JPWO2009037754A1 - 基板搬送システム - Google Patents

Abstract

本発明は、基板を収納する第１及び第２の収納カセットと、前記第１及び第２の収納カセットの配置方向と直交する方向に前記第１及び第２の収納カセットから離間して配置され、前記基板を処理する処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムを提供する。この基板搬送システムは、複数枚の基板を同時搬送可能な同時搬送コンベアと、前記第１及び第２の収納カセットの間で前記同時搬送コンベアを移動するコンベア移動手段と、前記複数枚の基板を個別に搬送可能な個別搬送コンベアと、前記個別搬送コンベア上の前記基板と、前記処理装置との位置決めを行う位置決め手段と、を備える。

Description

本発明は、ガラス基板、液晶基板、ＰＤＰ基板等の基板を収納する収納カセットと、前記基板を処理する処理装置との間で基板を搬送する搬送システムに関する。

薄型ディスプレイ等の製造設備においては、ガラス基板等の基板は、収納カセット内に収納される。そして、基板の処理時には処理装置へ基板が搬送され、処理が終了すると再び収納カセットに収納される。このような製造設備では、収納カセットと処理装置との間で基板を搬送する搬送システムが必要となる。基板の搬送システムは、処理装置の基板の処理能力に応じた搬送能力を有していることが要求される。例えば、処理装置の基板の処理能力の方が、搬送システムの搬送能力を上回っている場合、処理装置において基板の搬送待ちの時間が生じて、製造効率が悪くなる。したがって、搬送システムの基板の搬送能力は、処理装置の基板の処理能力を上回っていることが望ましい。

日本特開２００５−６０１１０号公報には、複数の収納カセットから選択的に基板を処理装置に搬送するシステムが開示されている。このシステムでは、基板の搬送能力は収納カセットの数に依存する。したがって、例えば、一つの収納カセットと、処理装置との間で基板を搬送する場合、基板の搬送能力が処理装置の処理能力よりも劣る場合がある。

日本特開平９−１３２３０９号公報には、複数枚の基板を同時に搬送し、搬送の過程で複数枚の基板を処理するシステムが開示されている。このシステムでは、処理装置が複数枚の基板を同時に受け渡しできることが必要となる。しかし、薄型ディスプレイ等の製造設備では、基板の受け渡しを１枚ずつ行う処理装置が採用されることが多い。このシステムは、基板の受け渡しを１枚ずつ行う処理装置を採用した製造設備には適用することが難しい。また、このシステムでは、各収納カセット毎にコンベアが必要となり、コンベアの数が多くなる。

本発明の目的は、基板の受け渡しを１枚ずつ行う処理装置に対応し、コンベアの数をより少なくしながら、基板の搬送能力を向上した基板搬送システムを提供することにある。

本発明によれば、基板を収納する第１及び第２の収納カセットと、前記第１及び第２の収納カセットの配置方向と直交する方向に前記第１及び第２の収納カセットから離間して配置され、前記基板を処理する処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムであって、前記基板の搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な同時搬送コンベアと、前記第１の収納カセットとの間で前記基板の移載を行う第１の位置と、前記第２の収納カセットとの間で前記基板の移載を行う第２の位置と、の間で、前記同時搬送コンベアを前記配置方向に移動するコンベア移動手段と、前記同時搬送コンベアと前記処理装置との間に配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な個別搬送コンベアと、前記個別搬送コンベア上の前記基板と、前記処理装置との位置決めを行う位置決め手段と、を備えたことを特徴とする基板搬送システムが提供される。

本発明の基板搬送システムでは、前記同時搬送コンベアを設けたことにより、基板の搬送途中では、複数枚の基板を並列搬送することが可能であり、搬送能力を向上できる。また、前記コンベア移動手段を設けたことにより、前記第１の収納カセットと前記第２の収納カセットとで、前記同時搬送コンベアを共用できる。したがって、コンベアの数をより少なくすることができる。そして、前記個別搬送コンベア及び前記位置決め手段を設けたことにより、前記処理装置に対しては、１枚ずつ基板の受け渡しができる。したがって、基板の受け渡しを１枚ずつ行う処理装置に対応できる。

また、本発明によれば、基板を収納する第１及び第２の収納カセットと、前記第１及び第２の収納カセットの配置方向と直交する方向に前記第１及び第２の収納カセットから離間して配置され、前記基板を処理する処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムであって、前記基板の搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第１の同時搬送コンベアと、前記第１の収納カセットとの間で前記基板の移載を行う第１の位置と、前記第２の収納カセットとの間で前記基板の移載を行う第２の位置と、の間で、前記第１の同時搬送コンベアを前記配置方向に移動するコンベア移動手段と、前記第１の同時搬送コンベアと前記処理装置との間に配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な個別搬送コンベアと、前記個別搬送コンベアに対して前記搬送方向に直交する方向に並べて配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第２の同時搬送コンベアと、前記個別搬送コンベア及び前記第２の同時搬送コンベア上の前記基板を載置する載置部を有し、前記個別搬送コンベア及び前記第２の同時搬送コンベア上で前記搬送方向に直交する方向に前記基板を移動する基板移動ユニットと、前記載置部と、前記個別搬送コンベア及び前記第２の同時搬送コンベアと、を相対的に昇降する昇降ユニットと、を備えたことを特徴とする基板搬送システムが提供される。

本発明の基板搬送システムでは、前記第１の同時搬送コンベアを設けたことにより、基板の搬送途中では、複数枚の基板を並列搬送することが可能であり、搬送能力を向上できる。また、前記コンベア移動手段を設けたことにより、前記第１の収納カセットと前記第２の収納カセットとで、前記第１の同時搬送コンベアを共用できる。したがって、コンベアの数をより少なくすることができる。そして、前記個別搬送コンベア、前記基板移動ユニット及び前記昇降ユニットを設けたことにより、前記処理装置に対しては、１枚ずつ基板の受け渡しができる。したがって、基板の受け渡しを１枚ずつ行う処理装置に対応できる。

本発明の一実施形態に係る基板搬送システムＡのレイアウトを示す平面図である。 基板搬送システムＡの側面図である。 収納カセット１０の斜視図である。 各コンベア３０、３１及び３２を構成するローラコンベアユニット１００及び１１０を示す斜視図である。 収納カセット１０におけるガラス基板Ｗの収納態様及び移載コンベア３２上のガラス基板Ｗの位置の例（２例）を示す平面図である。 一対の昇降装置８０の斜視図である。 昇降装置８０の分解斜視図である。 ガラス基板Ｗを収納カセット１０から搬出する場合の、昇降装置８０による収納カセット１０の昇降動作を示す図である。 コンベア移動ユニット１の分解斜視図である。 基板搬送システムＡの制御装置２００の構成を示すブロック図である。 移載コンベア３２と同時搬送コンベア３０との間でガラス基板Ｗ１を搬送する例を示した図である。 移載コンベア３２と同時搬送コンベア３０との間でガラス基板Ｗ１を搬送する例を示した図である。 移載コンベア３２から同時搬送コンベア３０へガラス基板Ｗ１を搬送する例を示した図である。 移載コンベア３２から同時搬送コンベア３０へガラス基板Ｗ１を搬送する例を示した図である。 同時搬送コンベア３０と個別搬送コンベア３１との間でガラス基板Ｗ１を搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＢのレイアウトを示す平面図である。 同時搬送コンベア及びコンベア移動ユニットの他の例を示す平面図である。 本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＣのレイアウトを示す平面図である。 基板搬送システムＣの側面図である。 載置部材５６及び５７の斜視図である。 昇降ユニット６０の昇降動作と、これに伴う載置部材５６の昇降を示す図である。 同時搬送コンベア３０と個別搬送コンベア３１'との間でガラス基板Ｗ１を搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１'から処理装置２０へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１'から処理装置２０へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１'から処理装置２０へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１'から処理装置２０へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１'から処理装置２０へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１'から処理装置２０へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１'から処理装置２０へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１'へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１'上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ１を並べる例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１'へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１'上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ１を並べる例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１'へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１'上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ１を並べる例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１'へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１'上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ１を並べる例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１'へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１'上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ２を並べる例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１'上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ２を並べる例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１'へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１'上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ２を並べる例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１'へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１'上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ２を並べる例を示した図である。 本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＤのレイアウトを示す平面図である。 ２つの個別搬送コンベア３１'上でのガラス基板Ｗの搬送態様の説明図である。 載置部材５６及び５７の移動機構の他の例を示す図である。

＜第１実施形態＞
＜全体構成＞
図１は本発明の一実施形態に係る基板搬送システムＡのレイアウトを示す平面図、図２は基板搬送システムＡの側面図である。なお、各図において、矢印Ｘ、Ｙは相互に直交する水平方向、矢印Ｚは上下方向（鉛直方向）を示す。本実施形態の場合、基板搬送システムＡは、方形薄板状のガラス基板Ｗを収納する収納カセット１０と、ガラス基板Ｗを処理する処理装置２０（その一部のみが図示されている。）と、の間でガラス基板Ｗを搬送する。なお、ガラス基板Ｗは図２においては破線で図示し、図１においては図示を省略している。

