JPH01203945A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、検査装置に関する。

（従来の技術） 近年ではテレビ画面を構成する大型液晶表示体Ｃ以下、
　ＬＣＤと略記する）を被＃Ａ察体とし、この被ａｌＡ
体をｉ祭検査する検査装置でその特性を観察検査するも
のがある。　ところで、　ＬＣＤ表面に多数個形成され
た画素をＩｉｌ！察検査する工程がある。

上記工程では、液晶表示体プローバのヘッドプレートの
裏側に設けられているプローブ端子電極にＬＣＤの周縁
にある電極を接触させて通電する工程と１通電された後
にＬＣＤの画素の状態を観察検査する工程とが一諸にな
ったＬＣＤプローバと称する検査装置を用いてＬＣＤの
観察検査を行なっている。

上記ＬＣＤを観察する場合において、　ＬＣＤ表面に多
数個形成された画素の色彩は、検査装置の支持台に敷設
されているバックライトの光源から放出される照明光が
ＬＣＤのカラーフィルタ層を通過して色彩を得る構造な
ので、観察方向がＬＣＤ表面と直交した入射角でｗｔ察
する必要があり、直交しない観察方向で観察したとすれ
ば、隣りの画素の色彩が光合成されて、正確な色彩観察
をすることができない。その為に上記ＬＣＤを支持する
支持面を観察手段の位置によって、傾斜させる必要があ
る。

上記支持面が設定された方向に傾斜して固定された状態
で構成したプローブ装置が一般的である。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、従来のプローブ装置では、観察検査する
際にＬＣＤの表面と直交するＩＲ祭力方向−定に決めら
れた状態で固定されており、またＬＣＤを支持する支持
台も一定方向に決められて固定されている。上記観察方
向が異った状態ではＬＣＤを１８！祭検査することがで
きないという欠点があった。

また、観察しても隣りの画素の色彩と光合成されてしま
い、正しい観察検査ができなかった。

本発明の目的とするところは、上述した従来の問題点に
鑑みなされたもので、上記観察方向が異っても、正確に
ＬＣＤの電気的物理的現象をａ察検査することができる
検査装置を提供することにある。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 本発明は、支持面に液晶表示体を設け、特性を目視ａ察
する検査装置において、液晶表示体を観察する観察面を
所望の角度に傾斜駆動可能に構成したことを特徴として
いる。

（作　用） 本発明の検査装置によれば、照光体を敷設した支持面を
ａｍ方向と直交するように傾斜駆動機構を設けているの
で、＆（！察方向が異なる場合であっても、上記傾斜駆
動機構を設定駆動させて異った観察方向に直交させるこ
とができ、上記液晶表示体の特性を正確に観察検査する
ことができる。

（実施例） 以下１本発明検査装置を目視ａ察プローバに適用した一
実施例を図面を参照して具体的に説明する。

先ず、本実施例目視［Ｊプローバの外観構成について説
明すると、第５図に示すように、この目視観察プローバ
（υは大別してＬＣＤを搬送するローダ部■と、搬送さ
れたＬＣＤを目視ｗＡ祭検査する検査部（３）とから構
成されている。

尚、上記検査部■に関連するものとして、操作する操作
面（イ）と、この目視ｗ４察プローバ■を稼動させるた
めに必要な情報を入力するキーボード■と、上記ＬＣＤ
を上部からａ察する顕微鏡０と、上記ＬＣＤの位置決め
、すなわちアライメントする過程を写し出す表示装置■
とが上記目視観察プローバ（１）の上方後部の筐体上に
配置されている。

上記ローダ部■と検査部（３）とは併列して一対に構成
されているが、ＬＣＤの搬送方向の傾きが異っている。

例えばローダ部■側では水平方向に二次元的に移動搬送
するのに対し、検査部■側では傾斜された傾斜面、例え
ば４５°の傾斜面に対して二次元的に移送するようにな
っている。また上記検査部■は傾斜された構成なので、
上記ローダ部■からＬＣＤを受は取った後に、このＬＣ
Ｄを傾斜させて検査部（３）まで移送するようになって
いる。

