛을 로크하여, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면 내에서의 메탈 마스크의 이동을 금지한다(단계(S4)). 구체적으로는, 제어부(36)는, 검사 대상인 메탈 마스크가 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면에 탑재된 것을, 예를 들면 입력부를 거쳐서 입력된 확인 신호 또는 도시하지 않는 검지 센서 등으로부터 송신되는 확인 신호를 수신하는 것에 의해 확인한다. 그리고, 제어부(36)는, 로크부(40) 및 그 이외의 로크부에 대하여 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛을 로크하도록 지시하고, 로크부(40) 및 그 이외의 로크부의 각각은, 리프트 핀(5a 내지 5j) 각각의 센터링 유닛을 로크한다. 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛이 로크되는 것에 의해, 메탈 마스크는, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면 내에서 고정된다.
다음에, 제어부(36)는, 리프트 핀(5a 내지 5j)을 도 6에 도시하는 위치로부터 테이블부(10)의 탑재면(10a) 근방에 있어서 탑재면(10a)보다 상방, 즉 탑재면(10a)보다 미소량 상방까지 하강시킨다(단계(S5)). 구체적으로는, 제어부(36)는, 리프트 핀 구동부(38) 및 그 이외의 리프트 핀 구동부의 구동을 제어하는 것에 의해, 리프트 핀(5a 내지 5j)을 -Z 방향으로 소정 거리 하강시킨다.
다음에, 제어부(36)는, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛의 로크를 해제하여, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면 내에서의 메탈 마스크의 이동을 허가한다(단계(S6)). 구체적으로는, 제어부(36)는, 로크부(40) 및 그 이외의 로크부에 대하여 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛의 로크를 해제하도록 지시하여, 로크부(40) 및 그 이외의 로크부의 각각은, 리프트 핀(5a 내지 5j) 각각의 센터링 유닛의 로크를 해제한다. 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛의 로크가 해제되는 것에 의해, 메탈 마스크는, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면 내에서 이동 가능해진다.
다음에, 제어부(36)는, 테이블부(10)의 탑재면(10a)에서의 메탈 마스크의 위치 및 자세를 조정한다(단계(S7)). 구체적으로는, 제어부(36)는, 입력부(48)를 거쳐서 입력된 메탈 마스크에 관한 정보를 취득하고, 취득한 정보에 기초하여 기억부(46)에 기억되어 있는 메탈 마스크의 크기에 관한 정보를 판독한다. 그리고, 제어부(36)는, 판독한 정보에 기초하여, 클램프(6a)의 X측 클램프 구동부(42) 및 Y측 클램프 구동부(44), 및 클램프(6b 내지 6d)의 X측 클램프 구동부 및 Y측 클램프 구동부의 구동을 제어한다. X측 클램프 구동부(42) 및 그 이외의 X측 클램프 구동부의 각각은, 클램프(6a)의 X 방향 가동 부재(32) 및 클램프(6b 내지 6d)의 X 방향 가동 부재 각각을 X 방향으로 소정 거리 이동시킨다. 마찬가지로, Y측 클램프 구동부(44) 및 그 이외의 Y측 클램프 구동부의 각각은, 클램프(6a)의 Y 방향 가동 부재(34) 및 클램프(6b 내지 6d)의 Y 방향 가동 부재 각각을 Y 방향으로 소정 거리 이동시킨다. X 방향 가동 부재(32), 그 이외의 X 방향 가동 부재, Y 방향 가동 부재(34) 및 그 이외의 Y 방향 가동 부재가 이동하는 것에 의해, 메탈 마스크는 XY 평면 내에서 이동한다. 그리고, 탑재면(10a)에 대한 메탈 마스크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서, 메탈 마스크의 네 모서리는 클램프(6a 내지 6d)에 의해 지지된다.
