KR20070045537A - 기판 이송 시스템 - Google Patents

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KR20070045537A
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Abstract

본 발명은 기판 이송 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 자석의 인력과 척력으로 인해 연동되는 구동 메카니즘을 갖는 기판 이송 시스템에 관한 것이다.
본 발명에 따른 기판 이송 시스템은 복수개가 소정의 간격이 이격되어 배치되어 회전함으로써 기판을 이송시키는 샤프트들, 상기 샤프트들 각각에 결합되고, 내부에는 복수의 자석들을 갖는 샤프트 회전판들, 상기 샤프트 회전판들 중 어느 하나를 회전시키는 구동부, 그리고 인접한 상기 회전판들 사이에 구비되어 상기 회전판들 상호 간에 회전력을 전달하는 보조 회전판들을 포함한다.
본 발명에 따른 기판 이송 시스템은 완전한 비접촉식 구동 메카니즘을 갖추게 되어 파티클의 발생 및 마찰력에 의한 저항 등을 최소로 하고 소모성 구성품들을 사용을 최소화하여 제작비용 및 교체 등의 유지 보수 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.
기판 이송 시스템, 자석 회전판, 마그네틱 회전판, 비접촉식 기판 이송 시스템

Description

기판 이송 시스템{SYSTEM FOR TRANSFERING SUBSTRATES}
도 1는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 시스템을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 2은 도 1에 도시된 기판 이송 시스템의 단면(A-A')을 개략적으로 도시한 구성도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 기판 이송 시스템 124 : 샤프트 회전판들
110 : 동력 제공실 126 : 보조 회전판들
111 : 모터 128 : 베어링들
112 : 제 1 회전판 129 : 프레임
113 : 구동축 130 : 벽
120 : 약액 처리실 134 : 롤러
122 : 제 2 회전판 135 : 샤프트들
본 발명은 기판 이송 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 자석의 인력과 척력으로 인해 연동되는 구동 메카니즘을 갖는 기판 이송 시스템에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼나 액정 표시 패널을 제조하는 설비에서 설비 내에 파티클의 발생을 줄이는 것은 매우 중요하다. 종래에는 모터의 회전력을 특정 부재로 전달하기 위해 기어와 같이 기계적 접촉에 의한 동력 전달 메커니즘이 주로 사용되었다. 그러나 기계적 접촉 방식은 동력 전달 과정에서 기어의 마모 등으로 인해 많은 파티클을 유발한다. 따라서 최근에는 직접적으로 접촉하지 않고도 회전력을 전달하기 위한 수단으로 자력이 주로 사용되고 있다.
일 예에 의하면, 액정 표시 패널을 제조할 때 사용되는 기판 이송 시스템은 동력 제공부와 약액 처리실이 벽에 의해 구획되며, 기판은 약액 처리실에서 소정의 지름을 갖는 롤러들이 일정한 간격으로 결합된 샤프트들에 의해 지지된 상태에서 샤프트들의 회전에 의해 직선 이동된다. 약액 처리실 내에서 기판이 샤프트들 상에 정지되거나 이동되는 동안 기판 상으로 식각액이나 현상액 등과 같은 약액이 제공된다.
동력 제공부에는 모터 및 모터에 의해 회전되는 복수의 제 1 회전판들이 구비되어 있으며, 약액 처리실에는 샤프트들 일단에서 제 1 회전판들에 대향하여 자력에 의해 서로 연동되어 회전되도록 결합되는 제 2 회전판들이 구비된다.
복수의 제 1 회전판들은 적어도 하나의 밸트에 의해 접촉식으로 연결되어 같이 회전하며, 모터가 제 1 회전판들 중 어느 하나를 회전시키면, 밸트에 의해 복수의 제 1 회전판들이 동시에 회전하며, 제 1 회전판들과 자력에 의해 연동되는 제 2 회전판들이 회전되면서 샤프트들이 회전함으로서 기판을 직선이동시키게 되는 것이다.
그러나 상기와 같은 구성을 갖는 기판 이송 시스템은 완전한 비접촉식 구동 메카니즘을 갖는 못한다. 즉, 밸트에 의한 접촉식의 구동이 에 의해 파티클이 발생되어 동력 제공부를 오염시키며, 이러한 구동 메카니즘에 사용되는 회전판, 밸트, 베어링 등의 소모성 구성품들은 시간이 지남에 따라 부품교체 등의 유지 보수 비용이 계속해서 발생되며, 상술한 소모성 구성품들의 불필요한 사용으로 기판 이송 시스템의 제작비용이 증가한다는 문제점이 있었다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 완전한 비접촉식 구동 메카니즘을 갖는 기판 이송 시스템을 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 제작비용 및 유지 보수 비용을 줄일 수 있는 기판 이송 시스템을 제공함에 있다.
