JP2013186275A - 露光装置、及び露光装置のプリアライメント方法 - Google Patents
露光装置、及び露光装置のプリアライメント方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013186275A JP2013186275A JP2012051002A JP2012051002A JP2013186275A JP 2013186275 A JP2013186275 A JP 2013186275A JP 2012051002 A JP2012051002 A JP 2012051002A JP 2012051002 A JP2012051002 A JP 2012051002A JP 2013186275 A JP2013186275 A JP 2013186275A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- chuck
- edge
- stage
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【課題】CCDカメラ等の画像取得装置を用いることなく、安価、かつ調整及びメンテナンスが容易な構成で、基板のプリアライメントを迅速に行う。
【解決手段】チャック10に、チャック10に搭載される基板1の縁と交差する様に、基板1の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画12を有する吸引機構11を設ける。吸引機構11の各吸引区画12の圧力を測定し、測定結果から、チャック10に搭載された基板1の縁の位置を検出して、チャック10上での基板1のずれ量を検出する。検出したチャック10上での基板1のずれ量に応じ、駆動回路によりステージを駆動して、基板1のプリアライメントを行う。
【選択図】図7
【解決手段】チャック10に、チャック10に搭載される基板1の縁と交差する様に、基板1の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画12を有する吸引機構11を設ける。吸引機構11の各吸引区画12の圧力を測定し、測定結果から、チャック10に搭載された基板1の縁の位置を検出して、チャック10上での基板1のずれ量を検出する。検出したチャック10上での基板1のずれ量に応じ、駆動回路によりステージを駆動して、基板1のプリアライメントを行う。
【選択図】図7
Description
本発明は、表示用パネル基板等の製造において、基板の露光を行う露光装置、及び露光装置のプリアライメント方法に係り、特に、基板を搭載するチャックをステージにより移動して基板のプリアライメントを行う露光装置、及び露光装置のプリアライメント方法に関する。
表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のTFT(Thin Film Transistor)基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機EL(Electroluminescence)表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。露光装置としては、レンズ又は鏡を用いてマスクのパターンを基板上に投影するプロジェクション方式と、マスクと基板との間に微小な間隙(プロキシミティギャップ)を設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式とがある。プロキシミティ方式は、プロジェクション方式に比べてパターン解像性能は劣るが、照射光学系の構成が簡単で、かつ処理能力が高く量産用に適している。
また、近年、フォトレジストが塗布された基板へ光ビームを照射し、光ビームにより基板を走査して、基板にパターンを描画する露光装置が開発されている。光ビームにより基板を走査して、基板にパターンを直接描画するため、高価なマスクが不要となる。また、描画データ及び走査のプログラムを変更することにより、様々な種類の表示用パネル基板に対応することができる。
露光装置は、基板を搭載して固定するチャックを備え、チャックは、基板のアライメントを行うステージ上に搭載されている。チャックへの基板の搬送は、通常、ロボット等のハンドリングアームにより行われる。そして、基板をチャックへ搬送した後、基板のアライメントを行う前に、露光装置の光学系に対して基板の位置及び角度をほぼ一定にするため、基板のプリアライメントが行われる。
