KR100522857B1

KR100522857B1 - 기판 이송장치

Info

Publication number: KR100522857B1
Application number: KR10-2003-0084273A
Authority: KR
Inventors: 박용석; 김경철
Original assignee: 주식회사 디엠에스
Priority date: 2003-11-26
Filing date: 2003-11-26
Publication date: 2005-10-19
Also published as: KR20050050687A

Abstract

평판 디스플레이 패널의 이송 등에 사용될 수 있으며, 동력전달 구조가 간단하고, 장치의 크기를 대폭 줄일 수 있으며, 동력 전달 효율을 더욱 향상시킬 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다.

이러한 기판 이송장치는, 평판표시소자용 기판 이송장치로서,

기판 이송을 위한 구역에 제공되는 프레임과, 이 프레임에 회전 가능하게 설치되어 회전력으로 기판을 이송시키는 기판 이송용 축들을 갖는 기판 이송영역과, 상기 기판 이송영역의 적어도 1개 이상의 기판 이송용 축들을 직접 구동하는 구동수단을 갖는 구동영역을 포함한다.

Description

기판 이송장치{apparatus for transferring flat panel display}

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이 패널의 이송 등에 사용될 수 있으며, 동력전달 구조가 간단하고, 장치의 크기를 대폭 줄일 수 있으며, 동력 전달 효율을 더욱 향상시킬 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이 패널 등의 기판 처리공정에서 기판 이송을 위한 장치로는 작업장 영역 내에서 일련의 기판 처리를 위한 약액, 세정, 건조 등과 같은 처리 라인의 베스들에 대응하여 기판이 소정의 자세로 상기 베스에 공급될 수 있도록 한 것으로서, 기판을 지지함과 아울러 회전에 의해 일방향으로 이동시키는 이송부재로 다수개의 로울러 또는 축들이 설치된 로울러 컨베이어와 같은 이송시스템이 주로 사용된다.

상기 기판 이송을 위한 장치의 일반적인 구조를 도 12를 참조하여 간략하게 설명하면, 프레임(100)과, 이 프레임(100)에 설치되어 소정의 이송구간을 형성함과 아울러 회전에 의해 기판(P)을 이동시키는 다수개의 로울러(110)와, 상기 프레임(100)에서 기판(P)의 이송을 위한 영역에 대응하는 위치에 설치되고 기판(P)의 이송을 위한 동력을 발생시키는 구동원(120)과, 이 구동원(120)의 동력을 상기 로울러(110)에 전달하는 동력전달부재(130)를 포함하는 구조로 이루어진다.

상기에서 구동원(120)은 회전 동력을 발생하는 전동모터가 사용되며, 상기 프레임(100)에서 상기 로울러(110)들과 이격된 영역에 도면에서와 같은 자세로 설치되고 이미 잘 알려진 축간(軸間) 동력전달부재(130) 예를들면, 체인과 스프라켓 또는 벨트와 풀리 등으로 상기 로울러(110)와 동력 전달이 가능하게 연결되어 상기 구동원(120)의 동력이 상기 동력전달부재(130)에 의해 상기 로울러(110)에 전달되는 동력전달 구조로 이루어진다.

그리고, 종래 기판 이송장치의 다른 동력전달 구조로는 도 13에서와 같이 상기 구동원(120)과 상기 로울러(110) 사이에 도면에서와 같이 아이들축(140)이 위치하고 이 아이들축(140)은 상기 구동원(120)으로부터 동력을 전달받아서 상기 로울러(110)들에 기판(P) 이송을 위한 동력을 전달 할 수 있도록 동력전달부재(130) 즉, 상기 구동원(120)과는 도면에서와 같이 체인과 스프라켓으로 연결되고, 상기 로울러(110)와는 자력(磁力) 반응에 의해 동력을 전달하는 헬리컬 마그네틱 로울러(helical-magnetic roller) 또는 워엄기어 등으로 연결되어 적어도 2조 이상의 동력전달부재(130)들이 설치됨과 아울러 이들에 의해 동력이 전달되는 구조로 이루어진다.