상술한 목적을 해결하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송 시스템은 복수개가 소정의 간격이 이격되어 배치되어 회전함으로써 기판을 이송시키는 샤프트들, 상기 샤프트들 각각에 결합되고, 내부에는 복수의 자석들을 갖는 샤프트 회전판들, 상기 샤프트 회전판들 중 어느 하나를 회전시키는 구동부, 그리고 인접한 상기 회전판들 사이에 구비되어 상기 회전판들 상호 간에 회전력을 전달하는 보조 회전판들을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 구동부는 모터와 상기 모터에 의해 회전되는 제 1 회전판을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 샤프트들 중 어느 하나에는 상기 제 1 회전판과 자력에 의해 연동되어 회전되는 제 2 회전판을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 샤프트 회전판들과 상기 보조 회전판들 각각은 원통형의 하우징과 상기 하우징 외주면 내부를 따라 배치되는 복수의 자석들을 포함하되, 상기 샤프트 회전판들과 상기 보조 회전판들에서 서로 대응하는 자석들은 마주보는 면이 서로 다른 극성을 갖도록 구비된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 샤프트 회전판들과 상기 보조 회전판들 각각은 원통형의 하우징과 상기 하우징 외주면 내부를 따라 배치되는 복수의 자석들을 포함하되, 상기 샤프트 회전판들과 상기 보조 회전판들에서 서로 대응하는 자석들은 마주보는 면이 서로 다른 극성을 갖도록 구비된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판 이송 시스템은, 상기 구동부를 포함하는 동력 제공실과 상기 제 2 회전판, 상기 샤프트들, 그리고 상기 샤프트 회전판들을 포함하는 약액 처리실이 소정의 벽에 의해 구획된다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 및 도 2를 참조하면서 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석돼서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명 확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.
(실시예)
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 시스템을 개략적으로 도시한 구성도이고 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 시스템의 단면(A-A')을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 이송 시스템(100)은 동력 제공실(110)과 약액 처리실(120)을 포함한다. 동력 제공실(110)과 약액 처리실(120)은 소정의 벽(130)에 의해 구획되어 있으며, 동력 제공실(110)은 약액 처리실(120)로 인입된 기판(S)을 이동시키기 위한 동력을 제공하는 구동 메카니즘이 제공되고, 약액 처리실(120)은 동력 제공실(110)로부터 상기 동력을 제공받아 기판(S)을 단계별로 이동시켜 기판(S) 상에 소정의 공정을 수행한다.
동력 제공실(110)은 모터(111), 제 1 회전판(112)을 포함하고, 약액 처리실(120)은 제 2 회전판(122), 샤프트 회전판(124), 보조 회전판(126), 베어링(128), 지지대(129) 그리고 복수의 샤프트들(134)을 포함한다.
제 1 회전판(112)은 모터(111)에 의해 회전되는 구동축(113)과 결합한다. 모터(111)가 전원 공급부(미도시됨)로부터 전원을 제공받아 구동축(113)을 회전시키면 제 1 회전판(112)은 구동축(113)의 회전에 의해 회전된다. 제 1 회전판(112)이 회전되면 약액 처리실(120)에 구비되는 샤프트(134a)의 일단에 결합되는 제 2 회전판(122)이 제 1 회전판(112)과 자력에 의해 연동되어 회전된다.
제 1 회전판(112)은 동력 제공실(110) 내에 배치되고, 제 2 회전판(122)은 약액 처리실(14) 내에 배치된다. 제 1 회전판(112)과 제 2 회전판(122)은 벽(130)에 의해 완전히 분리되며, 이들 간의 회전력 전달은 비접촉 방식인 자력에 의해 이루어진다. 즉, 제 1 및 제 2 회전판(112, 122)은 벽(130)을 중심으로 서로 마주보며 배치되어 있으며, 마주보는 제 1 및 제 2 회전판(112, 122) 각각의 평면에는 소정의 자석들이 구비되어 제 1 및 제 2 회전판(112, 122)이 자력에 의해 연동되어 회전될 수 있도록 배치된다.
제 1 및 제 2 회전판(112, 122)이 자력에 의해 연동되어 회전하기 위해서는 제 1 회전판(112)은 원판형의 하우징(112a)과 자석들(112b)을 포함하고, 제 2 회전판(122)은 제 1 회전판(122)과 상응하는 원판형의 하우징(122a) 및 제 1 회전판(112)의 자석들(112b)과 서로 대응되는 자석들(122b)을 갖는다. 하우징(112a, 122a)은 예컨대, 폴리 염화 비닐(PVC)를 재질로 하여 제조되고, 자석들(112b, 122b)은 각각 6개가 제공될 수 있다. 각각의 자석들(112b, 122b)은 원판 형상을 가지며, 마주보는 하우징(112a, 122b)의 평면 중앙을 중심으로 링 형상으로 배열된다. 인접하는 자석들(112b, 122b)은 하우징(112a, 122a)의 외측면에서 바라볼 때 서로 상이한 극성을 가지도록 배치된다. 또한, 제 1 및 제 2 회전판(112, 122)에서 서로 마주보는 자석들은 상이한 극성을 가지도록 배치된다.