従来は、基板のプリアライメントにおいて、四角形の基板の直交する二辺に対応する基準位置に基板の縁を検出するエッジセンサーを配置し、基板とエッジセンサーとを相対的に移動して、基板の縁がエッジセンサーで検出されるまでの移動量から、ステージの位置及び角度を補正していた。しかしながら、基板の縁を検出するのに基板とエッジセンサーとを相対的に移動する必要があるため、基板のプリアライメントに時間が掛かっていた。そこで、近年では、CCDカメラ等の画像取得装置を用いて、チャックに搭載された基板の縁の画像を取得し、取得した画像に基づいて、基板のプリアライメントを行っている。
基板のプリアライメント用の画像取得装置は、所定の視野範囲を有し、チャックに搭載された基板の位置又は角度が大きくずれると、基板の縁が画像取得装置の視野範囲から外れて、基板の縁の画像が取得できなくなる。特許文献1には、基板の直交する二辺の縁が、プリアライメント用の画像取得装置の視野範囲から外れない様に、基板をチャックへ搬送する技術が開示されている。
一般に、CCDカメラ等の画像取得装置は、高価であると共に、取り付け位置の調整に手間が掛かり、装置の振動で取り付け位置がずれることもある。また、光学部品の特性が経年変化で劣化するため、定期的なメンテナンスが必要となる。そのため、基板のプリアライメントに画像取得装置を用いると、設備費用が増加すると共に、調整及びメンテナンスの手間が増大する。一方、従来のエッジセンサーを用いる方法は、基板とエッジセンサーとを相対的に移動する必要があるため、基板のプリアライメントを迅速に行うことができない。
本発明の課題は、CCDカメラ等の画像取得装置を用いることなく、安価、かつ調整及びメンテナンスが容易な構成で、基板のプリアライメントを迅速に行うことである。
本発明の露光装置は、基板を搭載するチャックと、チャックを移動するステージと、ステージを駆動する駆動回路とを備え、ステージによりチャックを移動して基板のプリアライメントを行う露光装置であって、チャックに、チャックに搭載される基板の縁と交差する様に設けられ、基板の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構と、吸引機構の各吸引区画内の圧力を測定する複数の測定手段と、複数の測定手段の測定結果から、チャックに搭載された基板の縁の位置を検出して、チャック上での基板のずれ量を検出する検出手段と、検出手段により検出したチャック上での基板のずれ量に応じ、駆動回路によりステージを駆動して、基板のプリアライメントを行う制御手段とを備えたものである。
また、本発明の露光装置のプリアライメント方法は、基板を搭載するチャックと、チャックを移動するステージと、ステージを駆動する駆動回路とを備え、ステージによりチャックを移動して基板のプリアライメントを行う露光装置のプリアライメント方法であって、チャックに、チャックに搭載される基板の縁と交差する様に、基板の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構を設け、吸引機構の各吸引区画内の圧力を測定し、測定結果から、チャックに搭載された基板の縁の位置を検出して、チャック上での基板のずれ量を検出し、検出したチャック上での基板のずれ量に応じ、駆動回路によりステージを駆動して、基板のプリアライメントを行うものである。
チャックに、チャックに搭載される基板の縁と交差する様に、基板の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構を設ける。チャックに搭載された基板の縁より内側の所では、各吸引区画が基板で密閉されるため、各吸引区画内の空気を抜くと、各吸引区画内の圧力が低下する。一方、チャックに搭載された基板の縁より外側の所では、各吸引区画が基板で密閉されないため、各吸引区画内の空気を抜いても、各吸引区画内の圧力が低下しない。そこで、吸引機構の各吸引区画内の圧力を測定し、測定結果から、チャックに搭載された基板の縁の位置を検出して、チャック上での基板のずれ量を検出する。そして、検出したチャック上での基板のずれ量に応じ、駆動回路によりステージを駆動して、基板のプリアライメントを行う。CCDカメラ等の画像取得装置を用いることなく、複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構をチャックに設ける安価、かつ調整及びメンテナンスが容易な構成で、基板のプリアライメントが迅速に行われる。
さらに、本発明の露光装置は、吸引機構を、チャックに搭載される四角形の基板の1つの縁に2箇所以上、当該縁と直交する1つの縁に1箇所以上備えたものである。また、本発明の露光装置のプリアライメント方法は、吸引機構を、チャックに搭載される四角形の基板の1つの縁に2箇所以上、当該縁と直交する1つの縁に1箇所以上設け、四角形の基板の1つの縁の位置を2箇所以上で検出し、当該縁と直交する1つの縁の位置を1箇所以上で検出するものである。四角形の基板の1つの縁の位置を2箇所以上で検出し、当該縁と直交する1つの縁の位置を1箇所以上で検出することにより、四角形の基板のXY方向の位置及びθ方向の角度のずれ量を検出して、これらのずれ量を補正することができる。
