JP2679958B2 - 液晶表示体の検査装置 - Google Patents
液晶表示体の検査装置Info
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- crystal display
- lcd
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示体の画素の色
彩等の特性を検査する液晶表示体の検査装置に関する。
彩等の特性を検査する液晶表示体の検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年ではテレビ画面を構成する大型液晶
表示体(以下、LCDと略記する)を被観察体とし、こ
の被観察体を観察検査する検査装置でその特性を観察検
査するものがある。ところで、LCD表面に多数個形成
された画素を観察検査する工程がある。
表示体(以下、LCDと略記する)を被観察体とし、こ
の被観察体を観察検査する検査装置でその特性を観察検
査するものがある。ところで、LCD表面に多数個形成
された画素を観察検査する工程がある。
【0003】上記工程では、液晶表示体プローバのヘッ
ドプレートの裏側に設けられているプローブ端子電極に
LCDの周縁にある電極を接触させて通電する工程と、
通電された後にLCDの画素の状態を観察検査する工程
とが一緒になったLCDプローバと称する検査装置を用
いてLCDの観察検査を行なっている。
ドプレートの裏側に設けられているプローブ端子電極に
LCDの周縁にある電極を接触させて通電する工程と、
通電された後にLCDの画素の状態を観察検査する工程
とが一緒になったLCDプローバと称する検査装置を用
いてLCDの観察検査を行なっている。
【0004】上記LCDを観察する場合において、LC
D表面に多数個形成された画素の色彩は、検査装置の支
持台に敷設されているバックライトの光源から放出され
る照明光がLCDのカラーフィルタ層を通過して色彩を
得る構造なので、観察方向がLCD表面と直交した入射
角で観察する必要があり、直交しない観察方向で観察し
たとすれば、隣りの画素の色彩が光合成されて、正確な
色彩観察をすることができない。その為に、上記LCD
の画素の色彩等の特性状態を、オペレータが椅子に腰掛
けて顎を引いた楽な姿勢で、観察手段としての例えば顕
微鏡を覗いて観察できるように、オペレータの目線高さ
に合わせて顕微鏡を略45度の下向き傾斜に設置固定し
ていると共に、この顕微鏡或いは透視窓と直交する状態
にLCDを支持すべく支持台を一定(略45度)の前下
がり傾斜状態に設置しているのが一般的である。なお、
観察手段として、上記顕微鏡を用いずに、単なる開口或
いは透明や半透明ガラスを嵌め込んだ透視窓のみを設け
てオペレータが覗く形式のものもある。
D表面に多数個形成された画素の色彩は、検査装置の支
持台に敷設されているバックライトの光源から放出され
る照明光がLCDのカラーフィルタ層を通過して色彩を
得る構造なので、観察方向がLCD表面と直交した入射
角で観察する必要があり、直交しない観察方向で観察し
たとすれば、隣りの画素の色彩が光合成されて、正確な
色彩観察をすることができない。その為に、上記LCD
の画素の色彩等の特性状態を、オペレータが椅子に腰掛
けて顎を引いた楽な姿勢で、観察手段としての例えば顕
微鏡を覗いて観察できるように、オペレータの目線高さ
に合わせて顕微鏡を略45度の下向き傾斜に設置固定し
ていると共に、この顕微鏡或いは透視窓と直交する状態
にLCDを支持すべく支持台を一定(略45度)の前下
がり傾斜状態に設置しているのが一般的である。なお、
観察手段として、上記顕微鏡を用いずに、単なる開口或
いは透明や半透明ガラスを嵌め込んだ透視窓のみを設け
てオペレータが覗く形式のものもある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した従
来の検査装置、即ち、LCDプローバでは、観察手段と
しての例えば顕微鏡等とLCDを支持する支持台との傾
斜角度が互いに直交する状態でそれぞれ予め固定的に定
められているので、目視観察するオペレータの目線高さ
及び方向が一定化していて、それ以外の高さや方向から
は観察できない。顕微鏡を用いない透視窓のみの場合に
は覗き見ることはできても、隣の画素の色彩と光合成し
て正しい観察ができない。
来の検査装置、即ち、LCDプローバでは、観察手段と
しての例えば顕微鏡等とLCDを支持する支持台との傾
斜角度が互いに直交する状態でそれぞれ予め固定的に定
められているので、目視観察するオペレータの目線高さ
及び方向が一定化していて、それ以外の高さや方向から
は観察できない。顕微鏡を用いない透視窓のみの場合に
は覗き見ることはできても、隣の画素の色彩と光合成し
て正しい観察ができない。
【0006】このために標準的体格のオペレータ以外の
人、例えば長身で座高が高い人は猫背になり、逆に背の
低い人は背筋を延ばしたり腰を浮かしたりして、無理な
姿勢で顕微鏡を覗かなければならず疲れてしまう問題が
あった。
人、例えば長身で座高が高い人は猫背になり、逆に背の
