JP4564084B2 - 搬送システム - Google Patents

Description

本発明は、基板等の搬送対象物を搬送するシステムに関する。

薄型ディスプレイの製造において使用されるガラス基板に代表される基板は一般に収納カセットの各スロットに一枚ずつ基板が収納され、一つの収納カセットには複数枚の基板が収納される。そして、その基板の処理時には一枚ずつ収納カセットから基板が取り出されて基板処理装置へ搬送され、処理後には基板処理装置から再び収納カセットへ搬入される。この種の設備の場合、収納カセットと処理装置との間で基板を搬送する搬送システムが必要となる。

ここで、ローラコンベアやベルトコンベア等により基板を搬送する設備においては、基板に対する各ローラ或いはベルトの接触状態が必ずしも均一ではないため、搬送途中において徐々に基板が傾いてしまう場合がある。特に搬送方向と直交する方向に長い幅の基板を搬送する場合は、搬送姿勢の変化（搬送方向に対する基板の傾き）が大きくなる。このように搬送姿勢が変化した状態で搬送を行うと、収納カセットや処理装置に基板を搬入或いは搬出する場合に、基板の搬送が円滑に行われない場合がある。このため、基板の搬送姿勢を修正するために基板の位置決めが必要となる。また、近年では、複数種類のサイズの基板を、同じ搬送システム上で搬送することが要求されている。このため、基板の位置決めは異なるサイズの基板に対応したものであることが必要とされる。

特許文献１及び２は、位置決め用の突起を設けたベルトコンベアを一対並設し、一方のベルトコンベアの突起が基板の前辺に、他方のベルトコンベアの突起が基板の後辺に、それぞれ当接するようにし、各突起で基板を狭持しつつ搬送するシステムが開示されている。

特開平８−２６４３７号公報 特開平１１−５９８４７号公報

しかし、特許文献１及び２のシステムでは、ベルトコンベアが基板の搬送と、突起の移動とを兼ねている。このため、一対のベルトコンベアが１つの基板を搬送する間、一対のベルトコンベアがその基板の搬送に専有され、後続の別の基板を連続的に搬送できない。

従って、本発明の目的は、サイズの異なる搬送対象物の位置決めをし、かつ、複数の搬送対象物を連続的に搬送可能な搬送システムを提供することにある。

本発明によれば、水平な搬送軌道上で予め定めた搬送方向に搬送対象物を搬送する搬送手段と、前記搬送方向と直交する水平方向に互いに離間した複数の第１位置決め部にそれぞれ設けられ、前記搬送軌道上に位置して前記搬送対象物の前記水平方向の一方側部に当接する第１当接位置と、前記搬送軌道上に位置しない第１待機位置と、の間で移動可能に設けられた第１当接部材と、前記水平方向に互いに離間した複数の第２位置決め部にそれぞれ設けられ、前記搬送軌道上に位置して前記搬送対象物の前記水平方向の他方側部に当接する第２当接位置と、前記搬送軌道上に位置しない第２待機位置と、の間で移動可能に設けられた第２当接部材と、前記搬送手段が搬送する前記搬送対象物のサイズに応じて、前記複数の第１位置決め部のうち、前記第１当接部材を前記第１当接位置に移動させる前記第１位置決め部、及び、前記複数の第２位置決め部のうち、前記第２当接部材を前記第２当接位置に移動させる前記第２位置決め部、を選択する選択手段と、前記選択手段が選択した前記第１位置決め部に設けた前記第１当接部材を前記第１当接位置に移動させる第１移動手段と、前記選択手段が選択した前記第２位置決め部に設けた前記第２当接部材を前記第２当接位置に移動させる第２移動手段と、全ての前記第１当接部材を前記水平方向に移動する第３移動手段と、を備えたことを特徴とする搬送システムが提供される。

本発明の搬送システムでは、搬送対象物のサイズに応じて、前記第１当接部材を前記第１当接位置に移動させる前記第１位置決め部、及び、前記第２当接部材を前記第２当接位置に移動させる前記第２位置決め部、を選択し、それぞれ前記第１当接位置、前記第２当接位置へ移動させる。その後、前記第１当接部材を前記水平方向に移動することで、前記搬送対象物の位置決めがなされる。

搬送対象物のサイズに応じて前記第１当接部材を前記第１当接位置に移動させる前記第１位置決め部、及び、前記第２当接部材を前記第２当接位置に移動させる前記第２位置決め部、を選択することでサイズの異なる搬送対象物の位置決めを行うことができる。また、前記搬送手段により搬送対象物を搬送し、前記当接位置と前記待機位置との間の前記第１及び第２当接部材の移動及び前記第１当接部材の前記水平方向の移動は、前記第１乃至第３移動手段で行うことで、前記搬送手段によって、複数の搬送対象物を連続的に搬送することができる。

本発明においては、前記水平方向に延設され、全ての前記第１当接部材を支持する支持部材を備え、前記第３移動手段は、前記支持部材を前記水平方向に移動するようにしてもよい。

また、本発明においては、前記第３移動手段は、前記支持部材と連結された連結部と、前記連結部を前記水平方向にスライドする駆動手段と、を備えてもよい。

また、本発明においては、前記第１及び第２待機位置が、前記搬送軌道よりも下方の位置であり、前記搬送手段は、前記搬送方向に互いに離間した複数の搬送装置を備え、互いに隣接する前記搬送装置間の隙間のうち、第１の隙間に前記第１当接部材が、前記第１の隙間とは異なる第２の隙間に前記第２当接部材が、それぞれ配置されてもよい。

また、本発明においては、前記搬送装置は、前記水平方向に配列された複数の搬送ユニットを備えてもよい。

また、本発明においては、前記第１及び第２待機位置が、前記搬送軌道よりも下方の位置であり、前記第１移動手段は、前記水平方向に延設され、各々の前記第１位置決め部毎に、１又は複数の前記第１当接部材が径方向に突出して設けられた第１支持軸と、前記第１支持軸をその軸心回りに回転させ、前記第１当接部材を前記第１当接位置と前記第１待機位置との間で移動させる第１駆動手段と、を備え、前記第２移動手段は、前記水平方向に延設され、各々の前記第２位置決め部毎に、１又は複数の前記第２当接部材が径方向に突出して設けられた第２支持軸と、前記第２支持軸をその軸心回りに回転させ、前記第２当接部材を前記第２当接位置と前記第２待機位置との間で移動させる第２駆動手段と、を備え、前記第１当接部材は、前記第１支持軸の回転角度により、前記第１当接部材が前記第１当接位置となる前記第１位置決め部が異なるように前記第１支持軸に設けられ、前記第２当接部材は、前記第２支持軸の回転角度により、前記第２当接部材が前記第２当接位置となる前記第２位置決め部が異なるように前記第２支持軸に設けられてもよい。

また、本発明においては、前記第１及び第２待機位置が、前記搬送軌道よりも下方の位置であり、前記第１移動手段は、各々の前記第１位置決め部毎に設けられ、前記第１当接部材を前記第１当接位置と前記第１待機位置との間で昇降する第１昇降手段であり、前記第２移動手段は、各々の前記第２位置決め部毎に設けられ、前記第２当接部材を前記第２当接位置と前記第２待機位置との間で昇降する第２昇降手段であってもよい。

また、本発明においては、前記第２位置決め部が前記搬送方向に離間して２列設定され、前記第１位置決め部が前記２列の前記第２位置決め部の間に設定されてもよい。

また、本発明においては、前記搬送対象物が基板であり、前記第１位置決め部と、前記第２位置決め部と、の配置の組合せが、前記搬送手段が搬送可能な最大の幅を有する第１の基板を位置決めする場合に対応した配置の組合せと、
前記第１の基板よりも幅が狭い第２の基板を前記水平方向に複数並べて位置決めする場合に対応した配置の組合せと、を含んでもよい。

また、本発明においては、前記第１位置決め部と、前記第２位置決め部と、の配置の組合せが、更に、前記第２の基板よりも幅が狭い第３の基板を前記水平方向に複数並べて位置決めする場合に対応した配置の組合せと、前記第２の基板と前記第３の基板とを前記水平方向に並べてそれぞれ位置決めする場合に対応した配置の組合せと、を含んでもよい。

また、本発明においては、前記搬送対象物が基板であり、前記搬送手段の前記搬送方向の一方端部側に配置され、前記基板を処理する処理装置と、前記搬送手段の前記搬送方向の他方端部側に配置され、前記基板を収納する収納カセットと、前記搬送手段と連続し、かつ、前記収納カセットの下部に配置され、前記収納カセットと前記搬送手段との間で前記基板を搬送するコンベアと、を備えてもよい。

また、本発明においては、前記搬送対象物が基板であり、前記搬送手段の前記搬送方向の一方端部側に配置され、前記基板を処理する処理装置と、前記搬送手段の前記搬送方向の他方端部側に配置され、前記基板を収納する第１収納カセットと、前記基板を収納する第２収納カセットと、前記搬送手段と連続し、かつ、前記第１収納カセットの下部に配置され、前記第１収納カセットと前記搬送手段との間で前記基板を搬送する第１コンベアと、少なくとも前記第２収納カセットの下部に配置された第２コンベアと、前記第１及び第２当接部材、及び、前記第１乃至第３移動手段と共に、前記搬送手段の一部を、前記第２コンベアと連続する位置に移動する第４移動手段と、を備えてもよい。