상기와 같은 동력전달구조로 이루어지는 기판 이송장치들은 상기 구동원(120)에서 회전동력이 발생되면 이 회전동력이 상기 동력전달부재(130)들에 의해 상기 구동원(120)과 이격된 로울러(110)에 전달되면서 기판(P)을 이동시키는 구조 즉, 구동측과 피동측이 서로 이격된 영역에 셋팅되어 동력전달부재(130)들에 의해서 동력전달이 이루어지는 이른바, 간접 구동방식에 의한 동력전달구조이다.

그러나, 이와 같은 종래의 기판 이송장치는 구동원과 로울러가 서로 분리되어 이들의 이격구간에 예를들면, 체인과 스프라켓 또는 벨트와 풀리, 마그네틱 로울러, 워엄기어와 같은 동력전달부재가 1조 또는 그 이상이 연결되어 동력을 전달하는 구조이므로 동력 전달 구조가 복잡할 뿐만 아니라 상기 프레임에서 상기 구동원을 설치하기 위한 영역 및 동력전달을 위한 영역을 별도로 확보하여야 하므로 그 구조상 장치의 소형화를 이루기에는 한계가 있다.

게다가, 상기와 같이 장치의 크기가 커지면 작업장내에 설치할 때에 과다한 면적을 점유함은 물론이거니와 기판 처리를 위한 약액, 세정, 건조 등과 같은 일련의 처리장치 등에 설치될 때에 과다한 공간을 점유하게 되므로 만족할 만한 설치 호환성 및 공간 활용성 등을 기대하기 어렵다.

그리고, 상기 종래의 이송장치는 상기와 같이 구동원을 동력전달 영역에서 고정 및 동력 전달이 가능하도록 셋팅하려면 브라켓트 및 베어링 블록과 같은 별도의 지지 및 고정구들을 추가로 설치하여야 하므로 제작 및 유지보수 등에도 과다하 비용이 소요되는 문제가 있다.

또한, 상기와 같이 구동원과 로울러가 이격되어 이들 이격 구간을 동력전달부재로 동력 전달이 가능하게 연결하면 그 구조상 동력 전달시 과다한 소음을 유발할 뿐만 아니라 회전시 슬립이나 마찰 등에 의한 분진 등이 발생되므로 예를들면, 크린룸과 같은 작업장의 실내 환경을 저하시키는 한 요인이 될 수 있다.

그리고, 상기와 같이 동력전달 영역에서 구동원과 동력전달부재가 외부에 그대로 노출된 상태로 셋팅되면 동력전달을 위한 접촉부 등에 이물질 등이 유입되거나 작업자의 신체 일부가 접촉하여 오작동 및 안전사고 등을 유발하는 요인이 될 수 있다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판 이송을 위한 동력전달이 용이하고, 동력전달을 위한 영역을 최소화하여 장치의 크기를 대폭 줄일 수 있으며, 동력 전달효율 및 기판 이송효율 등을 대폭 향상시킬 수 있는 기판 이송장치를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여, 평판표시소자용 기판 이송장치로서,

기판 이송을 위한 구역에 제공되는 프레임과, 이 프레임에 회전 가능하게 설치되어 회전력으로 기판을 이송시키는 기판 이송용 축들을 갖는 기판 이송영역과, 상기 기판 이송영역의 적어도 1개 이상의 기판 이송용 축들을 직접 구동하는 구동수단을 갖는 구동영역을 포함하는 기판 이송장치를 제공한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명한다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 기판(P) 이송을 위한 구역에 제공되는 프레임(F)과, 이 프레임(F)에 회전 가능하게 설치되어 회전력으로 기판(P)을 이송시키는 기판 이송축(2)을 갖는 기판 이송영역과, 이 기판 이송영역의 기판 이송축(2)을 직접 구동하는 구동수단(4)을 갖는 구동영역을 포함한다. 본 실시예에서는 상기 기판 이송축(2)이 도면에서와 같은 배열로 이루어지는 이송시스템 구조를 일예로 나타내고 있다.