低い人は背筋を延ばしたり腰を浮かしたりして、無理な
姿勢で顕微鏡を覗かなければならず疲れてしまう問題が
あった。
【0007】そこで、オペレータの体格や好みに応じて
顕微鏡等の観察手段の角度調整ができれば良いが、これ
がなかなか困難であった。即ち、この種のLCDプロー
バでは、観察手段としての顕微鏡或いは透視窓のみの傾
斜角度を変えても何もならず、一緒にLCDの支持台の
傾斜角度も可変調整しなければならず、更には支持台上
面に支持したLCDの電極に接触して通電するプローブ
端子電極も相対位置を変えずに傾斜角度の調整をしなけ
ればならず、これらの調整を個々に行うのは非常に大変
で現実的でない。
顕微鏡等の観察手段の角度調整ができれば良いが、これ
がなかなか困難であった。即ち、この種のLCDプロー
バでは、観察手段としての顕微鏡或いは透視窓のみの傾
斜角度を変えても何もならず、一緒にLCDの支持台の
傾斜角度も可変調整しなければならず、更には支持台上
面に支持したLCDの電極に接触して通電するプローブ
端子電極も相対位置を変えずに傾斜角度の調整をしなけ
ればならず、これらの調整を個々に行うのは非常に大変
で現実的でない。
【0008】本発明は前記事情に着目してなされたもの
で、その目的とするとことは、観察手段と液晶表示体の
支持台とプローブ端子電極との三者の傾き角度を一体的
に(相対位置を変えずに)に非常に簡単かつ確実に可変
調整でき、各種異なる体格のオペレータがそれぞれ自分
に合った目線高さ・方向を選択できて、楽な姿勢で液晶
表示体の画素特性を正しく観察検査できるようになる検
査装置を提供することにある。
で、その目的とするとことは、観察手段と液晶表示体の
支持台とプローブ端子電極との三者の傾き角度を一体的
に(相対位置を変えずに)に非常に簡単かつ確実に可変
調整でき、各種異なる体格のオペレータがそれぞれ自分
に合った目線高さ・方向を選択できて、楽な姿勢で液晶
表示体の画素特性を正しく観察検査できるようになる検
査装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、光源によって照明された載置面を有すると
共に液晶表示体を吸着する手段を有する検査部と、複数
枚の被検査液晶表示体を収納したカセットが載置される
ローダ部と、このローダ部の前記カセットから前記液晶
表示体を取出し前記検査部に受け渡す移送部と、この移
送部で前記液晶表示体のプリアライメントを行うプリア
ライメント手段と、前記検査部に吸着された液晶表示体
をプローブ端子との接触位置に位置合わせする位置合わ
せ手段と、前記液晶表示体をプローブ端子に接触させ液
晶表示体を点灯させて目視検査する観察手段と、前記検
査部、位置合わせ手段および観察手段の三者の傾き角度
を一体的に可変調整する傾斜駆動機構とを具備したこと
を特徴とする。
するために、光源によって照明された載置面を有すると
共に液晶表示体を吸着する手段を有する検査部と、複数
枚の被検査液晶表示体を収納したカセットが載置される
ローダ部と、このローダ部の前記カセットから前記液晶
表示体を取出し前記検査部に受け渡す移送部と、この移
送部で前記液晶表示体のプリアライメントを行うプリア
ライメント手段と、前記検査部に吸着された液晶表示体
をプローブ端子との接触位置に位置合わせする位置合わ
せ手段と、前記液晶表示体をプローブ端子に接触させ液
晶表示体を点灯させて目視検査する観察手段と、前記検
査部、位置合わせ手段および観察手段の三者の傾き角度
を一体的に可変調整する傾斜駆動機構とを具備したこと
を特徴とする。
【0010】
【作用】本発明の液晶表示体の検査装置によれば、複数
枚の液晶表示体を収納したカセットからローダ部によっ
て液晶表示体を取出し、移送部により照明された検査部
に受け渡し、この移送部で前記液晶表示体のプリアライ
メントを行った後、前記検査部に吸着された液晶表示体
をプローブ端子との接触位置に位置合わせ、液晶表示体
をプローブ端子に接触させる一連の動作が自動的に行
え、液晶表示体を点灯させて顕微鏡等によって目視検査
することができる。
枚の液晶表示体を収納したカセットからローダ部によっ
て液晶表示体を取出し、移送部により照明された検査部
に受け渡し、この移送部で前記液晶表示体のプリアライ
メントを行った後、前記検査部に吸着された液晶表示体
をプローブ端子との接触位置に位置合わせ、液晶表示体
をプローブ端子に接触させる一連の動作が自動的に行
え、液晶表示体を点灯させて顕微鏡等によって目視検査
することができる。
【0011】また、前記検査部、位置合わせ手段および
観察手段の三者の傾き角度を一体的に可変調整する傾斜
駆動機構を設けたことにより、各種異なる体格のオペレ
ータがそれぞれ自分に合った目線高さ及び方向を容易確
実に選択できて、楽な姿勢で液晶表示体の画素特性を正
しく観察検査できるようになる。
観察手段の三者の傾き角度を一体的に可変調整する傾斜
駆動機構を設けたことにより、各種異なる体格のオペレ
ータがそれぞれ自分に合った目線高さ及び方向を容易確
実に選択できて、楽な姿勢で液晶表示体の画素特性を正