処理装置２０は、例えば、ガラス基板の洗浄、乾燥、その他の処理を行う。処理装置２０は、その内部に複数枚のガラス基板、例えば、収納カセット１０に収納可能な数のガラス基板Ｗを収納可能である。また、処理装置２０においては、一枚ずつガラス基板Ｗの搬入、搬出がなされる。なお、本実施形態ではガラス基板を搬送対象とするが、液晶基板、ＰＤＰ基板等の他の基板にも本発明は適用可能である。

本実施形態の基板搬送システムＡは、２つの収納カセット１０と、一つの処理装置２０との間で、ガラス基板Ｗを搬送する。なお、３以上の収納カセット１０と、一つの処理装置２０との間で、ガラス基板Ｗを搬送するように構成することもできる。

２つの収納カセット１０は、Ｙ方向に離間して配置されており、これらの収納カセット１０の配置方向はＹ方向である。各収納カセット１０と処理装置２０とは、Ｘ方向に離間して配置されている。したがって、本実施形態の場合、基板搬送システムＡの基板の搬送方向はＸ方向であり、搬送方向に直交する方向はＹ方向である。

２つの収納カセット１０は、それらのガラス基板Ｗの搬入出部が＋Ｘ方向を向くように配置され、処理装置２０は、そのガラス基板Ｗの搬入出部が−Ｘ方向を向くように配置されている。

基板搬送システムＡは、同時搬送コンベア３０と、個別搬送コンベア３１と、これらのコンベア３０及び３１毎に設けられた２つのコンベア移動ユニット１と、２つの移載コンベア３２と、移載コンベア７０と、一対の昇降装置８０と、を備える。

＜収納カセット＞
図３は収納カセット１０の斜視図である。収納カセット１０はガラス基板ＷをＺ方向に多段に収納可能なカセットである。なお、図３はガラス基板Ｗが未収納の状態を示している。本実施形態の場合、収納カセット１０は複数の柱部材１１と、梁部材１２と、により略直方体形状のフレーム体をなしている。柱部材１１の配設間隔及び梁部材１２の配設間隔は、移載コンベア３２が収納カセット１０の下方から収納カセット１０内に進入できるように設定される。

柱部材１１は、Ｘ方向に複数配設されると共に、Ｙ方向に離間して同数並設されている。Ｙ方向に離間した一対の柱部材１１間には、Ｚ方向に並べて、かつ、所定のピッチでワイヤ１３が張設されている。各ワイヤ１３の上下間のスペースは、ガラス基板Ｗを収納するスロットを形成し、ガラス基板Ｗは略水平姿勢でワイヤ１３上に載置される。そして、Ｚ方向に並んだワイヤ１３の数だけ、スロットが形成される。

本実施形態の場合、一つのスロットに複数のガラス基板ＷがＹ方向に並べて収納される。しかし、複数のガラス基板ＷをＹ方向及びＸ方向に並べて収納してもよく、更に、一つのスロットに一つのガラス基板Ｗを収納するようにしてもよい。また、本実施形態ではスロットをワイヤにより形成したが、他の方式ももちろん採用可能である。但し、ワイヤの使用により、収納される基板間の間隔を小さくすることができ、収納カセット１０の収納効率を高めることができる。

＜コンベア＞
次に、同時搬送コンベア３０、個別搬送コンベア３１及び移載コンベア３２の構成について説明する。本実施形態の場合、これらのコンベアは、いずれも、複数のローラコンベアをマトリックス状に配置して構成されている。しかし、ベルトコンベア等、他の形式のコンベアを用いてもよい。

図４は、各コンベア３０、３１及び３２を構成するローラコンベアユニット１００及び１１０を示す斜視図である。同図に示すように、本実施形態では、大きさが異なる２種類のローラコンベアユニット１００及び１１０を使用することで、サイズの異なるガラス基板Ｗを同じシステムで搬送できるようにしている。

ローラコンベアユニット１００は、ガラス基板Ｗ（図４において不図示）が載置される複数のローラ１０１と、ローラ１０１の駆動装置を内蔵した駆動ボックス１０２と、ローラ１０１上のガラス基板Ｗを検出するセンサ１０３と、を備える。ローラ１０１は、Ｙ方向の回転軸回りに回転し、ガラス基板ＷをＸ方向に搬送する。

ローラコンベアユニット１１０は、ガラス基板Ｗが載置される複数のローラ１１１と、ローラ１１１の駆動装置を内蔵した駆動ボックス１１２と、ローラ１１１上のガラス基板Ｗを検出するセンサ１１３と、を備える。ローラ１１１は、Ｙ方向の回転軸回りに回転し、ガラス基板ＷをＸ方向に搬送する。ローラコンベアユニット１１０のＹ方向の幅は、ローラコンベアユニット１００のＹ方向の幅の約半分である。各ローラコンベアユニット１００及び各ローラコンベアユニット１１０はそれぞれ独立して駆動可能である。

本実施形態の場合、Ｙ方向の両端部に一つずつローラコンベアユニット１００が配置され、これらのローラコンベアユニット１００の間に２つのローラコンベアユニット１１０が配置されている。Ｙ方向に並ぶこれら４つのローラコンベアユニット１００及び１１０を、「ローラコンベアユニットの組」とも呼ぶ。図４は、「ローラコンベアユニットの組」をＸ方向に３つ並べた態様を示している。

図１及び図２を参照して、本実施形態では、同時搬送コンベア３０、個別搬送コンベア３１及び移載コンベア３２は、いずれも「ローラコンベアユニットの組」をＸ方向に３つ並べて構成されている。つまり、図４に示したローラコンベアユニット１００及び１１０の配列と同じである。

移載コンベア３２、同時搬送コンベア３０、及び、移載コンベア３２は、Ｘ方向に配置されており、これらのコンベアによりガラス基板ＷをＸ方向に連続的に搬送することが可能である。

また、同時搬送コンベア３０、個別搬送コンベア３１及び移載コンベア３２は、いずれもガラス基板Ｗの搬送方向（Ｘ方向）に直交するＹ方向に複数枚のガラス基板Ｗを並べて載置可能な幅（Ｙ方向の幅）を有している。図５は、収納カセット１０におけるガラス基板Ｗ１、Ｗ２の収納態様及び移載コンベア３２上のガラス基板Ｗ１、Ｗ２の位置の例（２例）を示す平面図である。移載コンベア３２は各収納カセット１０毎に設けられている。

図５の上の例は、収納カセット１０の各スロットに２枚のガラス基板Ｗ１を収納した例であり、移載コンベア３２は、Ｙ方向に２枚のガラス基板Ｗ１を載置可能である。図５の下の例は、収納カセット１０の各スロットに３枚のガラス基板Ｗ２を収納した例であり、移載コンベア３２は、Ｙ方向に３枚のガラス基板Ｗ２を載置可能である。ガラス基板Ｗ２は、ガラス基板Ｗ１よりもＹ方向の幅が小さいガラス基板である。

ガラス基板Ｗ１を搬送対象とした場合、移載コンベア３２と同様に、同時搬送コンベア３０及び個別搬送コンベア３１上には、Ｙ方向に２枚のガラス基板Ｗ１を載置できる。また、ガラス基板Ｗ２を搬送対象とした場合、移載コンベア３２と同様に、同時搬送コンベア３０及び個別搬送コンベア３１上には、Ｙ方向に３枚のガラス基板Ｗ２を載置できる。

図１及び図２に戻り、移載コンベア７０は単一のローラコンベアユニットから構成されたローラコンベアである。移載コンベア７０は、処理装置２０と個別搬送コンベア３１との間のガラス基板Ｗの受け渡しを行う。なお、移載コンベア７０を設けずに、個別搬送コンベア３１と処理装置２０との間で直接ガラス基板Ｗを受け渡すようにしてもよい。

＜昇降装置＞
図６は一対の昇降装置８０の斜視図、図７は昇降装置８０の分解斜視図である。本実施形態では、昇降装置８０により収納カセット１０をＺ方向に昇降することで、収納カセット１０と移載コンベア３２とをＺ方向に相対的に移動する。しかし、移載コンベア３２をＺ方向に昇降する構成としてもよい。なお、移載コンベア３２を昇降する構成とした場合は、同時搬送コンベア３０も昇降する構成とすることになる。

本実施形態の場合、昇降装置８０は収納カセット１０を挟むように収納カセット１０の互いに対向するＹ方向の両側部にそれぞれ配設され、収納カセット１０を片持ち支持する。この構成によれば、昇降装置８０をより薄型化できる。