상기 기판 이송축(2)은 후술하는 구동수단(4)으로부터 회전동력을 전달받아서 기판(P)을 일정구간 이동시킬 수 있도록 도 1에서와 같이 프레임(F) 상에서 다수개가 이격되어 예를들면, 베어링 블록 등에 양측단이 회전 가능하게 지지되면서 도면에서와 같은 자세로 설치된다.

상기 프레임(F)은 상기 기판 이송축(2)들을 바닥면에서 도면에서와 같은 자세로 지지함과 아울러 상기 기판 이송축(2)들에 의해 기판(P) 이송을 위한 소정의 구간이 형성될 수 있는 영역이 제공되는 통상의 프레임 구조로 이루어진다. 이 프레임(F)은 도면에는 나타내지 않았지만 일련의 기판 처리를 위한 공정 예를들면, 약액이나 세정, 건조장치들에 대응하여 기판 이송을 위한 소정의 구역에 설치된다.

상기 기판 이송축(2)의 재질은 내구성 및 내화학성 등이 우수한 금속 또는 합성수지가 사용될 수 있다.

상기 기판 이송축(2)의 외주면에는 기판(P)의 하측면을 물리적으로 지지함과 아울러 회전에 의해 이동시킬 수 있도록 도 1에서와 같은 링(ring) 모양의 가이드구(6)들이 설치될 수 있다. 이 가이드구(6)들은 기판(P)과 접촉할 때에 스크래치 등이 유발되지 않도록 예를들면, 연질의 고무 또는 합성수지 등으로 제작될 수 있다.

한편, 상기 기판 이송축(2)들은 구동수단(4)에 의해 동력을 직접 전달받아서 기판(8)을 이동시키게 되는데, 이러한 구동수단(4)의 구조를 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

상기 구동수단(4)은, 상기 기판 이송축(2)들에 동력을 전달하는 구동체(8)와, 이 구동체(8) 내부에 위치하고 기판(P)의 이송을 위한 동력을 발생시키는 구동원(10)과, 이 구동원(10)과 상기 구동체(8)를 동력 전달이 가능하게 연결하는 접속부재(12)를 포함한다. 본 실시예에서는 상기 구동체(8)가 도 1에서와 같이 상기 프레임(F)에서 상기 기판 이송축(2)들의 일측단에 대응하는 구동영역 즉, 동력전달 영역에 도면에서와 같은 자세로 위치하는 것을 일예로 나타내고 있다.

상기 구동체(8)는 내부가 중공인 금속 또는 합성수지 파이프가 사용될 수 있으며, 도 3에서와 같이 상기 프레임(F)에 다수개가 설치되는 기판 이송축(2)들의 일측단에 대응하는 길이 범위내로 제작된다.

상기 구동체(8)의 외주면에는 이 구동체(8)의 동력이 상기 기판 이송축(2)들에 전달될 수 있도록 이루어진다. 본 실시예에서는 도 1에서와 같이 예를들면, 통상의 헬리컬 마그네틱 로울러와 같은 동력전달부재(14)가 상기 구동체(8) 및 기판 이송축(2) 일측단에 도면에서와 같은 자세로 설치되어 동력 전달이 이루어지는 것을 일예로 나타내고 있다.

상기 동력전달부재(14)는 상기 구동체(8) 및 기판 이송축(2)과 일체로 제작되거나 분리 가능하게 설치될 수 있다.

그리고, 상기 동력전달부재(14) 즉, 헬리컬 마그네틱 로울러는 원주방향으로 서로 다른 극성(N극, S극)을 갖는 자석이 순차 배열되어 도 2에서와 같이 상기 구동체(8)의 원주면과 상기 기판 이송축(2)의 일측단에 각각 설치된 후 상기 구동체(8)의 회전시 상기 마그네틱 로울러들의 자력(磁力) 반응에 의해 동력을 전달하는 구조이다.