しく観察検査できるようになる。
【0012】
【実施例】以下、本発明の液晶表示体の検査装置を目視
観察プローバに適用した一実施例を図面を参照して具体
的に説明する。先ず、本実施例の目視観察プローバの外
観構成について説明すると、図5に示すように、この目
視観察プローバ1は大別して液晶表示体(以下、LCD
という)を搬送するローダ部2と、搬送されたLCDを
目視観察検査する検査部3とから構成されている。
観察プローバに適用した一実施例を図面を参照して具体
的に説明する。先ず、本実施例の目視観察プローバの外
観構成について説明すると、図5に示すように、この目
視観察プローバ1は大別して液晶表示体(以下、LCD
という)を搬送するローダ部2と、搬送されたLCDを
目視観察検査する検査部3とから構成されている。
【0013】尚、上記検査部3に関連するものとして、
操作する操作面4と、この目視観察プローバ1を稼働さ
せるために必要な情報を入力するキーボード5と、上記
LCDを上部から観察する顕微鏡6と、上記LCDの位
置決め、すなわちアライメントする過程を写し出す表示
装置7とが上記目視観察プローバ1の上方後部の筺体上
に配置されている。
操作する操作面4と、この目視観察プローバ1を稼働さ
せるために必要な情報を入力するキーボード5と、上記
LCDを上部から観察する顕微鏡6と、上記LCDの位
置決め、すなわちアライメントする過程を写し出す表示
装置7とが上記目視観察プローバ1の上方後部の筺体上
に配置されている。
【0014】上記ローダ部2と検査部3とは併列して一
対に構成されているが、LCDの搬送方向の傾きが異っ
ている。例えばローダ部2側では水平方向に二次元的に
移動搬送するのに対し、検査部3側では傾斜された傾斜
面、例えば45°の傾斜面に対して二次元的に移送する
ようになっている。また上記検査部3は傾斜された構成
なので、上記ローダ部2からLCDを受け取った後に、
このLCDを傾斜させて検査部3まで移送するようにな
っている。
対に構成されているが、LCDの搬送方向の傾きが異っ
ている。例えばローダ部2側では水平方向に二次元的に
移動搬送するのに対し、検査部3側では傾斜された傾斜
面、例えば45°の傾斜面に対して二次元的に移送する
ようになっている。また上記検査部3は傾斜された構成
なので、上記ローダ部2からLCDを受け取った後に、
このLCDを傾斜させて検査部3まで移送するようにな
っている。
【0015】上記ローダ部2は図2で示すように、例え
ば4インチ角のLCD8を多数間隔を設けて並列方向に
収容しているカセット9よりLCD8を取出し、検査部
3側の移送部14に受け渡す位置まで搬送し、上記LC
D8をプリアライメント板10でプリアライメントし、
サブチャック11頂面上に吸着したのち、所定高さ位置
まで上昇させて上記検査部3側の移送部14に移送され
るのを待つ状態に維持させる。また検査部3で検査終了
したLCD8が移送されてきて、サブチャック11上に
載置されると、このLCD8をカセット9内に戻すよう
に搬送するものである。ここで所定位置とはサブチャッ
ク11の頂面上の回転中心と共にプリアライメントする
位置でもある。
ば4インチ角のLCD8を多数間隔を設けて並列方向に
収容しているカセット9よりLCD8を取出し、検査部
3側の移送部14に受け渡す位置まで搬送し、上記LC
D8をプリアライメント板10でプリアライメントし、
サブチャック11頂面上に吸着したのち、所定高さ位置
まで上昇させて上記検査部3側の移送部14に移送され
るのを待つ状態に維持させる。また検査部3で検査終了
したLCD8が移送されてきて、サブチャック11上に
載置されると、このLCD8をカセット9内に戻すよう
に搬送するものである。ここで所定位置とはサブチャッ
ク11の頂面上の回転中心と共にプリアライメントする
位置でもある。
【0016】上記プリアライメント板10は、上述した
操作面4側近傍に配置した昇降部12のサブチャック1
1位置と、一定の距離L離れた位置に設けられている。
この距離L離れた位置を一般にプリアライメント板10
のホームポジション10aという。
操作面4側近傍に配置した昇降部12のサブチャック1
1位置と、一定の距離L離れた位置に設けられている。
この距離L離れた位置を一般にプリアライメント板10
のホームポジション10aという。
【0017】上記プリアライメント板10面がLCD8
面と平行に形成されている。また上記サブチャック11
の回転中心25aが、上記プリアライメント板中心10
dが重なるように搬送可能になっている。
面と平行に形成されている。また上記サブチャック11
の回転中心25aが、上記プリアライメント板中心10
dが重なるように搬送可能になっている。
【0018】また、上記サブチャック11と上記プリア
ライメント板10の中心が重なったとき、上記サブチャ
ック11が上下動昇降の時に通過可能にさせるため、上
記プリアライメント板10の中心にはU字形溝部10b
が切欠されている。
ライメント板10の中心が重なったとき、上記サブチャ
ック11が上下動昇降の時に通過可能にさせるため、上