상술한 구조로 인하여 모터(111)에 의해 제 1 회전판(112)이 회전되면 자석들(112b, 122b)간의 인력에 의해 제 2 회전판(122)이 회전되고, 이로 인해 모터의 회전력은 샤프트(134a)로 전달된다. 또한, 동력 제공실(14) 내에서 모터(142)로부 터 제 1 회전판(112)까지 동력의 전달은 기계적 접촉에 의해 이루어지므로, 동력 제공실(110) 내에서는 파티클(particle)이 발생될 수 있지만, 약액 처리실(120)과 동력 제공실(110)은 벽(130)에 의해 분리되어 있으므로, 동력 제공실(110)에서 발생되는 파티클이 처리실(120) 내로 유입되는 것이 방지된다.
상기와 같은 구성을 갖는 기판 이송 시스템(100)은 밸트 또는 체인 등의 접촉식 연결수단이 필요없이 자력을 이용한 비접촉식 구동방식이므로 파티클의 발생을 최소화할 수 있다.
약액 처리실(120) 내에는 복수의 샤프트들(134)이 설치된다. 각각의 샤프트들(134)에는 롤러들(135)이 설치된다. 롤러들(135) 각각은 샤프트들(134)이 삽입될 수 있는 홀이 형성되며, 상기 홀에 샤프트들(134)이 삽입되어 결합되며, 샤프트들(134)이 회전되면 롤러들(135)도 함께 회전된다. 롤러(135)는 기판에 스크래치를 발생시키지 않고 최소한의 접촉면적으로 기판(S)을 지지 및 이동시키기 위한 것이다.
롤러들(135)이 결합된 샤프트들(134)은 기판(S)을 지지하고 기판(S)을 직선이동시킨다. 샤프트들(134)은 서로 평행하게 배치되며, 각각의 샤프트들(134)은 기판(S)이 이동되는 방향과 수직하게 배열된다. 기판(S)은 액정 표시 패널 제조에 사용되는 유리 기판(S)일 수 있다.
샤프트 회전판들(124)과 보조 회전판들(126)은 프레임(129)에 의해 지지되며, 프레임(129)과 각각의 회전판들(124, 146)이 결속되는 부분은 소정의 베어링(128)이 구비되어 마찰력에 의한 저항 감소 및 파티클의 발생 등을 최소화한다.
샤프트 회전판들(124) 각각은 원통형의 하우징, 상기 하우징 외주면 내부를 따라 배치되는 복수의 자석들을 포함한다. 상기 복수의 자석들은 샤프트 회전판들(124)과 보조 회전판들(126)에서 서로 대응하는 자석들은 마주보는 면이 서로 다른 극성을 갖도록 구비된다.
샤프트 회전판(124a)은 샤프트(134a) 일 측에 결합되어 제 2 회전판(122)과 동일한 회전력을 갖고 회전한다. 즉, 샤프트 회전판(124a)은 제 1 회전판(112)과 자력으로 연동되어 회전하는 제 2 회전판(122)과 같은 샤프트(134a)에 결합되어 있으므로, 제 1 및 제 2 회전판(112, 122)과 같은 회전력으로 회전하게 된다.
같은 방식으로 샤프트 회전판들(124b, 124c)은 각각 샤프트(134b, 134c)와 결합한다. 이때, 제 3 회전판(124b, 124c)은 제 3 회전판(124a)과 샤프트들(134)과 수직한 동일선상에서 나란하게 배열되도록 배치된다.
보조 회전판들(126)도 샤프트 회전판들(124)과 동일한 방식으로 원통형의 하우징과 상기 하우징 외주면 내부를 따라 배치되는 복수의 자석들을 포함한다. 보조 회전판들(126) 외주면 내부에는 샤프트 회전판들(134)에 구비되는 자석들과 서로 대응하도록 마주보는 면이 서로 다른 극성을 갖도록 구비된다.
보조 회전판들(126)은 샤프트 회전판들(124) 사이에 위치하여 샤프트 회전판들(124)과 상기 동일선상에서 나란하게 배열되도록 배치되어, 샤프트 회전판들(124) 간의 회전력을 전달하는 기능을 한다.
샤프트 회전축들(124) 사이에는 보조 회전축들(126)이 자력으로 회전력을 전달하도록 구비되어 있다. 이때, 샤프트 회전축들(124), 및 보조 회전축들(126) 각 각의 외주면에 구비되는 자석들은 외주면을 따라 교대로 서로 다른 극성을 갖도록 배치되며, 보조 회전판들(126)의 외주면에는 샤프트 회전판들(124)의 외주면에 결합되는 자석들과 교대로 서로 다른 극성을 갖고 서로 상응하여 회전할 수 있도록 배치된다. 그리하여, 샤프트 회전축들(124)과 보조 회전축들(126)은 서로 자력에 의해 연동되어 같이 회전한다.
이러한 기판 이송 시스템은 완전한 비접촉식 구동 메카니즘의 구현이 가능하여 파티클의 발생 및 마찰력에 의한 저항을 최소화한다.
이상에서, 본 발명에 따른 기판 이송 시스템의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경가능함은 물론이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 기판 이송 시스템은 기판을 이송하기 위한 구동 메카니즘의 모든 부분을 자력을 이용한 비접촉 방식의 시스템으로 구성할 수 있으므로 파티클의 발생 및 마찰력에 의한 저항 등을 최소한으로 할 수 있는 효과가 있다.
본 발명에 따른 기판 이송 시스템은 소모성 구성품들을 사용을 최소화하여 제작비용 및 교체 등의 유지 보수 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.

