JPH09186225A - 基板保持装置 - Google Patents
基板保持装置Info
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- JPH09186225A JPH09186225A JP35315095A JP35315095A JPH09186225A JP H09186225 A JPH09186225 A JP H09186225A JP 35315095 A JP35315095 A JP 35315095A JP 35315095 A JP35315095 A JP 35315095A JP H09186225 A JPH09186225 A JP H09186225A
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- mounting plate
- screw
- substrate mounting
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 塗布液塗布装置などにおいて上面に基板を載
置して水平姿勢に保持する基板載置板の上面の平滑度を
調整する作業を比較的簡単に行なえ、その調整作業に要
する時間を短縮化できる装置を提供する。 【解決手段】 基板載置板１０の複数個所に分散して貫
通小孔１４を形成し、各貫通小孔の形成位置に高さ調整
機構１２を配設した。基台面１８に固着された取付け用
ねじ２０に、基板載置板１０を支持する高さ調整支持ね
じ２４を上下方向へ移動自在に係合させ、支持面２６の
高さ位置を、基板載置板１０の上面側から貫通小孔１４
を通して操作用具で操作して調整できるようにした。
置して水平姿勢に保持する基板載置板の上面の平滑度を
調整する作業を比較的簡単に行なえ、その調整作業に要
する時間を短縮化できる装置を提供する。 【解決手段】 基板載置板１０の複数個所に分散して貫
通小孔１４を形成し、各貫通小孔の形成位置に高さ調整
機構１２を配設した。基台面１８に固着された取付け用
ねじ２０に、基板載置板１０を支持する高さ調整支持ね
じ２４を上下方向へ移動自在に係合させ、支持面２６の
高さ位置を、基板載置板１０の上面側から貫通小孔１４
を通して操作用具で操作して調整できるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶表示装置
（ＬＣＤ）や半導体装置などの製造工程において、ＬＣ
Ｄ用ガラス基板、半導体基板等の基板の表面にフォトレ
ジスト液等の塗布液を塗布する場合、或いは基板の表面
に形成されたフォトレジスト膜を露光する場合などに使
用され、基板を水平姿勢に保持するための基板保持装置
に関する。
（ＬＣＤ）や半導体装置などの製造工程において、ＬＣ
Ｄ用ガラス基板、半導体基板等の基板の表面にフォトレ
ジスト液等の塗布液を塗布する場合、或いは基板の表面
に形成されたフォトレジスト膜を露光する場合などに使
用され、基板を水平姿勢に保持するための基板保持装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】塗布液塗布装置によりＬＣＤ用ガラス基
板や半導体基板等の基板の表面にフォトレジスト液等の
塗布液を塗布したり、露光装置により基板表面に形成さ
れたフォトレジスト膜を露光したりする場合に、基板を
水平姿勢に保持するために、塗布液塗布装置や露光装置
には、基板載置板（ステージ）を備えた基板保持装置が
設けられている。そして、例えば塗布液塗布装置では、
基板載置板上に載置されて水平姿勢に保持された基板の
表面に僅かな凹凸でもあると、基板表面に形成された塗
布液膜の膜厚むらの原因となるので、基板の表面の平滑
度を高く保持する必要がある。このため、基板保持装置
には、基板載置板を、平面内で分散した複数位置におい
て支持し、かつ、各位置において支持面の高さ位置をそ
れぞれ個別に調整することができるように、基板載置板
の下面側に複数の調整機構が配設されている。
板や半導体基板等の基板の表面にフォトレジスト液等の
塗布液を塗布したり、露光装置により基板表面に形成さ
れたフォトレジスト膜を露光したりする場合に、基板を
水平姿勢に保持するために、塗布液塗布装置や露光装置
には、基板載置板（ステージ）を備えた基板保持装置が
設けられている。そして、例えば塗布液塗布装置では、
基板載置板上に載置されて水平姿勢に保持された基板の
表面に僅かな凹凸でもあると、基板表面に形成された塗
布液膜の膜厚むらの原因となるので、基板の表面の平滑
度を高く保持する必要がある。このため、基板保持装置
には、基板載置板を、平面内で分散した複数位置におい
て支持し、かつ、各位置において支持面の高さ位置をそ
れぞれ個別に調整することができるように、基板載置板
の下面側に複数の調整機構が配設されている。
【０００３】そこで、基板保持装置の調整機構として
は、基板載置板をその下面側から支持する支持軸をパル
スモータによって自動的に上下方向へ微小移動させる自
動調整機構がある。しかしながら、基板載置板の高さ位
置を制御信号により自動調整する機構では、高さ位置を