상기에서는 구동체(8)와 기판 이송축(2)의 동력 전달영역에 동력전달부재(14)로 헬리컬 마그네틱 로울러가 설치되어 이들의 자력 반응에 의해 동력이 전달되는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니다.

예를들면, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 구동체(8)와 기판 이송축(2)의 동력전달 영역에 동력전달부재(14)로 워엄기어를 설치하여 이들 기어의 치합에 의해 동력전달이 이루어지도록 구성될 수 있다. 물론, 이 기어들도 상기 구동체(8) 및 기판 이송축(2)에 일체로 제작되거나 분리 가능하게 설치될 수 있다.

상기 구동체(8)는 상기 프레임(F)에서 상기 기판 이송축(2)에 동력 전달이 가능한 자세로 회전될 수 있도록 도 3에서와 같이 상기 구동체(8)의 양측단에 설치된 베어링 등에 고정축(16)이 회전 가능하게 끼워지고 이 고정축(16)들은 도면에서와 같은 지지블럭(18)에 고정된다.

상기 고정축(16)은 상기 지지블럭(18)에 셋팅된 후 회전되지 않도록 예를들면, 멈춤나사(Set Screw) 등으로 고정된다. 따라서, 상기 구동체(8)는 상기 고정축(16)에 의해 양측단이 회전 가능하게 고정되어 후술하는 구동원(10)의 동력이 전달되면 상기 고정축(16)을 중심으로 회전하는 것이다.

상기 구동체(8)의 양측단에는 도 2에서와 같이 상기 구동체(8) 내부 공간부가 밀폐될 수 있도록 캡(20)이 설치될 수 있으며, 이 캡(20)은 상기 구동체(8)의 양측단에 대응하는 분리 가능하게 끼움 결합될 수 있도록 도면에서와 같은 플랜지 형태로 제작되고 중심부는 상기 고정축(16)이 회전 가능하게 관통한다.

상기 구동원(10)은 회전동력을 발생시키는 전동모터가 사용될 수 있으며, 도 2에서와 같은 자세로 상기 구동체(8) 내부에 위치한다. 본 실시예에서는 1개의 구동체(8) 내부에 2개의 구동원(10)이 1조로 구성되어 도 3에서와 같이 상기 구동체(8) 양측단에서 상기 고정축(16)에 설치된 하우징(22)에 고정되어 도면에서와 같은 자세로 셋팅된 것을 일예로 나타내고 있다.

상기 하우징(22)은 도 2에서와 같이 일측이 개구된 예를들면, 원통모양으로 이루어지고 일측단이 상기 고정축(16) 외주면에 도면에서와 같은 자세로 고정되어 상기 구동체(8) 내부에서 상기 구동원(10)이 상기 지지축(16)에 고정될 수 있도록 한 구조이다. 이때, 상기 구동원(10)의 출력축은 상기 고정축(16)과 동일한 축선상에 위치되도록 셋팅되어야 한다.

그리고, 상기 구동원(10)은 도면에는 나타내지 않았지만 상기 하우징(22)에 끼워진 후 일체의 유동 및 슬립이 유발되지 않도록 예를들면, 멈춤나사 등으로 견고하게 고정되어야 한다.

도 2를 참조하면, 상기 구동원(10)에 전기를 공급하는 전원선(W)은 도면에서와 같이 상기 고정축(16) 중심부를 관통하는 홀을 통해 외부로 배선된 후 도면에는 나타내지 않았지만 상기 구동원(10)에 전기공급 등을 제어하는 별도의 제어부와 연결된다.

