JP2021526237A - デジタルリソグラフィシステムでのマルチ基板処理 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001]本書に記載の実施形態は、概して電子デバイス製造の分野に関し、より詳細には、マスクレスリソグラフィシステムにおいて複数の基板を同時に処理するか、又は単一の基板を処理するために使用される装置、及びそれに関連する方法に関する。
[0002]マスクレスリソグラフィ(直接書込みデジタルリソグラフィなど)は、薄膜トランジスタ(TFT)を使用して動作するフラットパネルディスプレイ(FPDS)の製造においてよく使用される。多くの場合、単一のガラスの大面積薄型長方形シートの上に複数の表示デバイスが製造され(これを本書ではパネルと言う)、パネルは次いで分割されて、表面上に形成された個別の表示デバイス(コンピュータのモニタスクリーン、タッチパネルデバイスのスクリーン、携帯電話のスクリーン、及びテレビのスクリーンなど)となる。典型的な直接書込みデジタルリソグラフィプロセスでは、パネルの表面上に堆積された感光性レジスト層の表面に、表面上に、又は表面の下に、放射を導きかつ/又は集束させるために、一又は複数のリソグラフィ露光源(例えばUV光源)が使用される。典型的には、パネルは可動ステージ上に配置され、かつ可動ステージに固定される。この可動ステージは、リソグラフィ露光源の下でパネルを動かし、パネルのレジスト層に望ましいパターンが形成されることを可能にする。大面積パネルの場合、直接書込みデジタルリソグラフィ処理システムは、複数のリソグラフィ露光源であって、各々が、パネルを支持しているステージがリソグラフィ露光源の下で動くにつれてパネルの一部分上のパターンを露光するよう構成された、複数のリソグラフィ露光源を含む。典型的には、スケールメリット(economies of scale)により、比較的大面積のパネルを取り扱い、処理するよう設計された処理システム(すなわち大型の処理システム)の方が、小型の処理システムよりも望ましい。
を含むが、これらに限定されるわけではない。かかるコンピュータ可読記憶媒体は、本書に記載の方法の機能を指示するコンピュータ可読命令を保持していれば、本開示の実施形態となる。
Claims (15)
- 複数のキャリアモジュールであって、各キャリアモジュールが、
ベースプレートと、
前記ベースプレート上に配置された複数のZアクチュエータと、
前記複数のZアクチュエータ上に配置されたキャリアプレートとを備える、複数のキャリアモジュールを備える、
基板キャリア。 - 前記複数のキャリアモジュールの各々が、前記キャリアプレートを貫通するように可動に配置された複数のリフトピンを更に備える、請求項1に記載の基板キャリア。
- 各キャリアプレートが、表側面と基板受容面とを備え、前記基板受容面は、基板が前記基板受容面上に配置されると前記表側面が前記基板を取り囲むように、前記表側面から凹んでおり、かつ前記表側面より内部に配置されている、請求項2に記載の基板キャリア。
- 各キャリアモジュールの前記キャリアプレートが、隣接するキャリアモジュールの前記キャリアプレートから独立している、請求項3に記載の基板キャリア。
- 前記複数のキャリアモジュール上に配置されたパネルアダプタプレートを更に備える、請求項4に記載の基板キャリア。
- 前記パネルアダプタプレートが、
第1の面であって、前記第1の面の周縁部を形成する第1フレーム表面と、前記第1フレーム表面から凹んでおり、かつ前記第1フレーム表面より内部に配置されたパネル受容面とを有する、第1の面と、
前記第1の面の反対側の第2の面であって、複数の嵌合面と、前記第2の面の周縁部を形成する第2フレーム表面とを有し、前記複数の嵌合面が、前記基板キャリアの前記表側面と嵌合するようサイズ決定され、位置決定された一又は複数の凹面と、前記基板キャリアの前記基板受容面と嵌合するようサイズ決定され、位置決定された一又は複数の突出面とを含む、第2の面とを備える、請求項5に記載の基板キャリア。 - パネルアダプタプレートを貫通して形成された複数のリフトピン開口が、前記キャリアプレートの各々を貫通して形成された複数のリフトピンのそれぞれと整列される、請求項6に記載の基板キャリア。
- ベースと、
前記ベース上に配置された可動ステージと、
前記可動ステージ上に配置された基板キャリアであって、複数のキャリアモジュールを備える基板キャリアと、
前記ベースの表面の上方に前記ベースから離れて配置されたブリッジと、
前記ブリッジ上に配置された複数の光モジュールとを備える、
処理システム。 - 前記キャリアモジュールの各々が、
ベースプレートと、
前記ベースプレート上に配置された複数のZアクチュエータと、
前記複数のZアクチュエータ上に配置されたキャリアプレートとを備える、請求項8に記載の処理システム。 - 前記複数のキャリアモジュールの各々が、前記キャリアプレートを貫通するように可動に配置された複数のリフトピンを更に備える、請求項9に記載の処理システム。
- 各キャリアプレートが、表側面と基板受容面とを備え、前記基板受容面は、基板が前記基板受容面上に配置されると前記表側面が前記基板を取り囲むように、前記表側面から凹んでおり、かつ前記表側面より内部に配置されている、請求項10に記載の処理システム。
- 各キャリアモジュールの前記キャリアプレートが、隣接するキャリアモジュールの前記キャリアプレートから独立している、請求項11に記載の処理システム。
- 前記複数のキャリアモジュール上に配置されたパネルアダプタプレートを更に備える、請求項12に記載の処理システム。
- 前記パネルアダプタプレートが、
第1の面であって、前記第1の面の周縁部を形成する第1フレーム表面と、前記第1フレーム表面から凹んでおり、かつ前記第1フレーム表面より内部に配置されたパネル受容面とを有する、第1の面と、
前記第1の面の反対側の第2の面であって、複数の嵌合面と、前記第2の面の周縁部を形成する第2フレーム表面とを有し、前記複数の嵌合面が、前記基板キャリアの前記表側面と嵌合するようサイズ決定され、位置決定された一又は複数の凹面と、前記基板キャリアの前記基板受容面と嵌合するようサイズ決定され、位置決定された一又は複数の突出面とを含む、第2の面と、
を備える、請求項13に記載の処理システム。 - 複数の基板をパターニングする方法であって、
処理システムの基板キャリア上に複数の基板を位置付けることであって、前記処理システムが、
ベースと、
前記ベース上に配置された可動ステージと、
前記可動ステージ上に配置された前記基板キャリアと、
前記ベースの表面の上方に前記ベースから離れて配置されたブリッジと、
前記ブリッジ上に配置された複数の光モジュールとを備える、複数の基板を位置付けることと、
前記複数の光モジュールの下に前記基板キャリアを位置付けることと、
前記複数の基板の各々を個別に水平化することと、
前記複数の基板の各々についてのオフセット情報を特定することと、
前記複数の基板の各々についての前記オフセット情報に基づいて、パターニング命令を生成することと、
前記複数の光モジュールを使用して前記複数の基板の各々をパターニングすることとを含む、
方法。
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