記プリアライメント板10の中心にはU字形溝部10b
が切欠されている。
【0019】上記検査部3について説明する。次に上記
検査部3は図2に示すように、上述したローダ部2側の
サブチャック11に載置したLCD8を検査部3の下側
に設けられた移送部14の把持装置が把持し、傾斜させ
る構造を有した回動部(図示せず)を介して、検査中心
16位置まで移動させる。移動してきたLCD8は、検
査中心16位置に配置されている支持台17に受け渡さ
れる。受け渡されたLCD8は支持台17の真空圧で吸
着されて固着される。
検査部3は図2に示すように、上述したローダ部2側の
サブチャック11に載置したLCD8を検査部3の下側
に設けられた移送部14の把持装置が把持し、傾斜させ
る構造を有した回動部(図示せず)を介して、検査中心
16位置まで移動させる。移動してきたLCD8は、検
査中心16位置に配置されている支持台17に受け渡さ
れる。受け渡されたLCD8は支持台17の真空圧で吸
着されて固着される。
【0020】上記LCD8が固着された支持台7をZ軸
方向に上昇させて、ヘッドプレート18に設けられたプ
ローブ端子電極19に上記LCD8の電極を接触させる
まで上昇させる。
方向に上昇させて、ヘッドプレート18に設けられたプ
ローブ端子電極19に上記LCD8の電極を接触させる
まで上昇させる。
【0021】上記LCD8は通電されたプローブ端子電
極19を介してLCD8の画素が支持台17の支持台面
に敷設されているバックライトと称する照明により色彩
が表示されることになる。そして、この色彩を観察手
段、例えば顕微鏡6等で観察検査するものである。
極19を介してLCD8の画素が支持台17の支持台面
に敷設されているバックライトと称する照明により色彩
が表示されることになる。そして、この色彩を観察手
段、例えば顕微鏡6等で観察検査するものである。
【0022】上記に述べたローダ部2及び検査部3の移
動駆動は、予め記憶されているプログラムに従って実行
されている。次に、本実施例、液晶表示体プローバ1に
用いた上記検査部3の特徴的構成は、図1に示す如く、
上記LCD8を上面に支持する支持台17をプローブ装
置である装置本体20に基台24を介して設ける一方、
この支持台17の移動によりLCD8の電極に接触して
通電するプローブ端子電極19を裏面に有したヘッドプ
レート18と、この時のLCD8の画素の色彩等の特性
状態をオペレータが覗いて目視観察するための観察手段
としての顕微鏡6とを、それぞれ前記基台24に支持さ
せて設け、更に、その基台24を装置本体20に対し水
平な回転軸25aを中心に起倒方向に回動せしめて前記
支持台17とプローブ端子電極19付きヘッドプレート
18と顕微鏡6との三者の傾き角度を一体的に可変調整
する傾斜駆動機構25を設けている構成である。
動駆動は、予め記憶されているプログラムに従って実行
されている。次に、本実施例、液晶表示体プローバ1に
用いた上記検査部3の特徴的構成は、図1に示す如く、
上記LCD8を上面に支持する支持台17をプローブ装
置である装置本体20に基台24を介して設ける一方、
この支持台17の移動によりLCD8の電極に接触して
通電するプローブ端子電極19を裏面に有したヘッドプ
レート18と、この時のLCD8の画素の色彩等の特性
状態をオペレータが覗いて目視観察するための観察手段
としての顕微鏡6とを、それぞれ前記基台24に支持さ
せて設け、更に、その基台24を装置本体20に対し水
平な回転軸25aを中心に起倒方向に回動せしめて前記
支持台17とプローブ端子電極19付きヘッドプレート
18と顕微鏡6との三者の傾き角度を一体的に可変調整
する傾斜駆動機構25を設けている構成である。
【0023】なお、前記基台24は、支持台17を傾斜
した基台面21に沿ってボールスクリュー22により移
動可能に支持していると共に、前記プローブ端子電極1
9付きヘッドプレート18を、該プローブ端子電極19
が支持台17上面のLCD8の電極と接触する定位置に
支持し、且つ前記観察手段としての顕微鏡6を支持台1
7上面のLCD8の表面と常に直交する方向に配する位
置に支持して、それら支持台17とプローブ端子電極1
9付きヘッドプレート18と顕微鏡6との三者の相対位
置を常に一定に保つ。
した基台面21に沿ってボールスクリュー22により移
動可能に支持していると共に、前記プローブ端子電極1
9付きヘッドプレート18を、該プローブ端子電極19
が支持台17上面のLCD8の電極と接触する定位置に
支持し、且つ前記観察手段としての顕微鏡6を支持台1
7上面のLCD8の表面と常に直交する方向に配する位
置に支持して、それら支持台17とプローブ端子電極1
9付きヘッドプレート18と顕微鏡6との三者の相対位
置を常に一定に保つ。
【0024】上記傾斜駆動機構25は、基台24の側端
部を中心として回転する駆動軸25aと、この回転軸2
5aを中心として基台24を回動させる回動部26とか
ら構成されている。
部を中心として回転する駆動軸25aと、この回転軸2
5aを中心として基台24を回動させる回動部26とか
ら構成されている。