상기 구동체(8) 내부에는 상기 구동원(10) 즉, 모터의 회전동력이 상기 구동체(8)에 전달될 수 있도록 접속부재(12)가 설치된다. 본 실시예에서는 상기 접속부재(12)가 도 2에서와 같은 휠 모양으로 제작되어 상기 구동원(10)의 출력축에 고정되고, 이 접속부재(12) 즉, 휠의 외주면이 상기 구동체(8)의 내주면과 물리적으로 접촉하여 상기 구동체(8)에 회전 동력이 전달되는 것을 일예로 나타내고 있다.

상기 접속부재(12) 즉, 휠은 상기 구동체(8) 내주면에 대응하는 크기 범위내로 제작되고, 도 4에서와 같이 외주면에는 상기 구동체(8)의 내주면과 접촉력을 향상시킬 수 있도록 마찰재(24)가 설치될 수 있다.

상기 마찰재(24)는 상기 휠의 외주면에 끼워질 수 있는 통상의 링(Ring) 모양으로 제작되고, 재질은 탄성력과 내마모성 등이 우수하고 상기 구동체(8) 내주면에 접촉되어 회전 동력을 전달할 때에 일체의 슬립이 유발되지 않는 재질 예를들면, 고무나 합성수지재로 제작될 수 있다.

상기 마찰재(24)의 단면 모양은 도면에는 나타내지 않았지만 상기 구동체(8)의 내주면에 접촉되어 회전동력을 원활하게 전달할 수 있는 단면구조 예를들면, 원형이나 다각형 모양으로 제작될 수 있으며, 상기 휠의 외주면에 끼워진 후 상기 구동체(8) 내부에 셋팅될 때에 이 구동체(8) 내주면을 일정한 접촉 압력으로 가압할 수 있는 크기 범위내로 이루어진다.

상기에서는 접속부재(12)가 훨 모양으로 이루어지고 상기 구동체(8)의 내주면과 물리적인 접촉에 의해 상기 구동원(10)의 회전동력을 상기 구동체(8)에 전달하는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니다.

예를들면, 상기 접속부재(12)가 도 5에서와 같은 내접기어 구조로 이루어져서 이들 기어의 치합에 의해 회전동력을 전달하는 구조로 이루어질 수 있다. 이와 같이 접속부재(12)가 기어들의 치합에 의해 회전 동력을 전달하는 구조는 상기 구동체(8)에 접속부재(12)의 셋팅이 용이할 뿐만 아니라 동력 전달시 일체의 슬립이 발생되지 않으므로 동력 손실을 최소화하여 동력전달 효율을 대폭 향상시킬 수 있다.

상기 접속부재(12)의 구조는 상기한 실시예 이외에도 본 발명의 목적을 만족하는 동력전달 구조이면 다양하게 적용될 수 있다.

그리고, 상기에서는 구동원(10)과 접속부재(12)가 도 2에서와 같이 상기 구동체(8)의 양측단에 대응하여 2개가 1조로 설치되는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이 또한 상기한 구조에 한정되는 것은 아니다.

예를들면, 도 6에서와 같이 상기 구동체(8)의 일측단에만 도면에서와 같은 자세로 설치될 수도 있다. 이때 상기 구동체(8)의 타측단은 고정축(16)으로만 회전 가능하게 지지되도록 셋팅된다.

다음으로 상기한 구조로 이루어지는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 작동실시예를 첨부한 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.

먼저, 상기 프레임(F)에 설치된 기판 이송축(2)들에 의해 기판(P)이 이송될 수 있도록 기판(P)의 이송을 위한 동력이 상기 구동수단(4)으로부터 발생되어 상기 기판 이송축(2)들에 전달되는데, 이 구동수단(4)은 도 1에서와 같이 상기 기판 이송축(2)들의 일측단에 대응하여 도면에서와 같은 자세로 셋팅되어 다음과 같이 작동되면서 기판(P)의 이송을 위한 동력을 발생시킴과 아울러 상기 기판 이송축(2)들에 전달한다.

상기 구동수단(4)의 구동원(10)이 구동하여 회전동력을 발생되면, 도 4에서와 같이 상기 구동원(10)의 회전동력이 출력축에 설치된 접속부재(12) 즉, 휠에 전달되어 이 휠이 일방향으로 회전한다.

상기와 같이 접속부재(12)가 회전하면 이 접속부재(12) 외주면에 설치된 마찰재(24)가 상기 구동체(8)의 내주면과 일정한 접촉압력에 의해 물리적으로 접촉하고 있는 상태이므로 상기 휠의 회전 동력이 상기 마찰재(24)를 통해서 상기 구동체(8)에 전달되어 이 구동체(8)가 도 7에서와 같이 일방향으로 방향으로 회전하는 것이다.

상기와 같이 구동체(8)가 회전하면 도 1에서와 같이 상기 구동체(8)와 기판 이송축(2)의 일측단에 도면에서와 같은 자세로 셋팅된 동력전달부재(14) 즉, 헬리컬 마그네틱 로울러들이 통상적인 자력반응 작용에 의해 도 7에서와 같이 상기 구동체(8)의 회전동력이 상기 기판 이송축(2)들에 전달되는 것이다.

따라서, 상기와 같은 구동수단(4)의 작동에 의해 기판(P)의 이송을 위한 동력이 발생됨과 아울러 상기 다수개의 기판 이송축(2)들에 동력이 전달되면서 도 7에서와 같이 기판(P)을 일방향으로 이송시키는 것이다. 이와 같이 기판 이송축(2)들에 동력을 전달하는 구동수단(4)은 상기 프레임(F) 상에서 최소한의 동력전달 영역 내에서 동력을 발생시킴과 동시에 발생동력을 상기 기판 이송축(2)들에 직접 전달하는 구조이므로 동력전달 구조가 간단할 뿐만 아니라 장치의 소형화를 이룰 수 있고, 동력 전달효율 및 기판 이송효율 등을 대폭 향상시킬 수 있는 것이다.

상기에서는 도 1에서와 같이 프레임(F) 상에서 동력 전달영역에 상기 구동수단(4)이 설치되고, 기판 이송영역에는 도면에서와 같이 기판 이송축(2)들이 설치되어 상기 구동수단(4)으로부터 발생되는 회전동력이 상기 기판 이송축(2)에 전달되면서 기판(P)을 이송시키는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니다.

예를들면, 상기 기판 이송축(2)이 도 8에서와 같이 상기 프레임(F)의 기판 이송영역에 설치됨과 아울러 이송축(2)의 내부에는 구동수단(4)이 설치되어 이 구동수단(4)에 의해 기판(P) 이송을 위한 회전동력의 발생은 물론이거니와 발생동력으로 상기 기판 이송축(2)들이 자전(自轉)하면서 직접 기판(P)을 이송시킬 수 있도록 구성될 수 있다.

이때, 상기 기판 이송축(2)은 상기한 실시예의 구동체(8)와 동일하게 고정축(16)으로 양측단이 회전 가능하게 고정되고, 외주면에는 기판(P) 이송을 위한 가이드구(6)들이 설치된다.

상기 기판 이송축(2)의 내부에는 상기한 실시예와 동일하게 도 9 내지 도 10에서와 같은 자세로 구동수단(4)이 설치된다. 본 실시예에서는 상기 구동수단(4)이 구동원(10)과 접속부재(12)로 이루어지고, 이 접속부재(12)의 마찰재(24)가 도 10에서와 같이 상기 기판 이송축(2)의 내주면에 직접 접촉하면서 상기 구동원(10)의 회전동력이 전달되도록 셋팅된 것을 일예로 나타내고 있다.

이때, 상기 구동원(10)은 상기한 실시예와 동일하게 상기 고정축(16)에 설치된 하우징(22)에 도 9에서와 같은 자세로 고정된다.

상기와 같은 구조로 프레임(F)의 기판 이송영역 내에 설치된 기판 이송축(2)들은 내부의 구동수단(4) 즉, 구동원(10)과 접속부재(12)에 의해 회전동력이 발생됨과 아울러 이 발생동력에 의해 도 11에서와 같은 방향으로 회전하면서 기판(P)을 직접 이송시키는 구조이다.

상기와 같이 기판 이송축(2)이 기판 이송영역에 설치되어 동력의 발생은 물론이거니와 발생동력에 의해 자전하면서 기판(P)을 직접 이송시키는 구조는 상기 프레임(F)에서 동력전달을 위한 별도의 영역을 확보하지 않아도 되므로 장치의 크기를 더욱 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 기판 이송영역 내에서 기판(P)의 이송을 위한 동력의 발생 및 전달이 가능해지므로 동력 발생 및 전달구조가 더욱 간단해짐은 물론이거니와 동력전달 효율 및 기판 이송효율 등을 대폭 향상시킬 수 있는 것이다.

또한, 상기와 같이 기판 이송축(2)이 자체 발생동력에 의해 회전하는 구조로 이루어지면 별도의 구동장치 및 동력전달요소 등을 설치하기 위한 베어링 블럭이나 브라켓트 등과 같은 고정 및 지지부재들을 추가로 설치하지 않아도 되므로 제작 및 유지보수 등에 소요되는 비용이 대폭 절감된다.

상기에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 기판 이송장치는, 구동수단에 의해 기판의 이송을 위한 동력의 발생 및 전달이 용이하게 이루어질 뿐만 아니라, 상기 구동수단은 회전 구동체 내부에서 회전동력을 발생시키는 구동원과 이 구동원의 동력을 상기 구동체에 전달하는 접속부재로 이루어져서 예를들면, 기판 이송영역 또는 동력 전달영역에서 기판 이송을 위한 동력을 발생시킴은 물론이거니와 발생동력으로 기판을 직접 이송시키거나 기판 이송을 위한 이송용 축들에 발생동력을 직접 전달함으로서 더욱 향상된 동력 전달효율 및 기판 이송효율 등을 얻을 수 있다.

또한, 상기 구동수단은 기판 이송을 위한 동력의 발생 및 전달 구조가 간단하여 기판 이송영역 또는 동력 전달영역을 최소화할 수 있으므로 장치의 소형화가 가능하여 예를들면, 작업장 내에서 기판 처리를 위한 약액공정, 세정공정, 건조공정 등의 베스에 설치될 때에 설치 호환성 및 공간 활용성을 대폭 향상시킬 수 있다.

그리고, 상기 접속부재는 휠이나 내접기어 구조로 이루어져서 회전 구동체 또는 기판 이송용 축들의 내부 영역에서 내주면과 물리적인 접촉에 의해 상기 구동원의 회전동력을 전달하는 구조이므로, 상기 구동원에서 발생된 회전동력이 전달될 때에 예를들면, 슬립이나 마찰 현상 등에 의해 동력이 손실되는 것을 방지하여 기판 이송을 위한 구동력을 더욱 향상시킬 수 있다.

또, 상기 구동수단은 상기 구동원과 접속부재가 상기 구동체 또는 기판 이송용 축들에 의해 감싸여진 상태로 동력발생 및 전달이 이루어지는 구조이므로 이물질 또는 작업자의 신체가 접촉하여 오작동이나 안전사고 등을 유발하는 것을 미연에 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 기판이송 구조를 설명하기 위한 부분 확대사시도.

도 2는 도 1의 구동수단 구조를 설명하기 위한 부분 절개사시도.

도 3은 도 1의 구동수단 내부 구조를 설명하기 위한 단면도.

도 4는 도 3의 접속부재 구조를 설명하기 위한 단면도.

도 5는 도 4의 접속부재의 다른 실시예를 설명하기 위한 단면도.

도 6은 본 발명에 따른 구동수단의 다른 실시예를 설명하기 위한 단면도.

도 7은 본 발명에 따른 구동수단에 의해 기판 이송용 축들이 회전동력을 전달받으면서 기판을 이송시키는 과정을 설명하기 위한 부분 확대단면도.

도 8은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 다른 실시예를 나타내는 부분 확대사시도.

도 9는 도 8의 구동수단 내부 구조를 설명하기 위한 부분 절개사시도.

도 10은 도 8의 구동수단 작용을 설명하기 위한 단면도.

도 11은 도 10의 작용에 의해 기판 이송영역에 설치된 구동수단에 의해 기판이 이송되는 상태를 나타내는 단면도.

도 12는 종래기술에 의한 일반적인 기판 이송장치의 동력전달 구조를 설명하기 위한 부분 확대사시도.

도 13은 종래기술에 의한 일반적인 기판 이송장치의 다른 동력전달 구조를 설명하기 위한 부분 확대사시도이다.

Claims

평판표시소자용 기판 이송장치로서,

기판 이송을 위한 구역에 제공되는 프레임과, 이 프레임에 회전 가능하게 설치되어 회전력으로 기판을 이송시키는 기판 이송용 축들을 갖는 기판 이송영역과, 상기 기판 이송영역의 적어도 1개 이상의 기판 이송용 축들을 직접 구동하는 구동수단을 갖는 구동영역을 포함하는 기판 이송장치.
청구항 1에 있어서, 상기 구동수단은, 상기 기판 이송용 축들에 회전동력을 전달하는 구동체와, 이 구동체 내부에 위치하고 회전동력을 발생시키는 구동원과, 이 구동원과 상기 구동체를 동력 전달이 가능하게 연결하는 접속부재를 포함하는 기판 이송장치.
청구항 2에 있어서, 상기 접속부재는, 상기 구동원의 회전동력을 물리적인 접촉에 의해 상기 구동체에 전달할 수 있는 휠 또는 내접기어 중에서 어느 하나로 이루어지는 기판 이송장치.
청구항 2에 있어서, 상기 구동원은 전동모터로 이루어지고, 이 모터의 출력축은 상기 구동체 내부 영역에서 이 구동체의 회전 축심과 동일한 위치에 셋팅되는 기판 이송장치.
청구항 2에 있어서, 상기 구동원과 접속부재는 1개의 구동체에 1조 또는 그 이상이 설치되는 기판 이송장치.
청구항 2에 있어서, 상기 구동체 외주면에는 상기 기판 이송용 축들에 대응하여 동력을 전달하기 위한 헬리컬 마그네틱 로울러 또는 워엄기어가 일체 또는 분리 가능하게 설치되는 기판 이송장치.
평판표시소자용 기판 이송장치로서,

기판 이송을 위한 구역에 제공되는 프레임과, 이 프레임에 회전 가능하게 설치되어 회전력으로 기판을 이송시키는 기판 이송용 축들을 갖는 기판 이송영역과, 이 기판 이송영역에 설치된 다수개의 기판 이송용 축들 중에서 적어도 1개 이상의 기판 이송용 축들은 자전(自轉) 동작되기 위한 구동수단을 포함하는 기판 이송장치.
청구항 7에 있어서, 상기 구동수단은, 회전동력을 발생시키는 구동원과, 이 구동원의 회전동력을 상기 기판 이송용 축들에 전달하는 접속부재와, 이 접속부재로부터 회전동력을 전달받는 기판 이송용 축의 내주면을 포함하는 기판 이송장치.
청구항 8에 있어서, 상기 접속부재는, 상기 구동원의 회전동력을 물리적인 접촉에 의해 상기 기판 이송용 축들의 내주면에 전달할 수 있는 휠 또는 내접기어 중에서 어느 하나로 이루어지는 기판 이송장치.
청구항 8에 있어서, 상기 구동원은 전동모터로 이루어지고, 이 모터의 출력축은 상기 기판 이송용 축의 내부 영역에서 이 축의 회전 축심과 동일한 위치에 셋팅되는 기판 이송장치.
청구항 8에 있어서, 상기 구동원과 접속부재는 1개의 기판 이송용 축에 1조 또는 그 이상이 설치되는 기판 이송장치.