さらに、本発明の露光装置は、吸引機構が、チャックに搭載される四角形の基板の直交する2つの縁と交差する様に設けられたものである。また、本発明の露光装置のプリアライメント方法は、吸引機構を、チャックに搭載される四角形の基板の直交する2つの縁と交差する様に設け、四角形の基板の直交する2つの縁の位置を、1つの吸引機構の各吸引区画内の圧力から検出するものである。四角形の基板の直交する2つの縁の位置を、1つの吸引機構の各吸引区画内の圧力から検出するので、吸引機構の数が少なく済む。
本発明によれば、チャックに、チャックに搭載される基板の縁と交差する様に、基板の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構を設け、吸引機構の各吸引区画内の圧力を測定し、測定結果から、チャックに搭載された基板の縁の位置を検出して、チャック上での基板のずれ量を検出し、検出したチャック上での基板のずれ量に応じ、駆動回路によりステージを駆動して、基板のプリアライメントを行うことにより、CCDカメラ等の画像取得装置を用いることなく、複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構をチャックに設ける安価、かつ調整及びメンテナンスが容易な構成で、基板のプリアライメントを迅速に行うことができる。
さらに、本発明によれば、吸引機構を、チャックに搭載される四角形の基板の1つの縁に2箇所以上、当該縁と直交する1つの縁に1箇所以上設け、四角形の基板の1つの縁の位置を2箇所以上で検出し、当該縁と直交する1つの縁の位置を1箇所以上で検出することにより、四角形の基板のXY方向の位置及びθ方向の角度のずれ量を検出して、これらのずれ量を補正することができる。
さらに、本発明によれば、吸引機構を、チャックに搭載される四角形の基板の直交する2つの縁と交差する様に設け、四角形の基板の直交する2つの縁の位置を、1つの吸引機構の各吸引区画内の圧力から検出することにより、吸引機構の数を減らすことができる。
図1は、本発明の一実施の形態による露光装置の概略構成を示す図である。また、図2は、本発明の一実施の形態による露光装置の側面図である。本実施の形態は、マスク2と基板1との間に微小なギャップを設けて、マスク2のパターンを基板1へ転写するプロキシミティ露光装置の例を示している。露光装置は、ベース3、Xガイド4、Xステージ5、Yガイド6、Yステージ7、θステージ8、チャック支持台9、チャック10、マスクホルダ20、基板搬送ロボット30、温度調節装置40、台41、検出回路50、ステージ駆動回路60、及び主制御装置70を含んで構成されている。なお、図2では、検出回路50、ステージ駆動回路60、及び主制御装置70が省略されている。露光装置は、これらの他に、露光光を照射する照射光学系、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えている。
なお、以下に説明する実施の形態におけるXY方向は例示であって、X方向とY方向とを入れ替えてもよい。
図1及び図2において、チャック10は、基板1のロード及びアンロードを行うロード/アンロード位置にある。ロード/アンロード位置において、基板搬送ロボット30により、基板1がチャック10へ搬入され、また基板1がチャック10から搬出される。
ベース3の手前には、チャック10へ搬送する前の基板1の温度を調節する温度調節装置40が設けられている。図2において、温度調節装置40は、台41に搭載されている。図1において、温度調節装置40の横には、基板搬送ロボット30が配置されている。基板搬送ロボット30は、基板1を図示しない搬送ラインから温度調節装置40へ搬送する。そして、基板搬送ロボット30は、チャック10がロード/アンロード位置にある時、温度調節装置40により温度が調節された基板1を温度調節装置40からチャック10へ搬送し、また露光後の基板1をチャック10から図示しない搬送ラインへ搬送する。
温度調節装置40の内部には、図示しない複数の突き上げピンが収納されている。温度調節装置40は、突き上げピンを上昇させて基板搬送ロボット30のハンドリングアーム31から基板1を受け取り、突き上げピンを下降させて基板1を温度調節面に接触させる。また、温度調節装置40は、突き上げピンを上昇させて基板1を温度調節面から持ち上げ、基板搬送ロボット30のハンドリングアーム31が突き上げピンの先端から基板1を受け取る。
同様に、チャック10の内部には、図示しない複数の突き上げピンが収納されている。チャック10は、突き上げピンを上昇させて基板搬送ロボット30のハンドリングアーム31から基板1を受け取り、突き上げピンを下降させて基板1を表面に接触させる。また、チャック10は、突き上げピンを上昇させて基板1を表面から持ち上げ、基板搬送ロボット30のハンドリングアーム31が突き上げピンの先端から基板1を受け取る。
