JP2003327320A - 搬送装置 - Google Patents
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- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G39/00—Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors
- B65G39/02—Adaptations of individual rollers and supports therefor
- B65G39/06—Adaptations of individual rollers and supports therefor the roller sleeves being shock-absorbing, e.g. formed by helically-wound wires
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
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- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基材を損傷することなく搬送でき、かつ、メ
ンテナンス作業を容易に行うことのできる搬送装置を提
供することにある。 【解決手段】 送りローラ２３にはガラス基板７と直接
に接するリング部材２４と、このリング部材２４をロー
ラ軸２２に固定する保持部材２７とが備えられ、リング
部材２４は軟質な材料により形成されている。さらに、
リング部材２４に分断部を設けることで、ローラ軸２２
を搬送装置１から取り外すことなく、リング部材２４の
ローラ軸２２に対する取り付け、取り外しを行えるよう
にしている。これにより、ガラス基板７を損傷すること
なく搬送でき、かつ、メンテナンス作業を容易に行うこ
とができる。
ンテナンス作業を容易に行うことのできる搬送装置を提
供することにある。 【解決手段】 送りローラ２３にはガラス基板７と直接
に接するリング部材２４と、このリング部材２４をロー
ラ軸２２に固定する保持部材２７とが備えられ、リング
部材２４は軟質な材料により形成されている。さらに、
リング部材２４に分断部を設けることで、ローラ軸２２
を搬送装置１から取り外すことなく、リング部材２４の
ローラ軸２２に対する取り付け、取り外しを行えるよう
にしている。これにより、ガラス基板７を損傷すること
なく搬送でき、かつ、メンテナンス作業を容易に行うこ
とができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば、カラー液晶表示パネルを構成す
るカラーフィルタは、ガラス基板に赤，緑，青色のレジ
ストをコーティングして作製され、その作製工程中で洗
浄が行われる。洗浄は、より洗浄効果を上げるため、純
水を用いたウエット洗浄法とＵＶ／Ｏ３洗浄法とが併用
されて行われる。このＵＶ／Ｏ３洗浄は、紫外線による
有機物の低分子化と、紫外線による空気中の酸素からの
オゾンと酸素の活性基生成を利用して有機物を除去する
もので、紫外線処理の一種である。
るカラーフィルタは、ガラス基板に赤，緑，青色のレジ
ストをコーティングして作製され、その作製工程中で洗
浄が行われる。洗浄は、より洗浄効果を上げるため、純
水を用いたウエット洗浄法とＵＶ／Ｏ３洗浄法とが併用
されて行われる。このＵＶ／Ｏ３洗浄は、紫外線による
有機物の低分子化と、紫外線による空気中の酸素からの
オゾンと酸素の活性基生成を利用して有機物を除去する
もので、紫外線処理の一種である。
【０００３】図１３は、このような洗浄工程に用いられ
ている紫外線処理装置の開放状態を示す斜視図である。
紫外線処理装置５０の本体５１内には、多数の送りロー
ラ５２を備えた搬送装置５３が設けられ、これにより被
処理物としての複数枚のガラス基板（図示せず）を送り
ローラ５２に載せて図１３の矢印方向に向かって順次搬
送することができる。
ている紫外線処理装置の開放状態を示す斜視図である。
紫外線処理装置５０の本体５１内には、多数の送りロー
ラ５２を備えた搬送装置５３が設けられ、これにより被
処理物としての複数枚のガラス基板（図示せず）を送り
ローラ５２に載せて図１３の矢印方向に向かって順次搬
送することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来、この種の搬送装
置５３においては、紫外線照射による劣化の生じにくい
金属製の送りローラ５２が使用されていた。しかし、金
属製の送りローラ５２は硬質であるため、ガラス基板に
接触する際に擦り傷を生じさせてしまう場合があり、製
品の歩留まりが低下するという問題が生じていた。特
に、大型のガラス基板を搬送する場合には、ガラス基板
の撓みを防止するために、製品の品質への影響の少ない
両端部のみでなく、内側寄りの位置にも送りローラ５２
を設置してガラス基板を支持しなければならないことか
ら、歩留まり低下の問題が大きくなっていた。
置５３においては、紫外線照射による劣化の生じにくい
金属製の送りローラ５２が使用されていた。しかし、金
属製の送りローラ５２は硬質であるため、ガラス基板に
接触する際に擦り傷を生じさせてしまう場合があり、製
品の歩留まりが低下するという問題が生じていた。特
に、大型のガラス基板を搬送する場合には、ガラス基板
の撓みを防止するために、製品の品質への影響の少ない
両端部のみでなく、内側寄りの位置にも送りローラ５２
を設置してガラス基板を支持しなければならないことか
ら、歩留まり低下の問題が大きくなっていた。
【０００５】そこで、この問題を回避するため、送りロ
ーラ５２として、擦り傷を生じさせにくい樹脂製ものが
採用されている。しかし、樹脂製の送りローラ５２は、
金属製のものに比べて劣化が早いため、頻繁に点検、交
換を行う必要がある。この交換作業においては、まず、
ローラ軸５４を搬送装置５３から取り外し、送りローラ
５２からローラ軸５４を抜き取った後、新たな送りロー
ラ５２にローラ軸５４を挿入して、再度搬送装置５３に
取り付けるという煩雑な工程を経なければならなかっ
た。また、メンテナンス作業が長時間に及ぶために、装
置の稼動効率が低下するという問題が生じていた。
ーラ５２として、擦り傷を生じさせにくい樹脂製ものが
採用されている。しかし、樹脂製の送りローラ５２は、
金属製のものに比べて劣化が早いため、頻繁に点検、交
換を行う必要がある。この交換作業においては、まず、
ローラ軸５４を搬送装置５３から取り外し、送りローラ
５２からローラ軸５４を抜き取った後、新たな送りロー
ラ５２にローラ軸５４を挿入して、再度搬送装置５３に