Claims (6)

  1. 기판 이송 시스템에 있어서,
    복수개가 소정의 간격이 이격되어 배치되어 회전함으로써 기판을 이송시키는 샤프트들과;
    상기 샤프트들 각각에 결합되고, 내부에는 복수의 자석들을 갖는 샤프트 회전판들과;
    상기 샤프트 회전판들 중 어느 하나를 회전시키는 구동부와;
    인접한 상기 회전판들 사이에 구비되어 자력에 의해 상기 회전판들 상호 간에 회전력을 전달하는 보조 회전판들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동부는
    모터와;
    상기 모터에 의해 회전되는 제 1 회전판을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 샤프트들 중 어느 하나에는 상기 제 1 회전판과 자력에 의해 연동되어 회전되는 제 2 회전판이 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 회전판 각각은,
    원통형의 하우징과;
    마주보는 각각의 상기 하우징의 평면 내부에 배치되는 복수의 자석들을 포함하되,
    상기 제 1 회전판과 상기 제 2 회전판에서 서로 대향되는 자석들은 마주보는 면이 서로 다른 극성을 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 샤프트 회전판들과 상기 보조 회전판들 각각은,
    원통형의 하우징과;
    상기 하우징 외주면 내부를 따라 배치되는 복수의 자석들을 포함하되,
    상기 샤프트 회전판들과 상기 보조 회전판들에서 서로 대응하는 자석들은 마주보는 면이 서로 다른 극성을 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 기판 이송 시스템은;
    상기 구동부를 포함하는 동력 제공실과;
    상기 제 2 회전판, 상기 샤프트들, 그리고 상기 샤프트 회전판들을 포함하는 약액 처리실이 소정의 벽에 의해 구획되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100779949B1 (ko) * 2006-12-27 2007-11-28 세메스 주식회사 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR100809015B1 (ko) * 2006-06-15 2008-03-03 세메스 주식회사 기판 이송장치
KR20090049169A (ko) * 2007-11-13 2009-05-18 세메스 주식회사 구동 자력 부재와, 이를 이용한 기판 이송 유닛 및 기판처리 장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100809015B1 (ko) * 2006-06-15 2008-03-03 세메스 주식회사 기판 이송장치
KR100779949B1 (ko) * 2006-12-27 2007-11-28 세메스 주식회사 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR20090049169A (ko) * 2007-11-13 2009-05-18 세메스 주식회사 구동 자력 부재와, 이를 이용한 기판 이송 유닛 및 기판처리 장치

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