また、本発明においては、前記第２収納カセットが、前記第１収納カセットに対して、前記搬送方向と直交する方向に配置され、前記第４移動手段は、前記搬送手段の前記一部を前記搬送方向と直交する方向に移動するようにしてもよい。

また、本発明においては、前記搬送対象物が基板であり、前記搬送手段の前記搬送方向の一方端部側に配置され、前記基板を処理する処理装置と、前記搬送手段の前記搬送方向の他方端部側に配置され、前記基板を収納する第１収納カセットと、前記第１収納カセットに対して、前記搬送方向と直交する方向に配置され、前記基板を収納する第２収納カセットと、前記搬送手段と連続し、かつ、前記第１収納カセットの下部に配置され、前記第１収納カセットと前記搬送手段との間で前記基板を搬送する第１コンベアと、少なくとも前記第２収納カセットの下部に配置された第２コンベアと、前記搬送手段の第１部分を、前記搬送方向と直交する方向に、前記第２コンベアと連続する位置に移動する第４移動手段と、前記搬送手段の前記第１部分と前記搬送方向に連続した、前記搬送手段の第２の部分を、前記搬送方向と直交する方向に、移動する第５移動手段と、を備え、前記第１部分及び前記第２部分にそれぞれ、前記第１及び第２当接部材、及び、前記第１乃至第３移動手段が設けられ、前記第４及び第５移動手段は、それぞれ、前記第１部分及び前記第２部分と共に、前記第１及び第２当接部材、及び、前記第１乃至第３移動手段を移動するようにしてもよい。

以上述べた通り、本発明によれば、サイズの異なる搬送対象物の位置決めをし、かつ、複数の搬送対象物を連続的に搬送可能な搬送システムを提供することができる。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。

＜第１実施形態＞
＜全体構成＞
図１は本発明の一実施形態に係る搬送システムＡのレイアウトを示す平面図、図２は搬送システムＡの側面図である。なお、各図において、矢印Ｘ、Ｙは相互に直交する水平方向、矢印Ｚは上下方向（鉛直方向）を示す。本実施形態の場合、搬送システムＡは、後述する３種類のガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３（総称する場合はガラス基板Ｗという。）を、収納カセット１０と不図示の処理装置との間で搬送する。処理装置は、例えば、ガラス基板Ｗの洗浄、乾燥、その他の処理を行う。なお、本実施形態ではガラス基板を搬送対象物とするが、液晶基板、ＰＤＰ基板等の他の基板、ダンボール等、各種の板状物或いはその他の物の搬送に本発明は適用可能である。

搬送システムＡは、主搬送装置１００と、主搬送装置１００に連続して配置された移載コンベア２００と、移載コンベア２００上で収納カセット１０を昇降する一対の昇降装置２０と、主搬送装置１００に設けられた位置決め装置１４０と、主搬送装置１００に連続して配置されたコンベア３０と、を備える。

本実施形態の場合、ガラス基板Ｗの搬送方向はＸ方向であり、搬送方向に直交する方向はＹ方向である。不図示の処理装置は、主搬送装置１００の＋Ｘ側に配置され、コンベア３０は、主搬送装置１００と不図示の処理装置との間に介在して、これらの間でガラス基板Ｗの搬送を行う。収納カセット１０は、主搬送装置１００の−Ｘ側に配置され、移載コンベア２００及び一対の昇降装置２０は、収納カセット１０から主搬送装置１００へのガラス基板Ｗの搬出、及び、主搬送装置１００から収納カセット１０へのガラス基板Ｗの搬入を行う。

＜主搬送装置１００＞
主搬送装置１００は、Ｘ方向に互いに離間した複数の搬送装置１１０を備える。本実施形態の場合、搬送装置１１０はＸ方向に８つ配置されている。図３は搬送装置１１０の斜視図である。搬送装置１１０は、Ｙ方向に配列された合計４つのローラコンベアユニット１２０及び１３０を備える。本実施形態の場合、ローラコンベアユニット１２０がＹ方向両端部にそれぞれ１つ、ローラコンベアユニット１３０が２つのローラコンベアユニット１２０の間に２つ配置されている。

このように、主搬送装置１００は、複数のローラコンベアユニット１２０及び１３０をマトリックス状に配置して構成されている。本実施形態では、主搬送装置１００をローラコンベアとしているが、ベルトコンベア等、他の形式のコンベアを用いてもよい。

ローラコンベアユニット１２０は、ガラス基板Ｗが載置される複数のローラ１２１と、ローラ１２１の駆動装置を内蔵した駆動ボックス１２２と、ローラ１２１上のガラス基板Ｗを検出するセンサ１２３と、を備える。センサ１２３はローラコンベアユニット１２０のＸ方向の両端部に１つずつ配置されている。ローラ１２１は、Ｙ方向に延びた軸を回転軸とし、その回転軸を中心に回転し、ガラス基板ＷをＸ方向に搬送する。

ローラコンベアユニット１３０は、ガラス基板Ｗが載置される複数のローラ１３１と、ローラ１３１の駆動装置を内蔵した駆動ボックス１３２と、ローラ１３１上のガラス基板Ｗを検出するセンサ１３３と、を備える。センサ１３３はローラコンベアユニット１２０のＸ方向の両端部に１つずつ配置されている。ローラ１３１は、Ｙ方向に延びた軸を回転軸とし、その回転軸を中心に回転し、ガラス基板ＷをＸ方向に搬送する。

ローラコンベアユニット１３０のＹ方向の幅は、ローラコンベアユニット１２０のＹ方向の幅の約半分である。各ローラコンベアユニット１２０及び各ローラコンベアユニット１３０はそれぞれ独立して駆動可能である。

ローラコンベアユニット１２０及び１３０は、ローラ１２１、１３１の数が異なる２種類のユニットが用いられている。図１に示すように、位置決め装置１４０の近傍においては、５列のローラ１２１、１３１を有するものと、３列のローラ１２１、１３１を有するものがあり、その他は４列のローラ１２１、１３１を有している。しかしながら、ローラの列数は全て同じとしてもよい。

また、コンベア３０近傍の搬送装置１１０には図１及び図３に示すように、ガラス基板Ｗを検出するセンサ１１１が配設されている。これらは処理装置（不図示）から主搬送装置１００へ搬出されるガラス基板Ｗの種類を判別するために用いられる。

図４（Ａ）乃至（Ｄ）は、主搬送装置１００によるガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３の搬送態様の例を示す図である。主搬送装置１００は、サイズの異なるガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３を搬送することを想定している。

ガラス基板Ｗ１は最もサイズが大きなガラス基板であり、主搬送装置１００により搬送可能な最大の幅（Ｙ方向の幅）を有しており、図４（Ａ）に示すように一枚ずつ搬送される。ガラス基板Ｗ２は、ガラス基板Ｗ１よりもＹ方向の幅が狭く、ガラス基板Ｗ１のＹ方向の幅の半分よりも若干短い幅を有している。ガラス基板Ｗ２は図４（Ｂ）に示すように、Ｙ方向に２枚並べて同時に搬送可能である。

ガラス基板Ｗ３は、ガラス基板Ｗ２よりもＸ方向及びＹ方向の双方の幅が狭く、ガラス基板Ｗ２のＸ方向及びＹ方向の各幅の半分よりも若干短い各幅を有している。ガラス基板Ｗ３は図４（Ｃ）に示すように、Ｙ方向に４枚並べて同時に搬送可能である。

また、主搬送装置１００は、サイズの異なるガラス基板ＷをＹ方向に並べて同時に搬送することも可能であり、図４（Ｄ）の例では、ガラス基板Ｗ２を１枚、ガラス基板Ｗ３をＹ方向に２枚、Ｘ方向に２枚並べて同時に搬送する態様を示している。

＜移載コンベア２００及びコンベア３０＞
移載コンベア２００は、本実施形態の場合、主搬送装置１００と同様の構成であり、マトリックス状に配置された合計４０個のローラコンベアユニット１２０及び１３０を備える。ローラコンベアユニット１２０及び１３０のローラの列数は３列としている。また、コンベア３０は単一のローラコンベアユニットである。なお、移載コンベア２００及びコンベア３０は、ベルトコンベア等、他の形式のコンベアを用いてもよい。

本実施形態の場合、主搬送装置１００、移載コンベア２００及びコンベア３０の各ローラ上端が、図２に示すように同一水平面上に位置しており、ガラス基板Ｗを水平に搬送する搬送軌道を規定する。

また、主搬送装置１００、移載コンベア２００及びコンベア３０の搬送箇所のＹ方向の幅は、本実施形態における最もサイズが大きなガラス基板Ｗ１のＹ方向の幅より若干広く形成される。

＜収納カセット１０＞
図５は収納カセット１０の斜視図である。収納カセット１０はガラス基板ＷをＺ方向に多段に収納可能なカセットである。なお、図５はガラス基板Ｗが未収納の状態を示している。本実施形態の場合、収納カセット１０は複数の柱部材１１と、梁部材１２と、により略直方体形状のフレーム体をなしており、一対の昇降装置２０に支持されて移載コンベア２００の上方に位置している。柱部材１１の配設間隔及び梁部材１２の配設間隔は、移載コンベア２００を構成する各ローラコンベアユニット１２０及び１３０が収納カセット１０の下方から収納カセット１０内に進入できるように設定される。