図3は、基板をチャックにロードした状態を示す上面図である。また、図4は、基板をチャックにロードした状態を示す側面図である。なお、図3では、検出回路50、ステージ駆動回路60、及び主制御装置70が省略されている。また、図4では、基板搬送ロボット30、温度調節装置40、台41、検出回路50、ステージ駆動回路60、及び主制御装置70が省略されている。本実施の形態では、主に、温度調節装置40上における基板1のXY方向の位置及びθ方向の角度のずれ、並びに、基板1を温度調節装置40からチャック10へ搬送する際の基板搬送ロボット30の移動誤差によって、チャック10に搭載された基板1のXY方向の位置及びθ方向の角度にずれが発生する。
図5は、チャックを露光位置へ移動した状態を示す側面図である。なお、図5では、基板搬送ロボット30、温度調節装置40、台41、検出回路50、ステージ駆動回路60、及び主制御装置70が省略されている。露光位置の上空には、マスク2を保持するマスクホルダ20が設置されている。図3において、マスクホルダ20には、露光光が通過する開口20aが設けられており、マスクホルダ20は、開口20aの周囲に設けられた図示しない吸着溝により、マスク2の周辺部を真空吸着して保持する。マスクホルダ20に保持されたマスク2の上空には、図示しない照射光学系が配置されている。基板1の表面には、感光樹脂材料(フォトレジスト)が塗布されており、露光時、照射光学系からの露光光がマスク2を透過して基板1へ照射されることにより、マスク2のパターンが基板1の表面に転写され、基板1上にパターンが形成される。
図4及び図5において、チャック10は、チャック支持台9を介してθステージ8に搭載されており、θステージ8の下にはYステージ7及びXステージ5が設けられている。Xステージ5は、ベース3に設けられたXガイド4に搭載され、Xガイド4に沿ってX方向(図4及び図5の図面横方向)へ移動する。Yステージ7は、Xステージ5に設けられたYガイド6に搭載され、Yガイド6に沿ってY方向(図4及び図5の図面奥行き方向)へ移動する。θステージ8は、Yステージ7に搭載され、θ方向へ回転する。チャック支持台9は、θステージ8に搭載され、チャック10の裏面を複数個所で支持する。Xステージ5、Yステージ7、及びθステージ8には、ボールねじ及びモータや、リニアモータ等の図示しない駆動機構が設けられており、各駆動機構は、図1のステージ駆動回路60により駆動される。
Xステージ5のX方向への移動及びYステージ7のY方向への移動により、チャック10は、ロード/アンロード位置と露光位置との間を移動される。ロード/アンロード位置において、Xステージ5のX方向への移動、Yステージ7のY方向への移動、及びθステージ8のθ方向への回転により、チャック10に搭載された基板1のプリアライメントが行われる。露光位置において、Xステージ5のX方向への移動及びYステージ7のY方向への移動により、チャック10に搭載された基板1のXY方向へのステップ移動が行われる。また、図示しないZ−チルト機構によりマスクホルダ20をZ方向(図5の図面上下方向)へ移動及びチルトすることにより、マスク2と基板1とのギャップ合わせが行われる。そして、Xステージ5のX方向への移動、Yステージ7のY方向への移動、及びθステージ8のθ方向への回転により、基板1のアライメントが行われる。図1において、主制御装置70は、ステージ駆動回路60を制御して、Xステージ5のX方向への移動、Yステージ7のY方向への移動、及びθステージ8のθ方向へ回転を行う。
なお、本実施の形態では、マスクホルダ20をZ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク2と基板1とのギャップ合わせを行っているが、チャック支持台9にZ−チルト機構を設けて、チャック10をZ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク2と基板1とのギャップ合わせを行ってもよい。
以下、本発明の一実施の形態による露光装置のプリアライメント方法について説明する。図6(a)は本発明の一実施の形態によるチャックの上面図、図6(b)は基板を搭載したチャックの上面図である。図6(a),(b)に示す様に、チャック10には、チャック10に搭載される基板1の縁と交差する位置に、複数の吸引機構11が設けられている。本実施の形態では、吸引機構11が、チャック10に搭載される四角形の基板1の1つの縁に2箇所、当該縁と直交する1つの縁に1箇所設けられている。
図7(a)は吸引機構の上面図、図7(b)は吸引機構の一部断面側面図である。図7(a)において、各吸引機構11は、基板1の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画12を有する。図7(b)において、各吸引区画12は、チャック10の表面から裏面へ貫通しており、本実施の形態では、各吸引区画12に多孔質材13が挿入されている。チャック10の裏面において、各吸引区画12には配管14がそれぞれ接続されており、各配管14は図示しない真空設備へ接続されている。