昇降装置８０は、収納カセット１０の底部の梁部材１２が載置されるビーム部材８１を備える。各昇降装置８０の各ビーム部材８１が同期的にＺ方向に移動することで収納カセット１０が昇降される。昇降装置８０はＺ方向に延びる支柱８２を備え、支柱８２の内側表面にはＺ方向に延びる一対のレール部材８３及びラック８４が固定されている。各昇降装置８０間には、支柱８２の上端に梁部材８０ａが架設されている。

ビーム部材８１は支持板８５の一側面にブラケット８５ａを介して固定されて支持される。支持板８５の他側面にはレール部材８３に沿って移動可能な４つのスライド部材８６が固定され、ビーム部材８１及び支持板８５はレール部材８３の案内により上下に移動する。駆動ユニット８７はモータ８７ａと減速機８７ｂとから構成されており、支持板８８の一側面に固定されて支持されている。減速機８７ｂの出力軸は支持板８８を貫通して支持板８８の他側面に配設されたピニオン８９ａに接続されている。

支持板８５と支持板８８とは所定の間隔を置いて相互に固定され、支持板８５と支持板８８との空隙にはピニオン８９ｂ乃至８９ｄが配設されている。ピニオン８９ｂ乃至８９ｄは支持板８５と支持板８８との間で回転可能に軸支され、ピニオン８９ｂ及びピニオン８９ｃは、ピニオン８９ａの回転に従動して回転する。ピニオン８９ｄはピニオン８９ｃの回転に従動して回転する。ピニオン８９ｂ乃至８９ｄは相互に同じ仕様のピニオンであり、２つのピニオン８９ｂ及び８９ｄは各ラック８４と噛み合っている。

しかして、駆動ユニット８７を駆動するとピニオン８９ａが回転し、その駆動力により、駆動ユニット８７、支持板８５及び８８、スライド部材８６、及び、ビーム部材８１が一体となって上方又は下方へ移動することになり、ビーム部材８１上に載置された収納カセット１０を昇降することができる。各昇降装置８０には、互いのビーム部材８１の昇降高さのずれを検出するセンサ８１ａがビーム部材８１の端部に設けられている。

センサ８１ａは例えば発光部と受光部とを備えた光センサであり、図６に示すように相互に光をＹ方向に照射してこれを受光したか否かを判定する。受光した場合は互いのビーム部材８１の昇降高さのずれがないことになり、受光しない場合は昇降高さにずれがあることになる。昇降高さのずれがセンサ８１ａで検出されると、モータ８７ａの制御によりずれが解消されるよう制御される。センサ８１ａを設けてビーム部材８１の昇降高さのずれを制御することで、昇降時に収納カセット１０が傾くことを防止し、収納カセット１０をより安定して昇降することができる。

なお、各ビーム部材８１に設けられる２つのセンサ８１ａは、その一方が発光部と受光部とのいずれか一方を、その他方が発光部と受光部との他方を、有する構成としてもよい。また、光センサに限られず、他のセンサも採用可能である。

図８はガラス基板Ｗを収納カセット１０から搬出する場合の、昇降装置８０（図８においては不図示）による収納カセット１０の昇降動作を示す図である。ガラス基板Ｗの搬出は、ガラス基板Ｗが収納されたスロットのうち、最下方のスロットに収納されたガラス基板Ｗから順番に行う。

まず、図８の左上図に示すように、移載コンベア３２の上方に収納カセット１０が位置した状態から、昇降装置８０により収納カセット１０を降下させ、図８の右上図に示すように、移載コンベア３２上に、搬送対象のガラス基板Ｗを載置する。このとき、移載コンベア３２は収納カセット１０内に下方から進入し、搬送対象のガラス基板Ｗは収納カセット１０のワイヤ１３から浮いた状態となり、移載コンベア３２のみによって支持された状態となる。続いて移載コンベア３２を駆動して、図８の左下図に示すように、搬送対象のガラス基板Ｗを収納カセット１０から搬出する。以下、同様に、収納カセット１０の降下と移載コンベア３２の駆動とを繰り返し（図８の右下図）、下方側から順番にガラス基板Ｗを搬出することになる。

ガラス基板Ｗを収納カセット１０へ搬入する場合は、上述した搬出時の動作と概ね逆の動作となる。ガラス基板Ｗの搬入は、ガラス基板Ｗが収納されていないスロットのうち、最下方のスロットから順番に行う。

＜コンベア移動ユニット＞
コンベア移動ユニット１は、同時搬送コンベア３０と、個別搬送コンベア３１と、にそれぞれ設けられ、同時搬送コンベア３０と個別搬送コンベア３１とをＹ方向に移動する。同時搬送コンベア３０を移動するコンベア移動ユニット１は、同時搬送コンベア３０と２つの収納カセット１０との間の位置決めを行う。個別搬送コンベア３１を移動するコンベア移動ユニット１は、個別搬送コンベア３１と処理装置２０との間の位置決めを行う。更に、各コンベア移動ユニット１は、同時搬送コンベア３０と個別搬送コンベア３１との間の位置決めを行う。

図９は、コンベア移動ユニット１の分解斜視図である。コンベア移動ユニット１は、同時搬送コンベア３０又は個別搬送コンベア３１が搭載される支持板２を備える。支持板２の下面には、一対のレール部材５上を摺動する複数のスライド部材２ｂが設けられている。一対のレール部材５は、Ｘ方向に離間させて平行に設けられ、それぞれＹ方向に延びている。支持板２は、スライド部材２ｂがレール部材５に案内されることにより、Ｙ方向に移動可能である。

一対のレール部材５間にはＹ方向に離間して複数の梁部材６が架設されており、これらの梁部材６上によりラック７が下方から支持されている。ラック７はＹ方向に延びており、その側面に歯型７ｂを有しており、その上面には、支持板２のＹ方向の位置を検出するためのマーク帯７ａを有している。

支持板２には、開口部２ａが設けられている。開口部２ａにはモータ３が挿入される。モータ３には取付板３ａが設けられており、取付板３ａを介してモータ３が支持板２に固定される。モータ３の出力軸には、ラック７の歯型７ｂと噛合するピニオン３ｂが取り付けられている。また、取付板３ａの下面にはマーク帯７ａ上の個々のマークを検出するセンサ４が設けられている。センサ４は例えば光センサである。

このようなラック−ピニオン機構を有するコンベア移動ユニット１は、モータ３を駆動することにより、支持板２がレール部材５上を移動し、同時搬送コンベア３０、個別搬送コンベア３１をＹ方向に移動することができる。また、センサ４がマーク帯７ａ上のマークを検出することで、同時搬送コンベア３０、個別搬送コンベア３１のＹ方向の位置を特定することができる。

なお、本実施形態では、同時搬送コンベア３０及び個別搬送コンベア３１を移動する機構として、ラック−ピニオン機構を用いたが、ベルト伝動機構、リニアモータ等、他の機構も採用可能である。また、個別搬送コンベア３１のＹ方向の位置の特定も、センサ４とマーク帯７ａの組み合わせ以外に、他の位置検出手段（例えばモータ３の回転量を検出するエンコーダ）を用いることもできる。

＜制御装置＞
図１０は基板搬送システムＡの制御装置２００の構成を示すブロック図である。制御装置２００は基板搬送システムＡの全体の制御を司るＣＰＵ２０１と、ＣＰＵ２０１のワークエリアを提供すると共に、可変データ等が記憶されるＲＡＭ２０２と、制御プログラム、制御データ等の固定的なデータが記憶されるＲＯＭ２０３と、を備える。ＲＡＭ２０２、ＲＯＭ２０３は他の記憶手段を採用可能である。

入力インターフェース（Ｉ／Ｆ）２０４は、ＣＰＵ２０１と各種のセンサ（例えば、センサ４、８１ａ等）とのインターフェースであり、入力Ｉ／Ｆ２０４を介してＣＰＵ２０１は各種のセンサの検出結果を取得する。出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）２０５は、ＣＰＵ２０１と各種のモータ（例えば、モータ３、８７ａ、駆動ボックス１０２、１１２内のモータ等）とのインターフェースであり、出力Ｉ／Ｆ２０５を介してＣＰＵ２０１は各種のモータを制御する。

通信インターフェース（Ｉ／Ｆ）２０６は、基板搬送システムＡを含む基板処理設備全体を制御するホストコンピュータ３００とＣＰＵ２０１とのインターフェースであり、ＣＰＵ２０１はホストコンピュータ３００からの指令に応じて基板搬送システムＡを制御することになる。

＜基板搬送システムＡによる基板の搬送例＞
＜同時搬送コンベアの搬送例＞
図１１及び図１２は移載コンベア３２と同時搬送コンベア３０との間でガラス基板Ｗ１を搬送する例を示した図である。各「ローラコンベアユニットの組」を同期的に駆動することで、Ｙ方向に複数枚のガラス基板Ｗ１を並べて同時にＸ方向に搬送することができる。なお、ここではガラス基板Ｗ１を例に挙げるが、ガラス基板Ｗ２についても同様である。