柱部材１１は、Ｘ方向に複数配設されると共に、Ｙ方向に離間して同数並設されている。Ｙ方向に離間した一対の柱部材１１間には、Ｚ方向に並べて、かつ、所定のピッチでワイヤ１３が張設されている。各ワイヤ１３の上下間のスペースは、ガラス基板Ｗを収納するスロットを形成し、ガラス基板Ｗは略水平姿勢でワイヤ１３上に載置される。そして、Ｚ方向に並んだワイヤ１３の数だけ、スロットが形成される。本実施形態ではスロットをワイヤにより形成したが、他の方式ももちろん採用可能である。

本実施形態の場合、収納カセット１０は、一つのスロットに複数のガラス基板Ｗを収納可能な大きさを有している。図６（Ａ）乃至（Ｄ）は、収納カセット１０へのガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３の収納態様の例を示す図である。図６（Ａ）は、ガラス基板Ｗ１をＸ方向に２枚並べて収納した態様を示す。図６（Ｂ）はガラス基板Ｗ２をＸ方向に２枚、Ｙ方向に２枚、合計で４枚並べて収納した態様を示す。図６（Ｃ）はガラス基板Ｗ３をＸ方向に４枚、Ｙ方向に４枚、合計で１６枚並べて収納した態様を示す。図６（Ｄ）はガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３を混在させて並べて収納した態様を示し、−Ｘ側に１枚のガラス基板Ｗ１、＋Ｘ側で＋Ｙ側に１枚のガラス基板Ｗ２、＋Ｘ側で−Ｙ側に４枚のガラス基板Ｗ３を収納した態様を示す。

＜昇降装置２０＞
図７は一対の昇降装置２０の斜視図、図８は昇降装置２０の分解斜視図である。本実施形態では、昇降装置２０により収納カセット１０をＺ方向に昇降することで、収納カセット１０と移載コンベア２００とをＺ方向に相対的に移動する。しかし、移載コンベア２００をＺ方向に昇降する構成としてもよく、この場合、主搬送装置１００も昇降する構成とすることになる。

本実施形態の場合、昇降装置２０は収納カセット１０を挟むように収納カセット１０の互いに対向するＹ方向の両側部にそれぞれ配設され、収納カセット１０を片持ち支持する。

昇降装置２０は、収納カセット１０の底部の梁部材１２が載置されるビーム部材２１を備え、各昇降装置２０の各ビーム部材２１が同期的にＺ方向に移動することで収納カセット１０が昇降される。昇降装置２０はＺ方向に延びる支柱２２を備え、支柱２２の内側表面にはＺ方向に延びる一対のレール部材２３及びラック２４が固定されている。各昇降装置２０間には、支柱２２の上端に梁部材２０ａが架設されている。

ビーム部材２１は支持板２５の一側面にブラケット２５ａを介して固定されて支持される。支持板２５の他側面にはレール部材２３に沿って移動可能な４つのスライド部材２６が固定され、ビーム部材２１及び支持板２５はレール部材２３の案内により上下に移動する。駆動ユニット２７はモータ２７ａと減速機２７ｂとから構成されており、支持板２８の一側面に固定されて支持されている。減速機２７ｂの出力軸は支持板２８を貫通して支持板２８の他側面に配設されたピニオン２９ａに接続されている。

支持板２５と支持板２８とは所定の間隔を置いて相互に固定され、支持板２５と支持板２８との空隙にはピニオン２９ｂ乃至２９ｄが配設されている。ピニオン２９ｂ乃至２９ｄは支持板２５と支持板２８との間で回転可能に軸支され、ピニオン２９ｂ及びピニオン２９ｃは、ピニオン２９ａの回転に従動して回転する。ピニオン２９ｄはピニオン２９ｃの回転に従動して回転する。ピニオン２９ｂ乃至２９ｄは相互に同じ仕様のピニオンであり、２つのピニオン２９ｂ及び２９ｄは各ラック２４と噛み合っている。

しかして、駆動ユニット２７を駆動するとピニオン２９ａが回転し、その駆動力により、駆動ユニット２７、支持板２５及び２８、スライド部材２６、及び、ビーム部材２１が一体となって上方又は下方へ移動することになり、ビーム部材２１上に載置された収納カセット１０を昇降することができる。各昇降装置２０には、互いのビーム部材２１の昇降高さのずれを検出するセンサ２１ａがビーム部材２１の端部に設けられている。

センサ２１ａは例えば発光部と受光部とを備えた光センサであり、図７に示すように相互に光をＹ方向に照射してこれを受光したか否かを判定する。受光した場合は互いのビーム部材２１の昇降高さのずれがないことになり、受光しない場合は昇降高さにずれがあることになる。昇降高さのずれがセンサ２１ａで検出されると、モータ２７ａの制御によりずれが解消されるよう制御される。

図９（Ａ）乃至（Ｅ）は、基板Ｗを収納カセット１０から搬出する場合の、昇降装置２０及び移載コンベア２００の動作説明図である。ガラス基板Ｗの搬出は、ガラス基板Ｗが収納されたスロットのうち、最下方のスロットに収納されたガラス基板Ｗから順番に行う。

まず、図９（Ａ）に示すように、移載コンベア２００の上方に収納カセット１０が位置した状態から、昇降装置２０により収納カセット１０を降下させ、図９（Ｂ）に示すように、移載コンベア２００上に、搬送対象のガラス基板Ｗを載置する。このとき、移載コンベア２００は収納カセット１０内に下方から進入し、搬送対象のガラス基板Ｗは収納カセット１０のワイヤ１３から浮いた状態となり、移載コンベア２００のみによって支持された状態となる。続いて移載コンベア２００を駆動して、図９（Ｃ）に示すように、搬送対象のガラス基板Ｗを収納カセット１０から搬出する。

搬出が完了すると、図９（Ｄ）に示すように、昇降装置２０により収納カセット１０を降下させ、移載コンベア２００上に、次のスロットのガラス基板Ｗを載置する。続いて移載コンベア２００を駆動して、図９（Ｅ）に示すように、搬送対象のガラス基板Ｗを収納カセット１０から搬出する。以下、同様に、収納カセット１０の降下と移載コンベア２００の駆動とを繰り返し（図９の下図）、下方側から順番にガラス基板Ｗを搬出することになる。

ガラス基板Ｗを収納カセット１０へ搬入する場合は、上述した搬出時の動作と概ね逆の動作となる。ガラス基板Ｗの搬入は、ガラス基板Ｗが収納されていないスロットのうち、最上方のスロットから順番に行う。ガラス基板Ｗの搬出、搬入に際して、移載コンベア２００の各ローラコンベアユニット１２０及び１３０は、ガラス基板Ｗのサイズ及び位置に応じて選択的に駆動される。

＜位置決め装置１４０＞
図１０は位置決め装置１４０の斜視図である。位置決め装置１４０は、２つの位置決めユニット１５０と、１つの位置決めユニット１６０と、を備える。

位置決めユニット１５０は、Ｙ方向に延びる支持軸１５１と、支持軸１５１の一方端部を支持する軸受部材１５３と、支持軸１５１の他方端部を支持する軸受部材１５４と、を備える。支持軸１５１は、その軸心回りに回転自在に軸受部材１５３、１５４に支持されている。

軸受部材１５４は、モータ１５５を支持するベース部を備えており、モータ１５５の出力軸は支持軸１５１に連結されている。モータ１５５は、例えば、ステッピングモータやサーボモータである。サーボモータを採用した場合、出力軸の回転角度を検出するエンコーダが併用される。モータ１５５を回転駆動することで、支持軸１５１はその軸心回りに回転する。なお、本実施形態では、各位置決めユニット１５０にそれぞれモータ１５５を設けたが、モータ１５５を１つとし、その駆動力を各支持軸１５１に伝達する伝達機構を設けた構成でもよい。この場合、駆動源としてのモータ１５５の数を減らすことができる。

支持軸１５１には、複数の当接部材１５２が固定されている。当接部材１５２は、Ｙ方向に離間した複数の位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４毎にそれぞれ１以上配設されている。本実施形態の場合、位置決め部Ｐｂ１には２つの当接部材１５２が、位置決め部Ｐｂ２には３つの当接部材１５２が、位置決め部Ｐｂ３には１つの当接部材１５２が、位置決め部Ｐｂ４には４つの当接部材１５２が、それぞれ設けられている。各当接部材１５２は支持軸１５１の径方向に突出して設けられている。

位置決めユニット１６０は、Ｙ方向に延びる支持軸１６１と、支持軸１６１の一方端部を支持する軸受部材１６３と、支持軸１６１の他方端部を支持する軸受部材１６４と、を備える。支持軸１６１は、その軸心回りに回転自在に軸受部材１６３、１６４に支持されている。

軸受部材１６４は、モータ１６５を支持するベース部を備えており、モータ１６５の出力軸は支持軸１６１に連結されている。モータ１６５は、例えば、ステッピングモータやサーボモータである。サーボモータを採用した場合、出力軸の回転角度を検出するエンコーダが併用される。モータ１６５を回転駆動することで、支持軸１６１はその軸心回りに回転する。