上記ローダ部■は第２図で示すように、例えば４インチ
角のしＣＤ（へ）を多数間隔を設けて並列方向に収容し
ているカセット（９）よりＬＣＤ（へ）を取出し、検査
部■側の移送部に受は渡す位置まで搬送し、上記ＬＣＤ
（８）をプリアライメント板（１０）でプリアライメン
トして、サブチャック（１１）頂面上に吸着したのち、
所定高さ位置まで上昇させて上記検査部■側の移送部（
１４）に移送されるのを待つ状態に維持させる。また検
査部■で検査終了したＬ　ＣＤ　（８）が移送されてき
て、サブチャック（１１）上にａ置されると、このＬＣ
Ｄ■をカセット（９）内に戻すように搬送するものであ
る。ここで所定位置とはサブチャック（１１）の頂面上
の回転中心と共にプリアライメントする位置でもある。

上記プリアライメント板（１０）は、上述した操作面に
）側近傍に配置した昇降部（１２）のサブチャック（１
１）位置と、一定の距離り離れた位置に設けられている
。この距離り離れた位置を一般にプリアライメント板（
１０）のホームポジション（１０ａ）という。

上記プリアライメント板（１０）面がＬＣＤ（ハ）面と
平行に形成されている。また上記サブチャック（１１）
の回転中心（２５ａ）が、上記プリアライメント板中心
（ｌＯｄ）が重なるように搬送可能になっている。

また、上記サブチャック（１１）と上記プリアライメン
ト板（１０）の中心が重なったとき、上記サブチャック
（１１）が上下動昇降の時に通過可能にさせるため、上
記プリアライメント板（１０）の中心にはＵ字形溝部（
１０ｂ）が切欠されている。

上記検査部■について説明する。

次に上記検査部■は第２図で示すように、上述したロー
ダ部■側のサブチャック（１１）に載置したＬＣＤ　（
８）を検査部（３）の下側に設けられた移送部（１４）
の把持装置が把持し、傾斜させる構造を有した回動部（
図示せず）を介して、検査中心（１６）位置まで移動さ
せる。移動してきたＬＣＤ（ｅは、検査中心（１６）位
置に配置されている支持台（１７）に受は渡される。受
は渡されたＬＣＤ（ハ）は支持台（１７）の真空圧で吸
着されて固着される。

上記ＬＣＤ■が固着された支持台（１７）を２軸方向に
上昇させて、ヘッドプレート（１８）に設けられたプロ
ーブ端子電極（１９）に上記ＬＣＤ（ａの電極を接触さ
せるまで上昇させる。

上記ＬＣＤ（８）は通電されたプローブ端子電極（１９
）を介してＬ　ＣＤ　（８）の画素が支持台（１７）の
支持台面に敷設されているバックライトと称する照明に
より色彩が表示されることになる。そして、この色彩を
ａ祭手段、例えば顕微鏡０等で観察検査するものである
。

上記に述べたローダ部■及び検査部■の移動駆動は、予
め記憶されているプログラムに従って実行されている。

次に本実施例、液晶表示体プローバ（ト）に用いた上記
検査装置（２０）の特徴的構成は、上記Ｌ　ＣＤ　（８
）を載置して支持する支持台（１７）の角度を変える構
成にしたことにある。

上記プローブ装置（２０）の特徴的構成について説明す
ると、第１図に示すように上記、構成は、プローブ装置
（２０）と基台（２４）との間に傾斜駆動機構（２５）
を設けて、支持台（１７）を移動支持している基台（２
４）の傾斜角度を設定駆動させている。

上記傾斜駆動機ａ（２５）は、基台（２４）の側端部を
中心として回転する回転軸（２５ａ）と、この回転軸（
２５ａ）を中心として基台（２４）を回動させる回動部
（２６）とから構成されている６ 上記回転軸（２５ａ）は、液晶表示体プローバ（１）の
基台（２４）部分が回動によって納まる中空部（２７）
側に立設した軸受に軸架されている。この軸架された回
転軸（２５ａ）に垂直面方向に回転自在に基台（２４）
の側端部が軸着されている。

従って、液晶表示体プローバ（υの後方に堀り込むよう
に設けられている中空部（２７）の回動部（２６）の回
転軸（２５ａ）を中心に基台（２４）が操作部に）側に
起上げることができるようになっている。

上記回動部（２６）は上記基台（２４）の側端部が軸着
された回転軸（２５ａ）からＲ距離前れた位置に配設さ
れている。

すなわち、上記基台（２４）の側端部からＲ距離、離れ
た位置に回動される回動片（２８）が垂直面方向で基台
（２４）に設けられている。

上記回動片（２８）には内接円（２９）が設けられてい
る。この内接円に沿って内接ギア（３０）が刻まれてい
る。この内接ギア（３０）と噛合されるギア（３１）が
設けられ、このギア（３１）が回転すると上記回動片（
２８）が従属的に回動される。すなわち、上記回転軸（
２５ａ）を中心にして基台（２４）が垂直面方向に回動
されることになる。