なお、図7では、1つの吸引機構11に32個の吸引区画12が設けられているが、本発明はこれに限らず、1つの吸引機構11に31個以下、または33個以上の吸引区画12を設けてもよい。
図7(b)において、チャック10に搭載された基板1の縁より内側(図面左側)の所では、各吸引区画12が基板1で密閉されるため、各吸引区画12に接続された各配管14から各吸引区画12内の空気を抜くと、各吸引区画12内の圧力が低下する。一方、チャック10に搭載された基板1の縁より外側(図面右側)の所では、各吸引区画12が基板1で密閉されないため、各吸引区画12に接続された各配管14から各吸引区画12内の空気を抜いても、各吸引区画12内の圧力が低下しない。各配管14には、圧力計15がそれぞれ取り付けられており、各圧力計15は、各吸引区画12内の圧力を測定する。図8は、各圧力計15により測定した各吸引区画12内の圧力の一例を示す図である。なお、図8において、縦軸は大気圧を零とした相対圧力を示し、横軸は各吸引区画12の位置を図7(b)の左から順番に示している。
図1において、検出回路50は、各圧力計15の測定結果から、チャック10に搭載された基板1の縁の位置を検出して、チャック10上での基板1のずれ量を検出する。本実施の形態では、図6に示す様に、吸引機構11が、チャック10に搭載される四角形の基板1の1つの縁に2箇所、当該縁と直交する1つの縁に1箇所設けられているので、検出回路50は、四角形の基板1の1つの縁の位置を2箇所で検出し、当該縁と直交する1つの縁の位置を1箇所で検出することにより、四角形の基板1のXY方向の位置及びθ方向の角度のずれ量を検出することができる。
なお、吸引機構11を、四角形の基板1の同じ縁にさらに設け、あるいは他の縁にさらに設けて、四角形の基板1の同じ縁の位置をさらに多くの箇所で検出し、あるいは他の縁の位置をさらに検出すると、四角形の基板1のXY方向の位置及びθ方向の角度のずれ量をさらに精度よく検出することができる。
主制御装置70は、検出回路50が検出したチャック10上での基板1のずれ量に応じ、ステージ駆動回路60によりXステージ5、Yステージ7及びθステージ8の各駆動機構を駆動して、基板1のプリアライメントを行う。CCDカメラ等の画像取得装置を用いることなく、複数の隣接した吸引区画12を有する吸引機構11をチャック10に設ける安価、かつ調整及びメンテナンスが容易な構成で、基板1のプリアライメントが迅速に行われる。
図9(a)は本発明の他の実施の形態によるチャックの上面図、図9(b)は基板を搭載したチャックの上面図である。図9(a),(b)に示す様に、本実施の形態では、各吸引機構11が、チャック10に搭載される四角形の基板1の直交する2つの縁と交差する様に設けられている。吸引機構11を、チャック10に搭載される四角形の基板1の直交する2つの縁と交差する様に設け、四角形の基板1の直交する2つの縁の位置を、1つの吸引機構11の各吸引区画12内の圧力から検出するので、吸引機構11の数が少なく済む。
以上説明した実施の形態によれば、チャック10に、チャック10に搭載される基板1の縁と交差する様に、基板1の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画12を有する吸引機構11を設け、吸引機構11の各吸引区画12内の圧力を測定し、測定結果から、チャック10に搭載された基板1の縁の位置を検出して、チャック10上での基板1のずれ量を検出し、検出したチャック10上での基板1のずれ量に応じ、ステージ駆動回路60によりXステージ5、Yステージ7及びθステージ8を駆動して、基板1のプリアライメントを行うことにより、CCDカメラ等の画像取得装置を用いることなく、複数の隣接した吸引区画12を有する吸引機構11をチャック10に設ける安価、かつ調整及びメンテナンスが容易な構成で、基板1のプリアライメントを迅速に行うことができる。
さらに、吸引機構11を、チャック10に搭載される四角形の基板1の1つの縁に2箇所以上、当該縁と直交する1つの縁に1箇所以上設け、四角形の基板1の1つの縁の位置を2箇所以上で検出し、当該縁と直交する1つの縁の位置を1箇所以上で検出することにより、四角形の基板1のXY方向の位置及びθ方向の角度のずれ量を検出して、これらのずれ量を補正することができる。
さらに、吸引機構11を、チャック10に搭載される四角形の基板1の直交する2つの縁と交差する様に設け、四角形の基板1の直交する2つの縁の位置を、1つの吸引機構11の各吸引区画12内の圧力から検出することにより、吸引機構11の数を減らすことができる。