支持軸１６１には、複数の当接部材１６２が固定されている。当接部材１６２は、Ｙ方向に離間した複数の位置決め部Ｐａ１乃至Ｐａ４毎にそれぞれ１以上配設されている。本実施形態の場合、位置決め部Ｐａ１には４つの当接部材１６２が、位置決め部Ｐａ２には２つの当接部材１６２が、位置決め部Ｐａ３には３つの当接部材１６２が、位置決め部Ｐａ４には１つの当接部材１６２が、それぞれ設けられている。各当接部材１６２は支持軸１６１の径方向に突出して設けられている。

軸受部材１６３は、支持台１６６上でＹ方向にスライド自在に支持されている。また、軸受部材１６４も支持台１６６上でＹ方向にスライド自在に支持されている。軸受部材１６４の側方には駆動ユニット１６７が並設されている。駆動ユニット１６７は、本実施形態の場合、エアシリンダであり、連結部材１６８が固定された、Ｙ方向に移動する可動部を有している。連結部材１６８は、軸受部材１６４に固定されており、軸受部材１６４を介して支持軸１６１に連結されている。

しかして、駆動ユニット１６７の駆動により、支持軸１６１、全ての当接部材１６２、軸受部材１６３及び１６４が一体的にＹ方向に移動する。

＜位置決め装置１４０による位置決め動作＞
＜当接位置と待機位置との間の移動＞
位置決めユニット１５０及び位置決めユニット１６０の各当接部材１５２、１６２は、支持軸１５１、１６１の回転により、ガラス基板Ｗの搬送軌道上に位置し、ガラス基板Ｗの一方側部に当接する当接位置と、ガラス基板Ｗの搬送軌道上に位置しない待機位置との間で移動する。

図１１（Ａ）及び（Ｂ）は当接部材１６２の移動態様の説明図である。同図及び図１に示すように、本実施形態の場合、支持軸１６１及び当接部材１６２は、搬送装置１１０間の隙間に配設されている。支持軸１６１及び当接部材１６２を搬送装置１１０間の隙間に配設することにより、空きの空間を利用して位置決め装置１４０のコンパクト化を図れる。図１１（Ａ）及び（Ｂ）は、３つの当接部材１６２が配設された位置決め部（Ｐａ３）での動作を示している。

図１１（Ａ）は、いずれの当接部材１６２も、ローラコンベアユニット１２０（及び１３０）の上端により規定される搬送軌道ＴＲ上に位置しておらず、搬送軌道ＴＲよりも下方の待機位置に位置している状態を示している。この場合、ガラス基板Ｗに当接部材１６２が当接することはない。図１１（Ｂ）は支持軸１６１を回転することにより、３つの当接部材１６２のうちの１つが搬送軌道ＴＲ上に位置した当接位置に位置している場合を示している。この場合、ガラス基板Ｗに当接部材１６２が当接可能な状態となっている。なお、本実施形態の場合、待機位置は、ガラス基板Ｗの搬送軌道ＴＲの下方であるが、上方としてもよい。

位置決めユニット１５０についても同様であり、図１に示すように、支持軸１５１及び当接部材１５２は、支持軸１６１及び当接部材１６２が配設された搬送装置１１０間の隙間とは異なる隙間に配設されている。そして、支持軸１５１の回転により当接部材１５２が当接位置と待機位置との間で移動する。支持軸１５１及び当接部材１５２を搬送装置１１０間の隙間に配設することにより、空きの空間を利用して位置決め装置１４０のコンパクト化を図れる。

＜位置決め動作＞
ガラス基板Ｗの位置決めは、当接位置に位置している当接部材１５２及び当接部材１６２を、ガラス基板ＷのＹ方向の各側部を当接させて行う。図１２（Ａ）及び（Ｂ）は位置決め装置１４０による位置決め動作の説明図である。

図１２（Ａ）は、当接部材１５２及び当接部材１６２がガラス基板Ｗに当接前の状態を示す。当接部材１６２は当接部材１５２から距離Ｄ１だけ離れた初期位置に位置している。距離Ｄ１は、ガラス基板Ｗの幅（Ｙ方向の幅）ＤＷよりも大きい。

図１２（Ａ）の状態にて駆動ユニット１６７を駆動させ、当接部材１６２を当接部材１５２に近づく方向（図中では右方向）に移動させ、図１２（Ｂ）に示すように位置決め位置に位置させる。当接部材１５２と当接部材１６２との距離Ｄ２（＜Ｄ１）は、ガラス基板Ｗの幅ＤＷに略一致している。これにより、ガラス基板ＷのＹ方向の両側部が当接部材１５２、１６２によってガイドされ、位置決めされることになる。位置決め後には、再び駆動ユニット１６７を駆動して図１２（Ａ）のように当接部材１６２が当接部材１５２から距離Ｄ１だけ離れた初期位置に戻すことになる。駆動ユニット１６７は、距離Ｄ１と距離Ｄ２の差分だけ当接部材１６２を移動させることになる。

なお、距離Ｄ２は、ガラス基板Ｗの幅ＤＷよりも僅かに大きくすることが望ましい。距離Ｄ２をガラス基板Ｗの幅ＤＷにぴったり一致させると、当接部材１５２と当接部材１６２とによりガラス基板Ｗが狭持されて、その狭持力によりガラス基板Ｗが破損する虞があるためである。ガラス基板Ｗの破損を防止するためには、当接部材１５２、１６２の表面に、ゴム等の緩衝部材を設けるか、或いは、当接部材１５２、１６２と支持軸１５１、１６２との間にスプリング等の緩衝手段を介在させて、一定の荷重が作用した場合に当接部材１５２、１６２が微小変位するようにしてもよく、これらの構成の場合、距離Ｄ２をガラス基板Ｗの幅ＤＷに略一致させることができる。

また、本実施形態では、位置決めユニット１６０のみに駆動ユニット１６７を設けて当接部材１６２のみをＹ方向に移動可能としたが、位置決めユニット１５０にも駆動ユニットを設けて当接部材１５２もＹ方向に移動可能に構成してもよい。或いは、駆動ユニット１６７と位置決めユニット１５０との間にリンク機構を介在させて、当接部材１５２もＹ方向に移動可能に構成してもよい。

＜位置決め部の選択＞
本実施形態では、主搬送装置１００が搬送するガラス基板Ｗのサイズに応じて、当接部材１５２、１６２を当接位置に移動させる位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４及びＰａ１乃至Ｐａ４を選択することで、各ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３の位置決めを行うことができる。図１３は各位置決め部Ｐａ１乃至Ｐａ４及びＰｂ１乃至Ｐｂ４の説明図である。図１３において、位置決め部Ｐａ１乃至Ｐａ４は当接部材１６２が初期位置から位置決め位置に移動した後の場合を示している。

まず、図１３に示すように、各位置決めユニット１５０、１６０、１５０は、搬送方向（Ｘ方向）に離間して配置されており、位置決めユニット１６０は２つの位置決めユニット１５０の間に配置されている。つまり、位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４は、搬送方向（Ｘ方向）に離間して２列設定され、位置決め部Ｐａ１乃至Ｐａ４は、この２列の位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４の間に設定されている。位置決め部Ｐａ１乃至Ｐａ４は、主搬送装置１００の＋Ｙ方向側寄りに配置され、位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４は、主搬送装置１００の−Ｙ方向側寄りに配置されている。

これにより、ガラス基板ＷのＹ方向の一方側部に１つの当接部材１６２を、他方の側部は２つの当接部材１５２を、それぞれ当接させることで、合計３箇所でガラス基板Ｗの位置決めを行う。そして、位置決め部Ｐａ１乃至Ｐａ４と位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４の配置の組合せは、各ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３をそれぞれ位置決めする場合に対応して設定されている。

具体的には、まず、位置決め部Ｐａ１の位置は、主搬送コンベア１００の＋Ｙ方向の端部近傍に設定されており、位置決め部Ｐａ１の位置を基準として、他の位置決め部Ｐａ２乃至Ｐａ４の位置が、各ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３の幅に応じて、その各一方端が位置すべき位置に設定されている。また、位置決め部Ｐｂ４の位置は、主搬送コンベア１００の−Ｙ方向の端部近傍に設定されており、位置決め部Ｐｂ４の位置を基準として、他の位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ３の位置が、各ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３の幅に応じて、その各他方端が位置すべき位置に設定されている。このため、位置決め部Ｐａ１乃至Ｐａ４は、全体的に＋Ｙ側に位置しており、位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４は、全体的に−Ｙ側に位置している。

そして、図１３に示すように、ガラス基板Ｗ１を位置決めする場合に対応して、位置決め部Ｐａ１、Ｐｂ４、の位置が設定されている。また、ガラス基板Ｗ２を位置決めする場合に対応して、位置決め部Ｐａ１、Ｐｂ２、及び、位置決め部Ｐａ３、Ｐｂ４、の位置がそれぞれ設定されている。更に、ガラス基板Ｗ３を位置決めする場合に対応して、位置決め部Ｐａ１、Ｐｂ１、Ｐａ２と位置決め部Ｐｂ２、Ｐａ３、Ｐｂ３、及び、位置決め部Ｐａ４、Ｐｂ４、の位置がそれぞれ設定されている。