図１１は、２つの収納カセット１０のうち、一方の収納カセット１０と同時搬送コンベア３０との間で複数のガラス基板Ｗ１を同時に移載する例を示している。この場合、まず、コンベア移動ユニット１により、同時搬送コンベア３０を、一方の収納カセット１０とガラス基板Ｗ１の移載を行う位置に移動する。具体的には、同時搬送コンベア３０及び移載コンベア３２の各ローラコンベアユニット１００及び１１０がＸ方向に連続するように、同時搬送コンベア３０を所定の位置に移動する。その後、同時搬送コンベア３０及び移載コンベア３２の各ローラコンベアユニット１００及び１１０を駆動することで、複数枚のガラス基板Ｗを同時に移載できる。

図１２は、２つの収納カセット１０のうち、他方の収納カセット１０と同時搬送コンベア３０との間で複数のガラス基板Ｗ１を同時に移載する例を示している。この場合も、まず、コンベア移動ユニット１により、同時搬送コンベア３０を、他方の収納カセット１０とガラス基板Ｗ１の移載を行う位置に移動し、その後、同時搬送コンベア３０及び移載コンベア３２の各ローラコンベアユニット１００及び１１０を駆動することで、複数枚のガラス基板Ｗ１を同時に移載できる。

本実施形態では、このように、同時搬送コンベア３０と移載コンベア３２との間で、Ｙ方向に複数枚のガラス基板を並べて同時に搬送することができ、収納カセット１０に対するガラス基板の搬出、搬入の効率を向上できる。

本実施形態では、同時搬送コンベア３０と移載コンベア３２とを、独立して駆動される複数のローラコンベアユニット１００及び１１０から構成したが、Ｙ方向に複数枚のガラス基板を並べて同時に搬送するだけであれば、移載コンベア７０のように単一のローラコンベアユニットにより同時搬送コンベア３０、移載コンベア３２をそれぞれ構成することもできる。

但し、本実施形態のように、同時搬送コンベア３０と移載コンベア３２とを、独立して駆動される複数のローラコンベアユニット１００及び１１０から構成することで、搬送態様のバリエーションが増えるという利点がある。例えば、ガラス基板を一枚ずつ搬送する搬送態様も選択的に採用できる。また、例えば、＋Ｙ側においてはガラス基板を＋Ｘ方向に、−Ｙ側においてはガラス基板を−Ｘ方向に、というように、複数のガラス基板を互いに逆向きに搬送する搬送態様も選択的に採用できる。

図１３及び図１４は、移載コンベア３２と同時搬送コンベア３０との間でガラス基板Ｗ１を１枚ずつ搬送する例を示した図である。図１３は、移載コンベア３２から１枚目のガラス基板Ｗ１が同時搬送コンベア３０に搬送される状態を示す。この状態から、図１４に示すようにコンベア移動ユニット１により、同時搬送コンベア３０を＋Ｙ方向に所定量移動して停止し、２枚目のガラス基板Ｗ１を同時搬送コンベア３０に搬送する。

この場合、ローラコンベアユニット１００及び１１０は、ガラス基板のサイズ、搬送位置に応じて選択的に駆動される。例えば、図１３の状態では、移載コンベア３２及び同時搬送コンベア３０のローラコンベアユニット１００及び１１０のうち、＋Ｙ方向側の半分のローラコンベアユニット１００及び１１０が駆動される。図１４の状態では、移載コンベア３２のローラコンベアユニット１００及び１１０のうち、＋Ｙ方向側の半分のローラコンベアユニット１００及び１１０が駆動され、同時搬送コンベア３０のローラコンベアユニット１００及び１１０のうち、−Ｙ方向側の半分のローラコンベアユニット１００及び１１０が駆動される。また、図１３の状態から図１４の状態へ至る、同時搬送コンベア３０の移動量もガラス基板の大きさ、搬送位置に応じて設定される。

このようにすることで、移載コンベア３２と同時搬送コンベア３０との間ではガラス基板Ｗ１を１枚ずつ搬送することができる。このため、例えば、移載コンベア３２がガラス基板を１枚ずつしか搬送できず、収納カセット１０の各スロットに１枚ずつしかガラス基板を収納できない場合であっても、本実施形態の基板搬送システムＡを適用できる。

＜同時搬送コンベアと個別搬送コンベアとの間のガラス基板の搬送例＞
図１５は、同時搬送コンベア３０と個別搬送コンベア３１との間でガラス基板Ｗ１を搬送する例を示した図である。なお、ここではガラス基板Ｗ１を例に挙げるが、ガラス基板Ｗ２についても同様である。

同時搬送コンベア３０と個別搬送コンベア３１との間でガラス基板Ｗ１を搬送する場合、少なくともいずれか一方のコンベア移動ユニット１を移動させて、同時搬送コンベア３０と個別搬送コンベア３１との位置決めを行う。具体的には、同時搬送コンベア３０及び個別搬送コンベア３１の各ローラコンベアユニット１００及び１１０がＸ方向に連続するように、同時搬送コンベア３０又は個別搬送コンベア３１のいずれか一方を所定の位置に移動する。その後、図１５に示すように、同時搬送コンベア３０及び個別搬送コンベア３１の各ローラコンベアユニット１００及び１１０を駆動することで、複数枚のガラス基板Ｗ１を同時に搬送できる。

このように、本実施形態では、複数枚のガラス基板を、同時搬送コンベア３０によって、並列搬送することが可能である。つまり、Ｙ方向に複数枚のガラス基板を並べて、これらのガラス基板を同時搬送することが可能である。これにより、収納カセット１０と処理装置２０との間でのガラス基板の搬送における搬送能力を向上することができる。また、コンベア移動ユニット１を設け、２つの収納カセット１０で同時搬送コンベア３０を共用したことにより、コンベアの数をより少なくすることができる。

なお、本実施形態では、同時搬送コンベア３０とコンベア移動ユニット１とにより、個別搬送コンベア３１を介さずに、２つの収納カセット１０間でガラス基板を移し変えることもできる。その際、複数枚のガラス基板を同時に搬送できるので、ガラス基板の移し変えを迅速にできる。

＜個別搬送コンベアの搬送例＞
本実施形態の場合、処理装置２０はガラス基板を１枚ずつ搬入、搬出する。したがって、同時搬送コンベア３０から個別搬送コンベア３１へ同時に搬送された複数枚のガラス基板を、個別搬送コンベア３１から処理装置２０に搬送する際は、搬送枚数を複数枚から一枚に変換する必要がある。個別搬送コンベア３１とコンベア移動ユニット１とは、この搬送枚数の変換を行う。これにより、処理装置２０に対しては、１枚ずつガラス基板の受け渡しができる。

図１６乃至図１８は、個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送する例を示した図である。図１６は、個別搬送コンベア３１上に２枚のガラス基板Ｗ１が載置されている状態を示す。この状態で、いずれか一方のガラス基板Ｗ１と処理装置２０との位置決め、つまり、ガラス基板Ｗ１と処理装置２０の搬入出位置との位置合わせを行う。本実施形態の場合、処理装置２０のＹ方向中央部分が、ガラス基板Ｗ１の搬入出位置である場合を想定する。

本実施形態の場合、この位置決めはコンベア移動ユニット１が行う。図１６に示すように、ガラス基板Ｗ１と処理装置２０との位置決めが終了すると個別搬送コンベア３１と移載コンベア７０とを駆動して、図１７に示すように１枚目のガラス基板Ｗ１を処理装置２０へ搬送する。その際、個別搬送コンベア３１の各ローラコンベアユニット１００及び１１０は、ガラス基板Ｗ１のサイズ及び個別搬送コンベア３１上の位置に応じて選択的に駆動される。図１７の例の場合、−Ｙ側の半分のローラコンベアユニット１００及び１１０が駆動される。

続いて、２枚目のガラス基板Ｗ１を１枚目のガラス基板Ｗ１と同様の手順で搬送する。図１８に示すように、コンベア移動ユニット１により個別搬送コンベア３１を−Ｙ方向に移動して、２枚目のガラス基板と処理装置２０との位置決めを行い、位置決め終了後に個別搬送コンベア３１と移載コンベア７０とを駆動して、図１８に示すように２枚目のガラス基板Ｗ１を処理装置２０へ搬送する。

図１９乃至図２１は、個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送する例を示した図である。個別搬送コンベア３１はガラス基板Ｗ２を３枚載置できる幅を有しており、処理装置２０へ３回に分けてガラス基板Ｗ２を搬入することになる。

図１９は、コンベア移動ユニット１により１枚目のガラス基板Ｗ２と処理装置２０との位置決めを行った後、１枚目のガラス基板Ｗ２が処理装置２０へ搬入される状態を示す。この場合、個別搬送コンベア３１の各ローラコンベアユニット１００及び１１０のうち、＋Ｙ側の３つのローラコンベアユニット１００のみが駆動される。

図２０は、コンベア移動ユニット１により２枚目のガラス基板Ｗ２と処理装置２０との位置決めを行った後、２枚目のガラス基板Ｗ２が処理装置２０へ搬入される状態を示す。この場合、個別搬送コンベア３１の各ローラコンベアユニット１００及び１１０のうち、Ｙ方向中央の６つのローラコンベアユニット１１０のみが駆動される。