다음에, 제어부(36)는, 단계(S7)에서 메탈 마스크의 위치 및 자세의 조정을 종료한 후, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛을 로크하여, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면 내에서의 메탈 마스크의 이동을 금지한다(단계(S8)). 즉, 제어부(36)는, 로크부(40) 및 그 이외의 로크부에 대하여 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛을 로크하도록 지시하고, 로크부(40) 및 그 이외의 로크부의 각각은, 리프트 핀(5a 내지 5j) 각각의 센터링 유닛을 로크한다. 그리고, 제어부(36)는, 리프트 핀 구동부(38) 및 그 이외의 리프트 핀 구동부의 구동을 제어하는 것에 의해 리프트 핀(5a 내지 5j)을 테이블부(10)의 탑재면(10a)보다 하방으로 하강시켜(단계(S9)), 메탈 마스크를 테이블부(10)의 탑재면(10a)에 탑재한다. 메탈 마스크가 테이블부(10)의 탑재면(10a)에 탑재된 후, 리프트 핀(5a 내지 5j)은, 대기 위치까지 하강한다.
이 실시형태에 따른 검사 테이블(2)에 의하면, 평면도 조정 기구(4a 내지 4x)를 구비하고 있기 때문에, 테이블부(10)의 탑재면(10a)의 평면도를 고정밀도로 유지할 수 있어서, 메탈 마스크를 변형시키는 일 없이 테이블부(10)의 탑재면(10a)에 탑재할 수 있다. 또한, 리프트 핀(5a 내지 5j) 및 클램프(6a 내지 6d)에 의해 구성되는 위치 자세 조정 장치를 구비하고 있기 때문에, 테이블부(10)에 대한 메탈 마스크의 위치 및 자세를 조정할 수 있어서, 메탈 마스크를 테이블(10)의 탑재면(10a)의 소망의 위치에 탑재할 수 있다.
또한, 이 실시형태에 따른 메탈 마스크의 탑재 방법에 의하면, 평면도 조정 기구(4a 내지 4x)를 이용하여 테이블부(10)의 탑재면(10a)의 평면도를 조정하기 때문에, 탑재면(10a)의 평면도를 고정밀도로 유지할 수 있어서, 메탈 마스크를 변형시키는 일 없이 테이블부(10)의 탑재면(10a)에 탑재할 수 있다. 또한, 리프트 핀(5a 내지 5j) 및 클램프(6a 내지 6d)에 의해 구성되는 위치 자세 조정 장치를 이용하여 테이블부(10)에 대한 메탈 마스크의 위치 및 자세를 조정하기 때문에, 메탈 마스크를 테이블부(10)의 탑재면(10a)의 소망의 위치에 탑재할 수 있다.
또한, 상술의 실시형태에서는, 평면도 조정 장치 및 위치 자세 조정 장치의 양쪽을 구비하고 있지만, 평면도 조정 장치만 또는 위치 자세 조정 장치만을 구비하는 구성이어도 좋다.
또한, 상술의 실시형태에서는, 메탈 마스크를 탑재하는 경우를 예로 들어 설명했지만, 메탈 마스크 이외의 직사각 형상의 워크(예를 들면 메탈 마스크 프레임 등)를 탑재하는 경우에도 본 발명을 적용할 수 있다. 또한, 상술의 실시형태에서는, 검사 장치에 마련되어 있는 검사 테이블을 예로 들어 설명했지만, 검사 장치 이외의 장치(예를 들면 메탈 마스크 제조 장치 등)에 마련되어 있는 탑재 테이블에도 본 발명을 적용할 수 있다.
또한, 상술의 실시형태에서는, 24개의 평면도 조정 기구를 구비하고 있지만, 검사 테이블(탑재 테이블)의 평면도를 양호하게 조정 가능하면 좋으며, 평면도 조정 기구의 수는 한정되지 않는다. 또한, 평면도 조정 기구는 도 1 내지 도 4에 도시하는 위치에 배치되어 있지만, 검사 테이블(탑재 테이블)의 평면도를 양호하게 조정 가능하면 다른 위치에 배치되어도 좋다. 또한, 상술의 실시형태에서는, 10개의 리프트 핀을 구비하고 있지만, 메탈 마스크(워크)를 양호하게 지지 가능하면 좋으며, 리프트 핀의 수는 한정되지 않는다. 또한, 상술의 실시형태에서는, 메탈 마스크의 네 모서리 각각을 지지하는 4개의 클램프를 구비하고 있지만, 메탈 마스크의 모서리를 양호하게 지지 가능하면 좋으며, 클램프의 수는 한정되지 않는다.