しかして、主搬送装置１００が搬送するガラス基板Ｗのサイズに応じて、当接部材１５２、１６２を当接位置に移動させる位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４及びＰａ１乃至Ｐａ４を選択することで、各ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３の位置決めを行うことができる。

本実施形態の場合、各当接部材１５２は、支持軸１５１の軸心回りで０度、９０度、１８０度、２７０度のいずれかの位置に設けられている。同様に、各当接部材１６２は、支持軸１６１の軸心回りで０度、９０度、１８０度、２７０度のいずれかの位置に設けられている。そして、支持軸１５１、１６１の回転角度により、当接部材１５２、１６２が当接位置に位置している位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４及びＰａ１乃至Ｐａ４が異なるように、各当接部材１５２、１６２が支持軸１５１、１６１に設けられている。つまり、支持軸１５１、１６１の回転角度により、当接部材１５２、１６２を当接位置に移動させる位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４及びＰａ１乃至Ｐａ４を任意に選択できるようにしている。

図１４は位置決め装置１４０の動作パターンの例を示す図であり、支持軸１５１、１６１の回転角度と各位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４及びＰａ１乃至Ｐａ４における当接部材１５２、１６２の位置（当接位置か待機位置か）、並びに、位置決め対象とするガラス基板Ｗのサイズ等を示す図である。

図１４において、回転角度は、支持軸１５１、１６１の回転角度（時計回り）であり、当接部材の位置とは、支持軸１５１、１６１の回転角度が０度、９０度、１８０度、２７０度の場合において、当接部材１５２、１６２が当接位置にあるか待機位置にあるかを示している。位置決め部Ｐａ１及びＰｂ４においては、当接部材１６２、１５２が９０度毎に４つ設けられているため、常時いずれかの当接部材１６２、１５２が当接位置に位置していることになる。

パターン１（回転角度：０度）の場合、全ての位置決め部Ｐａ１乃至Ｐａ４及びＰｂ１乃至Ｐｂ４において、当接部材１６２及び１５２が当接位置に位置しており、同時搬送される４枚のガラス基板Ｗ３を位置決めすることができる。当接部材１６２は共通の支持軸１６１に支持されており、同時に初期位置と位置決め位置との間を移動することから、４枚のガラス基板Ｗ３を同時に位置決めすることができる。なお、ガラス基板Ｗ３を４枚同時ではなく、単枚搬送する場合や、２枚同時搬送する場合においても、このパターン１を選択することで、その位置決めをすることができる。

パターン２（回転角度：９０度）の場合、位置決め部Ｐａ４及びＰｂ３においては、当接部材１６２及び１５２が待機位置に位置しており、その他の位置決め部においては当接位置に位置している。パターン２は、同時搬送される、１枚のガラス基板Ｗ２と、２枚のガラス基板Ｗ３と、を同時に位置決めすることができる（但し、本実施形態においては、ガラス基板Ｗ２が−Ｙ側に位置している場合。）。

パターン３（回転角度：１８０度）の場合、位置決め部Ｐａ１及びＰｂ４のみ、当接部材１６２及び１５２が当接位置に位置しており、その他の位置決め部においては待機位置に位置している。パターン３は、１枚のガラス基板Ｗ１を位置決めすることができる。

パターン４（回転角度：２７０度）の場合、位置決め部Ｐａ１、Ｐａ３及びＰｂ２、Ｐｂ４においては、当接部材１６２及び１５２が当接位置に位置しており、その他の位置決め部においては待機位置に位置している。パターン４は、同時搬送される２枚のガラス基板Ｗ２を同時に位置決めすることができる。なお、ガラス基板Ｗ２を２枚同時ではなく、単枚搬送する場合においても、このパターン４を選択することで、その位置決めをすることができる。

＜搬送例＞
図１５（Ａ）及び（Ｂ）並びに図１６（Ａ）及び（Ｂ）は搬送システムＡの動作説明図であり、処理装置（不図示）から搬出されるガラス基板Ｗを途中で位置決めして収納カセット１０へ搬入する例を示す。

図１５（Ａ）は、不図示の処理装置から２枚のガラス基板Ｗ２（第１群のガラス基板ともいう。）がＹ方向に並べられて同時に搬出された態様を示す。ガラス基板Ｗ２は搬送方向（Ｘ方向）に対して傾いて搬出されている。搬送システムＡは、まず、コンベア３０及び主搬送装置１００を駆動して、第１群のガラス基板を−Ｘ方向に搬送する。その際、第１群のガラス基板のサイズ、位置を特定する。

ガラス基板Ｗのサイズ、位置の特定は、本実施形態の場合、センサ１１１の検出結果に基づいて行う。センサ１１１は、Ｙ方向に３つ配置されており、全てのセンサ１１１がガラス基板を検出した場合は、ガラス基板Ｗ１の単枚搬送と判断する。中央のセンサ１１１のみがガラス基板を検出しない場合は、ガラス基板Ｗ２の２枚同時搬送と特定する。いずれのセンサ１１１もガラス基板を検出しない場合は、ガラス基板Ｗ３の４枚同時搬送と特定する。更に、中央のセンサ１１１と、残り２つのセンサ１１１のうち、一方のセンサ１１１とがガラス基板を検出した場合は、ガラス基板Ｗ２を１枚、ガラス基板Ｗ３を２枚、同時搬送であると特定する。センサ１１１によるガラス基板Ｗの検出は、ローラコンベアユニット１２０、１３０に設けたセンサ１２３、１３３の検出結果に基づいたタイミングで行うことができる。

ガラス基板Ｗのサイズ、位置の特定は、センサ１１１に代えて、例えば、処理装置から、搬出するガラス基板Ｗのサイズ及び位置の情報を取得することで、特定してもよい。

ガラス基板のサイズ、位置を特定すると、位置決め装置１４０の動作パターンを選択する。図１５（Ａ）の例の場合、ガラス基板Ｗ２の２枚同時搬送であるので、図１４のパターン４を選択することになる。位置決め装置１４０は、選択したパターン４の回転角度に支持軸１５１、１６１、１５１を回転させる。

図１５（Ｂ）は、第１群のガラス基板が位置決め装置１４０の近傍の位置決め位置まで搬送されて搬送を一時停止し、位置決め装置１４０によって位置決めがなされた状態を示す。位置決め装置１４０は、駆動ユニット１６７の駆動により当接部材１６２を初期位置から位置決め位置へ移動させることにより、２枚のガラス基板Ｗ２の位置決めを同時に行う。位置決めが終了すると、駆動ユニット１６７の駆動により当接部材１６２を初期位置に戻し、主搬送装置１００及び移載コンベア２００を駆動して、第１群のガラス基板を収納カセット１０へ搬入する。

また、図１５（Ｂ）の状態では、不図示の処理装置から次のガラス基板Ｗ２及び２枚のガラス基板Ｗ３（第２群のガラス基板ともいう。）が搬出されている。搬送システムＡは、コンベア３０及び主搬送装置１００を駆動して、これらを−Ｘ方向に搬送する。その際、第２群のガラス基板のサイズ、位置を特定し、位置決め装置１４０の動作パターンを選択する。第１群のガラス基板が位置決め装置１４０を通過すると、次に選択した動作パターンの回転角度に支持軸１５１、１６１、１５１を回転させる。第２群のガラス基板の場合、１枚のガラス基板Ｗ２及び２枚のガラス基板Ｗ３の同時搬送であるので、図１４のパターン２を選択することになる。

図１６（Ａ）は、第１群のガラス基板は収納カセット１０へ搬入途中、第２群のガラス基板が位置決め装置１４０の近傍の位置決め位置まで搬送されて搬送を一時停止し、位置決め装置１４０によって位置決めがなされた状態、及び、不図示の処理装置から第３群のガラス基板として、２枚のガラス基板Ｗ３が搬出された状態、を示す。

また、図１６（Ｂ）は、第１群のガラス基板は収納カセット１０へ搬入完了、第２群のガラス基板が収納カセット１０へ搬入途中、第３群のガラス基板が位置決め装置１４０の近傍の位置決め位置まで搬送されて搬送を一時停止し、位置決め装置１４０によって位置決めがなされた状態、及び、不図示の処理装置から第４群のガラス基板として、１枚のガラス基板Ｗ１が搬出された状態、を示す。

このように本実施形態では、ガラス基板Ｗのサイズに応じて当接部材１５２、１６２を当接位置に移動させる位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４及びＰａ１乃至Ｐａ４を選択することでサイズの異なるガラス基板Ｗの位置決めを行うことができる。しかも、複数の当接部材１６２を同時に移動させることで、Ｙ方向に並べて同時搬送される複数のガラス基板Ｗを同時に位置決めすることができ、更に、Ｙ方向に並べて同時搬送される複数のガラス基板Ｗが異なるサイズであっても同時に位置決めできる。

また、主搬送装置１００によりガラス基板Ｗを搬送し、当接部材１５２、１６２の待機位置−当接位置間の移動及び当接部材１６２の初期位置−位置決め位置間の移動は、支持軸１５１、１６１の回転、駆動ユニット１６７により行うことで、主搬送装置１００によって、複数のガラス基板Ｗを連続的に搬送することができ、ガラス基板Ｗの位置決め中、主搬送装置１００が位置決め対象のガラス基板Ｗに専有されることがなく、ガラス基板Ｗの搬送効率を向上できる。