図１９は、コンベア移動ユニット１により３枚目のガラス基板Ｗ２と処理装置２０との位置決めを行った後、３枚目のガラス基板Ｗ２が処理装置２０へ搬入される状態を示す。この場合、個別搬送コンベア３１の各ローラコンベアユニット１００及び１１０のうち、−Ｙ側の３つのローラコンベアユニット１００のみが駆動される。

このようにして本実施形態では、１枚ずつガラス基板を処理装置２０へ搬入できる。処理装置２０から個別搬送コンベア３１へガラス基板を搬出する場合は、搬入時と略逆の手順となる。

＜ガラス基板のサイズの特定＞
本実施形態では、上記の通り、サイズが異なるガラス基板Ｗ１及びＷ２の搬送を行うことができる。これは、ガラス基板のサイズ、及び、搬送する位置に応じて、個別搬送コンベア３１を構成するローラコンベアユニット１００及び１１０を選択的に駆動すること、及び、コンベア移動ユニット１を駆動すること、により実現している。サイズが異なるガラス基板の搬送を行う場合、そのガラス基板のサイズを特定し、制御装置２００の制御上、サイズを設定する必要がある。

ガラス基板のサイズを設定する第１の方法は、各収納カセット１０には、同じサイズのガラス基板のみ収納するようにし、制御装置２００の制御上、ガラス基板のサイズを設定する。この場合、基板搬送システムＡ上を搬送されるガラス基板は全て同じサイズのガラス基板であることが前提となる。

ガラス基板のサイズを設定する第２の方法は、ガラス基板のサイズを逐一検出し、制御装置２００の制御上、ガラス基板のサイズを個別に設定する。この場合、基板搬送システムＡ上を搬送されるガラス基板を全て同じサイズのガラス基板としなくてもよく、例えば、収納カセット１０の各スロット毎に異なるサイズのガラス基板を収納しておくことも可能となる。また、異なるサイズのガラス基板を一つのスロット内に収納しておくことも可能となる。ガラス基板のサイズを検出するセンサは、例えば、同時搬送コンベア３０、個別搬送コンベア３１及び移載コンベア３２、７０に配設することができる。

＜第２実施形態＞
上記第１実施形態では、同時搬送コンベア３０と個別搬送コンベア３１との間で、直接ガラス基板を搬送するようにしたが、これらの間に別のコンベアを介在させてもよい。図２２は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＢのレイアウトを示す平面図である。同図において、基板搬送システムＡと同じ構成については、同じ参照番号を付して説明を省略し、異なる構成についてのみ説明する。

基板搬送システムＢでは、同時搬送コンベア３０と個別搬送コンベア３１との間に、中間コンベア３００が配設されている。同図の例では、２つの中間コンベア３００がＹ方向に離間して配置されている。中間コンベア３００は、複数のローラコンベアユニット１００及び１１０から構成され、それらの配列は、同時搬送コンベア３０、個別搬送コンベア３１並びに移載コンベア３２と同じである。本実施形態の場合、同時搬送コンベア３０と個別搬送コンベア３１との間でのガラス基板の搬送は、中間コンベア３００を経由して行うことになる。

本実施形態の場合、コンベアの数は上記第１実施形態よりも増加する。しかし、中間コンベア３００を設けることで、処理装置２０に対するガラス基板の搬送待ちが生じないようにすることができる。

＜第３実施形態＞
上記第１実施形態では、同時搬送コンベア３０の幅を、Ｙ方向に複数枚のガラス基板が載置可能な幅に構成したが、Ｙ方向のみならず、Ｘ方向にも複数枚のガラス基板が載置可能な長さを有するように構成することもできる。本実施形態は、Ｙ方向のみならずＸ方向にも複数枚のガラス基板を載置可能とすべく、同時搬送コンベア３１の幅及び長さを構成したものである。図２３は、上述した同時搬送コンベア３０に代わる同時搬送コンベア３０'の平面図である。

同時搬送コンベア３０'は、「ローラコンベアユニットの組」をＸ方向に６つ並べて構成されており、ガラス基板Ｗ（図２３において不図示）の搬送方向（Ｘ方向）に複数枚のガラス基板Ｗを並べて載置可能な長さ（Ｘ方向の長さ）を有している。本実施形態の場合、ローラコンベアユニットの数は増加するが、同時搬送コンベア３０'上に、より多数のガラス基板を載置できるようにすることで、処理装置２０に対するガラス基板の搬送待ちが生じないようにすることができる。また、１回の搬送枚数を増加でき、搬送能力を向上できる。

＜第４実施形態＞
上記第１実施形態では、個別搬送コンベア３１上のガラス基板と処理装置２０との位置決めを、個別搬送コンベア３１をＹ方向に移動することにより行ったが、個別搬送コンベア３１は固定として、個別搬送コンベア３１上でガラス基板をＹ方向に移動することで、その位置決めを行うようにしてもよい。

図２４は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＣのレイアウトを示す平面図、図２５は基板搬送システムＣの側面図である。これらの図において、基板搬送システムＡと同じ構成については、同じ参照番号を付して説明を省略し、異なる構成についてのみ説明する。

本実施形態の場合、上述した個別搬送コンベア３１に代えて個別搬送コンベア３１'が採用される。個別搬送コンベア３１'は「ローラコンベアユニットの組」をＸ方向に６つ並べて構成したものであり、それ以外は個別搬送コンベア３１と同じである。

本実施形態の場合、個別搬送コンベア３１'は処理装置２０の前面に固定して設けており、これを移動させるコンベア移動ユニット１は存在しない。コンベア移動ユニット１に代えて、個別搬送コンベア３１'上でガラス基板をＹ方向に移動させる基板移動ユニット５０及び昇降ユニット６０を備える。

図２４及び図２５を参照して、基板移動ユニット５０は、個別搬送コンベア３１'のＹ方向両側にそれぞれ設けられたベース部材５１を備える。各ベース部材５１上には、モータ５２と、モータ５２により回転駆動される一対の駆動プーリ５３と、一対の従動プーリ５４と、が搭載されている。駆動プーリ５３と従動プーリ５４との組は合計４組あり、各組の駆動プーリ５３と従動プーリ５４との間にはベルト５５が巻き回されている。モータ５２を駆動することで駆動プーリ５３が回転し、ベルト５５が走行する。

ベルト５５は、個別搬送コンベア３１をＹ方向に跨って延びており、２本ずつ、互いに隣接する「ローラコンベアユニットの組」の間の空間を通過している。各ベルト５５上には、載置部材５６又は５７が固定されている。図２６は載置部材５６及び５７の斜視図である。載置部材５６及び５７は、ベルト５５と略同幅の板状の部材上に半球状の突起５６ａ、５７ａが形成されたものである。載置部材５６の＋Ｙ側の端部には突起５６ａよりも突出した、直方体形状の位置決め部材５６ｂが形成され、載置部材５７の−Ｙ側の端部には突起５７ａよりも突出した、直方体形状の位置決め部材５７ｂが形成されている。

載置部材５６及び５７は、個別搬送コンベア３１'上のガラス基板Ｗを載置する載置部として機能し、ガラス基板Ｗを下側から支持する。載置部材５６及び５７はベルト５５の走行によって、Ｙ方向に移動する。ガラス基板Ｗは突起５６ａ、５７ａ上に載置される。突起５６ａ、５７ａを半球状とすることで、ガラス基板Ｗと突起５６ａ、５７ａとの接触面積を小さくし、ガラス基板Ｗに傷が付くことを低減する。

位置決め部材５６ｂ及び５７ｂは、その側面がガラス基板Ｗの端縁に当接することで、ガラス基板Ｗの位置決め（ガラス基板Ｗの向き及び位置の調整）を行う。本実施形態の場合、４本のベルト５５上に、載置部材５６又は５７のいずれかがそれぞれ１つずつ設けられているため、位置決め部材５６ｂ及び５７ｂは合計４つあり、Ｘ方向及びＹ方向に離間した４箇所でガラス基板Ｗの位置決めを行う。

次に、図２５を参照して昇降ユニット６０について説明する。昇降ユニット６０は、各ベース部材５１毎に、各ベース部材５１の下方に配設されている。したがって、本実施形態の場合、昇降ユニット６０は個別搬送コンベア３１'のＹ方向両側にそれぞれ設けられ、合計２つ設けられている。

各昇降ユニット６０はベース部材６１を備える。ベース部材６１上には、複数の支柱６２が立設されており、支柱６２はベース部材５１を支持する。支柱６２は、例えば、シリンダと、ロッドとから構成され、Ｚ方向に伸縮可能である。ベース部材６１上には、モータ６３と、モータ６３の駆動により回動する一対のカム板６４が搭載されている。カム板６４のカム面は、ベース部材５１の下面に当接しており、その回動によりベース部材５１が昇降される。ベース部材５１の昇降に伴い、支柱６２が伸縮される。