ミクロンオーダで微調整することが難しい。そこで、基
板載置板の高さ位置を手動で微調整する機構として、従
来、図４に模式図を示すように、基板載置板１の下方の
基台２上に固着され雌ねじ４が螺刻された取付部材３
と、この取付部材３の雌ねじ４に螺合する雄ねじ６が支
持軸７に螺刻され、支持軸７の上端が基板載置板１の下
面と当接して基板載置板１を支持し、支持軸７を回動操
作する高さ調整ダイアル８を有した調整支持部材５とか
ら構成されたものが使用されている。この機構では、調
整支持部材５の高さ調整ダイアル８を手動で回動操作す
ることにより、支持軸７を上下方向へ微小移動させて、
基板載置板１の支持高さを微調整することができる。
は、基板載置板をその下面側から支持する支持軸をパル
スモータによって自動的に上下方向へ微小移動させる自
動調整機構がある。しかしながら、基板載置板の高さ位
置を制御信号により自動調整する機構では、高さ位置を
ミクロンオーダで微調整することが難しい。そこで、基
板載置板の高さ位置を手動で微調整する機構として、従
来、図４に模式図を示すように、基板載置板１の下方の
基台２上に固着され雌ねじ４が螺刻された取付部材３
と、この取付部材３の雌ねじ４に螺合する雄ねじ６が支
持軸７に螺刻され、支持軸７の上端が基板載置板１の下
面と当接して基板載置板１を支持し、支持軸７を回動操
作する高さ調整ダイアル８を有した調整支持部材５とか
ら構成されたものが使用されている。この機構では、調
整支持部材５の高さ調整ダイアル８を手動で回動操作す
ることにより、支持軸７を上下方向へ微小移動させて、
基板載置板１の支持高さを微調整することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４に
示した従来の高さ調整機構では、基板載置板１の下方側
に手を差し入れて高さ調整ダイアル８を操作しなければ
ならず、基板載置板１の下方のスペースに手が入らない
ときには、高さ調整ダイアル８を操作する際に基板載置
板１を一旦取り外す必要がある。そして、複数個の高さ
調整機構の高さ調整ダイアル８を操作した後、基板載置
板１を取付け、その上面が正確に平滑面となっているか
どうかを確認し、もしも基板載置板１の上面が平滑にな
っていないと、再度基板載置板１を取り外し、高さ調整
機構の高さ調整ダイアル８を操作した後、再び基板載置
板１を取付け、その上面が正確に平滑面塗布装置なって
いるかどうかを再度確認し、この操作を基板載置板１が
所望の平滑度になるまで繰り返し行なうことになる。こ
のように、従来の高さ調整機構の構成では、基板載置板
１の上面の平滑度を調整する作業が非常に面倒であり、
また、その調整作業に多くの時間がかかっていた。
示した従来の高さ調整機構では、基板載置板１の下方側
に手を差し入れて高さ調整ダイアル８を操作しなければ
ならず、基板載置板１の下方のスペースに手が入らない
ときには、高さ調整ダイアル８を操作する際に基板載置
板１を一旦取り外す必要がある。そして、複数個の高さ
調整機構の高さ調整ダイアル８を操作した後、基板載置
板１を取付け、その上面が正確に平滑面となっているか
どうかを確認し、もしも基板載置板１の上面が平滑にな
っていないと、再度基板載置板１を取り外し、高さ調整
機構の高さ調整ダイアル８を操作した後、再び基板載置
板１を取付け、その上面が正確に平滑面塗布装置なって
いるかどうかを再度確認し、この操作を基板載置板１が
所望の平滑度になるまで繰り返し行なうことになる。こ
のように、従来の高さ調整機構の構成では、基板載置板
１の上面の平滑度を調整する作業が非常に面倒であり、
また、その調整作業に多くの時間がかかっていた。
【０００５】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、塗布液塗布装置や露光装置などにお
いて基板を水平姿勢に保持する場合に、上面に基板を載
置する基板載置板（ステージ）の上面の平滑度を調整す
る作業を比較的簡単に行なうことをができ、その調整作
業に要する時間も短縮化することができる基板保持装置
を提供することを目的とする。
されたものであり、塗布液塗布装置や露光装置などにお
いて基板を水平姿勢に保持する場合に、上面に基板を載
置する基板載置板（ステージ）の上面の平滑度を調整す
る作業を比較的簡単に行なうことをができ、その調整作
業に要する時間も短縮化することができる基板保持装置
を提供することを目的とする。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】請求項１に係る発明
は、基板を保持する基板保持装置において、複数の貫通
小孔が形成され、かつ基板を上面に載置するための基板
載置板と、前記基板載置板の下方に設けられた基台と、
前記貫通小孔の形成位置の下方において前記基台の上面
に固着された取付部材と、前記基板載置板の下面と当接
しつつ前記基板載置板を支持する支持面を有し、かつ前
記取付部材に対して上下方向に移動自在に係合する支持
部材と、前記基板載置板の上面側から前記貫通小孔を通
して操作用具で操作することにより、前記支持部材の支
持面の位置を上下方向に調整する調整機構と、前記支持