なお、本実施形態では、ガラス基板ＷのＹ方向の一方側部に１つの当接部材１６２を、他方の側部は２つの当接部材１５２を、それぞれ当接させることで、合計３箇所でガラス基板Ｗの位置決めを行うことにしたが、当接部材１５２、１６２のＸ方向の幅が十分に長い場合、それぞれ１つずつ、合計２箇所でガラス基板Ｗの位置決めを行うことも可能である。また、本実施形態では、方形のガラス基板Ｗを対象としたが、円形等、他のガラス基板Ｗの位置決めも可能である。更に、位置決め装置１４０をＸ方向に複数並設することで、Ｘ方向及びＹ方向の双方に並べられた複数のガラス基板の位置決めを略同時に行うことも可能である。

＜制御装置＞
図１７は搬送システムＡの制御装置４０の構成を示すブロック図である。制御装置４０は搬送システムＡの全体の制御を司るＣＰＵ４１と、ＣＰＵ４１のワークエリアを提供すると共に、可変データ等が記憶されるＲＡＭ４２と、制御プログラムや、図１４に示した動作パターンのデータ等の固定的なデータが記憶されるＲＯＭ４３と、を備える。ＲＡＭ４２、ＲＯＭ４３は他の記憶手段を採用可能である。

入力インターフェース（Ｉ／Ｆ）４４は、ＣＰＵ４１と各種のセンサ（例えば、センサ１１１、１２３、１３３、２１ａ等）とのインターフェースであり、入力Ｉ／Ｆ４４を介してＣＰＵ２０１は各種のセンサの検出結果を取得する。出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）４５は、ＣＰＵ２０１と各種のモータ（例えば、モータ２７ａ、１５５、１６５、駆動ボックス１２２、１３２内のモータ等）や、制御弁（例えば、駆動ユニット１６７へのエアの供給切替えを行う制御弁）とのインターフェースであり、出力Ｉ／Ｆ４５を介してＣＰＵ４１はこれらを制御する。

通信インターフェース（Ｉ／Ｆ）４６は、搬送システムＡを含む基板処理設備全体を制御するホストコンピュータ５０とＣＰＵ４１とのインターフェースであり、ＣＰＵ４１はホストコンピュータ５０からの指令に応じて搬送システムＡを制御することになる。

図１８は、ＣＰＵ４１が実行する搬送システムＡの制御例を示すフローチャートである。同図の処理は、不図示の処理装置から収納カセット１０へガラス基板Ｗを搬送する際の処理を示し、不図示の処理装置からホストコンピュータ５０を介してガラス基板Ｗの搬出指示を受信したことを契機として実行される。

Ｓ１では、不図示の処理装置から搬出されるガラス基板Ｗを規定位置まで搬送するよう、コンベア３０と主搬送装置１００とを駆動する。規定位置とは、ガラス基板Ｗが、センサ１１１を通過した、予め定めた位置である。また、規定位置に達したか否かはセンサ１２３、１３３の検出結果に基づき判断する。

Ｓ２では、搬出されたガラス基板Ｗのサイズ及び位置を特定する。この特定は、センサ１１１の検出結果に基づくが、上記の通り、不図示の処理装置から、搬出するガラス基板Ｗのサイズ及び位置の情報をホストコンピュータ５０を介して取得することで、特定してもよい。

Ｓ３では、Ｓ２で特定したガラス基板Ｗのサイズ及び位置に基づいて、位置決め装置１４０の動作パターンを選択する。つまり、当接部材１５２、１６２を当接位置に移動させる位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４及びＰａ１乃至Ｐａ４を選択する。

Ｓ４では、搬出された各ガラス基板Ｗに固有の識別番号を付し、そのサイズ及びこれから収納する収納カセット１０内のスロット及びスロット上の位置を設定し、設定したデータを基板データとしてＲＡＭ４２に保存する。この基板データは、収納カセット１０へのガラス基板Ｗの収納後に収納カセット１０自体の識別情報と共にホストコンピュータ５０へ提供され、ホストコンピュータ５０上で管理される。

Ｓ５では、主搬送装置１００を駆動し、Ｓ１で規定位置まで搬送したガラス基板Ｗを位置決め装置１４０近傍の位置決め位置まで搬送して、搬送を一時停止する。また、Ｓ３で選択した動作パターンの回転角度に支持軸１５１、１６１、１６１を回転させる。

Ｓ６では、駆動ユニット１６７を駆動して、当接部材１６２を初期位置から位置決め位置へ移動させ、ガラス基板Ｗの位置決めを行う。位置決め後、当接部材１６２を初期位置に戻す。

Ｓ７では、主搬送装置１００及び移載コンベア２００を駆動し、Ｓ４で設定したスロット内の位置までガラス基板Ｗを収納カセット１０へ搬入する。以上により一単位の処理が終了する。Ｓ１乃至Ｓ７の処理は、ホストコンピュータ５０からガラス基板Ｗの搬出指示を受信する毎に、並列的に実行することで、複数のガラス基板Ｗを連続的に搬送しながらその位置決め動作を行える。

なお、収納カセット１０からガラス基板Ｗを搬出し、不図示の処理装置へ搬送する場合も搬送方向が逆になるだけで、同様の手順によりガラス基板Ｗを搬送することができる。その際、ガラス基板Ｗのサイズ、位置の情報はホストコンピュータ５０から取得するようにすることができる。

＜第２実施形態＞
上記第１実施形態では、支持軸１５１、１６１、１５１の回転により、当接部材１５２、１６２を待機位置−当接位置間で移動したが、当接部材１５２、１６２を昇降することで、待機位置−当接位置間で移動する構成としてもよい。

図１９は、位置決め装置１４０に代わる、本実施形態の位置決め装置１４０'の斜視図である。以下、位置決め装置１４０と異なる構成について説明する。位置決め装置１４０'は、位置決めユニット１５０に代わる位置決めユニット１５０'と、位置決めユニット１６０に代わる位置決めユニット１６０'と、を備える。各位置決め部Ｐａ１乃至Ｐａ４及び各位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４の位置の設定は、上記第１実施形態と同様である。

位置決めユニット１５０'は、Ｙ方向に延びる支持材３０１と、支持材３０１の各端部を支持する一対の支持台３０３を備える。支持材３０１には、複数の昇降ユニット３０５と支持部材３０６とが固定されている。昇降ユニット３０５は、本実施形態の場合、エアシリンダであり、当接部材１５２を上方の当接位置と、下方の待機位置との間で昇降する。位置決め部Ｐｂ４の当接部材１５２については、昇降ユニット３０５を介さずに、支持部材３０６によって支持材３０１に支持されており、常時当接位置に位置している。各当接部材１５２は、Ｙ方向に離間した複数の位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４毎にそれぞれ１つ配設されている。

位置決めユニット１６０'は、Ｙ方向に延びる支持材３０２と、支持材３０２の各端部を支持する一対の支持台３０４を備える。支持材３０２には、位置決めユニット１５０'と同様の、複数の昇降ユニット３０５と支持部材３０６とが固定されており、位置決め部Ｐａ１の当接部材１６２については、昇降ユニット３０５を介さずに、支持部材３０６によって支持材３０２に支持されており、常時当接位置に位置している。各当接部材１６２は、Ｙ方向に離間した複数の位置決め部Ｐａ１乃至Ｐａ４毎にそれぞれ１つ配設されている。

各支持台３０４は、各支持台１６６上でＹ方向にスライド自在に支持されている。一方の支持台３０４の側方には駆動ユニット１６７が並設されており、連結部材１６８は、支持台３０４に固定されている。しかして、駆動ユニット１６７の駆動により、支持材３０２、支持台３０４、全ての昇降ユニット３０５及び支持部材３０６が一体的にＹ方向に移動し、当接部材１６２が初期位置と位置決め位置との間で移動する。

本実施形態においても、主搬送装置１００が搬送するガラス基板Ｗのサイズに応じて、当接部材１５２、１６２を当接位置に移動させる位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４及びＰａ１乃至Ｐａ４を選択し、各ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３の位置決めを行うことができる。ただし、当接部材１５２、１６２の待機位置と当接位置との間の移動は、昇降ユニット３０５の駆動による昇降で行うことが第１実施形態と異なる。なお、位置決め部Ｐａ１及びＰｂ４については、その当接部材１６２、１５２が常時当接位置に位置しているため、常に選択された状態となっている。

本実施形態の位置決め装置１４０'も、上記第１実施形態の位置決め装置１４０と同様の効果を奏するが、位置決め装置１４０'の方が、当接部材１５２、１６２を当接位置に移動させる位置決め部Ｐｂ１乃至Ｐｂ４及びＰａ１乃至Ｐａ４の組合せのバリエーションが位置決め装置１４０よりも豊富であり、同時に位置決めが可能な、各ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３の搬送態様が豊富になる。

なお、上記第１実施形態及び本実施形態においては、当接部材１６２の初期位置と位置決め位置との間の移動を、共通の駆動ユニット１６７により行っているが、各当接部材１６２毎に駆動ユニット１６７を設けて同期的に駆動することで、複数のガラス基板Ｗを同時に位置決めするようにしてもよい。