本実施形態では、２つの昇降ユニット６０による昇降動作を同期的に行うことで、基板移動ユニット５０が昇降される。これにより、載置部材５６及び５７と、個別搬送コンベア３１'とを相対的にＺ方向に移動する。しかし、個別搬送コンベア３１'をＺ方向に昇降させることにより、載置部材５６及び５７と個別搬送コンベア３１とを相対的にＺ方向に移動するようにしてもよい。

図２７は、昇降ユニット６０（図２７において要部のみ示す）の昇降動作と、これに伴う載置部材５６の昇降を示す図である。なお、載置部材５７の昇降も同様である。昇降ユニット６０は、載置部材５６を下降位置と上昇位置との２つの位置の間で、昇降させる。

図２７の左側は、載置部材５６が下降位置にある場合を示している。この場合、昇降ユニット６０は、カム板６４の頂部がＹ方向を向いた状態にある。載置部材５６は、個別搬送コンベア３１'を構成するローラコンベアユニット１００のローラ１０１が、ガラス基板Ｗを搬送する搬送高さＬよりも低い位置にある。

図２７の右側は、載置部材５６が上昇位置にある場合を示している。この場合、昇降ユニット６０は、カム板６４の頂部が＋Ｚ方向を向いた状態にある。すなわち、図２７の左側に示した状態からモータ６３の駆動によりカム板６４が９０度回動され、ベース部材５１が押し上げられている。これにより基板移動ユニット５０が上昇する。載置部材５６の突出部５６ａは搬送高さＬよりも高い位置にある。ガラス基板Ｗはローラ１０１から離れて突出部５６ａ上に載置されている。なお、ベルト５５は、搬送高さＬよりも低い位置にある。

個別搬送コンベア３１'上のガラス基板Ｗを、基板移動ユニット５０によりＹ方向に移動する際、ガラス基板Ｗは載置部材５６と載置部材５７の双方に載置される。そして、載置部材５６と載置部材５７とを互いに逆方向（互いに近づく方向）に移動させることで位置決め部材５６ｂ及び５７ｂにより、ガラス基板Ｗを狭持する。例えば、図２７の右側の状態において、位置決め部材５６ｂを−Ｙ方向に移動し、位置決め部材５６ｂをガラス基板Ｗの端縁に当接させる。その際、ガラス基板Ｗは突起５６ａ上を滑動することになる。

位置決め部材５６ｂ及び５７ｂにより、ガラス基板Ｗを狭持することで、ガラス基板Ｗの向きが調整（規定）される。これにより、搬送の過程でガラス基板Ｗの向きが傾いた場合に、向きの補正を行うことができる。続いて、載置部材５６と載置部材５７とを互いに同方向に移動させることで、ガラス基板Ｗは位置決め部材５６ｂ及び５７ｂにより狭持されたまま、Ｙ方向に移動することになる。

＜個別搬送コンベアの搬送例＞
本実施形態では、個別搬送コンベア３１'、基板移動ユニット５０及び昇降ユニット６０が、基板の搬送枚数の変換を行う。これにより、処理装置２０に対しては、１枚ずつガラス基板の受け渡しができる。

＜処理装置へのガラス基板の搬入＞
図２９乃至図３１は、個別搬送コンベア３１'から処理装置２０へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送する例を示した図である。図２９の上側は、ガラス基板Ｗ１が２枚同時に個別搬送コンベア３１'上に搬送された態様を示す。２枚のガラス基板Ｗ１は、−Ｘ側の３つの「ローラコンベアユニットの組」上に載置されている。

この状態から、２枚のガラス基板Ｗ１のうちの一方のガラス基板Ｗ１を、図２９の下側に示すように＋Ｘ方向に搬送する。その際、各ローラコンベアユニット１００及び１１０はガラス基板Ｗ１のサイズに応じて選択的に駆動される。例えば、図２９の上側の態様から下側の態様へガラス基板Ｗ１を搬送する場合、＋Ｙ側に位置する６つのローラコンベアユニット１００及び６つのローラコンベアユニット１１０が駆動される。

続いて、ガラス基板Ｗ１を処理装置２０の搬入出位置に対応した位置に、Ｙ方向に移動する。このため、まず、図３０の上側に示すように、下降位置にある載置部材５６及び５７を、ガラス基板Ｗ１の端縁近傍に位置させる。載置部材５６は、ガラス基板Ｗ１の＋Ｙ方向側の端縁近傍に、載置部材５７はガラス基板Ｗ１の−Ｙ方向側の端縁近傍に位置させる。このとき、複数の突起５６ａ及び５７ａの一部は、ガラス基板Ｗ１の下方に位置させ、位置決め部材５６ｂ及び５７ｂはガラス基板Ｗ１の下方に位置させないようにする。

続いて、昇降ユニット６０（不図示）の駆動により、載置部材５６及び５７を上昇位置へ上昇させる。これにより、ガラス基板Ｗ１はローラ１０１及び１１１から離れて載置部材５６及び５７上に位置した状態となる（図２７の右側の態様）。載置部材５６及び５７を上昇位置へ上昇させた後、載置部材５６を−Ｙ方向に、載置部材５７を＋Ｙ方向に移動することで、位置決め部材５６ｂと位置決め部材５７ｂとでガラス基板Ｗ１を狭持する（図３０の下側の態様）。これにより、ガラス基板Ｗ１の向きが調整される。なお、このとき、位置決め部材５６ｂ及び位置決め部材５７ｂの側面（ガラス基板Ｗ１の端縁に当接する面）の間隔は、ガラス基板Ｗ１の幅と略同じか若干広めとすることが望ましい。

続いて、載置部材５６及び５７をＹ方向に互いに同方向に移動して、処理装置２０の搬入出位置に対応した位置までガラス基板Ｗ１を搬送する（図３１の上側の図）。これにより、処理装置２０に対するガラス基板Ｗ１の位置決めがなされる。本実施形態の場合、処理装置２０の搬入出位置に対応した位置を、個別搬送コンベア３１'のＹ方向の略中央としている。しかし、個別搬送コンベア３１'の端部としてもよい。
続いて、昇降ユニット６０（不図示）の駆動により、載置部材５６及び５７を下降位置に下降させる。そして、図３１の下側に示すように、ガラス基板Ｗ１の下方に位置する６つのローラコンベアユニット１１０と、移載コンベア７０とを駆動して、ガラス基板Ｗ１を処理装置２０へ搬送する。

個別搬送コンベア３１'上に残っている他方のガラス基板Ｗ１も同様にして処理装置２０へ搬送する。このようにして、ガラス基板Ｗ１は一枚ずつ、処理装置２０へ搬送することができる。

図５の下図に示したガラス基板Ｗ２を処理装置２０へ搬入する場合も、同様の手順を採用することができるが、図３２乃至図３５に示す手順も採用できる。図３２乃至図３５は個別搬送コンベア３１'から処理装置２０へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送する例を示した図である。

図３２の上側は、ガラス基板Ｗ２が３枚同時に個別搬送コンベア３１'上に搬送された態様を示す。３枚のガラス基板Ｗ２は、−Ｘ側の３つの「ローラコンベアユニットの組」上に載置されている。この状態から、３枚のガラス基板Ｗ２を、図３２の下側に示すように＋Ｘ方向に同時に搬送する。

続いて、中央のガラス基板Ｗ２を処理装置２０の搬入出位置に対応した位置に位置決めする。このため、下降位置にある載置部材５６及び５７を、中央のガラス基板Ｗ２の端縁近傍に位置させた後、上昇位置に上昇させて中央のガラス基板Ｗ２を載置部材５６及び５７により載置する。そして、図３３の上側に示すように、載置部材５６を−Ｙ方向に、載置部材５７を＋Ｙ方向に移動することで、位置決め部材５６ｂと位置決め部材５７ｂとでガラス基板Ｗ２を狭持し、ガラス基板Ｗ２の位置決めを行う。

次に、昇降ユニット６０（不図示）の駆動により、載置部材５６及び５７を下降位置に下降させる。そして、図３３の下側に示すように、ガラス基板Ｗ２の下方に位置する６つのローラコンベアユニット１１０と、移載コンベア７０とを駆動して、ガラス基板Ｗ２を処理装置２０へ搬送する。

次に、個別搬送コンベア３１上に残っている２枚のガラス基板Ｗ２を順次処理装置２０へ搬送する。まず、一方のガラス基板Ｗ２を、載置部材５６及び５７上に載置し、位置決め部材５６ｂ及び５７ｂで狭持して図３４の上側に示すように、処理装置２０の搬入出位置に対応した位置に移動する。その後、図３４の下側に示すように、ガラス基板Ｗ２の下方に位置する６つのローラコンベアユニット１１０と、移載コンベア７０とを駆動して、ガラス基板Ｗ２を処理装置２０へ搬送する。