2 : 검사 테이블 4a 내지 4x : 평면도 조정 기구
6a 내지 6d : 클램프 8 : 유리판
10 : 테이블부 12a 내지 12w : 레그부
14 : 기대 16 : 볼트
18 : 제 1 구면 와셔 20 : 제 2 구면 와셔
22 : 조정 나사 24 : 고정 너트
26 : 오목부 28 : 관통 구멍
30 : 고정 부재 32 : X 방향 가동 부재
34 : Y 방향 가동 부재 36 : 제어부
38 : 리프트 핀 구동부 40 : 로크부
42 : X측 클램프 구동부 44 : Y측 클램프 구동부
46 : 기억부 48 : 입력부

Claims (9)

  1. 직사각 형상의 워크를 탑재하는 탑재 테이블로서,
    상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면의 평면도를 조정하는 평면도 조정부와,
    상기 탑재 테이블을 지지하는 복수의 레그부를 구비하고,
    상기 평면도 조정부는,
    상기 탑재 테이블을 관통하는 관통 구멍에 배치되는 볼트와,
    상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 표면측에서 상기 탑재 테이블의 상기 관통 구멍의 입구에 배치되는 제 1 구면 와셔와,
    상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블과 상기 레그부 사이에서 상기 탑재 테이블의 상기 관통 구멍의 출구에 배치되는 제 2 구면 와셔와,
    상기 레그부에 마련되어 있는 관통 구멍에 배치되며, 상기 탑재 테이블의 이면측에서 상기 레그부의 관통 구멍으로부터 상기 볼트의 나사부를 수용하는 조정 나사와,
    상기 레그부의 이면측에서 상기 레그부의 관통 구멍의 출구에 배치되며, 상기 조정 나사를 고정하는 고정 너트를 구비하고,
    상기 조정 나사를 상기 레그부의 이면측으로부터 회전시키는 것에 의해 상기 탑재 테이블의 표면의 평면도를 조정하는 것을 특징으로 하는
    탑재 테이블.
  2. 직사각 형상의 워크를 탑재하는 탑재 테이블로서,
    상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면 내에서의 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하는 위치 자세 조정부를 구비하고,
    상기 위치 자세 조정부는,
    외부로부터 반송되는 상기 워크를 상기 탑재 테이블의 연직 방향 상방에서 받아 탑재하는 탑재면을 갖고, 상기 탑재면을 상기 탑재 테이블의 표면에 대하여 교차하는 방향으로 승강시키는 리프트 핀과,
    상기 탑재면에 탑재된 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 제어하는 제어부와,
    상기 워크를 상기 탑재면 내에서 이동시키고, 상기 워크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서 상기 워크의 모서리를 지지하는 클램프부를 구비하고,
    상기 리프트 핀은 상기 워크를 받을 때에 상기 탑재면을 상기 탑재 테이블의 연직 방향 상방까지 상승시키고, 상기 워크를 받은 후에 상기 탑재면을 상기 탑재 테이블의 표면 근방까지 하강시키며, 상기 워크의 위치 및 자세의 조정을 종료한 후에 상기 탑재면을 상기 탑재 테이블의 연직방향 하방까지 하강시키고,
    상기 제어부는, 적어도 상기 리프트 핀이 승강하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 금지하고, 상기 위치 자세 조정부에서 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 허가하는 것을 특징으로 하는
    탑재 테이블.