部材の支持面と前記基板載置板の下面とが当接した状態
で、前記支持部材と基板載置板とを固定する固定手段
と、を備えたことを特徴とする。
は、基板を保持する基板保持装置において、複数の貫通
小孔が形成され、かつ基板を上面に載置するための基板
載置板と、前記基板載置板の下方に設けられた基台と、
前記貫通小孔の形成位置の下方において前記基台の上面
に固着された取付部材と、前記基板載置板の下面と当接
しつつ前記基板載置板を支持する支持面を有し、かつ前
記取付部材に対して上下方向に移動自在に係合する支持
部材と、前記基板載置板の上面側から前記貫通小孔を通
して操作用具で操作することにより、前記支持部材の支
持面の位置を上下方向に調整する調整機構と、前記支持
部材の支持面と前記基板載置板の下面とが当接した状態
で、前記支持部材と基板載置板とを固定する固定手段
と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】上記請求項１に係る発明では、基板載置板
の上面側から基板載置板に形成されている複数の貫通小
孔を通して操作用具で操作することにより、調整機構が
支持部材の支持面の位置を上下方向に調整する。つま
り、基台の上面に固着された取付部材に係合している支
持部材が上下方向に移動することにより調整が行なわれ
る。そして、支持部材の支持面の上下方向の調整が終了
すると、固定手段が、支持部材の支持面と基板載置板の
下面とを当接させた状態にして、支持部材と基板載置板
とを固定する。この調整は、基板載置板が平滑になるよ
うに各貫通小孔ごとに行なわれる。
の上面側から基板載置板に形成されている複数の貫通小
孔を通して操作用具で操作することにより、調整機構が
支持部材の支持面の位置を上下方向に調整する。つま
り、基台の上面に固着された取付部材に係合している支
持部材が上下方向に移動することにより調整が行なわれ
る。そして、支持部材の支持面の上下方向の調整が終了
すると、固定手段が、支持部材の支持面と基板載置板の
下面とを当接させた状態にして、支持部材と基板載置板
とを固定する。この調整は、基板載置板が平滑になるよ
うに各貫通小孔ごとに行なわれる。
【０００８】請求項２に係る発明は、請求項１に記載の
基板保持装置において、前記調整機構は、前記取付部材
の内周面に形成されている雌ねじと、前記支持部材の外
周面に形成され、かつ前記取付部材の雌ねじに係合する
雄ねじと、前記支持部材の支持面に形成され、かつ操作
用具に係合する係合孔と、により構成されていることを
特徴とする。
基板保持装置において、前記調整機構は、前記取付部材
の内周面に形成されている雌ねじと、前記支持部材の外
周面に形成され、かつ前記取付部材の雌ねじに係合する
雄ねじと、前記支持部材の支持面に形成され、かつ操作
用具に係合する係合孔と、により構成されていることを
特徴とする。
【０００９】上記請求項２に係る発明では、取付部材の
内周面に形成されている雌ねじと支持部材の外周面に形
成されている雄ねじとが係合しているので、支持部材の
支持面に形成されている係合孔に操作用具を係合させつ
つ操作用具を回動させることにより、支持部材が取付部
材に対して上下方向に移動して、支持部材の支持面の上
下方向の調整が行なわれる。
内周面に形成されている雌ねじと支持部材の外周面に形
成されている雄ねじとが係合しているので、支持部材の
支持面に形成されている係合孔に操作用具を係合させつ
つ操作用具を回動させることにより、支持部材が取付部
材に対して上下方向に移動して、支持部材の支持面の上
下方向の調整が行なわれる。
【００１０】請求項３に係る発明は、請求項２に記載の
基板保持装置において、前記固定手段は、基板載置板の
上面側から前記貫通小孔を通して前記支持部材の係合孔
に係合される係止ねじであることを特徴とする。
基板保持装置において、前記固定手段は、基板載置板の
上面側から前記貫通小孔を通して前記支持部材の係合孔
に係合される係止ねじであることを特徴とする。
【００１１】上記請求項３に係る発明では、係止ねじを
基板載置板の上面側から貫通小孔に通して支持部材の係
合孔に係合させて、支持部材と基板載置板とを固定して
いる。
基板載置板の上面側から貫通小孔に通して支持部材の係
合孔に係合させて、支持部材と基板載置板とを固定して
いる。
【００１２】請求項４に係る発明は、請求項１ないし請
求項３のいずれかに記載の基板保持装置において、前記
基板載置板を支持しつつ上下方向に移動させる駆動手段
をさらに備え、前記駆動手段により前記基板載置板の位
置を粗調整させた後、前記調整機構により前記基板載置
板の位置を微調整させることを特徴とする。
求項３のいずれかに記載の基板保持装置において、前記
基板載置板を支持しつつ上下方向に移動させる駆動手段
をさらに備え、前記駆動手段により前記基板載置板の位
置を粗調整させた後、前記調整機構により前記基板載置
板の位置を微調整させることを特徴とする。
【００１３】上記請求項４に係る発明では、基板載置板
を支持する駆動手段で基板載置板の位置を上下方向に移
動させて基板載置板の位置を粗調整し、さらに調整機構
により基板載置板の位置を微調整する。