続いて、個別搬送コンベア３１上に残っている１枚のガラス基板Ｗ２を処理装置２０へ搬送する。まず、ガラス基板Ｗ２を、載置部材５６及び５７上に載置し、位置決め部材５６ｂ及び５７ｂで狭持して図３５の上側に示すように、処理装置２０の搬入出位置に対応した位置に移動する。その後、図３５の下側に示すように、ガラス基板Ｗ２の下方に位置する６つのローラコンベアユニット１１０と、移載コンベア７０とを駆動して、ガラス基板Ｗ２を処理装置２０へ搬送する。

＜処理装置からのガラス基板の搬出＞
図３６乃至図３９は、処理装置２０から個別搬送コンベア３１'へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１'上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ１を並べる例を示した図である。

図３６の上側は、１枚目のガラス基板Ｗ１が処理装置２０から搬出された態様を示す。この場合、移載コンベア７０と、個別搬送コンベア３１'の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０と、を駆動して、ガラス基板Ｗ１を個別搬送コンベア３１'の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０上に位置させる。

続いて、ガラス基板Ｗ１をＹ方向に移動する。このため、まず、図３６の下側に示すように、下降位置にある載置部材５６及び５７を、ガラス基板Ｗ１の端縁近傍に位置させる。そして、昇降ユニット６０（不図示）の駆動により、載置部材５６及び５７を上昇位置へ上昇させる。これにより、ガラス基板Ｗ１はローラ１０１及び１１１から離れて載置部材５６及び５７上に位置した状態となる。載置部材５６及び５７を上昇位置へ上昇させた後、載置部材５６を−Ｙ方向に、載置部材５７を＋Ｙ方向に移動することで、位置決め部材５６ｂと位置決め部材５７ｂとでガラス基板Ｗ１を狭持する（図３７の上側の態様）。これにより、ガラス基板Ｗ１の向きが調整される。

続いて、載置部材５６及び５７をＹ方向に互いに同方向に移動して、ガラス基板Ｗ１をＹ方向に移動する。ガラス基板Ｗ１は、そのサイズに応じて、複数のガラス基板Ｗ１を並列搬送可能な位置に移動する。図３７の下側に示す例では、ガラス基板Ｗ１を＋Ｙ方向に移動し、個別搬送コンベア３１'の＋Ｙ方向の端部に移動している。

続いて、昇降ユニット６０（不図示）の駆動により、載置部材５６及び５７を下降位置に下降させる。そして、図３８の上側に示すようにガラス基板Ｗ１を−Ｘ方向に移動し、ガラス基板Ｗ１を個別搬送コンベア３１'の−Ｘ側でかつ＋Ｙ側に位置する３つのローラコンベアユニット１００及び３つのローラコンベアユニット１１０上に位置させる。この移動の際には、＋Ｙ側に位置する６のローラコンベアユニット１００及び６つのローラコンベアユニット１１０を駆動する。

次に、図３８の下側に示すように、２枚目のガラス基板Ｗ１が処理装置２０から搬出される。１枚目のガラス基板Ｗ１の搬送と同様に、移載コンベア７０と、個別搬送コンベア３１'の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０と、を駆動して、２枚目のガラス基板Ｗ１を個別搬送コンベア３１'の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０上に位置させる。

続いて、昇降ユニット６０（不図示）及び基板移動ユニット５０の駆動により、２枚目のガラス基板Ｗ１をＹ方向に移動する。２枚目のガラス基板Ｗ１は、図３９の上側に示すように、１枚目のガラス基板Ｗ１と反対方向（−Ｙ方向）に移動する。続いて、２枚目のガラス基板Ｗ１を−Ｘ方向に移動し、ガラス基板Ｗ１を個別搬送コンベア３１'の−Ｘ側でかつ−Ｙ側に位置する３つのローラコンベアユニット１００及び３つのローラコンベアユニット１１０上に位置させる。これにより、２枚のガラス基板Ｗ１が、個別搬送コンベア３１'上で、Ｙ方向に並べて載置された状態となる。その後、同時搬送コンベア３０に２枚のガラス基板Ｗ１が同時に搬送されることになる。

図５の下図に示したガラス基板Ｗ２を処理装置２０から搬出する場合も、同様の手順を採用することができるが、図４０乃至図４３に示す手順も採用できる。図４０乃至図４３は、処理装置２０から個別搬送コンベア３１'へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１'上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ２を並べる例を示した図である。

まず、図４０の上側に示すように、１枚目のガラス基板Ｗ２が処理装置２０から搬出される。この場合、移載コンベア７０と、個別搬送コンベア３１'の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０と、を駆動して、１枚目のガラス基板Ｗ２を個別搬送コンベア３１'の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０上に位置させる。

続いて、昇降ユニット６０（不図示）及び基板移動ユニット５０の駆動により、図４０の下側に示すように、１枚目のガラス基板Ｗ２の向きを調整する。そして、図４１の上側に示すように、基板移動ユニット５０の駆動により、ガラス基板Ｗ２をＹ方向に移動する。図４１の上側の例ではガラス基板Ｗ２を＋Ｙ方向に移動して、３つのローラコンベアユニット１００上に１枚目のガラス基板Ｗ２を位置させている。

次に、図４１の下側に示すように、２枚目のガラス基板Ｗ２が処理装置２０から搬出される。１枚目のガラス基板Ｗ２の搬送と同様に、移載コンベア７０と、個別搬送コンベア３１'の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０と、を駆動して、２枚目のガラス基板Ｗ２を個別搬送コンベア３１'の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０上に位置させる。

続いて、昇降ユニット６０（不図示）及び基板移動ユニット５０の駆動により、図４２の上側に示すように、２枚目のガラス基板Ｗ２の向きを調整する。そして、図４２の下側に示すように、基板移動ユニット５０の駆動により、２枚目のガラス基板Ｗ２をＹ方向に移動する。図４２の下側の例ではガラス基板Ｗ２を−Ｙ方向に移動して、３つのローラコンベアユニット１００上に２枚目のガラス基板Ｗ２を位置させている。

次に、図４３の上側に示すように、３枚目のガラス基板Ｗ２が処理装置２０から搬出される。１枚目及び２枚目のガラス基板Ｗ２の搬送と同様に、移載コンベア７０と、個別搬送コンベア３１'の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０と、を駆動して、３枚目のガラス基板Ｗ２を個別搬送コンベア３１'の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０上に位置させる。

続いて、昇降ユニット６０（不図示）及び基板移動ユニット５０の駆動により、図４３の下側に示すように、３枚目のガラス基板Ｗ２の向きを調整する。これにより、３枚のガラス基板Ｗ２が、個別搬送コンベア３１'上で、Ｙ方向に並べて載置された状態となる。３枚のガラス基板Ｗ２は、＋Ｘ側の３つの「ローラコンベアユニットの組」上に載置されている。その後、３枚のガラス基板Ｗ２は、−Ｘ側の３つの「ローラコンベアユニットの組」を経由して、同時搬送コンベア３０に同時に搬送されることになる。

＜ガラス基板のサイズの特定＞
本実施形態では、上記の通り、サイズが異なるガラス基板Ｗ１及びＷ２の搬送を行うことができる。これは、ガラス基板のサイズ、及び、搬送する位置に応じて、個別搬送コンベア３１'を構成するローラコンベアユニット１００及び１１０を選択的に駆動すること、及び、基板移動ユニット５０を駆動すること、により実現している。サイズが異なるガラス基板の搬送を行う場合、そのガラス基板のサイズを特定し、制御装置２００の制御上、サイズを設定する必要がある。

ガラス基板のサイズを設定する第１の方法は、一つの収納カセット１０には、同じサイズのガラス基板のみ収納するようにし、収納カセット１０単位で、制御装置２００の制御上、ガラス基板のサイズを設定する。この場合、基板搬送システムＡ上を搬送されるガラス基板は全て同じサイズのガラス基板であることが前提となる。

ガラス基板のサイズを設定する第２の方法は、個別搬送コンベア３１'において、ガラス基板のサイズを逐一検出し、制御装置２００の制御上、ガラス基板のサイズを個別に設定する。この場合、基板搬送システムＡ上を搬送されるガラス基板を全て同じサイズのガラス基板としなくてもよく、例えば、収納カセット１０の各スロット毎に異なるサイズのガラス基板を収納しておくことも可能となる。また、異なるサイズのガラス基板を一つのスロット内に収納しておくことも可能となる。

ガラス基板のサイズを検出するセンサは、個別搬送コンベア３１'のＸ方向の両端部に設けることができる。例えば、図２４に示すようにセンサ９０、９１を設けることができる。センサ９０は、処理装置２０から搬出されるガラス基板のサイズを検出する。図２４において、センサ９０はＹ方向に離間して一対設けられており、ガラス基板Ｗ１が搬出された場合は、双方がＯＮとなり、ガラス基板Ｗ２が搬出された場合は、一方のみがＯＮ又は双方がＯＦＦとなる。センサ９１は、同時搬送コンベア３０から個別搬送コンベア３１'へ搬送されるガラス基板のサイズを検出する。センサ９１もＹ方向に離間して一対設けられており、ガラス基板Ｗ１が搬送された場合は、双方がＯＮとなり、ガラス基板Ｗ２が搬送された場合は、一方のみがＯＮ又は双方がＯＦＦとなる。