＜第３実施形態＞
上記第１実施形態では、不図示の１つの処理装置と、１つの収納カセット１０との間でガラス基板Ｗを搬送する構成としたが、１つの処理装置と、複数の収納カセット１０との間でガラス基板Ｗを搬送するようにしてもよい。

図２０は、本発明の他の実施形態に係る搬送システムＢのレイアウトを示す平面図である。以下、搬送システムＡと同じ構成については同じ符号を付して説明を省略し、異なる構成について説明する。

＜収納カセット１０の配置＞
搬送システムＢは、２つの収納カセット１０と、一つの処理装置（不図示）との間で、ガラス基板Ｗを搬送する。なお、３以上の収納カセット１０と、一つの処理装置との間で、ガラス基板Ｗを搬送するように構成することもできる。

２つの収納カセット１０は、Ｙ方向に離間して配置されており、これらの収納カセット１０の配置方向はＹ方向である。２つの収納カセット１０は、それらのガラス基板Ｗの搬入出部が＋Ｘ方向を向くように配置されている。各収納カセット１０には、一対の昇降装置２０及び移載コンベア２００が、それぞれ配置されている。

＜コンベア移動ユニット＞
本実施形態の主搬送装置１００は、その一部がＹ方向に移動可能になっている。移動可能な部分は、位置決め装置１４０近傍の合計１６個のローラコンベアユニット１２０及び１３０である。これらはコンベア移動ユニット４００により移動する。以下、コンベア移動ユニット４００により移動する主搬送装置１００の一部を、可動搬送装置といい、移動しない部分を固定搬送装置という。

図２１は、コンベア移動ユニット４００の分解斜視図である。コンベア移動ユニット４００は、可動搬送装置及び位置決め装置１４０が搭載される支持板４０２を備える。支持板４０２の下面には、一対のレール部材４０５上を摺動する複数のスライド部材４０２ｂが設けられている。一対のレール部材４０５は、Ｘ方向に離間させて平行に設けられ、それぞれＹ方向に延びている。支持板４０２は、スライド部材４０２ｂがレール部材４０５に案内されることにより、Ｙ方向に移動可能である。

一対のレール部材４０５間にはＹ方向に離間して複数の梁部材４０６が架設されており、これらの梁部材４０６により、一方のレール部材４０５に固定されているラック４０７が下方から支持されると共に一方のレール部材４０５に固定されている。ラック４０７はＹ方向に延びており、その側面に歯型４０７ｂを有しており、その上面には、支持板４０２のＹ方向の位置を検出するためのマーク帯４０７ａを有している。

支持板４０２には、開口部４０２ａが設けられている。開口部４０２ａにはモータ４０３が挿入される。モータ４０３には取付板４０３ａが設けられており、取付板４０３ａを介してモータ４０３が支持板４０２に固定される。モータ４０３の出力軸には、ラック４０７の歯型４０７ｂと噛合するピニオン４０３ｂが取り付けられている。また、取付板４０３ａの下面にはマーク帯４０７ａ上の個々のマークを検出するセンサ４０４が設けられている。センサ４０４は例えば光センサである。

このようなラック−ピニオン機構を有するコンベア移動ユニット４００は、モータ４０３を駆動することにより、支持板４０２がレール部材４０５上を移動し、主搬送装置１００の一部及び位置決め装置１４０をＹ方向に移動することができる。また、センサ４０４がマーク帯４０７ａ上のマークを検出することで、可動搬送装置及び位置決め装置１４０のＹ方向の位置を特定することができる。

なお、本実施形態では、ラック−ピニオン機構を用いたが、ベルト伝動機構、リニアモータ、ボールナット−ボールネジ機構等、他の機構も採用可能である。また、センサ４０４とマーク帯４０７ａの組み合わせ以外に、他の位置検出手段（例えばモータ４０３の回転量を検出するエンコーダ）を用いることで、可動搬送装置及び位置決め装置１４０のＹ方向の位置を特定することもできる。

＜動作例＞
図２２乃至図２４は搬送システムＢの動作説明図である。図２２は、主搬送装置１００の可動搬送装置が固定搬送装置と連続し、＋Ｙ側の移載コンベア２００と連続している状態を示す。この場合の搬送システムＢの動作は、上記第１実施形態の搬送システムＡと同様である。

図２３及び図２４は、処理装置（不図示）と−Ｙ側の収納カセット１０との間でガラス基板Ｗ（ここではガラス基板Ｗ１）を搬送する場合、特に、処理装置から収納カセット１０へガラス基板Ｗを搬送する場合を示す。まず、図２３に示すように、主搬送装置１００の可動搬送装置が固定搬送装置と連続した状態で、可動搬送装置上にガラス基板Ｗ１を搬送する。続いて、図２４に示すようにコンベア移動ユニット４００によって、可動搬送装置を−Ｙ方向に移動させ、−Ｙ側の移載コンベア２００と連続する位置まで移動させる。このとき、位置決めユニット１４０は可動搬送装置に設けられているため、可動搬送装置の移動中に、ガラス基板Ｗ１の位置決めを行うことが可能である。

その後、可動搬送装置と移載コンベア２００とを駆動することで、−Ｙ側の収納カセット１０にガラス基板Ｗ１を搬入する。収納カセット１０から処理装置へガラス基板Ｗを搬送する場合は、この逆の手順となる。

このように搬送システムＢでは、２つの収納カセット１０と処理装置との間でガラス基板Ｗを搬送することができる。このため、例えば、一方の収納カセット１０を別の収納カセットと交換する場合であっても、搬送システムＢ全体の稼動は停止させる必要がなく、他方の収納カセット１０と処理装置との間でガラス基板Ｗを搬送することができ、システム全体の稼働率を向上できる。

また、処理装置を介在せずに、２つの収納カセット１０間でガラス基板Ｗを搬送することも可能である。これは、収納カセット１０間でガラス基板Ｗの入れ替え等を行う場合に便利である。

なお、本実施形態では、２組の収納カセット１０、一対の昇降装置２０及び移載コンベア２００をＹ方向に並設しているが、これらの組がＸ方向にずれていてもよい。例えば、−Ｙ側の収納カセット１０、一対の昇降装置２０及び移載コンベア２００の組が、図２２に示す位置よりも−Ｘ側にずれていてもよい。この場合、移載コンベア２００をＸ方向に延長し、可動搬送装置が図２４の位置に移動した際に、可動搬送装置と連続するようにすればよい。

また、本実施形態では、２つの収納カセット１０は、それらのガラス基板Ｗの搬入出部が＋Ｘ方向を向くように配置されているが、別々の方向を向いていてもよい。この場合、収納カセット１０の方向に応じて一対の昇降装置２０及び移載コンベア２００を配置することになる。また、コンベア移動ユニット４００は、可動搬送装置をＹ方向に移動させるものに限定されず、可動搬送装置を移載コンベア２００と連続するよう、例えば、円弧軌道上を移動させるものであってもよい。

＜第４実施形態＞
上記第３実施形態では、可動搬送装置を１つとしたが２つとし、コンベア移動ユニット４００を各可動搬送装置に設けることもできる。図２５は、本発明の他の実施形態に係る搬送システムＣのレイアウトを示す平面図である。以下、搬送システムＢと同じ構成については同じ符号を付して説明を省略し、異なる構成について説明する。

搬送システムＣの主搬送装置１００は、Ｘ方向に連続して並設した２つの可動搬送装置を備えており、また、各可動搬送装置用に、コンベア移動ユニット４００をＸ方向に並設して２つ設けている。位置決め装置１４０は、各可動搬送装置にそれぞれ設けられており、各コンベア移動ユニット４００は、可動搬送装置と位置決め装置１４０とを移動する。

＜動作例＞
図２６乃至図２９は搬送システムＣの動作説明図である。図２６は、主搬送装置１００の２つの可動搬送装置が互いに連続すると共に固定搬送装置と連続し、更に、＋Ｙ側の移載コンベア２００と連続している状態を示す。この場合の搬送システムＣの動作は、上記第１実施形態の搬送システムＡと同様である。但し、位置決め装置１４０を２つ有しているので、同時に位置決め可能なガラス基板Ｗの枚数を増やすことができる。

図２７は、図２６の状態から、ガラス基板Ｗ１を搭載した−Ｘ側の可動搬送装置を−Ｙ側の移載コンベア２００と連続する位置まで移動させた状態を示す。また、図２７は、処理装置（不図示）から、新たなガラス基板Ｗ１が＋Ｘ側の可動搬送装置上に搬送した状態を示す。

図２８は、図２７の状態から、−Ｘ側の可動搬送装置及びこれと連続する移載コンベア２００が、ガラス基板Ｗ１を収納カセット１０へ搬入し、ガラス基板Ｗ１を搭載した＋Ｘ側の可動搬送装置を−Ｘ側の可動搬送装置と連続する位置まで移動させた状態を示す。この状態から、＋Ｘ側の可動搬送装置上のガラス基板Ｗ１を、２つの可動搬送装置及び移載コンベア２００によって、収納カセット１０へ搬入することができる。また、＋Ｘ側の可動搬送装置から−Ｘ側の可動搬送装置へガラス基板Ｗ１の搬送が完了すると、＋Ｘ側の可動搬送装置は、＋Ｙ側へ移動を開始し、固定搬送装置から搬送されるガラス基板Ｗ１の受け取り準備を行うことができる。