【0025】上記回転軸25aは、液晶表示体プローバ
1の基台24部分が回動によって納まる中空部27側に
立設した軸受に軸架されている。この軸架された回転軸
25aに垂直面方向に回転自在に基台24の側端部が軸
着されている。
1の基台24部分が回動によって納まる中空部27側に
立設した軸受に軸架されている。この軸架された回転軸
25aに垂直面方向に回転自在に基台24の側端部が軸
着されている。
【0026】従って、液晶表示体プローバ1の後方に掘
り込むように設けられている中空部27の回動部26の
回転軸25aを中心に基台24が操作部4側に起上げる
ことができるようになっている。
り込むように設けられている中空部27の回動部26の
回転軸25aを中心に基台24が操作部4側に起上げる
ことができるようになっている。
【0027】上記回動部26は上記基台24の側端部が
軸着された回転軸25aからR距離、離れた位置に配設
されている。すなわち、上記基台24の側端部からR距
離、離れた位置に回動される回動片28が垂直面方向で
基台24に設けられている。
軸着された回転軸25aからR距離、離れた位置に配設
されている。すなわち、上記基台24の側端部からR距
離、離れた位置に回動される回動片28が垂直面方向で
基台24に設けられている。
【0028】上記回動片28には内接円29が設けられ
ている。この内接円に沿って内接ギア30が刻まれてい
る。この内接ギア30と噛合されるギア31が設けら
れ、このギア31が回転すると上記回動片28が従属的
に回動される。すなわち、上記回転軸25aを中心にし
て基台24が垂直面方向に回動されることになる。
ている。この内接円に沿って内接ギア30が刻まれてい
る。この内接ギア30と噛合されるギア31が設けら
れ、このギア31が回転すると上記回動片28が従属的
に回動される。すなわち、上記回転軸25aを中心にし
て基台24が垂直面方向に回動されることになる。
【0029】上記ギア31の中心には、上記基台24、
ヘッドプレート18及び顕微鏡6等の荷重をすべて回動
させることのできる駆動力を有する駆動部材(図示せ
ず)例えば電動モータ空気圧のシリンダ等を液晶表示体
プローバ1側の基体構造体に設けられている。
ヘッドプレート18及び顕微鏡6等の荷重をすべて回動
させることのできる駆動力を有する駆動部材(図示せ
ず)例えば電動モータ空気圧のシリンダ等を液晶表示体
プローバ1側の基体構造体に設けられている。
【0030】上記ギア31はウオームギアが適切である
が、限定することはない。上記ギア31と連動している
駆動部(図示せず)が非常時の安全対策として、基台2
4が回動方向に落下しても破損しないようにダンパ32
を基台24の下方に設けられている。また、上記基台2
4が非常時の安全対策として、後方をすべてカバーまた
はアミ部材33で囲むようにしても良い。
が、限定することはない。上記ギア31と連動している
駆動部(図示せず)が非常時の安全対策として、基台2
4が回動方向に落下しても破損しないようにダンパ32
を基台24の下方に設けられている。また、上記基台2
4が非常時の安全対策として、後方をすべてカバーまた
はアミ部材33で囲むようにしても良い。
【0031】上述したヘッドプレート18にプローバ端
子電極19が設けられており、このプローバ端子電極1
9がLCD8の電極と接触しているか、否かを顕微鏡6
等で観察されるように透視窓としての中空部18aが設
けられている。この中空部18aからゴミ、チリ等の粉
塵が入り込む場合、この中空部18aを覆うように透明
体または半透明体の部材18bを挿着しても良い。この
透明体は、ガラス部材であっても、ガラス部材の中心に
中心を示すマークが記載または刻まれていても良い。ま
た蝶番等の回転駆動部を設け開閉するようにしても良
い。
子電極19が設けられており、このプローバ端子電極1
9がLCD8の電極と接触しているか、否かを顕微鏡6
等で観察されるように透視窓としての中空部18aが設
けられている。この中空部18aからゴミ、チリ等の粉
塵が入り込む場合、この中空部18aを覆うように透明
体または半透明体の部材18bを挿着しても良い。この
透明体は、ガラス部材であっても、ガラス部材の中心に
中心を示すマークが記載または刻まれていても良い。ま
た蝶番等の回転駆動部を設け開閉するようにしても良
い。
【0032】次に作用について説明する。ローダ部2
で、カセット9より一枚のLCD8を取出し、これをプ
リアライメントした後にローダ部2のサブチャック11
にLCD8が受け渡され、このサブチャック11が所定
高さまで上昇する。また検査部3では移送部26に設け
られた把持装置15で上記サブチャック11の所定高さ
まで上昇して停止しているLCD8を把持して、検査中
心16まで移動し、検査中心16の支持台17に吸着し
てプローブ端子電極19を接触させたのち、通電してL
CD8の目視観察検査することになる。
で、カセット9より一枚のLCD8を取出し、これをプ
リアライメントした後にローダ部2のサブチャック11
にLCD8が受け渡され、このサブチャック11が所定
高さまで上昇する。また検査部3では移送部26に設け
