KR100645801B1 - 기판 이송용 회전축 및 그를 이용한 기판이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이의 제작 공정에 이용되며, 제작비용을 줄이고, 대형 기판의 과중량으로 인한 진동을 감소시킬 수 있는 기판 이송용 회전축 및 그 회전축을 이용한 기판 이송장치를 개시한다.
본 발명의 기판 이송용 회전축은 중공으로 이루어지는 메인 샤프트, 상기 메인 샤프트의 양측에 끼워져 상기 베스의 일측에 회전 가능하게 결합되는 엔드 샤프트, 상기 메인 샤프트와 엔드 샤프트 사이에 개재되는 실링부재를 포함한다.
따라서 본 발명은 기판 이송에 사용되는 회전축을 알루미늄 재질로 이루어지는 중공축으로 제작하여 대형의 기판 이송에 적용되는 경우 길이가 증가하여도 무게 및 진동 등을 줄일 수 있으며, 이송장비의 제작비용을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있다.
기판, 이송, 샤프트, 회전축, 실링부재, 오링, 알미늄, 중공

Description

기판 이송용 회전축 및 그를 이용한 기판이송장치{Shaft for moving glass panel and transfer using the same}
도 1은 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 도 1의 A-A부를 절개하여 도시한 단면도이다.
본 발명은 기판 이송용 회전축 및 그를 이용한 기판 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이의 제작 공정에 이용되며, 제작비용을 줄이고, 대형 기판의 과중량으로 인한 진동을 감소시킬 수 있는 기판 이송용 회전축 및 그 회전축을 이용한 기판 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 기판 이송장치는, 구동수단에 의하여 회전되는 다수의 회전축이 나란하게 배치되어 있고, 그 회전축에 다수의 회전 롤러들이 제공된 구조를 가지고 있다. 특히, 상기 기판 이송을 위한 샤프트는 비교적 중량이 무거운 서스(SUS) 재질로 이루어져, 제작비용이 증대될 뿐만 아니라 기판이 이송되는 과정에서 과중량으로 인하여 진동이 발생하여 제품의 불량이 발생할 수 있는 문제점이 있다. 또한, 기판의 크기가 커지면서 회전축의 길이도 함께 길어지면서 제작비용도 증대되는 문제점이 있다.
따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 회전축의 중량을 줄이고 대형의 기판을 이송하는 경우에 적용하여도 저렴한 비용으로 제작이 가능한 기판 이송용 회전축 및 그 회전축을 이용한 기판 이송장치를 제공하는데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판 처리를 위한 작업공간을 제공하는 베스, 상기 베스에 설치되어 회전동력을 발생하는 구동원, 상기 작업공간에 위치하여 기판을 이송 및 지지하는 기판 이송을 위한 다수의 회전축, 상기 회전축들의 외주에 배치되는 다수의 이송롤러를 포함하며, 상기 회전축은 중공으로 이루어지는 메인 샤프트, 상기 축부의 양측에 끼워져 상기 베스의 일측에 회전 가능하게 결합되는 엔드 샤프트를 포함하는 기판이송장치를 제공한다.
상기 메인 샤프트와 상기 엔드 샤프트 사이에는 실링부재가 개재되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명은 중공으로 이루어지는 메인 샤프트, 상기 메인 샤프트의 양측에 끼워져 상기 베스의 일측에 회전 가능하게 결합되는 엔드 샤프트, 상기 메인 샤프트와 엔드 샤프트 사이에 개재되는 실링부재를 포함하는 기판 이송용 회전축을 제공한다.
상기 메인 샤프트는 알루미늄 재질을 포함하는 합금으로 이루어지는 것이 바 람직하다.
상기 메인 샤프트는 외주면이 보호층으로 코팅될 수 있다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 실시 예의 적용 예를 도시한 도면으로, 기판의 이송 장치를 도시하고 있다. 그리고 도 2는 본 발명에 따른 기판의 이송 장치에 적용되는 기판 이송용 회전축(이하, '회전축'이라 함)을 상세하게 설명하기 위한 단면도이다. 상기 기판 이송 장치는, 베스(1) 내에 설치될 수 있으며 기판(G)을 이송하기 위한 이송수단(3)을 포함한다. 그리고 상기 베스(1) 내에는 상기 기판 이송수단(3)을 설치하기 위한 베이스(5)가 마련될 수 있다. 본 발명은 특정한 예에 한정되는 것은 아니며, 단지 기판(G)을 이송시키는 기판 이송 장치에 적용이 가능한 것이다.
상기 기판 이송수단(3)은 모터(M) 등의 구동원에 의하여 회전하는 기판 이송을 위한 회전축(7), 상기 회전축(7)의 외주면에 결합되는 다수의 이송롤러(9)를 포함한다. 상기 회전축(7)은, 도 2에 도시하고 있는 바와 같이, 알루미늄 재질을 포함하는 합금으로 이루어져 내부에 공간이 제공되는 중공축으로 이루어지는 메인 샤프트(11, Main shaft)와 상기 메인 샤프트(11)의 측면에 결합되는 두개의 엔드 샤프트(13, 15, End shaft), 그리고 상기 메인 샤프트(11)와 상기 엔드 샤프트(13, 15) 사이에 실링부재(17, 19)를 포함한다. 상기 메인 샤프트(11)는 강성을 충분히 유지하면서도 비교적 가벼운 재질로 이루어지는 알루미늄 합금 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 상기 메인 샤프트(11)에는 양 사이드에 엔드 샤프트(13, 15)가 결합되고, 상기 엔드 샤프트(13, 15)는 베어링(B, 도 2에 도시하고 있음)에 의하여 지지대(21, 23)에 회전 가능하게 지지된다. 그리고 상기 엔드 샤프트(15)의 일측에는 스프라켓(s) 등이 결합되어 별도의 동력전달부재에 의하여 회전동력을 전달받는 통상의 구조로 이루어져 있다.
상기 메인 샤프트(11)와 상기 엔드 샤프트(13, 15)의 결합은, 나사 결합으로 이루어질 수 있으며, 또한 억지 끼움 결합 등으로 이루어지는 것도 가능하다. 특히, 상기 엔드 샤프트(13, 15)의 외주(메인 샤프트의 내면에 대응하는 면)에는 실링홈(13a, 15a)이 원주를 따라 일정한 폭으로 제공된다. 상기 실링홈(13a, 15a)에는 통상의 오링(O-ring) 등의 실링부재(17, 19)가 삽입된다. 상기 실링부재(17, 19)는 베스(1) 내에서 약액으로 처리한 과정에서 메인 샤프트(11) 내부로 약액이 침투하여 내구성을 감소시키는 것을 방지하기 위한 것이다.
또한, 상기 메인 샤프트(11)의 외주면에는 보호층(25)이 코팅될 수 있다. 이러한 보호층(25)은, 알루미늄 재질로 이루어지는 메인 샤프트(11)를 보호하여 내구성을 증대시키기 위한 것이다. 상기 보호층(25)은 서스(SUS) 재질 또는 폴리비닐클로라이드(Poly vinyl chloride, PVC) 등으로 이루어지는 것이 바람직하다.
이와 같이 이루어지는 본 발명은, 스프라켓(s)으로 구동력이 전달되어 엔드 샤프트(13, 15)가 회전하고 이와 동시에 메인 샤프트(11)가 회전하면서 이송 롤러(9)들을 회전시킨다. 상기 이송 롤러(9)들에 올려진 대형의 기판(G)은 이송롤러(9)들의 회전에 의하여 이송되는 것이다. 이때 대형의 기판(G)이 이송롤러(9)들에 올려져도 메인 샤프트(11)가 상대적으로 가벼워져 진동을 줄일 수 있는 것이다. 이로 인하여 기판(G)의 크기가 대형화되어도 제작비용을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있는 것이다.
이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
이와 같이 본 발명은 기판 이송에 사용되는 회전축을 알루미늄 재질로 이루어지는 중공축으로 제작하여 대형의 기판 이송에 적용되는 경우 길이가 증가하여도 무게 및 진동 등을 줄일 수 있으며, 이송장비의 제작비용을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.