取り付けるという煩雑な工程を経なければならなかっ
た。また、メンテナンス作業が長時間に及ぶために、装
置の稼動効率が低下するという問題が生じていた。
【０００６】本発明は、上記した事情に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、被搬送体を損傷することなく
搬送でき、かつ、メンテナンス作業を容易に行うことの
できる搬送装置を提供することにある。
ものであり、その目的は、被搬送体を損傷することなく
搬送でき、かつ、メンテナンス作業を容易に行うことの
できる搬送装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めの請求項１の発明に係る搬送装置は、回転可能に支持
されたローラ軸と、前記ロ−ラ軸に固定された送りロー
ラとを備え、前記送りローラの回転により前記送りロー
ラに接する被搬送体を搬送する搬送装置であって、前記
送りローラは、前記ローラ軸に固定可能な保持部材と、
前記被搬送体との接触により前記被搬送体への損傷を生
じさせることを回避可能な程度に軟質の材料により前記
保持部材よりも径大に形成されるとともに、前記保持部
材を介して前記ローラ軸に取り付けられるリング部材と
を備え、前記リング部材にはこのリング部材を径方向に
分断する分断部が設けられていることを特徴とする。こ
こで、「前記被搬送体との接触により前記被搬送体への
損傷を生じさせることを回避可能な程度に軟質の材料」
としては、例えばフッ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエ
ーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂等の樹脂材料を
挙げることができる。
めの請求項１の発明に係る搬送装置は、回転可能に支持
されたローラ軸と、前記ロ−ラ軸に固定された送りロー
ラとを備え、前記送りローラの回転により前記送りロー
ラに接する被搬送体を搬送する搬送装置であって、前記
送りローラは、前記ローラ軸に固定可能な保持部材と、
前記被搬送体との接触により前記被搬送体への損傷を生
じさせることを回避可能な程度に軟質の材料により前記
保持部材よりも径大に形成されるとともに、前記保持部
材を介して前記ローラ軸に取り付けられるリング部材と
を備え、前記リング部材にはこのリング部材を径方向に
分断する分断部が設けられていることを特徴とする。こ
こで、「前記被搬送体との接触により前記被搬送体への
損傷を生じさせることを回避可能な程度に軟質の材料」
としては、例えばフッ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエ
ーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂等の樹脂材料を
挙げることができる。
【０００８】請求項２の発明は、請求項１に記載の搬送
装置であって、前記リング部材および前記保持部材のう
ち一方には、軸方向に突出された張り出し部が設けられ
ているとともに、他方には、前記張り出し部を嵌入可能
な凹部が設けられていることを特徴とする。
装置であって、前記リング部材および前記保持部材のう
ち一方には、軸方向に突出された張り出し部が設けられ
ているとともに、他方には、前記張り出し部を嵌入可能
な凹部が設けられていることを特徴とする。
【０００９】請求項３の発明は、請求項２に記載の搬送
装置であって、前記保持部材は、前記リング部材を挟み
付けることにより固定可能な第１の保持部と第２の保持
部とに分割形成されており、前記第１の保持部が前記ロ
ーラ軸に径方向への遊動不能に固定されており、かつ、
前記張り出し部または前記凹部が前記第１の保持部に設
けられていることを特徴とする。
装置であって、前記保持部材は、前記リング部材を挟み
付けることにより固定可能な第１の保持部と第２の保持
部とに分割形成されており、前記第１の保持部が前記ロ
ーラ軸に径方向への遊動不能に固定されており、かつ、
前記張り出し部または前記凹部が前記第１の保持部に設
けられていることを特徴とする。
【００１０】請求項４の発明は、請求項１〜請求項３の
いずれかに記載の搬送装置であって、前記保持部材は、
前記リング部材を挟み付けることにより固定可能な第１
の保持部と第２の保持部とに分割形成されており、前記
第１の保持部には、ねじ部と、このねじ部よりも径大に
形成された頭部とを備えた頭付きねじにより第２の保持
部がねじ止めされているとともに、前記第２の保持部に
は、前記ねじ部に係合可能であって、かつ、前記頭部の
挿通を許容する大径孔と前記頭部の挿通を規制する小径
孔とが連接されてなる取付穴が設けられていることを特
徴とする。
いずれかに記載の搬送装置であって、前記保持部材は、
前記リング部材を挟み付けることにより固定可能な第１
の保持部と第２の保持部とに分割形成されており、前記
第１の保持部には、ねじ部と、このねじ部よりも径大に
形成された頭部とを備えた頭付きねじにより第２の保持
部がねじ止めされているとともに、前記第２の保持部に
は、前記ねじ部に係合可能であって、かつ、前記頭部の
挿通を許容する大径孔と前記頭部の挿通を規制する小径
孔とが連接されてなる取付穴が設けられていることを特
徴とする。
【００１１】
【発明の作用、及び発明の効果】請求項１の発明によれ
ば、被搬送体と直接に接するリング部材を軟質な材料に
より形成している。さらに、リング部材に分断部を設け
ることで、ローラ軸を搬送装置から取り外すことなく、
リング部材のローラ軸に対する取り付け、取り外しを行
えるようにしている。これにより、被搬送体を損傷する
ことなく搬送でき、かつ、メンテナンス作業を容易に行
うことができる。
ば、被搬送体と直接に接するリング部材を軟質な材料に
より形成している。さらに、リング部材に分断部を設け
ることで、ローラ軸を搬送装置から取り外すことなく、
リング部材のローラ軸に対する取り付け、取り外しを行
えるようにしている。これにより、被搬送体を損傷する
ことなく搬送でき、かつ、メンテナンス作業を容易に行
うことができる。
【００１２】請求項２の発明によれば、リング部材およ
び保持部材のうち一方には、軸方向に突出された張り出
し部が設けられているとともに、他方には、この張り出
し部を嵌入可能な凹部が設けられている。ここで、リン
グ部材は分断部を備えているため、熱や被搬送体との干
渉等を受けて変形を生じ易い。しかし、上記のような構
成によれば、張り出し部を凹部に嵌め付けておくことに
より、リング部材のずれが規制され、リング部材がその
形状を保ちつつ確実に保持部材に固定される。これによ
り、リング部材の変形を防止して被搬送体を円滑に搬送
することができる。