＜第５実施形態＞
上記第４実施形態では、個別搬送コンベア３１'を一つとしたが、各収納カセット１０毎に個別搬送コンベア３１'を設けてもよい。図４４は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＤのレイアウトを示す平面図である。同図において、基板搬送システムＣと同じ構成については、同じ参照番号を付して説明を省略し、異なる構成についてのみ説明する。

基板搬送システムＤでは、個別搬送コンベア３１'がＹ方向に離間して２つ設けられている。各個別搬送コンベア３１'は、各収納カセット１０毎に設けられており、各移載コンベア３２からＸ方向に離間した位置に配置されている。

基板移動ユニット５０は、２つの個別搬送コンベア３１'に跨って配置されている。すなわち、一対のベース部材５１の間に２つの個別搬送コンベア３１'が配置され、各ベルト５５は、２つの個別搬送コンベア３１'を横断している。これにより、各ベルト５５上に固定された合計４つの載置部材５６及び５７は、２つの個別搬送コンベア３１'上を移動できる。なお、各ベース部材５１の下方には、不図示の昇降ユニット６０が配設される。

基板搬送システムＤにおいて、基板移動ユニット５０は、１つの個別搬送コンベア３１'上でＹ方向にガラス基板を移動するだけでなく、２つの個別搬送コンベア３１'、３１'間でガラス基板をＹ方向に移動する。図４５は、２つの個別搬送コンベア３１'上でのガラス基板Ｗの搬送態様の説明図である。

同図に示すように、個別搬送コンベア３１'は、ガラス基板ＷをＸ方向に搬送し、基板移動ユニット５０は、ガラス基板ＷをＹ方向に移動する。基板移動ユニット５０は、個別搬送コンベア３１'、３１'間でもガラス基板Ｗを移動する。個別搬送コンベア３１'上での搬送枚数の変換は、上記第４実施形態と同様である。

本実施形態では、基板移動ユニット５０が２つの個別搬送コンベア３１'に跨って設けられ、個別搬送コンベア３１'、３１'間でガラス基板Ｗを移動させることで、処理装置２０と、２つの収納カセット１０との間でそれぞれガラス基板Ｗを搬送することができ、ガラス基板Ｗの搬送能力を更に向上できる。

なお、本実施形態では、収納カセット１０を２つとし、これに伴って個別搬送コンベア３１'を２つとしたが、収納カセット１０及び個別搬送コンベア３１’を３つ以上設けてもよい。この場合、基板移動ユニット５０は、各個別搬送コンベア３１’に跨ってガラス基板Ｗを移動するようにすることができる。

なお、以上説明した第５実施形態に記載の基板搬送システムＤについては、２つの個別搬送コンベア３１’のうち、処理装置２０に隣接しない、＋Ｙ側の個別搬送コンベア３１は必ずしもガラス基板を個別搬送することは要求されない。したがって、＋Ｙ側の個別搬送コンベア３１’に代えて、複数枚のガラス基板Ｗを並列搬送可能な幅を有するが、ガラス基板Ｗを個別搬送する機能を有しないコンベア（同時搬送コンベアとしてのみ機能するコンベア）とすることができる。この場合、そのコンベアは、単一のローラコンベアユニットから構成しても、Ｘ方向に並べた複数のローラコンベアユニットから構成してもよい。

＜第６実施形態＞
上記第４及び第５実施形態では、基板移動ユニット５０の載置部材５６及び５７をベルト伝動機構により移動する構成としたが、他の機構も採用できる。図４６は、載置部材５６及び５７の移動機構の他の例を示す図である。図４６の移動機構は、ボールねじ機構を用いたものである。Ｙ方向には、レール部材５０１、ボールねじ５０２が配設され、これらが載置部材５６及び５７の移動軌道を規定する。ボールねじ５０２には、ボールナット５０３が螺合すると共に、ボールナット５０３はレール部材５０１上を摺動可能になっている。載置部材５６及び５７はボールナット５０３上に固定されている。

しかして、ボールねじ５０２を不図示のモータにより回転することにより、載置部材５６及び５７がＹ方向に移動する。この他にも、リニアモータを用いた移動機構も採用可能である。

また、上記第４及び第５実施形態では、昇降ユニット６０が基板移動ユニット５０全体を昇降する構成としたが、載置部材５６及び５７が昇降できればよい。例えば、図４６に示す移動機構の例において、載置部材５６及び５７とボールナット５０３との間にＺ方向に伸縮するアクチュエータを設けて、載置部材５６及び５７を昇降するように構成してもよい。

Claims (10)

1. 基板を収納する第１及び第２の収納カセットと、前記第１及び第２の収納カセットの配置方向と直交する方向に前記第１及び第２の収納カセットから離間して配置され、前記基板を処理する処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムであって、
   前記基板の搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な同時搬送コンベアと、
   前記第１の収納カセットとの間で前記基板の移載を行う第１の位置と、前記第２の収納カセットとの間で前記基板の移載を行う第２の位置と、の間で、前記同時搬送コンベアを前記配置方向に移動するコンベア移動手段と、
   前記同時搬送コンベアと前記処理装置との間に配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な個別搬送コンベアと、
   前記個別搬送コンベア上の前記基板と、前記処理装置との位置決めを行う位置決め手段と、
   を備えたことを特徴とする基板搬送システム。
2. 前記位置決め手段は、前記個別搬送コンベアを前記配置方向に移動することにより、前記基板と前記処理装置との位置決めを行うことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
3. 前記位置決め手段は、
   前記個別搬送コンベア上の前記基板を載置する載置部を有し、前記個別搬送コンベア上で前記搬送方向に直交する方向に前記基板を移動する基板移動ユニットと、
   前記載置部と前記個別搬送コンベアとを相対的に昇降する昇降ユニットと、
   を備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
4. 前記第１の収納カセットの下部に配置され、前記第１の収納カセットに収納された基板を載置して前記搬送方向に搬送する第１の移載コンベアと、
   前記第２の収納カセットの下部に配置され、前記第２の収納カセットに収納された基板を載置して前記搬送方向に搬送する第２の移載コンベアと、
   前記第１の収納カセットと前記第１の移載コンベアとを相対的に昇降する第１の昇降装置と、
   前記第２の収納カセットと前記第２の移載コンベアとを相対的に昇降する第２の昇降装置と、
   を更に備え、
   前記第１及び第２の収納カセットは、前記基板を収納するスロットを上下方向に複数備え、
   各スロットには前記搬送方向と直交する方向に前記複数枚の前記基板を収納可能であり、
   前記第１及び第２の移載コンベアは、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
5. 前記個別搬送コンベアは、前記基板のサイズに応じて選択的に駆動される複数のコンベアユニットを備え、
   前記基板移動ユニットは、前記基板のサイズに応じた位置に前記基板を移動することを特徴とする請求項３に記載の基板搬送システム。
6. 前記同時搬送コンベアが、前記搬送方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な長さを有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
7. 前記同時搬送コンベア及び前記個別搬送コンベアが複数のローラコンベアユニットにより構成されることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
8. 前記１及び第２の移載コンベアが複数のローラコンベアユニットにより構成されることを特徴とする請求項４に記載の基板搬送システム。
9. 前記第１及び第２の収納カセットは、それらの前記基板の搬入出部が前記搬送方向の一方方向を向くように配置され、
   前記処理装置は、その前記基板の搬入出部が前記搬送方向の他方向を向くように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
10. 基板を収納する第１及び第２の収納カセットと、前記第１及び第２の収納カセットの配置方向と直交する方向に前記第１及び第２の収納カセットから離間して配置され、前記基板を処理する処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムであって、
    前記基板の搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第１の同時搬送コンベアと、
    前記第１の収納カセットとの間で前記基板の移載を行う第１の位置と、前記第２の収納カセットとの間で前記基板の移載を行う第２の位置と、の間で、前記第１の同時搬送コンベアを前記配置方向に移動するコンベア移動手段と、
    前記第１の同時搬送コンベアと前記処理装置との間に配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な個別搬送コンベアと、
    前記個別搬送コンベアに対して前記搬送方向に直交する方向に並べて配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第２の同時搬送コンベアと、
    前記個別搬送コンベア及び前記第２の同時搬送コンベア上の前記基板を載置する載置部を有し、前記個別搬送コンベア及び前記第２の同時搬送コンベア上で前記搬送方向に直交する方向に前記基板を移動する基板移動ユニットと、
    前記載置部と、前記個別搬送コンベア及び前記第２の同時搬送コンベアと、を相対的に昇降する昇降ユニットと、
    を備えたことを特徴とする基板搬送システム。

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