JP2014236016A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
Description
7 搬送機構
9 吸着保持機構
13 支持部材
14 吸着部材
15 吸着パッド
16 パッド取付具
17 保持部材
W 基板
Claims (4)
- 吸着部材、保持部材、ならびに吸着部材および保持部材を支持する支持部材を有する吸着保持機構と、吸着保持機構を移動させる搬送機構と、を備え、基板を吸着部材で吸着して保持部材に接触させることにより、基板を所定の位置に保持しながら搬送する搬送装置であって、
吸着部材は、基板を吸着する吸着部と、吸着部を支持部材に固定する固定部と、を有し、
保持部材は、吸着部材の固定部と支持部材とに挟み込まれることにより固定されている搬送装置。 - 前記保持部材の基板が接触する接触面には貫通孔が形成され、
貫通孔の内部に前記吸着部材が配置されている請求項1に記載の搬送装置。 - 前記固定部には、前記吸着部材を前記支持部材に対して着脱させる治具が、前記貫通孔の外部から係合可能な係合部が形成されている請求項2に記載の搬送装置。
- 前記係合部は、互いに対向する平行な二つの平面を有する請求項3に記載の搬送装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018152447A (ja) * | 2017-03-13 | 2018-09-27 | 東レエンジニアリング株式会社 | 基板浮上搬送装置 |
CN113714026A (zh) * | 2021-08-30 | 2021-11-30 | 泰兴市中能高科新型材料有限公司 | 一种硅胶垫周边上色设备 |
WO2023120145A1 (ja) * | 2021-12-21 | 2023-06-29 | 東レエンジニアリング株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09186225A (ja) * | 1995-12-29 | 1997-07-15 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持装置 |
JP2001326270A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-11-22 | Canon Inc | 基板保持装置、半導体製造装置および半導体デバイス製造方法 |
JP2011213435A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Toray Eng Co Ltd | 搬送装置及び塗布システム |
JP2012151407A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-09 | Ushio Inc | ワークステージおよびこのワークステージを使った露光装置 |
-
2013
- 2013-05-30 JP JP2013114563A patent/JP6189646B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09186225A (ja) * | 1995-12-29 | 1997-07-15 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持装置 |
JP2001326270A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-11-22 | Canon Inc | 基板保持装置、半導体製造装置および半導体デバイス製造方法 |
JP2011213435A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Toray Eng Co Ltd | 搬送装置及び塗布システム |
JP2012151407A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-09 | Ushio Inc | ワークステージおよびこのワークステージを使った露光装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018152447A (ja) * | 2017-03-13 | 2018-09-27 | 東レエンジニアリング株式会社 | 基板浮上搬送装置 |
CN113714026A (zh) * | 2021-08-30 | 2021-11-30 | 泰兴市中能高科新型材料有限公司 | 一种硅胶垫周边上色设备 |
WO2023120145A1 (ja) * | 2021-12-21 | 2023-06-29 | 東レエンジニアリング株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
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