び保持部材のうち一方には、軸方向に突出された張り出
し部が設けられているとともに、他方には、この張り出
し部を嵌入可能な凹部が設けられている。ここで、リン
グ部材は分断部を備えているため、熱や被搬送体との干
渉等を受けて変形を生じ易い。しかし、上記のような構
成によれば、張り出し部を凹部に嵌め付けておくことに
より、リング部材のずれが規制され、リング部材がその
形状を保ちつつ確実に保持部材に固定される。これによ
り、リング部材の変形を防止して被搬送体を円滑に搬送
することができる。
【００１３】請求項３の発明によれば、保持部材は、リ
ング部材を挟み付けて固定する２つの保持部に分割形成
される。そして、両保持部のうち第１の保持部がローラ
軸に遊動不能に固定されており、この保持部にリング部
材が嵌め付けられるようになっている。このような構成
によれば、リング部材をローラ軸に対して芯ずれなく保
持することができ、基板を円滑に搬送することができ
る。
ング部材を挟み付けて固定する２つの保持部に分割形成
される。そして、両保持部のうち第１の保持部がローラ
軸に遊動不能に固定されており、この保持部にリング部
材が嵌め付けられるようになっている。このような構成
によれば、リング部材をローラ軸に対して芯ずれなく保
持することができ、基板を円滑に搬送することができ
る。
【００１４】請求項４の発明によれば、保持部材は、ね
じ止めによってリング部材を挟み付けて固定する２つの
保持部に分割形成される。そして、ねじ止め用の取付穴
は、頭付きねじの頭部の挿通を許容する大径孔と、この
頭部の挿通を規制する小径孔とが連接されてなる。この
ような構成によれば、頭付きねじを取り外さなくとも、
頭部を大径孔から抜き差しすることにより、第２の保持
部の第１の保持部に対する取り付け、取り外しを行うこ
とができる。これにより、メンテナンス作業を容易に行
うことができる。
じ止めによってリング部材を挟み付けて固定する２つの
保持部に分割形成される。そして、ねじ止め用の取付穴
は、頭付きねじの頭部の挿通を許容する大径孔と、この
頭部の挿通を規制する小径孔とが連接されてなる。この
ような構成によれば、頭付きねじを取り外さなくとも、
頭部を大径孔から抜き差しすることにより、第２の保持
部の第１の保持部に対する取り付け、取り外しを行うこ
とができる。これにより、メンテナンス作業を容易に行
うことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】＜第１実施形態＞以下、本発明の
搬送装置１を具体化した第１実施形態について、図１〜
図９を参照しつつ、詳細に説明する。
搬送装置１を具体化した第１実施形態について、図１〜
図９を参照しつつ、詳細に説明する。
【００１６】本発明の搬送装置１は、液晶ディスプレイ
用のガラス基板７（本発明の被搬送体に該当する）の洗
浄を行う洗浄装置２に備えられて、ガラス基板７を搬送
する装置である。図１に示すように、洗浄装置２は紫外
線アッシング装置３の正面から見て左側に赤外線予備加
熱装置４を、右側に冷却装置５を連続して配置し、さら
に冷却装置５の右側にウエット洗浄装置６を連続して配
置して構成されている。各装置３、４、５、６にはそれ
ぞれに搬送装置１が備えられて、ガラス基板７が同図中
矢印に示すように左側から右側に順次搬送されるように
なっており、全体として連続する洗浄ラインをなしてい
る。以下には、紫外線アッシング装置３を例にとって説
明する。
用のガラス基板７（本発明の被搬送体に該当する）の洗
浄を行う洗浄装置２に備えられて、ガラス基板７を搬送
する装置である。図１に示すように、洗浄装置２は紫外
線アッシング装置３の正面から見て左側に赤外線予備加
熱装置４を、右側に冷却装置５を連続して配置し、さら
に冷却装置５の右側にウエット洗浄装置６を連続して配
置して構成されている。各装置３、４、５、６にはそれ
ぞれに搬送装置１が備えられて、ガラス基板７が同図中
矢印に示すように左側から右側に順次搬送されるように
なっており、全体として連続する洗浄ラインをなしてい
る。以下には、紫外線アッシング装置３を例にとって説
明する。
【００１７】紫外線アッシング装置３の本体１１は箱形
をなして上面を開口させており、その開口部を塞ぐよう
に２枚のランプハウス１２が配置されている（図２参
照）。
をなして上面を開口させており、その開口部を塞ぐよう
に２枚のランプハウス１２が配置されている（図２参
照）。
【００１８】本体１１の前面から見て左側に位置するラ
ンプハウス１２は、その左側縁の前後両端部がヒンジ機
構を介して本体１１の前面壁部１１Ａ及び後面壁部１１
Ｂに支持され、本体１１の上面開口部の左半分がこのラ
ンプハウス１２によって左方向に開閉可能とされてい
る。一方、本体１１の前面から見て右側に位置するラン
プハウス１２も同様にその右側縁の前後両端部がヒンジ
機構を介して本体１１の前面壁部１１Ａ及び後面壁部１
１Ｂに支持され、本体１１の上面開口部の右半分がこの
ランプハウス１２によって横方向に開閉可能とされてい
る。そして、各ランプハウス１２の前後両端部と本体１
１の前面壁部１１Ａ及び後面壁部１１Ｂとの間には、そ
れぞれ周知のガスダンパ式の支持ステイ１７が設けられ
ており、この支持ステイ１７によってランプハウス１２
の開放方向の動きを助勢し、かつ、ランプハウス１２の
開放状態を保持可能とされている。
ンプハウス１２は、その左側縁の前後両端部がヒンジ機
構を介して本体１１の前面壁部１１Ａ及び後面壁部１１
Ｂに支持され、本体１１の上面開口部の左半分がこのラ
ンプハウス１２によって左方向に開閉可能とされてい
る。一方、本体１１の前面から見て右側に位置するラン
プハウス１２も同様にその右側縁の前後両端部がヒンジ
機構を介して本体１１の前面壁部１１Ａ及び後面壁部１
１Ｂに支持され、本体１１の上面開口部の右半分がこの
ランプハウス１２によって横方向に開閉可能とされてい
る。そして、各ランプハウス１２の前後両端部と本体１
１の前面壁部１１Ａ及び後面壁部１１Ｂとの間には、そ
れぞれ周知のガスダンパ式の支持ステイ１７が設けられ
ており、この支持ステイ１７によってランプハウス１２
の開放方向の動きを助勢し、かつ、ランプハウス１２の
開放状態を保持可能とされている。
【００１９】ランプハウス１２のうち閉鎖位置にあると
きに下面となる部分には、紫外線を照射するためのラン
プ１３が複数本配置されている。このランプ１３は、全
体としてはコンベアフレーム壁２１間の対向間隔にほぼ
等しい長さの長尺形状をなしているが、口金部１３Ａが
本体１１の前側に位置し、ガラス管部１３Ｂが本体１１
の後側で折り返し状に屈曲したＵ字状の屈曲型ランプで
ある。その口金部１３Ａはランプハウス１２に設けた固
定部１４に対してねじ止めによって固定され、ガラス管