  3. 직사각 형상의 워크를 탑재하는 탑재 테이블로서,
    상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면의 평면도를 조정하는 평면도 조정부와,
    상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면 내에서의 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하는 위치 자세 조정부와,
    상기 탑재 테이블을 지지하는 복수의 레그부를 구비하고,
    상기 평면도 조정부는,
    상기 탑재 테이블을 관통하는 관통 구멍에 배치되는 볼트와,
    상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 표면측에서 상기 탑재 테이블의 상기 관통 구멍의 입구에 배치되는 제 1 구면 와셔와,
    상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블과 상기 레그부 사이에서 상기 탑재 테이블의 상기 관통 구멍의 출구에 배치되는 제 2 구면 와셔와,
    상기 레그부에 마련되어 있는 관통 구멍에 배치되며, 상기 탑재 테이블의 이면측에서 상기 레그부의 관통 구멍으로부터 상기 볼트의 나사부를 수용하는 조정 나사와,
    상기 레그부의 이면측에서 상기 레그부의 관통 구멍의 출구에 배치되며, 상기 조정 나사를 고정하는 고정 너트를 구비하고,
    상기 조정 나사를 상기 레그부의 이면측으로부터 회전시키는 것에 의해 상기 탑재 테이블의 표면의 평면도를 조정하고,
    상기 위치 자세 조정부는,
    외부로부터 반송되는 상기 워크를 받아 탑재하는 탑재면을 갖고, 상기 탑재면을 상기 탑재 테이블의 표면에 대하여 교차하는 방향으로 승강시키는 리프트 핀과,
    상기 탑재면에 탑재된 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 제어하는 제어부와,
    상기 워크를 상기 탑재면 내에서 이동시키고, 상기 워크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서 상기 워크의 모서리를 지지하는 클램프부를 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 리프트 핀이 승강하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 금지하고, 상기 클램프부가 상기 워크를 지지하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 허가하는 것을 특징으로 하는
    탑재 테이블.
  4. 삭제
  5. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 클램프부는, 상기 워크의 네 모서리를 지지하는 것을 특징으로 하는
    탑재 테이블.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 워크는, 메탈 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트를 장착한 메탈 마스크 또는 상기 메탈 마스크 프레임인 것을 특징으로 하는
    탑재 테이블.
  7. 직사각 형상의 워크를 탑재 테이블에 탑재하는 탑재 방법으로서,
    외부로부터 반송되는 상기 워크를 받을 때에 리프트 핀의 탑재면을 상기 탑재 테이블의 표면보다 연직 방향 상방까지 상승시켜, 상기 탑재면에 상기 워크를 탑재하는 제 1 탑재 공정과,
    상기 제 1 탑재 공정에 있어서 상기 탑재면에 탑재된 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 금지하는 제 1 금지 공정과,
    상기 제 1 탑재 공정 후, 상기 리프트 핀의 상기 탑재면을 상기 탑재 테이블의 표면 근방에 있어서 상기 탑재 테이블의 표면보다 연직 방향 상방까지 하강시켜, 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 허가하는 허가 공정과,
    상기 탑재 테이블의 표면 내에서의 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하는 위치 자세 조정 공정과,
    상기 위치 자세 조정 공정 후, 상기 리프트 핀을 상기 탑재 테이블의 표면보다 연직 방향 하방으로 하강시켜, 상기 탑재 테이블의 표면에 상기 워크를 탑재하는 제 2 탑재 공정과,
    상기 제 2 탑재 공정 동안, 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 금지하는 제 2 금지 공정을 포함하며,
    상기 위치 자세 조정 공정은, 상기 워크의 모서리에 배치된 클램프부에 있어서, 상기 워크를 상기 탑재면 내에서 이동시키고, 상기 워크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서 상기 워크의 모서리를 지지하는 것을 특징으로 하는
    탑재 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 탑재 공정 전에, 상기 탑재 테이블의 표면의 평면도를 조정하는 평면도 조정 공정을 추가로 포함하고,
    상기 평면도 조정 공정은, 상기 탑재 테이블을 관통하는 관통 구멍에 배치되는 볼트와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 표면측에서 상기 관통 구멍의 입구에 배치되는 제 1 구면 와셔와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 이면측에서 상기 관통 구멍의 출구에 배치되는 제 2 구면 와셔와, 상기 탑재 테이블의 이면측에 배치되며, 상기 볼트의 나사부를 수용하는 조정 나사와, 상기 조정 나사를 고정하는 고정 너트에 의해 구성되는 평면도 조정부에 의해 상기 평면도를 조정하는 것을 특징으로 하는
    탑재 방법.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 워크는, 메탈 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트를 장착한 메탈 마스크 또는 상기 메탈 마스크 프레임인 것을 특징으로 하는
    탑재 방법.
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