られた把持装置15で上記サブチャック11の所定高さ
まで上昇して停止しているLCD8を把持して、検査中
心16まで移動し、検査中心16の支持台17に吸着し
てプローブ端子電極19を接触させたのち、通電してL
CD8の目視観察検査することになる。
【0033】本実施例の特徴的な作用は図1に示すよう
に、上記顕微鏡6でLCD8の画素状態を観察する際に
上記顕微鏡6の位置が移動させて観察する必要が生じた
ときに、例えば観察位置Aから他の観察位置Bに異った
場合に傾斜角θ°を上述したキーボード5を介して移動
情報を操作入力を行うことになる。
に、上記顕微鏡6でLCD8の画素状態を観察する際に
上記顕微鏡6の位置が移動させて観察する必要が生じた
ときに、例えば観察位置Aから他の観察位置Bに異った
場合に傾斜角θ°を上述したキーボード5を介して移動
情報を操作入力を行うことになる。
【0034】上記操作入力に従って、液晶表示体プロー
バ1は内蔵しているCPU(図示せず)が稼働し、基台
24の角度を入力情報に従って駆動することになる。上
記液晶表示体プローバ1内の基台24が操作入力に基づ
いて基台24の角度に設定することになる。上記角度設
定された状態でLCD8の表面上の画素を観察すること
になる。以上で液晶表示体プローバ1の作用についての
説明を終る。
バ1は内蔵しているCPU(図示せず)が稼働し、基台
24の角度を入力情報に従って駆動することになる。上
記液晶表示体プローバ1内の基台24が操作入力に基づ
いて基台24の角度に設定することになる。上記角度設
定された状態でLCD8の表面上の画素を観察すること
になる。以上で液晶表示体プローバ1の作用についての
説明を終る。
【0035】上述した液晶表示体プローバ1に用いてい
る支持台17に設けたバックライト機構37、及びこの
支持台17にLCD8を物理的に把持する別の構造につ
いて述べると、上記支持台17には、図3に示すように
バックライトの照明体、例えば蛍光灯34を交換可能に
設けられている。
る支持台17に設けたバックライト機構37、及びこの
支持台17にLCD8を物理的に把持する別の構造につ
いて述べると、上記支持台17には、図3に示すように
バックライトの照明体、例えば蛍光灯34を交換可能に
設けられている。
【0036】即ち、上記支持台17は、LCD8を載置
して支持する支持面17aには半透明体のスリガラス3
5が上記支持面と平坦に設けられている。さらに支持台
17の中空部36にバックライト機構37が挿着自在に
設け、照明体破損交換に対応している。
して支持する支持面17aには半透明体のスリガラス3
5が上記支持面と平坦に設けられている。さらに支持台
17の中空部36にバックライト機構37が挿着自在に
設け、照明体破損交換に対応している。
【0037】上記バックライト機構37の構成は、蛍光
灯34のソケットを台部37aに2ケ所設けられてい
る。さらに、上記台部34aが支持台17と挿着する際
に、一時固定するノッチ溝が設けられている。
灯34のソケットを台部37aに2ケ所設けられてい
る。さらに、上記台部34aが支持台17と挿着する際
に、一時固定するノッチ溝が設けられている。
【0038】また、上記支持台17の上記バックライト
機構37が挿着する孔の出口側のノッチ部材のボール部
の半分より少ない部分が突出しており、このボール部が
上記ノッチ溝にはまり込むようにして構成されている。
従って、蛍光灯34の交換はバックライト機構37のツ
マミ37bを持って孔に沿って引き出すと、ノッチ部材
のバネ37cが押されて、上記バックライト機構37が
引き抜かれ交換可能になる。ここで、上記バックライト
機構37の電流を供給するコード37dは、ツマミ37
b方向に配置した方が良い。このようにバックライト機
構37を支持台17と挿着可能に構成すると、支持台1
7の蛍光灯が破損しても支持台17全体を外して修理す
る時間より非常に早く保守が可能になる。
機構37が挿着する孔の出口側のノッチ部材のボール部
の半分より少ない部分が突出しており、このボール部が
上記ノッチ溝にはまり込むようにして構成されている。
従って、蛍光灯34の交換はバックライト機構37のツ
マミ37bを持って孔に沿って引き出すと、ノッチ部材
のバネ37cが押されて、上記バックライト機構37が
引き抜かれ交換可能になる。ここで、上記バックライト
機構37の電流を供給するコード37dは、ツマミ37
b方向に配置した方が良い。このようにバックライト機
構37を支持台17と挿着可能に構成すると、支持台1
7の蛍光灯が破損しても支持台17全体を外して修理す
る時間より非常に早く保守が可能になる。
【0039】上述した支持台17にLCD8を真空圧で
吸着しているが、真空圧を使用できない場合、または使
用したくない場合のLCD8の固定手段は例えば、図4
に示すように支持台17の側部に突出させた軸回転され
る軸受にはL形状の把持部材38が揺動自在に設けられ
ている。この部材の一端面がLCD8表面と接触するよ
うに設けられ、他端面は圧縮バネ39が落下しないよう
に設けられ、上記LCD8を押え込むように設けられて