部１３Ｂの後端部はねじ止めした保持クリップ１５によ
ってランプハウス１２の下面板１２Ａに留められてい
る。口金部１３Ａに連なる電線群（図示せず）はランプ
ハウス１２内で前側に集合され、ランプハウス１２の前
端部と本体１１との間に設けた可撓性の蛇腹管１６内を
通して本体１１内の図示しない電源装置に接続されてい
る。
きに下面となる部分には、紫外線を照射するためのラン
プ１３が複数本配置されている。このランプ１３は、全
体としてはコンベアフレーム壁２１間の対向間隔にほぼ
等しい長さの長尺形状をなしているが、口金部１３Ａが
本体１１の前側に位置し、ガラス管部１３Ｂが本体１１
の後側で折り返し状に屈曲したＵ字状の屈曲型ランプで
ある。その口金部１３Ａはランプハウス１２に設けた固
定部１４に対してねじ止めによって固定され、ガラス管
部１３Ｂの後端部はねじ止めした保持クリップ１５によ
ってランプハウス１２の下面板１２Ａに留められてい
る。口金部１３Ａに連なる電線群（図示せず）はランプ
ハウス１２内で前側に集合され、ランプハウス１２の前
端部と本体１１との間に設けた可撓性の蛇腹管１６内を
通して本体１１内の図示しない電源装置に接続されてい
る。
【００２０】また、ランプハウス１２内には図示しない
冷却水路が設けられており、この冷却水路に対する給水
チューブ１８及び排水チューブ１９は上記蛇腹管１６と
は反対側のランプハウス１２の後端部から導出され、本
体１１内の図示しない冷却水供給装置に接続されてい
る。
冷却水路が設けられており、この冷却水路に対する給水
チューブ１８及び排水チューブ１９は上記蛇腹管１６と
は反対側のランプハウス１２の後端部から導出され、本
体１１内の図示しない冷却水供給装置に接続されてい
る。
【００２１】さて、本体１１には、搬送装置１が組み付
けられている。本体１１の内部には、前面壁部１１Ａと
後面壁部１１Ｂとに沿って２枚のコンベアフレーム壁２
１が平行に対をなして設けられている。このコンベアフ
レーム壁２１間には、円柱状に形成された複数本のロー
ラ軸２２が前後方向に差し渡され、それぞれ図示しない
ベアリングを介して回転可能に支持されている。各ロー
ラ軸２２には、複数個の送りローラ２３がほぼ均一ピッ
チで取り付けられており、本体１１内に設けた駆動装置
によってローラ軸２２を回転駆動することにより、送り
ローラ２３上に載せたガラス基板７を搬送することがで
きるようになっている。
けられている。本体１１の内部には、前面壁部１１Ａと
後面壁部１１Ｂとに沿って２枚のコンベアフレーム壁２
１が平行に対をなして設けられている。このコンベアフ
レーム壁２１間には、円柱状に形成された複数本のロー
ラ軸２２が前後方向に差し渡され、それぞれ図示しない
ベアリングを介して回転可能に支持されている。各ロー
ラ軸２２には、複数個の送りローラ２３がほぼ均一ピッ
チで取り付けられており、本体１１内に設けた駆動装置
によってローラ軸２２を回転駆動することにより、送り
ローラ２３上に載せたガラス基板７を搬送することがで
きるようになっている。
【００２２】送りローラ２３は、ガラス基板７と直接に
接触するリング部材２４と、このリング部材２４をロー
ラ軸２２に保持する保持部材２７とで構成されている
（図３〜図５参照）。
接触するリング部材２４と、このリング部材２４をロー
ラ軸２２に保持する保持部材２７とで構成されている
（図３〜図５参照）。
【００２３】リング部材２４は、ガラス基板７を損傷し
ない程度に軟質で、かつ、紫外線によって劣化しにくい
材料であるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹
脂により、ローラ軸２２の外径よりもやや大きな内径を
もつ平板な円環形状に形成されている。このリング部材
２４の一方の側面には、径方向内側領域に全周に渡って
軸方向に突出するリブ２５（本発明の張り出し部に該当
する）が形成されている。また、リング部材２４におい
て任意の１箇所には、軸方向に沿って環を切断すること
により分断部２６が形成されており、この分断部２６を
拡開することによってローラ軸２２に対する取り付けお
よび取り外しを行うことができるようになっている。
ない程度に軟質で、かつ、紫外線によって劣化しにくい
材料であるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹
脂により、ローラ軸２２の外径よりもやや大きな内径を
もつ平板な円環形状に形成されている。このリング部材
２４の一方の側面には、径方向内側領域に全周に渡って
軸方向に突出するリブ２５（本発明の張り出し部に該当
する）が形成されている。また、リング部材２４におい
て任意の１箇所には、軸方向に沿って環を切断すること
により分断部２６が形成されており、この分断部２６を
拡開することによってローラ軸２２に対する取り付けお
よび取り外しを行うことができるようになっている。
【００２４】保持部材２７は、ステンレスにより全体と
して円環状に形成されており、ローラ軸２２に対して固
定された固定リング２８（本発明の第１の保持部に該当
する）と、この固定リング２８との間でリング部材２４
を挟み付けるための固定板３６（本発明の第２の保持部
に該当する）とを備えている。
して円環状に形成されており、ローラ軸２２に対して固
定された固定リング２８（本発明の第１の保持部に該当
する）と、この固定リング２８との間でリング部材２４
を挟み付けるための固定板３６（本発明の第２の保持部
に該当する）とを備えている。
【００２５】固定リング２８は、ローラ軸２２の外径と
ほぼ等しい内径をもち、リング部材２４より一回り小さ
な外径をもつ円環状に形成されている。この固定リング
２８における一方の面は、リング部材２４を取り付ける
取付面２９とされている。この取付面２９には、その径
方向外側領域が全周に渡ってリング部材２４の厚さと等
しい厚さだけ掘り下げられて、段付き部３０が形成され
ている。また、段付き部３０において径方向内側領域に
は、リング部材２４のリブ２５を嵌入可能な溝部３１
（本発明の凹部に該当する）が、全周に渡って形成され
ている。この段付き部３０には、上記したリング部材２
４が、リブ２５を溝部３１に整合させつつ嵌め込まれて
いる。
ほぼ等しい内径をもち、リング部材２４より一回り小さ
な外径をもつ円環状に形成されている。この固定リング
２８における一方の面は、リング部材２４を取り付ける
取付面２９とされている。この取付面２９には、その径
方向外側領域が全周に渡ってリング部材２４の厚さと等
しい厚さだけ掘り下げられて、段付き部３０が形成され
ている。また、段付き部３０において径方向内側領域に
は、リング部材２４のリブ２５を嵌入可能な溝部３１
（本発明の凹部に該当する）が、全周に渡って形成され