を支持する駆動手段で基板載置板の位置を上下方向に移
動させて基板載置板の位置を粗調整し、さらに調整機構
により基板載置板の位置を微調整する。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、この発明の最良の実施形態
について図面を参照しながら説明する。
について図面を参照しながら説明する。
【００１５】図１及び図２は、この発明の実施の形態の
１例を示す基板保持装置の一部拡大縦断面図であって、
図１は、基板載置板の高さ位置を下げるときの操作手順
を説明するための図であり、図２は、基板載置板の高さ
位置を上げるときの操作手順を説明するための図であ
る。
１例を示す基板保持装置の一部拡大縦断面図であって、
図１は、基板載置板の高さ位置を下げるときの操作手順
を説明するための図であり、図２は、基板載置板の高さ
位置を上げるときの操作手順を説明するための図であ
る。
【００１６】この基板保持装置は、上面に基板を載置す
る基板載置板１０と、基板載置板１０の下面側に配設さ
れ、平面内で分散した複数位置において基板載置板１０
を支持しかつ各位置において基板載置板１０の高さ位置
をそれぞれ個別に調整する複数個の高さ調整機構１２
（図１及び図２では、１個の高さ調整機構１２のみを図
示している）とを備えて構成されている。基板載置板１
０には、複数個所に分散して貫通小孔１４が形成されて
おり、この各貫通小孔１４の形成位置に、前記高さ調整
機構１２がそれぞれ配設されている。貫通小孔１４は、
その上部がテーパー状の皿座ぐり面１６に形成されてい
る。
る基板載置板１０と、基板載置板１０の下面側に配設さ
れ、平面内で分散した複数位置において基板載置板１０
を支持しかつ各位置において基板載置板１０の高さ位置
をそれぞれ個別に調整する複数個の高さ調整機構１２
（図１及び図２では、１個の高さ調整機構１２のみを図
示している）とを備えて構成されている。基板載置板１
０には、複数個所に分散して貫通小孔１４が形成されて
おり、この各貫通小孔１４の形成位置に、前記高さ調整
機構１２がそれぞれ配設されている。貫通小孔１４は、
その上部がテーパー状の皿座ぐり面１６に形成されてい
る。
【００１７】高さ調整機構１２は、基台面１８に固着さ
れ、基台面１８と直交する方向に雌ねじ２２が螺刻され
た取付け用ねじ２０と、上端面が、基板載置板１０の下
面と当接して基板載置板１０を支持する支持面２６をな
し、外周面に、取付け用ねじ２０の雌ねじ２２に螺合す
る雄ねじ２８が螺刻されるとともに、軸心部が貫通し、
その軸心部に軸線方向に雌ねじ３０が螺刻され、上端面
に六角レンチの先端部と係合する六角穴３２が形成され
た高さ調整支持ねじ２４と、下端面が、基台面１８と当
接するストッパ面３６をなし、高さ調整支持ねじ２４の
雌ねじ３０の下部に螺合する雄ねじ３８が螺刻されると
ともに、上端面に、小径六角レンチの先端部と係合する
六角小穴４０が形成された止めねじ３４と、高さ調整支
持ねじ２４の雌ねじ３０に軸部４４が螺合し頭部下面が
基板載置板１０の貫通小孔１４の皿座ぐり面１６に係合
する係止用皿ねじ４２とから構成されている。高さ調整
支持ねじ２４の外周面の雄ねじ２８及び軸心部の雌ねじ
３０は、それぞれピッチが例えば０．５ｍｍである。
れ、基台面１８と直交する方向に雌ねじ２２が螺刻され
た取付け用ねじ２０と、上端面が、基板載置板１０の下
面と当接して基板載置板１０を支持する支持面２６をな
し、外周面に、取付け用ねじ２０の雌ねじ２２に螺合す
る雄ねじ２８が螺刻されるとともに、軸心部が貫通し、
その軸心部に軸線方向に雌ねじ３０が螺刻され、上端面
に六角レンチの先端部と係合する六角穴３２が形成され
た高さ調整支持ねじ２４と、下端面が、基台面１８と当
接するストッパ面３６をなし、高さ調整支持ねじ２４の
雌ねじ３０の下部に螺合する雄ねじ３８が螺刻されると
ともに、上端面に、小径六角レンチの先端部と係合する
六角小穴４０が形成された止めねじ３４と、高さ調整支
持ねじ２４の雌ねじ３０に軸部４４が螺合し頭部下面が
基板載置板１０の貫通小孔１４の皿座ぐり面１６に係合
する係止用皿ねじ４２とから構成されている。高さ調整
支持ねじ２４の外周面の雄ねじ２８及び軸心部の雌ねじ
３０は、それぞれピッチが例えば０．５ｍｍである。
【００１８】次に、高さ調整機構１２により、その配設
位置における基板載置板１０の高さ位置を下げようとす
るときの操作手順を図１に基づいて説明する。
位置における基板載置板１０の高さ位置を下げようとす
るときの操作手順を図１に基づいて説明する。
【００１９】図２の（ｄ）に示すような高さ位置にある
基板載置板１０を下降させるには、まず、係止用皿ねじ
４２を高さ調整支持ねじ２４から抜き出し、次いで、基
板載置板１０の上面側から貫通小孔１４を通して小径六
角レンチ（図示せず）の先端部を高さ調整支持ねじ２４
の軸心部内へ差し入れ、小径六角レンチの先端部を止め
ねじ３４の上端面の六角小穴４０に係合させる。そし
て、小径六角レンチにより止めねじ３４を回動させるこ
とにより、止めねじ３４を上向きに移動させ、図１の
（ａ）に示すように、適当な位置に止めねじ３４を止め
る。次に、基板載置板１０の上面側から貫通小孔１４を