本発明で用いる吸引機構の配置は、図6及び図9に示した例に限らず、チャックに搭載される基板の縁が1つ以上の吸引区画を密閉する様に、吸引機構を配置すればよい。
本発明は、プロキシミティ露光装置に限らず、光ビームにより基板を走査して、基板にパターンを描画する露光装置にも適用される。
1 基板
2 マスク
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
9 チャック支持台
10 チャック
11 吸引機構
12 吸引区画
13 多孔質材
14 配管
15 圧力計
20 マスクホルダ
30 基板搬送ロボット
31 ハンドリングアーム
40 温度調節装置
41 台
50 検出回路
60 ステージ駆動回路
70 主制御装置
2 マスク
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
9 チャック支持台
10 チャック
11 吸引機構
12 吸引区画
13 多孔質材
14 配管
15 圧力計
20 マスクホルダ
30 基板搬送ロボット
31 ハンドリングアーム
40 温度調節装置
41 台
50 検出回路
60 ステージ駆動回路
70 主制御装置
Claims (6)
- 基板を搭載するチャックと、前記チャックを移動するステージと、前記ステージを駆動する駆動回路とを備え、前記ステージにより前記チャックを移動して基板のプリアライメントを行う露光装置であって、
前記チャックに、前記チャックに搭載される基板の縁と交差する様に設けられ、基板の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構と、
前記吸引機構の各吸引区画内の圧力を測定する複数の測定手段と、
前記複数の測定手段の測定結果から、前記チャックに搭載された基板の縁の位置を検出して、前記チャック上での基板のずれ量を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出した前記チャック上での基板のずれ量に応じ、前記駆動回路により前記ステージを駆動して、基板のプリアライメントを行う制御手段とを備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記吸引機構を、前記チャックに搭載される四角形の基板の1つの縁に2箇所以上、当該縁と直交する1つの縁に1箇所以上備えたことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記吸引機構は、前記チャックに搭載される四角形の基板の直交する2つの縁と交差する様に設けられたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の露光装置。
- 基板を搭載するチャックと、チャックを移動するステージと、ステージを駆動する駆動回路とを備え、ステージによりチャックを移動して基板のプリアライメントを行う露光装置のプリアライメント方法であって、
チャックに、チャックに搭載される基板の縁と交差する様に、基板の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構を設け、
吸引機構の各吸引区画内の圧力を測定し、
測定結果から、チャックに搭載された基板の縁の位置を検出して、チャック上での基板のずれ量を検出し、
検出したチャック上での基板のずれ量に応じ、駆動回路によりステージを駆動して、基板のプリアライメントを行うことを特徴とする露光装置のプリアライメント方法。 - 吸引機構を、チャックに搭載される四角形の基板の1つの縁に2箇所以上、当該縁と直交する1つの縁に1箇所以上設け、四角形の基板の1つの縁の位置を2箇所以上で検出し、当該縁と直交する1つの縁の位置を1箇所以上で検出することを特徴とする請求項4に記載の露光装置のプリアライメント方法。
- 吸引機構を、チャックに搭載される四角形の基板の直交する2つの縁と交差する様に設け、四角形の基板の直交する2つの縁の位置を、1つの吸引機構の各吸引区画内の圧力から検出することを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の露光装置のプリアライメント方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012051002A JP2013186275A (ja) | 2012-03-07 | 2012-03-07 | 露光装置、及び露光装置のプリアライメント方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012051002A JP2013186275A (ja) | 2012-03-07 | 2012-03-07 | 露光装置、及び露光装置のプリアライメント方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013186275A true JP2013186275A (ja) | 2013-09-19 |