いる。
吸着しているが、真空圧を使用できない場合、または使
用したくない場合のLCD8の固定手段は例えば、図4
に示すように支持台17の側部に突出させた軸回転され
る軸受にはL形状の把持部材38が揺動自在に設けられ
ている。この部材の一端面がLCD8表面と接触するよ
うに設けられ、他端面は圧縮バネ39が落下しないよう
に設けられ、上記LCD8を押え込むように設けられて
いる。
【0040】上記の把持部材38が支持台17の両端に
設けられ、LCD8の両端を把持するように設けられて
いる。上記に述べた把持方向を支持台17に設けても良
い。上記実施例の効果は、支持台17を傾斜された平面
と平行に移動させる基台24が角度制御されるので、こ
の基台24に設けられている顕微鏡6自身も一諸に回動
するので観察方向が常に支持面17aと直交しているの
で、角度制御後の支持面と観察方向とを合わせる必要が
ないので操作が容易になる。上記操作入力に従って自動
的に基台24の角度調整が可能なので、観察作業を短時
間で終了させることができる。
設けられ、LCD8の両端を把持するように設けられて
いる。上記に述べた把持方向を支持台17に設けても良
い。上記実施例の効果は、支持台17を傾斜された平面
と平行に移動させる基台24が角度制御されるので、こ
の基台24に設けられている顕微鏡6自身も一諸に回動
するので観察方向が常に支持面17aと直交しているの
で、角度制御後の支持面と観察方向とを合わせる必要が
ないので操作が容易になる。上記操作入力に従って自動
的に基台24の角度調整が可能なので、観察作業を短時
間で終了させることができる。
【0041】
【発明の効果】本発明によれば、バックライトされた液
晶表示体を載置面に支持し、液晶表示体の特性を目視観
察する検査装置において、カセットに収納された液晶表
示体をローダ部によって取出し、検査部に受け渡すと共
に、移送部で液晶表示体のプリアライメントを行った
後、検査部に吸着された液晶表示体をプローブ端子との
接触位置に位置合わせすることが自動的に行え、かつ液
晶表示体をプローブ端子に確実に接触させて液晶表示体
を点灯させることにより、液晶表示体の特性を正確に目
視検査することができる。
晶表示体を載置面に支持し、液晶表示体の特性を目視観
察する検査装置において、カセットに収納された液晶表
示体をローダ部によって取出し、検査部に受け渡すと共
に、移送部で液晶表示体のプリアライメントを行った
後、検査部に吸着された液晶表示体をプローブ端子との
接触位置に位置合わせすることが自動的に行え、かつ液
晶表示体をプローブ端子に確実に接触させて液晶表示体
を点灯させることにより、液晶表示体の特性を正確に目
視検査することができる。
【0042】しかも、観察する観察方向が異る時に、上
記観察方向が異った角度分だけ、上記検査部を傾斜駆動
して観察方向が液晶表示体表面を直交状態に設定駆動す
る傾斜駆動機構を設けたので、上記観察方向が異って
も、この観察方向に液晶表示体を支持する支持面が、上
記観察方向と直交するように傾斜駆動されて観察するこ
とができる。したがって、オペレータがそれぞれ自分に
合った目線高さ・方向を選択できて、楽な姿勢で液晶表
示体の画素特性を正しく観察検査できるという効果があ
る。
記観察方向が異った角度分だけ、上記検査部を傾斜駆動
して観察方向が液晶表示体表面を直交状態に設定駆動す
る傾斜駆動機構を設けたので、上記観察方向が異って
も、この観察方向に液晶表示体を支持する支持面が、上
記観察方向と直交するように傾斜駆動されて観察するこ
とができる。したがって、オペレータがそれぞれ自分に
合った目線高さ・方向を選択できて、楽な姿勢で液晶表
示体の画素特性を正しく観察検査できるという効果があ
る。
【図1】本発明の液晶表示体の検査装置の一実施例を示
す縦断側面図。
す縦断側面図。
【図2】同実施例の液晶表示体の検査装置の斜視図。
【図3】同実施例のバックライト機構の縦断側面図。
【図4】同実施例の支持台の変形例を示す縦断正面図。
【図5】同実施例の液晶表示体の検査装置の外観を示す
斜視図。
斜視図。
1…液晶表示体プローバ、2…ローダ部、3…検査部、
6…顕微鏡、7…表示装置、8…LCD、9…カセッ
ト、17…支持台、17a…支持面、18…ヘッドプレ
ート、18a…中空部、18b…透明(半透明)体、2
0…プローバ装置、24…基台、25…回動軸、25a
…回転軸、26…回動部、27…中空部、28…回動
片、29…内接円、30…内接ギア、31…ギア、34
…蛍光灯、37…バックライト機構、37a…台部。
6…顕微鏡、7…表示装置、8…LCD、9…カセッ
ト、17…支持台、17a…支持面、18…ヘッドプレ
ート、18a…中空部、18b…透明(半透明)体、2
0…プローバ装置、24…基台、25…回動軸、25a
…回転軸、26…回動部、27…中空部、28…回動
片、29…内接円、30…内接ギア、31…ギア、34
…蛍光灯、37…バックライト機構、37a…台部。
Claims (2)
- 【請求項1】 光源によって照明された載置面を有する
と共に液晶表示体を吸着する手段を有する検査部と、複