上記ギア（３１）の中心には、上記基台（２４）、ヘッ
ドプレート（１８）及び顕微鏡０等の荷重をすべて回動
させることのできる駆動力を有する駆動部材（図示せず
）例えば電動モータ空気圧のシリンダ等を液晶表示体プ
ローブ装置の基本構造体に設けられている。

上記ギア（３１）はウオームギアが適切であるが。

限定することはない。

上記ギア（３１）と連動している駆動部（図示せず）が
非常時の安全対策として、基台（２４）が回動方向に落
下しても破損しないようにダンパ（３２）を基台（２４
）の下方に設けられている。

また、上記基台（２４）が非常時の安全対策として。

後方をすべてカバーまたはアミ部材（３３）で囲むよう
にしても良い。

上述したヘッドプレート（１８）にプローブ端子電極（
１９）が設けられており、このプローブ端子電極（１９
）がｔｃＤｅの電極と接触しているか、否か、を顕微鏡
０等で観察されるように中空部（１８ａ）が設けられて
いる。この中空部（１８ａ）からゴミ、チリ等の粉塵が
入り込む場合は、この中空部（１８ａ）を覆うように透
明体または半透明体の部材（Ｌ８ｂ）を挿着しても良い
、この透明体は、ガラス部材であっても、ガラス部材の
中心に中心を示すマークが記載または刻まれでても良い
。また蝶番等の回転駆動部を設け開閉するようにしても
良い。

次に作用について説明する。

ローダ部■で、カセット０より一枚のＬＣＤ（ハ）を取
出し、これをプリアライメントした後にローダ部■のサ
ブチャック（１１）にＬＣＤ　（８）が受は渡され、こ
のサブチャック（１１）が所定高さまで上昇する。

また検査部■では移送部（２６）に設けられた把持装置
ｉｆ　（１５）で上記サブチャック（１１）の所定高さ
まで上昇して停止しているＬＣＤｅを把持して、検査中
心（１７）まで移動し、検査中心（１７）の支持台（１
８）に吸着してプローブ端子電極（１９）を接触させた
のち。

通電してＬＣＩ）（８）の目視Ｉｊｌ察検査することに
なる。

本実施例の特徴的な作用は第１図に示すように、上記顕
微１Ｉｔ（０でＬ　ＣＤ　（ａの画素状態をａ察する際
に上記顕微鏡０の位置が移動させて観察する必要が生じ
たときに、例えば［６位ＭＡから他の観察位置Ｂに異っ
た場合に傾斜角θ°を上述したキーボード０を介して移
動情報を操作入力を行うことになる。

上記操作入力に従って、液晶表示体ブローバωは内蔵し
ているＣＰＵ　（図示せず）が稼動し、基台（２４）の
角度を入力情報に従って駆動することになる。

上記液晶表示体プローパω内の基台（２４）が操作入力
に基づいて基台（２４）の角度に設定することになる。

上記角度設定された状態でＬＣＤ　（８）の表面上の画
素を観察することになる。以上で液晶表示体プローバ■
の作用についての説明を終る。

上述した液晶表示体プローバωに用いている支持台（１
７）に設けたバックライト機構（３７）、及びこの支持
台（１７）にＬＣＤ（へ）を物理的に把持する別の構造
について述べると、上記支持台（１７）には、第３図に
示すようにバックライトの照明体１例えば蛍光灯（３４
）を交換可能に設けられている。

即ち、上記支持台（１７）は、　　ＬＣＤ（Ｑを載置し
て支持する支持面（１７ａ）には半透明体のスリガラス
（３５）が上記支持面と平坦に設けられている。さらに
支持台（１７）の中空部（３６）にバックライト機構（
３７）が挿着自在に設け、照明体破損交換に対応してい
る。

上記バックライト機構（３７）の構成は、蛍光灯（３４
）のソケットを台部（３７ａ）に２ケ所設けられている
。さらに、上記台部（３７ａ）が支持台（１７）と挿着
する際に、−時固定するノツチ溝が設けられている。

