JP2008280181A - 基板搬送装置及び前記装置に使用される基板ガイドユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のシャフト140を平行に配置し、各シャフト140に回転一体に搬送ローラを設ける。基板Sの搬送時に基板Sが側方向に揺れることを防止するためにガイドユニット200を設ける。ガイドユニット200にシャフト140を挿入する貫通孔を有する内輪240、内輪240を挿入する貫通孔を有する外輪220及び内輪240と外輪220とが互いの回転を妨害しないように両者間にベアリング260を設ける。外輪220の外周面から側方向にリング形状にガイド230を突出させ、外輪220の外周面を基板Sの底面エッジと接触させて基板Sを支持し、側面を基板Sの側面と接触させて基板Sが側方向に移動することを防止する。内輪240をシャフト140とともに回転させ、外輪220を基板Sとの摩擦力によって回転させる。
【選択図】図6
Description
120 搬送ローラ
140 シャフト
200 ガイドユニット
220 外輪
230 ガイド
240 内輪
250 リテイナ
260 ベアリング
280 くさび
290 キャップ
Claims (28)
- 平行に配置された複数の回転可能なシャフトと、
前記シャフトとともに回転可能であるように前記シャフトに固定結合される搬送ローラと、
前記搬送ローラによって搬送される基板の直線移動を案内するガイドユニットとを含み、
前記ガイドユニットは、
基板の底面エッジと接触する外周面と、
前記外周面から外側に突出して基板の側面に接触するガイドを備えた外輪とを有する
ことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記ガイドユニットは、
中央に前記シャフトが挿入される貫通孔を有し、前記シャフトとともに回転されるように前記シャフトに結合され、前記外輪の中央に設けられた貫通孔に挿入される内輪と、
前記内輪と前記外輪との間に位置し、前記内輪及び前記外輪が互いの回転に拘束されないベアリングと、をさらに含む
ことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記ガイドユニットは、
前記内輪と前記外輪との間に位置され、周りに前記ベアリングが挿入される孔が形成されたリング形状のリテイナをさらに含む
ことを特徴とする請求項2に記載の基板搬送装置。 - 前記ベアリングは前記リテイナの外側及び内側で一定領域が突出するように設けられ、
前記内輪と前記外輪各々には前記リテイナから突出したベアリングの領域一部が挿入される溝が形成されている
ことを特徴とする請求項3に記載の基板搬送装置。 - 前記ベアリングはリング模様で複数の列をなすように配列されている
ことを特徴とする請求項3に記載の基板搬送装置。 - 前記ガイドユニットは前記内輪を前記シャフトに固定させる固定部材をさらに含む
ことを特徴とする請求項2に記載の基板搬送装置。 - 前記内輪は、
長さ方向に前記シャフトの直径に相応する貫通孔が形成されたメインボディと、
前記メインボディから延び、前記メインボディから遠くなるほど直径が漸進的に増加する貫通孔が形成されたサブボディとを有し、
前記固定部材は、
前記サブボディの貫通孔に相応する形状を有し、側部にその長さ方向に沿って切開されて対向する第1段と第2段を有するくさびを含み、
前記くさびは前記サブボディ内で前記メインボディの方向へ移動されることによって前記第1段と第2段との距離が漸進的に狭まるように設けられている
ことを特徴とする請求項6に記載の基板搬送装置。 - 前記くさびは弾性材質よりなる
ことを特徴とする請求項7に記載の基板搬送装置。 - 前記くさびは円錘形である
ことを特徴とする請求項7に記載の基板搬送装置。 - 前記固定部材は前記くさびを前記サブボディ内で前記メインボディの方向に押すキャップをさらに含む
ことを特徴とする請求項7に記載の基板搬送装置。 - 前記サブボディの外周面にはねじ山が形成され、
前記キャップは中央に前記シャフトが挿入される貫通孔を有し、
前記キャップの内周面には前記サブボディのねじ山と嵌合するねじ山が形成されている
ことを特徴とする請求項10に記載の基板搬送装置。 - 前記サブボディは前記メインボディの両側に各々設けられている
ことを特徴とする請求項11に記載の基板搬送装置。 - 前記ガイドは前記外輪の外周面に対して鈍角となる傾斜面を有する
ことを特徴とする請求項1乃至12のうち何れかの一つに記載の基板搬送装置。 - 前記ガイドは前記外輪の外周面の中央領域から突出している