このように、本実施形態では、ガラス基板Ｗを連続的に収納カセット１０へ効率よく搬入できるという利点がある。例えば、上記搬送システムＢでは、−Ｙ側の収納カセット１０へ２枚のガラス基板Ｗ１を搬送する場合、可動搬送装置をＹ方向に２往復させる必要がある。一方、本実施形態の搬送システムＣでは、各可動搬送装置をＹ方向に１往復することで、−Ｙ側の収納カセット１０へ２枚のガラス基板Ｗ１を搬送することができ、搬送時間を短縮できる。

また、本実施形態の搬送システムＣでは、ガラス基板Ｗ１よりも大きいサイズのガラス基板Ｗを搬送することもできる。図２９は、ガラス基板Ｗ１とＹ方向の幅が同じで、Ｘ方向の長さが略２倍のガラス基板Ｗ０を搬送する場合を示している。

ガラス基板Ｗ０は、連続した２つの可動搬送装置上に跨って載置されている。ガラス基板Ｗ０の位置決めは、２つの位置決め装置１４０により同時に行うことができる。また、ガラス基板Ｗ０のＹ方向の移動は、２つの可動搬送装置が連続した状態で、各コンベア移動ユニット４００を同期的に駆動することで、行うことができる。

本発明の一実施形態に係る搬送システムＡのレイアウトを示す平面図である。 搬送システムＡの側面図である。 搬送装置１１０の斜視図である。 （Ａ）乃至（Ｄ）は、主搬送装置１００によるガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３の搬送態様の例を示す図である。 収納カセット１０の斜視図である。 （Ａ）乃至（Ｄ）は、収納カセット１０へのガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３の収納態様の例を示す図である。 一対の昇降装置２０の斜視図である。 昇降装置２０の分解斜視図である。 （Ａ）乃至（Ｅ）は、基板Ｗを収納カセット１０から搬出する場合の、昇降装置２０及び移載コンベア２００の動作説明図である。 位置決め装置１４０の斜視図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は当接部材１６２の移動態様の説明図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は位置決め装置１４０による位置決め動作の説明図である。 各位置決め部Ｐａ１乃至Ｐａ４及びＰｂ１乃至Ｐｂ４の説明図である。 位置決め装置１４０の動作パターンの例を示す図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は搬送システムＡの動作説明図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は搬送システムＡの動作説明図である。 搬送システムＡの制御装置４０の構成を示すブロック図である。 ＣＰＵ４１が実行する搬送システムＡの制御例を示すフローチャートである。 位置決め装置１４０'の斜視図である。 本発明の他の実施形態に係る搬送システムＢのレイアウトを示す平面図である。 コンベア移動ユニット４００の分解斜視図である。 搬送システムＢの動作説明図である。 搬送システムＢの動作説明図である。 搬送システムＢの動作説明図である。 本発明の他の実施形態に係る搬送システムＣのレイアウトを示す平面図である。 搬送システムＣの動作説明図である。 搬送システムＣの動作説明図である。 搬送システムＣの動作説明図である。 搬送システムＣの動作説明図である。

符号の説明

Ａ、Ｂ、Ｃ 搬送システム
１４０、１４０' 位置決め装置

Claims (9)

1. 水平な搬送軌道上で予め定めた搬送方向に搬送対象物を搬送する搬送手段と、
   前記搬送方向と直交する水平方向に互いに離間した複数の第１位置決め部にそれぞれ設けられ、前記搬送軌道上に位置して前記搬送対象物の前記水平方向の一方側部に当接する第１当接位置と、前記搬送軌道上に位置しない第１待機位置と、の間で移動可能に設けられた第１当接部材と、
   前記水平方向に互いに離間した複数の第２位置決め部にそれぞれ設けられ、前記搬送軌道上に位置して前記搬送対象物の前記水平方向の他方側部に当接する第２当接位置と、前記搬送軌道上に位置しない第２待機位置と、の間で移動可能に設けられた第２当接部材と、
   前記搬送手段が搬送する前記搬送対象物のサイズに応じて、前記複数の第１位置決め部のうち、前記第１当接部材を前記第１当接位置に移動させる前記第１位置決め部、及び、前記複数の第２位置決め部のうち、前記第２当接部材を前記第２当接位置に移動させる前記第２位置決め部、を選択する選択手段と、
   前記選択手段が選択した前記第１位置決め部に設けた前記第１当接部材を前記第１当接位置に移動させる第１移動手段と、
   前記選択手段が選択した前記第２位置決め部に設けた前記第２当接部材を前記第２当接位置に移動させる第２移動手段と、
   全ての前記第１当接部材を前記水平方向に移動する第３移動手段と、
   を備えたことを特徴とする搬送システム。
2. 前記水平方向に延設され、全ての前記第１当接部材を支持する支持部材を備え、
   前記第３移動手段は、
   前記支持部材を前記水平方向に移動することを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
3. 前記第３移動手段は、
   前記支持部材と連結された連結部と、前記連結部を前記水平方向にスライドする駆動手段と、を備えたことを特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
4. 前記第１及び第２待機位置が、前記搬送軌道よりも下方の位置であり、
   前記搬送手段は、前記搬送方向に互いに離間した複数の搬送装置を備え、
   互いに隣接する前記搬送装置間の隙間のうち、第１の隙間に前記第１当接部材が、前記第１の隙間とは異なる第２の隙間に前記第２当接部材が、それぞれ配置されたことを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
5. 前記第１及び第２待機位置が、前記搬送軌道よりも下方の位置であり、
   前記第１移動手段は、
   前記水平方向に延設され、各々の前記第１位置決め部毎に、１又は複数の前記第１当接部材が径方向に突出して設けられた第１支持軸と、
   前記第１支持軸をその軸心回りに回転させ、前記第１当接部材を前記第１当接位置と前記第１待機位置との間で移動させる第１駆動手段と、を備え、
   前記第２移動手段は、
   前記水平方向に延設され、各々の前記第２位置決め部毎に、１又は複数の前記第２当接部材が径方向に突出して設けられた第２支持軸と、
   前記第２支持軸をその軸心回りに回転させ、前記第２当接部材を前記第２当接位置と前記第２待機位置との間で移動させる第２駆動手段と、を備え、
   前記第１当接部材は、
   前記第１支持軸の回転角度により、前記第１当接部材が前記第１当接位置となる前記第１位置決め部が異なるように前記第１支持軸に設けられ、
   前記第２当接部材は、
   前記第２支持軸の回転角度により、前記第２当接部材が前記第２当接位置となる前記第２位置決め部が異なるように前記第２支持軸に設けられたことを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
6. 前記第１及び第２待機位置が、前記搬送軌道よりも下方の位置であり、
   前記第１移動手段は、各々の前記第１位置決め部毎に設けられ、前記第１当接部材を前記第１当接位置と前記第１待機位置との間で昇降する第１昇降手段であり、
   前記第２移動手段は、各々の前記第２位置決め部毎に設けられ、前記第２当接部材を前記第２当接位置と前記第２待機位置との間で昇降する第２昇降手段であることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
7. 前記第２位置決め部が前記搬送方向に離間して２列設定され、
   前記第１位置決め部が前記２列の前記第２位置決め部の間に設定されたことを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
8. 前記搬送対象物が基板であり、
   前記搬送手段の前記搬送方向の一方端部側に配置され、前記基板を処理する処理装置と、
   前記搬送手段の前記搬送方向の他方端部側に配置され、前記基板を収納する第１収納カセットと、
   前記基板を収納する第２収納カセットと、
   前記搬送手段と連続し、かつ、前記第１収納カセットの下部に配置され、前記第１収納カセットと前記搬送手段との間で前記基板を搬送する第１コンベアと、
   少なくとも前記第２収納カセットの下部に配置された第２コンベアと、
   前記第１及び第２当接部材、及び、前記第１乃至第３移動手段と共に、前記搬送手段の一部を、前記第２コンベアと連続する位置に移動する第４移動手段と、
   を備えたことを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
9. 前記搬送対象物が基板であり、
   前記搬送手段の前記搬送方向の一方端部側に配置され、前記基板を処理する処理装置と、
   前記搬送手段の前記搬送方向の他方端部側に配置され、前記基板を収納する第１収納カセットと、
   前記第１収納カセットに対して、前記搬送方向と直交する方向に配置され、前記基板を収納する第２収納カセットと、
   前記搬送手段と連続し、かつ、前記第１収納カセットの下部に配置され、前記第１収納カセットと前記搬送手段との間で前記基板を搬送する第１コンベアと、
   少なくとも前記第２収納カセットの下部に配置された第２コンベアと、
   前記搬送手段の第１部分を、前記搬送方向と直交する方向に、前記第２コンベアと連続する位置に移動する第４移動手段と、
   前記搬送手段の前記第１部分と前記搬送方向に連続した、前記搬送手段の第２の部分を、前記搬送方向と直交する方向に、移動する第５移動手段と、
   を備え、
   前記第１部分及び前記第２部分にそれぞれ、前記第１及び第２当接部材、及び、前記第１乃至第３移動手段が設けられ、
   前記第４及び第５移動手段は、それぞれ、前記第１部分及び前記第２部分と共に、前記第１及び第２当接部材、及び、前記第１乃至第３移動手段を移動することを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。

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