通して六角レンチ（図示せず）の先端部を基板載置板１
０の下面側へ差し入れ、六角レンチの先端部を高さ調整
支持ねじ２４の上端面の六角穴３２に係合させる。そし
て、六角レンチにより高さ調整支持ねじ２４を回動させ
ることにより、高さ調整支持ねじ２４を下降させ、図１
の（ｂ）に示すように、高さ調整支持ねじ２４を適切な
高さ位置に止める。この際、高さ調整支持ねじ２４を１
回転させると、高さ調整支持ねじ２４が０．５ｍｍ下降
するので、調整支持ねじ２４を約５°の角度分だけ回転
させることにより、約７μｍの微調整が可能である。次
に、再び、基板載置板１０の上面側から貫通小孔１４を
通して小径六角レンチの先端部を高さ調整支持ねじ２４
の軸心部内へ差し入れ、小径六角レンチの先端部を止め
ねじ３４の上端面の六角小穴４０に係合させる。そし
て、小径六角レンチにより止めねじ３４を回動させるこ
とにより、止めねじ３４を下向きに移動させ、図１の
（ｃ）に示すように、下端面のストッパ面３６を基台面
１８に当接させ止めねじ３４を当て止めしてねじが緩ま
ないようにする。これにより、基台面１８に対する高さ
調整支持ねじ２４の高さ位置が止めねじ３４を介して固
定される。最後に、基板載置板１０の上面側から貫通小
孔１４を通して係止用皿ねじ４２の下端側を基板載置板
１０の下面側へ差し入れ、係止用皿ねじ４２の軸部を高
さ調整支持ねじ２４の雌ねじ３０に螺合させる。これに
より、係止用皿ねじ４２の頭部下面が基板載置板１０の
貫通小孔１４の皿座ぐり面１６に係合し、係止用皿ねじ
４２の下向きへの移動に従って基板載置板１０が下降す
る。そして、図１の（ｄ）に示すように、高さ調整支持
ねじ２４の支持面２６と基板載置板１０の下面とが当接
する位置まで係止用皿ねじ４２を捩じ込むことにより、
基台面１８上に固定された高さ調整支持ねじ２４と基板
載置板１０とが係止用皿ねじ４２を介して連結され、そ
の高さ位置に基板載置板１０が固定される
基板載置板１０を下降させるには、まず、係止用皿ねじ
４２を高さ調整支持ねじ２４から抜き出し、次いで、基
板載置板１０の上面側から貫通小孔１４を通して小径六
角レンチ（図示せず）の先端部を高さ調整支持ねじ２４
の軸心部内へ差し入れ、小径六角レンチの先端部を止め
ねじ３４の上端面の六角小穴４０に係合させる。そし
て、小径六角レンチにより止めねじ３４を回動させるこ
とにより、止めねじ３４を上向きに移動させ、図１の
（ａ）に示すように、適当な位置に止めねじ３４を止め
る。次に、基板載置板１０の上面側から貫通小孔１４を
通して六角レンチ（図示せず）の先端部を基板載置板１
０の下面側へ差し入れ、六角レンチの先端部を高さ調整
支持ねじ２４の上端面の六角穴３２に係合させる。そし
て、六角レンチにより高さ調整支持ねじ２４を回動させ
ることにより、高さ調整支持ねじ２４を下降させ、図１
の（ｂ）に示すように、高さ調整支持ねじ２４を適切な
高さ位置に止める。この際、高さ調整支持ねじ２４を１
回転させると、高さ調整支持ねじ２４が０．５ｍｍ下降
するので、調整支持ねじ２４を約５°の角度分だけ回転
させることにより、約７μｍの微調整が可能である。次
に、再び、基板載置板１０の上面側から貫通小孔１４を
通して小径六角レンチの先端部を高さ調整支持ねじ２４
の軸心部内へ差し入れ、小径六角レンチの先端部を止め
ねじ３４の上端面の六角小穴４０に係合させる。そし
て、小径六角レンチにより止めねじ３４を回動させるこ
とにより、止めねじ３４を下向きに移動させ、図１の
（ｃ）に示すように、下端面のストッパ面３６を基台面
１８に当接させ止めねじ３４を当て止めしてねじが緩ま
ないようにする。これにより、基台面１８に対する高さ
調整支持ねじ２４の高さ位置が止めねじ３４を介して固
定される。最後に、基板載置板１０の上面側から貫通小
孔１４を通して係止用皿ねじ４２の下端側を基板載置板
１０の下面側へ差し入れ、係止用皿ねじ４２の軸部を高
さ調整支持ねじ２４の雌ねじ３０に螺合させる。これに
より、係止用皿ねじ４２の頭部下面が基板載置板１０の
貫通小孔１４の皿座ぐり面１６に係合し、係止用皿ねじ
４２の下向きへの移動に従って基板載置板１０が下降す
る。そして、図１の（ｄ）に示すように、高さ調整支持
ねじ２４の支持面２６と基板載置板１０の下面とが当接
する位置まで係止用皿ねじ４２を捩じ込むことにより、
基台面１８上に固定された高さ調整支持ねじ２４と基板
載置板１０とが係止用皿ねじ４２を介して連結され、そ
の高さ位置に基板載置板１０が固定される
【００２０】また、高さ調整機構１２により、その配設
位置における基板載置板１０の高さ位置を上げようとす
るときの操作手順を図２に基づいて説明する。
位置における基板載置板１０の高さ位置を上げようとす
るときの操作手順を図２に基づいて説明する。
【００２１】図１の（ｄ）に示すような高さ位置にある
基板載置板１０を上昇させるには、まず、図２の（ａ）
に示すように、係止用皿ねじ４２を高さ調整支持ねじ２
４から抜き出す。次に、基板載置板１０の上面側から貫
通小孔１４を通して六角レンチ（図示せず）の先端部を
基板載置板１０の下面側へ差し入れ、六角レンチの先端
部を高さ調整支持ねじ２４の上端面の六角穴３２に係合