また、上記支持台（１７）の上記バックライト機構（３
７）が挿着する孔の出口側のノツチ部材のボール部の半
分より少ない部分が突出しており、このボール部が上記
ノツチ溝にはまり込むようにして構成されている。従っ
て、蛍光灯（３４）の交換はバックライト機構（３７）
のツマミ（３７ｂ）を持って孔に沿って引き出すと、タ
ッチ部材のバネ（３７ｃ）が押されて、上記バックライ
ト機ｉ　（３７）が引き抜かれ交換可能になる。ここで
、上記バックライト機構（３７）の電流を供給するコー
ド（３７ｄ）は、ツマミ（３７ｂ）方向に配置した方が
良い、このようにバックライト機４ｉ１（３７）を支持
台（１７）と挿着可能に構成すると、支持台（１７）の
蛍光灯が破損しても支持台（１７）全体を外して修理す
る時間より非常に早く保守が可能になる。

上述した支持台（１７）にＬＣＤ＠を真空圧で吸着して
いるが、真空圧を使用できない場合、または使用したく
ない場合のＬＣＤ■の固定手段は例えば、第４図に示す
ように支持台（１７）の側部に突出させた軸回転される
軸受にはＬ形状の把持部材（３８）が揺動自在に設けら
れている。この部材の一端面がＬＣＤ■表面と接触する
ように設けられ、他端面は圧縮バネ（３９）が落下しな
いように設けられ、上記ＬＣＤ（へ）を押え込むように
設けられている。

上記の把持部材（３８）が支持台（１７）の両端に設け
られ、ＬＣＤ＠の両端を把持するように設けられている
。上記に述べた把持方向を支持台（１７）に設けても良
い・ 上記実施例の効果は、支持台（１７）を傾斜された平面
と平行に移動させる基台（２４）が角度制御さｈるので
、この基台に設けられている顕微鏡０自身も一諸に回動
するので観察方向が常に支持面（１７ａ）と直交してい
るので、角度制御後の支持面とａ祭方向とを合わせる必
要がないので操作が容易になる。

上記操作入力に従って自動的に基台（２４）の角度調整
が可能なので１ｗＡ察作業を短時間で終了させることが
できる。

〔発明の効果〕

照明される被ｗｔ察体の支持面に液晶表示体を支持し、
液晶表示体の特性を目視ｉ察する検査装置において、液
晶表示体を観察する観察方向が異なる時に、上記［快方
向が異った角度分だけ、上記支持面を傾斜駆動して観察
方向が液晶表示体表面を直交状態に設定駆動する傾斜駆
動機構を設けたので、上記観察方向が異っても、このｔ
ｉＡ察方白方向ＣＤを支持する支持面が、上記ｗｉ察力
方向直交するように傾斜駆動されてｗ１察することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明検査装置を適用した液晶表示体プローバ
の基台に取り付けた傾斜駆動機構を説明するための説明
図、第２図は第１図の検査部及びローダ部の配置及び傾
斜方向を説明するための説明図、第３図は第１図の液晶
表示体プローバに用いている支持台におけるバックライ
ト機構を説明するための説明図、第４図は第１図に示し
た支持台と別の支持台構造を説明するための説明図、第
５図は本発明を適用した液晶表示体プローバの一実施例
の外観を示す斜視図。 １・・・液晶表示体プローバ ２・・・ローダ部　　　　　３・・・検査部４・・・操
作部　　　　　　５・・・キーボード６・・・顕微鏡　
　　　　　７・・・表示装置８・・・ＬＣＤ　　　　　
　　　　９・・・カセット１７・・・支持台　　　　　
　１７ａ・・・支持面１８・・・ヘッドプレート　　１
８ａ・・・中空部１８ｂ・・・透明（半透明）体　２０
・・・プローブ装置２４・・・基台　　　　　　　２５
・・・回動軸２５ａ・・・回転軸　　　　　２６・・・
回動部２７・・・中空部　　　　　　２８・・・回動片
２９・・・内接円　　　　　　３０・・・内接ギア３１
・・・ギア　　　　　　　３４・・・蛍光灯３７・・・
バックライト機構　３７ａ・・・台部特許出願人　東京
エレクトロン株式会社第１図 １−１″ＦＪ鷺首Ｐ 第３図 第４図 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 支持面に液晶表示体を設け特性を目視観察する検査装置
   において、上記液晶表示体を目視する観察面を所望の角
   度に傾斜駆動可能に構成したことを特徴とする検査装置
   。