Family
ID=49387756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012051002A Pending JP2013186275A (ja) | 2012-03-07 | 2012-03-07 | 露光装置、及び露光装置のプリアライメント方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013186275A (ja) |
-
2012
- 2012-03-07 JP JP2012051002A patent/JP2013186275A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI714048B (zh) | 基材載體、圖案化數個基材的方法、及處理系統 | |
US20090016857A1 (en) | Substrate-replacing apparatus, substrate-processing apparatus, and substrate-inspecting apparatus | |
KR102560788B1 (ko) | 주변 노광 장치, 주변 노광 방법, 프로그램, 및 컴퓨터 기억 매체 | |
JP2004273702A (ja) | 搬送装置及び搬送方法、露光装置 | |
TWI405048B (zh) | 接近式曝光裝置、其光罩搬送方法及面板基板的製造方法 | |
JP2011248207A (ja) | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のアライメント方法、及びパネル基板の製造方法 | |
KR101243354B1 (ko) | 롤투롤 타입의 얼라인먼트 스테이지 장치 | |
JP2011170144A (ja) | フォトマスク、プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置のアライメントマーク検出方法 | |
JP4546066B2 (ja) | 基板の位置決め方法及びこの方法を用いた検査装置 | |
JP2013186275A (ja) | 露光装置、及び露光装置のプリアライメント方法 | |
JP5473793B2 (ja) | プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置のギャップ制御方法 | |
JP5687165B2 (ja) | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板位置決め方法、及び表示用パネル基板の製造方法 | |
JP4960266B2 (ja) | 透明基板のエッジ位置検出方法及びエッジ位置検出装置 | |
JP2006269952A (ja) | 近接露光装置 | |
JP5236362B2 (ja) | プロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置の基板搬送方法 | |
JP2010176081A (ja) | 露光装置、露光装置の基板搬送方法、及び表示用パネル基板の製造方法 | |
JP5826087B2 (ja) | 転写方法および転写装置 | |
JP5537063B2 (ja) | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のギャップ制御方法、及び表示用パネル基板の製造方法 | |
WO2023190110A1 (ja) | 搬送装置、露光装置、搬送方法、露光方法、アライメントマーク | |
JP2013205678A (ja) | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板位置決め方法、及び表示用パネル基板の製造方法 | |
JP2008147292A (ja) | 基板支持装置、基板支持方法、基板加工装置、基板加工方法、表示装置構成部材の製造方法 | |
JP2012234021A (ja) | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のアライメント方法、及び表示用パネル基板の製造方法 | |
JP2011123103A (ja) | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のギャップ制御方法、及び表示用パネル基板の製造方法 | |
JP2013120907A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2009054962A (ja) | 位置決め検出装置 |