させる。そして、六角レンチにより高さ調整支持ねじ２
４を回動させることにより、高さ調整支持ねじ２４を上
昇させ、図２の（ｂ）に示すように、高さ調整支持ねじ
２４を適切な高さ位置に止める。これにより、高さ調整
支持ねじ２４によって基板載置板１０が押し上げられて
上昇し停止する。この際、高さ調整支持ねじ２４を約５
°の角度分だけ回転させることにより、約７μｍの微調
整が可能である。次に、基板載置板１０の上面側から貫
通小孔１４を通して小径六角レンチの先端部を高さ調整
支持ねじ２４の軸心部内へ差し入れ、小径六角レンチの
先端部を止めねじ３４の上端面の六角小穴４０に係合さ
せる。そして、小径六角レンチにより止めねじ３４を回
動させることにより、止めねじ３４を下向きに移動さ
せ、図２の（ｃ）に示すように、下端面のストッパ面３
６を基台面１８に当接させ止めねじ３４を当て止めして
ねじが緩まないようにする。これにより、基台面１８に
対する高さ調整支持ねじ２４の高さ位置が止めねじ３４
を介して固定される。最後に、基板載置板１０の上面側
から貫通小孔１４を通して係止用皿ねじ４２の下端側を
基板載置板１０の下面側へ差し入れ、係止用皿ねじ４２
の軸部を高さ調整支持ねじ２４の雌ねじ３０に螺合させ
る。そして、図２の（ｄ）に示すように、係止用皿ねじ
４２の頭部下面が基板載置板１０の貫通小孔１４の皿座
ぐり面１６に係合する位置まで係止用皿ねじ４２を捩じ
込み、これにより、基台面１８に固定された高さ調整支
持ねじ２４と基板載置板１０とが係止用皿ねじ４２を介
して連結され、その高さ位置に基板載置板１０が固定さ
れる。
基板載置板１０を上昇させるには、まず、図２の（ａ）
に示すように、係止用皿ねじ４２を高さ調整支持ねじ２
４から抜き出す。次に、基板載置板１０の上面側から貫
通小孔１４を通して六角レンチ（図示せず）の先端部を
基板載置板１０の下面側へ差し入れ、六角レンチの先端
部を高さ調整支持ねじ２４の上端面の六角穴３２に係合
させる。そして、六角レンチにより高さ調整支持ねじ２
４を回動させることにより、高さ調整支持ねじ２４を上
昇させ、図２の（ｂ）に示すように、高さ調整支持ねじ
２４を適切な高さ位置に止める。これにより、高さ調整
支持ねじ２４によって基板載置板１０が押し上げられて
上昇し停止する。この際、高さ調整支持ねじ２４を約５
°の角度分だけ回転させることにより、約７μｍの微調
整が可能である。次に、基板載置板１０の上面側から貫
通小孔１４を通して小径六角レンチの先端部を高さ調整
支持ねじ２４の軸心部内へ差し入れ、小径六角レンチの
先端部を止めねじ３４の上端面の六角小穴４０に係合さ
せる。そして、小径六角レンチにより止めねじ３４を回
動させることにより、止めねじ３４を下向きに移動さ
せ、図２の（ｃ）に示すように、下端面のストッパ面３
６を基台面１８に当接させ止めねじ３４を当て止めして
ねじが緩まないようにする。これにより、基台面１８に
対する高さ調整支持ねじ２４の高さ位置が止めねじ３４
を介して固定される。最後に、基板載置板１０の上面側
から貫通小孔１４を通して係止用皿ねじ４２の下端側を
基板載置板１０の下面側へ差し入れ、係止用皿ねじ４２
の軸部を高さ調整支持ねじ２４の雌ねじ３０に螺合させ
る。そして、図２の（ｄ）に示すように、係止用皿ねじ
４２の頭部下面が基板載置板１０の貫通小孔１４の皿座
ぐり面１６に係合する位置まで係止用皿ねじ４２を捩じ
込み、これにより、基台面１８に固定された高さ調整支
持ねじ２４と基板載置板１０とが係止用皿ねじ４２を介
して連結され、その高さ位置に基板載置板１０が固定さ
れる。
【００２２】以上のようにして、基板載置板１０の複数
個所に分散して穿設された各貫通小孔１４の形成位置に
配設された高さ調整機構１２をそれぞれ個別に順次操作
することにより、基板載置板１０の上面が所望の平滑度
になるように調整される。
個所に分散して穿設された各貫通小孔１４の形成位置に
配設された高さ調整機構１２をそれぞれ個別に順次操作
することにより、基板載置板１０の上面が所望の平滑度
になるように調整される。
【００２３】図３は、基保持装置の基板載置板１０の平
面図である。図に示すように、基板載置板１０の複数個
所に分散して貫通小孔１４が穿設されており、基板載置
板１０の下面側の、各貫通小孔１４の形成位置に上記し
た高さ調整機構１２がそれぞれ配設されている。また、
基板載置板１０の下面側には、複数位置に分散して、基
板載置板１０を支持しパルスモータを用いてその高さ位
置を自動的に調整する自動調整機構４６が配設されてい
る。このような構成の基板保持装置では、基板載置板１
０の高さ位置を、まず、自動調整機構４６によって粗調
整した後、上記したように手動で高さ調整機構１２を操
作して、基板載置板１０の高さ位置を微調整する。この
ようにすることにより、基板載置板１０の上面の平滑度
の調整が迅速にかつ正確に行なわれることとなる。
面図である。図に示すように、基板載置板１０の複数個
所に分散して貫通小孔１４が穿設されており、基板載置
板１０の下面側の、各貫通小孔１４の形成位置に上記し
た高さ調整機構１２がそれぞれ配設されている。また、