Claims (7)

  1. 기판 처리를 위한 작업공간을 제공하는 베스;
    상기 베스에 설치되어 회전동력을 발생하는 구동원;
    상기 작업공간에 위치하여 기판을 이송 및 지지하는 기판 이송을 위한 다수의 회전축;
    상기 회전축들의 외주에 배치되는 다수의 이송롤러;
    를 포함하며,
    상기 회전축은
    중공으로 이루어지는 메인 샤프트;
    상기 메인 샤프트의 양측에 끼워져 상기 베스의 일측에 회전 가능하게 결합되는 엔드 샤프트;
    를 포함하는 기판이송장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 메인 샤프트와 상기 엔드 샤프트 사이에는 실링부재가 개재되는 기판이송장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 메인 샤프트는
    알루미늄 재질을 포함하는 합금으로 이루어지는 기판이송장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 메인 샤프트는
    외주면이 보호층으로 코팅되는 기판이송장치.
  5. 중공으로 이루어지는 메인 샤프트;
    상기 축부의 양측에 끼워져 상기 베스의 일측에 회전 가능하게 결합되는 엔드 샤프트;
    상기 메인 샤프트와 엔드 샤프트 사이에 개재되는 실링부재;
    를 포함하는 기판 이송용 회전축.
  6. 제5항에 있어서, 상기 메인 샤프트는
    알루미늄 재질을 포함하는 합금으로 이루어지는 기판 이송용 회전축.
  7. 제5항에 있어서, 상기 메인 샤프트는 외주면에 보호층이 제공되는 기판 이송용 회전축.
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