ている。この段付き部３０には、上記したリング部材２
４が、リブ２５を溝部３１に整合させつつ嵌め込まれて
いる。
【００２６】また、この段付き部３０よりもやや内側の
所定位置には、固定板３６をねじ止めするための頭付き
ねじ３２をねじ付け可能なねじ穴３３が形成されてい
る。このねじ穴３３は、同一円周上に均等な間隔を空け
て３箇所に設けられている。
所定位置には、固定板３６をねじ止めするための頭付き
ねじ３２をねじ付け可能なねじ穴３３が形成されてい
る。このねじ穴３３は、同一円周上に均等な間隔を空け
て３箇所に設けられている。
【００２７】固定リング２８において取付面２９とは逆
側の面には、その径方向内側領域に全周に渡って軸方向
に突出する筒部３４が形成されている。この筒部３４の
内部には、ローラ軸２２が緊密に嵌入されるようになっ
ており、これにより、ローラ軸２２に固定リング２８が
同芯状に、かつ径方向への遊動不能に固定されるように
なっている。この筒部３４の長さ方向におけるほぼ中央
位置には、止めねじ穴３５が貫通形成されており、この
止めねじ穴３５に止めねじ（図示せず）を取り付けて締
め付けることにより、固定リング２８がローラ軸２２に
対して一体回転可能に固定される。
側の面には、その径方向内側領域に全周に渡って軸方向
に突出する筒部３４が形成されている。この筒部３４の
内部には、ローラ軸２２が緊密に嵌入されるようになっ
ており、これにより、ローラ軸２２に固定リング２８が
同芯状に、かつ径方向への遊動不能に固定されるように
なっている。この筒部３４の長さ方向におけるほぼ中央
位置には、止めねじ穴３５が貫通形成されており、この
止めねじ穴３５に止めねじ（図示せず）を取り付けて締
め付けることにより、固定リング２８がローラ軸２２に
対して一体回転可能に固定される。
【００２８】一方、固定板３６は、固定リング２８とほ
ぼ等しい外径をもつ平板な円環状に形成されている。固
定板３６の内径は、ローラ軸２２の外径よりも僅かに大
きくされ、固定リング２８に対する取り付け、取り外し
を行う際に固定板３６の軸方向へのスライドを行い易い
ようになっている。この固定板３６には、固定リング２
８のねじ穴３３に整合する位置に、頭付きねじ３２を挿
通するための取付穴３７が形成されている。この取付穴
３７は、頭付きねじ３２の頭部３２Ａよりもやや大きく
形成された大径孔３７Ａと、頭付きねじ３２のねじ部３
２Ｂより大きいが頭部３２Ａよりも小さく形成された小
径孔３７Ｂとが円周方向に連接されただるま穴形状に形
成されたものである。
ぼ等しい外径をもつ平板な円環状に形成されている。固
定板３６の内径は、ローラ軸２２の外径よりも僅かに大
きくされ、固定リング２８に対する取り付け、取り外し
を行う際に固定板３６の軸方向へのスライドを行い易い
ようになっている。この固定板３６には、固定リング２
８のねじ穴３３に整合する位置に、頭付きねじ３２を挿
通するための取付穴３７が形成されている。この取付穴
３７は、頭付きねじ３２の頭部３２Ａよりもやや大きく
形成された大径孔３７Ａと、頭付きねじ３２のねじ部３
２Ｂより大きいが頭部３２Ａよりも小さく形成された小
径孔３７Ｂとが円周方向に連接されただるま穴形状に形
成されたものである。
【００２９】固定板３６は、取付穴３７の小径孔３７Ｂ
を固定リング２８のねじ穴３３と整合させるようにして
固定リング２８の取付面２９にあてがわれた状態で、頭
付きねじ３２を小径孔３７Ｂに通してねじ穴３３にねじ
付けることにより固定されている。これにより、リング
部材２４が、固定板３６と固定リング２８とに挟み付け
られて、脱落不能に保持される。
を固定リング２８のねじ穴３３と整合させるようにして
固定リング２８の取付面２９にあてがわれた状態で、頭
付きねじ３２を小径孔３７Ｂに通してねじ穴３３にねじ
付けることにより固定されている。これにより、リング
部材２４が、固定板３６と固定リング２８とに挟み付け
られて、脱落不能に保持される。
【００３０】次に、上記のように構成された本実施形態
の作用および効果について説明する。
の作用および効果について説明する。
【００３１】本実施形態の洗浄装置２によりガラス基板
７を洗浄する場合には、搬送装置１の送りローラ２３上
にガラス基板７を載置し、駆動装置を駆動する。する
と、ローラ軸２２の回転駆動により、このローラ軸２２
に一体回転可能に固定された送りローラ２３が回転す
る。これにより、送りローラ２３上に載せたガラス基板
７が図１中左から右に向かって搬送される。そして、ガ
ラス基板が各装置３、４、５、６の内部を通過する間
に、順次ガラス基板７の処理が行われる。すなわち、ガ
ラス基板７は、赤外線予備加熱装置４内を通過する際に
加熱処理され、次いで紫外線アッシング装置３内に搬送
されてこの中でレジストのアッシングが行われる。その
後、冷却装置５内に搬送されて冷却され、ウエット洗浄
装置６内に搬送されてウェット洗浄される。
７を洗浄する場合には、搬送装置１の送りローラ２３上
にガラス基板７を載置し、駆動装置を駆動する。する
と、ローラ軸２２の回転駆動により、このローラ軸２２
に一体回転可能に固定された送りローラ２３が回転す
る。これにより、送りローラ２３上に載せたガラス基板
７が図１中左から右に向かって搬送される。そして、ガ
ラス基板が各装置３、４、５、６の内部を通過する間
に、順次ガラス基板７の処理が行われる。すなわち、ガ
ラス基板７は、赤外線予備加熱装置４内を通過する際に
加熱処理され、次いで紫外線アッシング装置３内に搬送
されてこの中でレジストのアッシングが行われる。その
後、冷却装置５内に搬送されて冷却され、ウエット洗浄
装置６内に搬送されてウェット洗浄される。
【００３２】このとき、金属製の保持部材２７はリング
部材２４よりも径小に形成されているためにガラス基板
７とは接触せず、軟質のリング部材２４のみがガラス基
板７に接するようになっている（図６参照）。これによ
り、ガラス基板７が送りローラ２３によって損傷される
ことが回避される。
部材２４よりも径小に形成されているためにガラス基板
７とは接触せず、軟質のリング部材２４のみがガラス基
板７に接するようになっている（図６参照）。これによ
り、ガラス基板７が送りローラ２３によって損傷される
ことが回避される。
【００３３】また、リング部材２４は分断部２６を備え
ているため、熱や基材との干渉等により、変形を生じ易
い。しかし、リング部材２４にリブ２５を設け、このリ
ブ２５を固定リング２８の溝部３１に嵌め付ける構成と
したから、リング部材２４の固定リング２８に対する動
きが規制され、リング部材２４がその形状を保ちつつ保
持部材２７に確実に固定される。これにより、リング部
材２４の変形を防止してガラス基板７を円滑に搬送する
ことができる。
ているため、熱や基材との干渉等により、変形を生じ易
い。しかし、リング部材２４にリブ２５を設け、このリ
ブ２５を固定リング２８の溝部３１に嵌め付ける構成と
したから、リング部材２４の固定リング２８に対する動
きが規制され、リング部材２４がその形状を保ちつつ保
持部材２７に確実に固定される。これにより、リング部
材２４の変形を防止してガラス基板７を円滑に搬送する
ことができる。
【００３４】特に、ローラ軸２２に遊動不能に固定され
ている固定リング２８側にリング部材２４が嵌合されて
いるため、リング部材２４のローラ軸２２に対する芯ず
れを防止できる。また、リブ２５および溝部３１は全周
に渡って形成されているから、リング部材２４が確実に
円環形状に保持される。これらにより、ガラス基板７を
搬送する際のがたつきを防止することができる。
ている固定リング２８側にリング部材２４が嵌合されて
いるため、リング部材２４のローラ軸２２に対する芯ず
れを防止できる。また、リブ２５および溝部３１は全周
に渡って形成されているから、リング部材２４が確実に
円環形状に保持される。これらにより、ガラス基板７を
搬送する際のがたつきを防止することができる。
【００３５】また、リング部材２４は熱や紫外線等の影
響により比較的早期に劣化するため、以下のようにして
交換作業を行う。
響により比較的早期に劣化するため、以下のようにして
交換作業を行う。
【００３６】まず、頭付きねじ３２を少し緩め、頭付き
ねじ３２の頭部３２Ａが取付穴３７の大径孔３７Ａと整
合する位置まで固定板３６を回転させる（図７参照）。
この状態で、大径孔３７Ａに頭付きねじ３２の頭部３２
Ａを通すようにして固定板３６をスライドさせ、固定リ
ング２８から離間させる（図８参照）。次いで、リング
部材２４を固定リング２８から取り外す。そして、リン
グ部材２４をねじって分断端２６Ａ、２６Ｂの間をロー
ラ軸２２が通過できるように分断部２６を拡開し、ここ
にローラ軸２２を通過させて、リング部材２４を取り外
す（図９参照）。
ねじ３２の頭部３２Ａが取付穴３７の大径孔３７Ａと整
合する位置まで固定板３６を回転させる（図７参照）。
この状態で、大径孔３７Ａに頭付きねじ３２の頭部３２
Ａを通すようにして固定板３６をスライドさせ、固定リ
ング２８から離間させる（図８参照）。次いで、リング
部材２４を固定リング２８から取り外す。そして、リン
グ部材２４をねじって分断端２６Ａ、２６Ｂの間をロー
ラ軸２２が通過できるように分断部２６を拡開し、ここ
にローラ軸２２を通過させて、リング部材２４を取り外
す（図９参照）。
【００３７】その後、新しいリング部材２４を、取り外
し時とは逆の手順を経ることによって保持部材２７に取
り付ける。すなわち、リング部材２４をねじって分断部
２６を拡開し、ここからローラ軸２２を円環内に進入さ
せることにより、リング部材２４をローラ軸２２に取り
付ける。次に、リブ２５を溝部３１に整合させるように
して、リング部材２４を固定リング２８に嵌め付ける。
次いで、大径孔３７Ａに頭付きねじ３２の頭部３２Ａを
通すようにして、固定板３６を固定リング２８に向かっ
てスライドさせ、取付面２９に当接させる。そして、頭
付きねじ３２のねじ部３２Ｂが小径孔３７Ｂに進入する
位置まで固定板３６を回転させて、固定板３６を抜け止
め不能に保持させる。最後に、頭付きねじ３２を締め付
けることにより、リング部材２４を固定板３６と固定リ
ング２８とで挟み付けて固定する。
し時とは逆の手順を経ることによって保持部材２７に取
り付ける。すなわち、リング部材２４をねじって分断部
２６を拡開し、ここからローラ軸２２を円環内に進入さ
せることにより、リング部材２４をローラ軸２２に取り
付ける。次に、リブ２５を溝部３１に整合させるように
して、リング部材２４を固定リング２８に嵌め付ける。
次いで、大径孔３７Ａに頭付きねじ３２の頭部３２Ａを
通すようにして、固定板３６を固定リング２８に向かっ
てスライドさせ、取付面２９に当接させる。そして、頭
付きねじ３２のねじ部３２Ｂが小径孔３７Ｂに進入する
位置まで固定板３６を回転させて、固定板３６を抜け止
め不能に保持させる。最後に、頭付きねじ３２を締め付
けることにより、リング部材２４を固定板３６と固定リ
ング２８とで挟み付けて固定する。
【００３８】このように、リング部材２４には分断部２
６が形成されているので、ローラ軸２２を搬送装置１か
ら取り外すことなく、リング部材２４のみを取り付け、
取り外しすることができる。また、固定板３６に備えら
れた取付穴３７がだるま穴形状とされているので、頭付
きねじ３２を固定リング２８から取り外すことなく、固
定板３６の固定リング２８に対する取り付け、取り外し
を行うことができる。
６が形成されているので、ローラ軸２２を搬送装置１か
ら取り外すことなく、リング部材２４のみを取り付け、
取り外しすることができる。また、固定板３６に備えら
れた取付穴３７がだるま穴形状とされているので、頭付
きねじ３２を固定リング２８から取り外すことなく、固
定板３６の固定リング２８に対する取り付け、取り外し
を行うことができる。
【００３９】以上のように本実施形態によれば、ガラス
基板７と直接に接するリング部材２４を軟質な樹脂材料
により形成し、かつ、このリング部材２４に分断部２６
を設けることで交換作業を容易に行えるようにしてい
る。これにより、ガラス基板７を損傷することなく搬送
でき、かつ、メンテナンス作業を容易に行うことができ
る。なお、本実施形態では、紫外線アッシング装置３に
備えられた搬送装置１を例にとり説明したが、他の装置
４、５、６に備えられた搬送装置も同様の構成を備え、
同様の作用効果を奏する。
基板７と直接に接するリング部材２４を軟質な樹脂材料
により形成し、かつ、このリング部材２４に分断部２６
を設けることで交換作業を容易に行えるようにしてい
る。これにより、ガラス基板７を損傷することなく搬送
でき、かつ、メンテナンス作業を容易に行うことができ
る。なお、本実施形態では、紫外線アッシング装置３に
備えられた搬送装置１を例にとり説明したが、他の装置
４、５、６に備えられた搬送装置も同様の構成を備え、
同様の作用効果を奏する。
【００４０】＜第２実施形態＞以下、本発明の第２実施
形態について、図１０および図１１を参照しつつ説明す
る。
形態について、図１０および図１１を参照しつつ説明す
る。
【００４１】第１実施形態と本実施形態との相違は、分
断部４１がリング部材４０の軸方向に対して斜めに設け
られている点にある。周囲温度の変動等によりリング部
材４０に収縮を生じた場合には、分断部４１に開きが生
じてしまう場合がある。ここで、第１実施形態のように
分断部４１がリング部材４０の軸方向に沿って形成され
ていると、この開き部分がガラス基板７の搬送方向に対
して垂直方向を向くこととなるため、ガラス基板７の搬
送時にがたつきを生じるおそれがある。しかし、分断部
４１をリング部材４０の軸方向に対して斜めに設けてお
けば、両分断端４１Ａ、４１Ｂのいずれかによってガラ
ス基板７が常に支持される。このため、がたつきを回避
してガラス基板７を円滑に搬送することができる。
断部４１がリング部材４０の軸方向に対して斜めに設け
られている点にある。周囲温度の変動等によりリング部
材４０に収縮を生じた場合には、分断部４１に開きが生
じてしまう場合がある。ここで、第１実施形態のように
分断部４１がリング部材４０の軸方向に沿って形成され
ていると、この開き部分がガラス基板７の搬送方向に対
して垂直方向を向くこととなるため、ガラス基板７の搬
送時にがたつきを生じるおそれがある。しかし、分断部
４１をリング部材４０の軸方向に対して斜めに設けてお
けば、両分断端４１Ａ、４１Ｂのいずれかによってガラ
ス基板７が常に支持される。このため、がたつきを回避
してガラス基板７を円滑に搬送することができる。
【００４２】＜その他の実施形態＞本発明の技術的範囲
は、上記した実施形態によって限定されるものではな
く、次に記載するようなものも本発明の技術的範囲に含
まれる。その他、本発明の技術的範囲は、均等の範囲に
まで及ぶものである。
は、上記した実施形態によって限定されるものではな
く、次に記載するようなものも本発明の技術的範囲に含
まれる。その他、本発明の技術的範囲は、均等の範囲に
まで及ぶものである。
【００４３】（１）上記実施形態では、分断部２６はリ
ング部材２４の１箇所に設けられていたが、図１２に示
すように、分断部４２が２箇所に設けられていてもよ
く、あるいは、３箇所以上に設けられていても良い。こ
のような構成は、特に、リング部材がＰＥＥＫ樹脂等の
比較的硬い材質により構成されており、大きな力を加え
なければねじることができない場合において好ましく適
用できる。 （２）上記実施形態では、固定リング２８側に溝部３１
が設けられていたが、固定板側に凹部が設けられていて
も構わない。また、保持部材側に張り出し部が設けら
れ、リング部材側に凹部が設けられていても良い。さら
に、保持部材と固定板との双方に凹部または張り出し部
が設けられ、これらと嵌合可能な張り出し部または凹部
がリング部材の両面側に設けられていても構わない。 （３）上記実施形態では、リブ２５および溝部３１は、
リング部材２４および固定リング２８の全周に渡って設
けられていたが、円周上の一部分にのみに設けられてい
てもよい。 （４）上記実施形態では、固定リング２８側に頭付きね
じ３２が設けられ、固定板３６側に取付穴３７が設けら
れたが、固定リング側に取付穴が設けられ、固定板側に
頭付きねじが設けられていても構わない。 （５）上記実施形態では、リング部材２４がＰＴＦＥ樹
脂により形成されていたが、他の樹脂により形成されて
いても構わない。具体的には、ポリイミド樹脂であるセ
プラ（登録商標）、高密度ポリエチレン（ＵＰＥ）等を
好適に使用できる。また、装置内部が高温となる赤外線
予備加熱装置４に適用される搬送装置においては、耐熱
性に優れるＰＥＥＫ樹脂を好ましく使用できる。また、
これらの樹脂にファイバ等の混入、アニール処理、架橋
等の改質処理を施したものを使用することもできる。 （６）上記実施形態では、保持部材２７はステンレスに
より形成されていたが、例えばアルミニウム、セラミッ
クス等により形成されていても構わない。 （７）送りローラは、ローラ軸への取り付け位置が各ロ
ーラ軸間で互いに軸方向にずれるようにされていてもよ
い。このようにすれば、被搬送材の特定の位置に常に送
りローラが接触することによる擦り傷の発生を回避でき
る。
ング部材２４の１箇所に設けられていたが、図１２に示
すように、分断部４２が２箇所に設けられていてもよ
く、あるいは、３箇所以上に設けられていても良い。こ
のような構成は、特に、リング部材がＰＥＥＫ樹脂等の
比較的硬い材質により構成されており、大きな力を加え
なければねじることができない場合において好ましく適
用できる。 （２）上記実施形態では、固定リング２８側に溝部３１
が設けられていたが、固定板側に凹部が設けられていて
も構わない。また、保持部材側に張り出し部が設けら
れ、リング部材側に凹部が設けられていても良い。さら
に、保持部材と固定板との双方に凹部または張り出し部
が設けられ、これらと嵌合可能な張り出し部または凹部
がリング部材の両面側に設けられていても構わない。 （３）上記実施形態では、リブ２５および溝部３１は、
リング部材２４および固定リング２８の全周に渡って設
けられていたが、円周上の一部分にのみに設けられてい
てもよい。 （４）上記実施形態では、固定リング２８側に頭付きね
じ３２が設けられ、固定板３６側に取付穴３７が設けら
れたが、固定リング側に取付穴が設けられ、固定板側に
頭付きねじが設けられていても構わない。 （５）上記実施形態では、リング部材２４がＰＴＦＥ樹
脂により形成されていたが、他の樹脂により形成されて
いても構わない。具体的には、ポリイミド樹脂であるセ
プラ（登録商標）、高密度ポリエチレン（ＵＰＥ）等を
好適に使用できる。また、装置内部が高温となる赤外線
予備加熱装置４に適用される搬送装置においては、耐熱
性に優れるＰＥＥＫ樹脂を好ましく使用できる。また、
これらの樹脂にファイバ等の混入、アニール処理、架橋
等の改質処理を施したものを使用することもできる。 （６）上記実施形態では、保持部材２７はステンレスに
より形成されていたが、例えばアルミニウム、セラミッ
クス等により形成されていても構わない。 （７）送りローラは、ローラ軸への取り付け位置が各ロ
ーラ軸間で互いに軸方向にずれるようにされていてもよ
い。このようにすれば、被搬送材の特定の位置に常に送
りローラが接触することによる擦り傷の発生を回避でき
る。
【図１】第１実施形態の洗浄装置の側面図
【図２】紫外線アッシング装置の斜視図
【図３】送りローラの斜視図
【図４】送りローラの分解斜視図
【図５】送りローラの側断面図
【図６】搬送装置によりガラス基板を搬送する様子を示
す側断面図
す側断面図
【図７】リング部材の交換作業の工程を示す図−１
【図８】リング部材の交換作業の工程を示す図−２
【図９】リング部材の交換作業の工程を示す図−３
【図１０】第２実施形態の送りローラの分解斜視図−１
【図１１】第２実施形態の送りローラの分解斜視図−２
【図１２】その他の実施形態の送りローラの分解斜視図
【図１３】従来の搬送装置を示す斜視図
１…搬送装置
７…ガラス基板（被搬送材）
２２…ローラ軸
２３…送りローラ
２４、４０、４３…リング部材
２５…リブ（張り出し部）
２６、４１、４２…分断部
２７…保持部材
２８…固定リング（第１の保持部）
３１…溝部（凹部）
３２…頭付きねじ
３６…固定板（第２の保持部）
３２Ａ…頭部
３２Ｂ…ねじ部
３７…取付穴
３７Ａ…大径孔
３７Ｂ…小径孔
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3F033 GA06 GB01 GB02 GB08 GC07
GD01 GE01
3F049 CA21 LA16 LB12
5F031 CA05 FA02 FA07 GA53 MA23
NA20
Claims (4)
- 【請求項１】 回転可能に支持されたローラ軸と、前記
ロ−ラ軸に固定された送りローラとを備え、前記送りロ
ーラの回転により前記送りローラに接する被搬送体を搬
送する搬送装置であって、 前記送りローラは、前記ローラ軸に固定可能な保持部材
と、 前記被搬送体との接触により前記被搬送体への損傷を生
じさせることを回避可能な程度に軟質の材料により前記
保持部材よりも径大に形成されるとともに、前記保持部
材を介して前記ローラ軸に取り付けられるリング部材と
を備え、 前記リング部材にはこのリング部材を径方向に分断する
分断部が設けられていることを特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】 前記リング部材および前記保持部材のう
ち一方には、軸方向に突出された張り出し部が設けられ
ているとともに、他方には、前記張り出し部を嵌入可能
な凹部が設けられていることを特徴とする請求項１に記
載の搬送装置。 - 【請求項３】 前記保持部材は、前記リング部材を挟み
付けることにより固定可能な第１の保持部と第２の保持
部とに分割形成されており、 前記第１の保持部が前記ローラ軸に径方向への遊動不能
に固定されており、 かつ、前記張り出し部または前記凹部が前記第１の保持
部に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の
搬送装置。 - 【請求項４】 前記保持部材は、前記リング部材を挟み
付けることにより固定可能な第１の保持部と第２の保持
部とに分割形成されており、 前記第１の保持部には、ねじ部と、このねじ部よりも径
大に形成された頭部とを備えた頭付きねじにより第２の
保持部がねじ止めされているとともに、 前記第２の保持部には、前記ねじ部に係合可能であっ
て、かつ、前記頭部の挿通を許容する大径孔と前記頭部
の挿通を規制する小径孔とが連接されてなる取付穴が設
けられていることを特徴とする請求項１〜請求項３のい
ずれかに記載の搬送装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002138363A JP2003327320A (ja) | 2002-05-14 | 2002-05-14 | 搬送装置 |
| KR1020047018237A KR100983419B1 (ko) | 2002-05-14 | 2003-05-12 | 반송 장치 |
| PCT/JP2003/005885 WO2003095341A1 (fr) | 2002-05-14 | 2003-05-12 | Installation de transport |
| CNB038105977A CN100420615C (zh) | 2002-05-14 | 2003-05-12 | 搬送装置 |
| TW092113054A TWI277588B (en) | 2002-05-14 | 2003-05-14 | Conveying device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002138363A JP2003327320A (ja) | 2002-05-14 | 2002-05-14 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003327320A true JP2003327320A (ja) | 2003-11-19 |
Family
ID=29416860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002138363A Pending JP2003327320A (ja) | 2002-05-14 | 2002-05-14 | 搬送装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003327320A (ja) |
| KR (1) | KR100983419B1 (ja) |
| CN (1) | CN100420615C (ja) |
| TW (1) | TWI277588B (ja) |
| WO (1) | WO2003095341A1 (ja) |
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- 2003-05-12 WO PCT/JP2003/005885 patent/WO2003095341A1/ja active Application Filing
- 2003-05-12 CN CNB038105977A patent/CN100420615C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-05-14 TW TW092113054A patent/TWI277588B/zh not_active IP Right Cessation
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| KR101858588B1 (ko) | 2018-01-18 | 2018-05-16 | 김정연 | 이송 장치의 샤프트에 고정되는 이송용 롤러 |
| KR101867981B1 (ko) * | 2018-03-29 | 2018-06-15 | 김정연 | 이송 장치에 사용되는 이송용 롤러 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN100420615C (zh) | 2008-09-24 |
| TWI277588B (en) | 2007-04-01 |
| WO2003095341A1 (fr) | 2003-11-20 |
| KR20040108807A (ko) | 2004-12-24 |
| KR100983419B1 (ko) | 2010-09-20 |
| CN1652986A (zh) | 2005-08-10 |
| TW200307637A (en) | 2003-12-16 |
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