ことを特徴とする請求項1乃至12のうち何れかの一つに記載の基板搬送装置。 - 前記傾斜面は前記ガイドの両側に設けられている
ことを特徴とする請求項14に記載の基板搬送装置。 - 平行に配置された複数の回転可能なシャフトと、
前記シャフトとともに回転可能であるように前記シャフトに固定結合される複数の搬送ローラと、
前記搬送ローラによって搬送される基板の直線移動を案内するガイドユニットとを含み、
前記ガイドユニットは前記シャフトに結合される
ことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記ガイドユニットは、
前記シャフトが挿入される貫通孔を有し、前記シャフトの回転によって前記シャフトとともに回転されるように設けられる内輪と、
基板の底面エッジが接触する外周面及び前記外周面から外側方向に突出し、基板の側面を支持するガイドを有し、前記内輪が挿入される貫通孔が形成された外輪と、
前記内輪と前記外輪との間に設けられて、前記内輪と前記外輪が互いに拘束されず、回転されるベアリングと、を含む
ことを特徴とする請求項16に記載の基板搬送装置。 - 前記内輪は、
長さ方向に前記シャフトの直径に相応する貫通孔が形成されたメインボディと、
前記メインボディから延び、前記メインボディから遠くなるほど直径が漸進的に増加する貫通孔が形成されたサブボディとを有し、
前記ガイドユニットは、
中央に前記シャフトが挿入される貫通孔が形成され、前記サブボディの貫通孔に挿入されて前記シャフトを前記内輪に固定させ、長さ方向に沿って切開されて対向する第1段と第2段を有するくさびを含み、
前記くさびは前記サブボディ内で前記メインボディの方向へ移動されることによって前記第1段と第2段との距離が漸進的に狭まるように設けられている
ことを特徴とする請求項17に記載の基板搬送装置。 - 前記ガイドユニットは前記くさびを前記サブボディ内で前記ボディの方向に押し、中央に前記シャフトが挿入される貫通孔が形成されたキャップをさらに含み、
前記サブボディの外周面にはねじ山が形成され、
前記キャップの内周面には前記サブボディのねじ山と嵌合するねじ山が形成されている
ことを特徴とする請求項18に記載の基板搬送装置。 - 基板搬送装置に設けられ、基板の直線移動を案内できるガイドユニットにおいて、
中央に貫通孔が形成され、外周面から外側方向に突出したガイドを有する外輪と、
前記外輪の貫通孔に挿入され、中央に貫通孔が形成された内輪と、
前記外輪と前記内輪との間に設けられる複数のベアリングと、を備える
ことを特徴とするガイドユニット。 - 前記ガイドユニットは前記内輪と前記外輪との間に配置されるリテイナをさらに含み、
前記リテイナ外周面には前記ベアリングが挿入される孔が形成された
ことを特徴とする請求項20に記載のガイドユニット。 - 前記ベアリングは前記リテイナにリング模様で複数の列をなすように配列される
ことを特徴とする請求項21に記載のガイドユニット。 - 前記内輪と前記外輪には前記ベアリングの一部領域が挿入される溝が形成されている
ことを特徴とする請求項21に記載のガイドユニット。 - 前記ガイドは前記外輪の中央領域から突出している
ことを特徴とする請求項21に記載のガイドユニット。 - 前記ガイドはリング形状である
ことを特徴とする請求項21に記載のガイドユニット。 - 前記内輪は、
長さ方向に前記基板を搬送するシャフトの直径に相応する貫通孔が形成されたメインボディと、
前記メインボディから延び、前記メインボディから遠くなるほど直径が漸進的に増加する貫通孔が形成されたサブボディとを有し、
前記ガイドユニットは、
前記サブボディの貫通孔に挿入され、長さ方向に沿って側部切開されて対向する第1段と第2段を有するくさびを含み、
前記くさびは前記サブボディ内で前記メインボディの方向へ移動されることによって前記第1段と第2段との距離が漸進的に狭まるように設けられている
ことを特徴とする請求項21に記載のガイドユニット。 - 前記ガイドユニットは前記くさびを前記サブボディ内で前記メインボディの方向に 押すキャップをさらに含む
ことを特徴とする請求項26に記載のガイドユニット。 - 前記サブボディの外周面にはねじ山が形成され、
前記キャップは中央に前記シャフトが挿入される貫通孔が形成され、
前記キャップの内周面には前記サブボディのねじ山と嵌合するねじ山が形成されている
ことを特徴とする請求項27に記載のガイドユニット。
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