基板載置板１０の下面側には、複数位置に分散して、基
板載置板１０を支持しパルスモータを用いてその高さ位
置を自動的に調整する自動調整機構４６が配設されてい
る。このような構成の基板保持装置では、基板載置板１
０の高さ位置を、まず、自動調整機構４６によって粗調
整した後、上記したように手動で高さ調整機構１２を操
作して、基板載置板１０の高さ位置を微調整する。この
ようにすることにより、基板載置板１０の上面の平滑度
の調整が迅速にかつ正確に行なわれることとなる。
【００２４】この発明に係る基板保持装置は、以上説明
したような構成を有しているが、この発明の範囲は上記
説明並びに図面の内容によって限定されない。すなわ
ち、基板載置板の複数個所に分散して貫通小孔を形成し
て各貫通小孔の形成位置に高さ調整機構をそれぞれ配設
することは必須であるが、高さ調整機構の構成は、図示
例のものに限定されない。
したような構成を有しているが、この発明の範囲は上記
説明並びに図面の内容によって限定されない。すなわ
ち、基板載置板の複数個所に分散して貫通小孔を形成し
て各貫通小孔の形成位置に高さ調整機構をそれぞれ配設
することは必須であるが、高さ調整機構の構成は、図示
例のものに限定されない。
【００２５】
【発明の効果】請求項１に係る発明によれば、基板載置
板に形成されている複数の貫通小孔を通して操作用具で
操作することにより基板載置板の平滑度を調整している
ので、従来のように基板載置板を取り外す必要も無く、
上面に基板を載置する基板載置板の上面の平滑度を調整
する作業が比較的簡単になり、かつ、その調整作業に要
する時間の短縮化も図ることができる。
板に形成されている複数の貫通小孔を通して操作用具で
操作することにより基板載置板の平滑度を調整している
ので、従来のように基板載置板を取り外す必要も無く、
上面に基板を載置する基板載置板の上面の平滑度を調整
する作業が比較的簡単になり、かつ、その調整作業に要
する時間の短縮化も図ることができる。
【００２６】請求項２に係る発明によれば、操作用具を
使用し基板載置板の上面側から貫通小孔を通して支持部
材の支持面に形成されている係合孔に係合させ、操作用
具を回動操作する簡単な作業により、基板載置板の上面
の平滑度の調整を行なうことができる。
使用し基板載置板の上面側から貫通小孔を通して支持部
材の支持面に形成されている係合孔に係合させ、操作用
具を回動操作する簡単な作業により、基板載置板の上面
の平滑度の調整を行なうことができる。
【００２７】請求項３に係る発明によれば、係止ねじで
支持部材と基板載置板とを固定しているので、基板載置
板の位置を確実に固定することができる。
支持部材と基板載置板とを固定しているので、基板載置
板の位置を確実に固定することができる。
【００２８】請求項４に係る発明によれば、基板載置板
の高さ位置を駆動手段によって粗調整した後、調整機構
によって手動で微調整することにより、基板載置板の上
面の平滑度の調整を迅速にかつ正確に行なうことができ
る。
の高さ位置を駆動手段によって粗調整した後、調整機構
によって手動で微調整することにより、基板載置板の上
面の平滑度の調整を迅速にかつ正確に行なうことができ
る。
【図１】この発明の実施の形態の１例を示す基板保持装
置の一部拡大縦断面図であって、基板載置板の高さ位置
を下げるときの操作手順を説明するための図である。
置の一部拡大縦断面図であって、基板載置板の高さ位置
を下げるときの操作手順を説明するための図である。
【図２】同じく、基板載置板の高さ位置を上げるときの
操作手順を説明するための図である。
操作手順を説明するための図である。
【図３】基板保持装置の基板載置板の全体平面図であ
る。
る。
【図４】基板載置板の高さ位置を手動で微調整する従来
の機構の概略構成を示す模式図である。
の機構の概略構成を示す模式図である。
１０ 基板載置板 １２ 高さ調整機構 １４ 貫通小孔 １６ 貫通小孔の皿座ぐり面 １８ 基台面 ２０ 取付け用ねじ ２２ 取付け用ねじの雌ねじ ２４ 高さ調整支持ねじ ２６ 高さ調整支持ねじの支持面 ２８ 高さ調整支持ねじの雄ねじ ３０ 高さ調整支持ねじの雌ねじ ３２ 高さ調整支持ねじの上端面の六角穴 ３４ 止めねじ ３６ 止めねじのストッパ面 ３８ 止めねじの雄ねじ ４０ 止めねじの上端面の六角小穴 ４２ 係止用皿ねじ ４４ 係止用皿ねじの軸部 ４６ 自動調整機構
Claims (4)
- 【請求項１】 基板を保持する基板保持装置において、 複数の貫通小孔が形成され、かつ基板を上面に載置する
ための基板載置板と、 前記基板載置板の下方に設けられた基台と、 前記貫通小孔の形成位置の下方において前記基台の上面
に固着された取付部材と、 前記基板載置板の下面と当接しつつ前記基板載置板を支
持する支持面を有し、かつ前記取付部材に対して上下方
向に移動自在に係合する支持部材と、 前記基板載置板の上面側から前記貫通小孔を通して操作
用具で操作することにより、前記支持部材の支持面の位
置を上下方向に調整する調整機構と、 前記支持部材の支持面と前記基板載置板の下面とが当接
した状態で、前記支持部材と前記基板載置板とを固定す
る固定手段と、を備えたことを特徴とする基板保持装