数枚の被検査液晶表示体を収納したカセットが載置され
るローダ部と、このローダ部の前記カセットから前記液
晶表示体を取出し前記検査部に受け渡す移送部と、この
移送部で前記液晶表示体のプリアライメントを行うプリ
アライメント手段と、前記検査部に吸着された液晶表示
体をプローブ端子との接触位置に位置合わせする位置合
わせ手段と、前記液晶表示体をプローブ端子に接触させ
液晶表示体を点灯させて目視検査する観察手段と、前記
検査部、位置合わせ手段および観察手段の三者の傾き角
度を一体的に可変調整する傾斜駆動機構とを具備したこ
とを特徴とする液晶表示体の検査装置。 - 【請求項2】 前記観察手段は、オペレータが目視観察
するために覗く顕微鏡又は透視窓であることを特徴とす
る請求項1記載の液晶表示体の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7098422A JP2679958B2 (ja) | 1995-04-24 | 1995-04-24 | 液晶表示体の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7098422A JP2679958B2 (ja) | 1995-04-24 | 1995-04-24 | 液晶表示体の検査装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63029793A Division JPH0627711B2 (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 | 検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0862142A JPH0862142A (ja) | 1996-03-08 |
JP2679958B2 true JP2679958B2 (ja) | 1997-11-19 |
Family
ID=14219386
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7098422A Expired - Fee Related JP2679958B2 (ja) | 1995-04-24 | 1995-04-24 | 液晶表示体の検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2679958B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100424292B1 (ko) * | 2001-04-26 | 2004-03-24 | 엘지전자 주식회사 | 검사 장비 |
KR100470099B1 (ko) * | 2002-06-17 | 2005-02-05 | 한국전기초자 주식회사 | 유리의 결함 검사장치 |
KR100606384B1 (ko) * | 2005-07-15 | 2006-08-01 | 호서대학교 산학협력단 | 액정화면의 광 반사율을 측정하는 장치 |
KR100736245B1 (ko) * | 2006-07-10 | 2007-07-06 | 호서대학교 산학협력단 | 액정화면의 광 반사율 측정시스템 및 방법 |
JP4812025B2 (ja) * | 2006-08-11 | 2011-11-09 | セイコーインスツル株式会社 | 面光源付プローブカード |
KR100876138B1 (ko) * | 2007-02-01 | 2008-12-26 | 포항공과대학교 산학협력단 | 프로브 스테이션 |
CN102323270A (zh) * | 2011-09-15 | 2012-01-18 | 天津市中环高科技有限公司 | 一种触摸屏银线印刷质量的检验方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5730200A (en) * | 1980-07-30 | 1982-02-18 | Fujitsu Ltd | Information processing system |
JPH0685409B2 (ja) * | 1985-08-30 | 1994-10-26 | キヤノン株式会社 | ウェハ搬送装置 |
JPH063476B2 (ja) * | 1985-11-11 | 1994-01-12 | シャープ株式会社 | フラツトマトリツクスデイスプレイパネル用検査装置 |
JPS62204291A (ja) * | 1986-03-05 | 1987-09-08 | 株式会社 日本マイクロニクス | 表示パネル用プロ−バ |
-
1995
- 1995-04-24 JP JP7098422A patent/JP2679958B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0862142A (ja) | 1996-03-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |