KR100768896B1 - 기판의 공정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 기판의 공정장치에 관한 것으로서, 기판의 이송방향을 따라 이격된 복수의 열로 배치되는 복수의 롤러와, 롤러를 회전가능하게 하는 롤러구동부와; 롤러에 대응하여 롤러개구부를 가진 판상의 형태로 형성되며, 롤러의 이송방향에 열과 열 사이에서 승강가능하게 설치되어 롤러에 의해 이송된 기판을 승강시키는 스테이지와; 스테이지를 승강가능하게 하는 승강구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 기판의 공정균일성을 유지하도록 평탄도를 향상시킬 수 있다.

Description

기판의 공정장치{PANEL PROCESSING APPARATUS}

도 1은 본 발명에 따른 스테이지의 분해 사시도,

도 2는 도 1의 결합사시도,

도 3은 스테이지에 기판이 공급되는 동작 단면도,

도 4는 구동부의 블록도,

도 5는 도 2의 제 1 실시예에 따른 동작 단면도,

도 6은 도 2의 제 2 실시예에 따른 동작 단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

2 : 기판 3 : 롤러

4 : 롤러회전축 6 : 스테이지

7 : 롤러개구부 8 : 리니어가이드

10 : 승강구동부 14 : 승강부

15 : 승강판넬 16 : 이동구동부

본 발명은, 기판의 공정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판의 공 정균일성을 향상시키는 스테이지를 갖는 기판의 공정장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이 패널 등의 기판 처리 공정은 약액, 세정, 건조 등과 같은 공정을 거친다. 일련의 공정과정을 거치는 기판이 소정의 공정위치로 이송되기 위해서는 기판을 지지함과 더불어 회전에 의해 일방향으로 이송시키는 다수개의 롤러 또는 축들이 설치된 롤러 컨베이어와 같은 장치가 사용된다.

이러한 종래의 기판의 공정장치는 한국 특허공개 제 2005-0050687에 개시되어 있다. 종래의 기판의 공정장치는 복수의 열로 배치되는 복수의 롤러와, 롤러를 회전가능하게 하는 롤러구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 종래의 기판의 공정장치는 기판과 접촉되는 롤러의 회전운동에 의해 기판을 소정의 공정위치로 이송시킨다.

그러나, 종래의 기판의 공정장치는 롤러가 마모되어 기판의 처짐 현상이 발생될 수 있다. 이에, 기판의 세정공정에서 기판이 균일하지 않고 편심되어 얼룩이 발생할 수 있으며, 검사공정에서 검사오류가 발생할 수 있는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은, 기판의 공정균일성을 유지하도록 평탄도를 향상시킬 수 있는 기판의 공정장치를 제공하는 것이다.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판의 공정장치에 있어서, 상기 기판의 이송방향을 따라 이격된 복수의 열로 배치되는 복수의 롤러와, 상기 롤러를 회전가능하게 하는 롤러구동부와; 상기 롤러에 대응하여 롤러개구부를 가진 판상의 형태로 형성되며, 상기 롤러의 상기 이송방향에 열과 열 사이에서 승강가능하게 설치되어 상기 롤러에 의해 이송된 상기 기판을 승강시키는 스테이지와; 상기 스테이지를 승강가능하게 하는 승강구동부를 포함할 수 있다.

여기서, 상기 스테이지는 이동가능하게 지지하는 가이드와, 상기 가이드에 지지된 상기 스테이지를 상기 이송방향에 따라 정역 이동시키는 이동구동부를 더 포함할 수 있다.

상기 이동구동부는 리니어모터를 포함할 수 있다.

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이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판의 공정장치(1)는 기판(2)의 이송방향을 따라 이격된 복수의 열로 배치되는 복수의 롤러(3)와, 롤러(3)의 이송방향에 열과 열 사이에서 승강가능하게 설치되어 롤러(3)에 의해 이송된 기판(2)을 승강시키는 스테이지(6)와, 롤러(3)를 회전시키며, 스테이지(6)를 승강 및 롤러(3)의 이송방향에 따라 정역 이동시키는 구동부(10)를 포함한다.

롤러(3)는 로더(미도시)에서 공급된 기판(2)이 소정의 공정과정을 거치고 언로더(미도시)로 배출되도록 기판(2)을 이송하게 한다. 롤러(3)는 복수개로 마련되며, 복수개의 롤러(3)는 롤러회전축(4)에 연결되어 후술할 구동부(10)의 롤러구동부(11)로부터 구동력을 전달받은 롤러구동축(5)에 의해 회전운동을 하게 된다. 롤러(3)는 본 발명의 일예로, 복수개로 롤러회전축(4)에 연결되나, 원통형상의 형태로 형성된 적어도 하나의 롤러(3)로 연결될 수도 있다. 롤러(3)는 기판(2)과 접촉하여 이송시킬 때 스크래치와 같은 얼룩이 발생되지 않도록 외주면에 고무와 같은 연성재질로 둘러싸고 있는 것이 바람직하다. 롤러(3)는 도 3에 도시된 바와 같이, 후술할 스테이지(6)의 롤러개구부(7)에 관통된다. 롤러(3)는 관통되어 돌출된 부위가 기판(2)과 접촉되어 스테이지(6)로 기판을 공급한다.

롤러회전축(4)은 롤러구동축(5)과 베벨기어 및 타이밍벨트와 같은 방법으로 연결되어 구동되도록 한다. 롤러회전축(4)은 회전운동만 가능하며, 기판(2)의 이송방향에 따라 이동하지 않으며, 기판(2)의 판면의 수직방향으로 승강되지 않는다.

구동부(10)는 롤러(3)가 기판(2)을 이송시키도록 구동력을 전달하는 롤러구동부(11)와, 후술한 스테이지(6)를 승강하게 하는 승강구동부(12)와, 스테이지(6)를 이송방향에 따라 정역으로 이동시키는 이동구동부(16)를 포함한다.

롤러구동부(11)는 연결된 롤러구동축(5)에 구동력을 전달하며, 롤러구동축(5)에 전달된 구동력은 베벨기어와 같은 방법으로 롤러회전축(4)에 전달되어 롤러회전축(4)에 연결된 복수의 롤러(3)를 회전운동하게 한다.

승강구동부(12)는 롤러(3)의 회전운동에 의해 이송된 기판(2)이 안착되는 스테이지(6)를 승강하도록 마련된다. 승강구동부(12)는 모터(미도시)나 다수의 볼 스크루(미도시)와 같은 방법으로 스테이지(6)를 승강하게 한다. 승강구동부(12)는 구동력이 전달되는 승강부(14)와, 승강부(14)에 의해 승강되는 승강판넬(15)과, 승강판넬(15)을 지지하는 지지대(13)를 포함한다.

승강부(14)는 모터(미도시)와 같은 장치에서 발생된 구동력을 전달받아 직접적으로 승강되게 마련된다. 승강부(14)는 본 발명의 일예로, 4개의 지지대(13)에 각 한 개씩 4개가 마련된다. 그러나, 승강부(14)는 3개 이하 5개 이상으로 구성될 수도 있다.

승강판넬(15)은 승강부(14)와 접촉 결합되어 승강부(14)가 전달받은 구동력에 의해서 승강하게 된다. 승강판넬(15)은 스테이지(6)와 한 쌍의 리니어가이드(8)로 결합되어 있다. 승강판넬(15)은 본 발명의 일예로, 후술할 스테이지(6)의 형상에 대응하여 판상의 형태로 형성되어 있다. 그러나, 승강판넬(15)은 4개의 승강부(14)에 연결된 판상의 형상뿐만 아니라, 기판(2)의 이송방향에 따라 양측의 승강부(14)에 한 쌍의 판상의 형상과 같은 다양한 형상으로 마련될 수도 있다.

지지대(13)는 승강구동부(12) 및 스테이지(6)를 지지하도록 마련된다. 지지대(13)는 본 발명의 일예로, 승강판넬(15)의 각 꼭지점 부근에 4개로 마련된다. 지지대(13)는 모터(미도시)에서 전달받은 구동력으로 승강되는 승강부(14)를 포함한다.

이동구동부(16)는 스테이지(6)를 기판(2)의 이송방향에 따라 정역으로 이동시킨다. 이동구동부(16)는 본 발명의 일예로, 리니어모터(미도시)를 사용한다. 그러나, 이동구동부(16)는 웜기어와 같은 다양한 동력전달방법을 사용할 수도 있다. 이동구동부(16)는 스테이지(6)와 승강판넬(15)의 사이에 마련된 리니어가이드(8)에 구동력을 전달하여 스테이지(6)를 이동하게 한다.

스테이지(6)는 롤러(3)에 의해 이송된 기판(2)이 안착되어 승강 및 기판(2)의 이송방향에 따라 정역으로 이동된다. 스테이지(6)는 기판(2)이 스테이지(6)로 공급되고 공정 후에 배출되도록 롤러(3)가 돌출되어 있다. 스테이지(6)는 롤러(3) 가 돌출되도록 복수의 롤러(3)에 대응하여 복수의 롤러개구부(7)가 마련된다. 스테이지(6)는 리니어가이드(8)를 사이에 두고 승강판넬(15)과 결합되어 있다. 스테이지(6)는 본 발명의 예로, 판상의 형태로 형성되어 이다. 그러나, 스테이지(6)는 기판(2)의 4개의 꼭지점 부근만 지지하는 방법과 같은 다양한 방법으로 지지될 수도 있다. 스테이지(6)는 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따라, 안착된 기판(2)을 승강시킨다. 스테이지(6)는 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따라, 상승된 스테이지(6)를 갠트리 검사타입과 같은 장치에서 기판(2)의 이송방향에 따라 정역으로 이동시킨다.

롤러개구부(7)는 본 발명의 일예로, 복수의 롤러(3)가 돌출되도록 대응하여 개구된다. 롤러개구부(7)는 사각형의 형상으로 개구되나, 롤러(3)의 크기나 모양에 따라서 원형과 같은 다양한 형상으로 개구될 수도 있다.

리니어가이드(8)는 스테이지(6)와 승강판넬(15)를 사이에 두고 개재된다. 리니어가이드(8)는 이동구동부(16)의 리니어모터(미도시)에서 발생된 구동력을 전달받아 스테이지(6)를 이송방향에 따라 정역으로 이동시킨다.

이러한 구성에 의하여 본 발명에 따른 기판의 공정장치(1)의 작동과정을 살펴보면 다음과 같다.

우선, 로더(미도시)에서 공급된 기판(2)이 복수의 열로 배치된 복수의 롤러(3)에 의해서 일방향으로 이송된다. 기판(2)이 스테이지(6)에 돌출된 롤러(3)에 의해서 스테이지(6)에 소정의 위치에 안착된다. 그러면, 스테이지(6)는 승강구동부(12)에 의해서 상승한다. 이 때, 복수의 롤러(3)가 연결된 복수의 열로 배치된 롤러회전축(4)은 고정되어 있어서 롤러(3)는 기판(2)과 접촉하지 않는다. 상승된 스테이지(6)는 이동구동부(16)에 의해서 기판(2)의 이송방향에 따라 정역으로 이동된다. 공정과정을 마친 스테이지(6)는 하강하여 롤러(3)와 기판(2)이 재접촉한다. 롤러(3)는 공정과정을 마친 기판(2)을 후위 공정과정 또는 언로더(미도시)로 이송한다.

이에, 본 발명에 따른 기판의 공정장치는 공정과정에서 기판의 처짐이 발생되지 않도록 평탄도가 우수한 스테이지를 사용하여 기판의 균일성을 향상시킬 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 공정과정에서 기판의 처짐이 발생되지 않고, 기판의 균일성을 향상시킬 수 있는 평탄도가 우수한 스테이지를 갖는 기판의 공정장치가 제공된다.

Claims (4)

1. 기판(2)의 공정장치(1)에 있어서,

   상기 기판(2)의 이송방향을 따라 이격된 복수의 열로 배치되는 복수의 롤러(3)와, 상기 롤러(3)를 회전가능하게 하는 롤러구동부(11)와;

   상기 롤러(3)에 대응하여 롤러개구부(7)를 가진 판상의 형태로 형성되며, 상기 롤러(3)의 상기 이송방향에 열과 열 사이에서 승강가능하게 설치되어 상기 롤러(3)에 의해 이송된 상기 기판(2)을 승강시키는 스테이지(6)와;

   상기 스테이지(6)를 승강가능하게 하는 승강구동부(12)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판(2)의 공정장치(1).
2. 제1항에 있어서,

   상기 스테이지(6)는 이동가능하게 지지하는 가이드(8)와, 상기 가이드(8)에 지지된 상기 스테이지(6)를 상기 이송방향에 따라 정역 이동시키는 이동구동부(16)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판(2)의 공정장치(1).
3. 삭제
4. 제2항에 있어서,

   상기 이동구동부(16)는 리니어모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 공정장치.

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