置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の基板保持装置におい
て、 前記調整機構は、 前記取付部材の内周面に形成されている雌ねじと、 前記支持部材の外周面に形成され、かつ前記取付部材の
雌ねじに係合する雄ねじと、 前記支持部材の支持面に形成され、かつ操作用具に係合
する係合孔と、により構成されていることを特徴とする
基板保持装置。 - 【請求項３】 請求項２に記載の基板保持装置におい
て、 前記固定手段は、 基板載置板の上面側から前記貫通小孔を通して前記支持
部材の係合孔に係合される係止ねじであることを特徴と
する基板保持装置。 - 【請求項４】 請求項１ないし請求項３のいずれかに記
載の基板保持装置において、 前記基板載置板を支持しつつ上下方向に移動させる駆動
手段をさらに備え、 前記駆動手段により前記基板載置板の位置を粗調整させ
た後、前記調整機構により前記基板載置板の位置を微調
整させることを特徴とする基板保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35315095A JPH09186225A (ja) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35315095A JPH09186225A (ja) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 基板保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09186225A true JPH09186225A (ja) | 1997-07-15 |
Family
ID=18428905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35315095A Pending JPH09186225A (ja) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 基板保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09186225A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005243888A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Nitto Denko Corp | 粘着シート貼付け方法およびこれを用いた装置 |
| JP2014236016A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-15 | 東レエンジニアリング株式会社 | 搬送装置 |
| CN105549338A (zh) * | 2016-02-18 | 2016-05-04 | 武汉华星光电技术有限公司 | 曝光量测装置及其量测平台 |
| CN105742149A (zh) * | 2016-03-24 | 2016-07-06 | 上海华力微电子有限公司 | 一种等离子体机台的底座 |
| KR20180113918A (ko) * | 2017-04-07 | 2018-10-17 | 신토 에스 프레시젼 가부시키가이샤 | 탑재 테이블 및 탑재 방법 |
-
1995
- 1995-12-29 JP JP35315095A patent/JPH09186225A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005243888A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Nitto Denko Corp | 粘着シート貼付け方法およびこれを用いた装置 |
| JP2014236016A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-15 | 東レエンジニアリング株式会社 | 搬送装置 |
| CN105549338A (zh) * | 2016-02-18 | 2016-05-04 | 武汉华星光电技术有限公司 | 曝光量测装置及其量测平台 |
| CN105742149A (zh) * | 2016-03-24 | 2016-07-06 | 上海华力微电子有限公司 | 一种等离子体机台的底座 |
| KR20180113918A (ko) * | 2017-04-07 | 2018-10-17 | 신토 에스 프레시젼 가부시키가이샤 | 탑재 테이블 및 탑재 방법 |
| CN108687722A (zh) * | 2017-04-07 | 2018-10-23 | 新东超精密有限公司 | 载置台及载置方法 |
| CN108687722B (zh) * | 2017-04-07 | 2021-09-10 | 新东超精密有限公司 | 载置台及载置方法 |
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