KR100811107B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

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KR100811107B1
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roller
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김민웅
김상길
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세메스 주식회사
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Abstract

평판형 기판을 이송하기 위한 장치에서, 다수의 회전축들은 서로 평행하게 배열되며 각각 회전 가능하도록 배치되고, 롤러들은 상기 회전축들과 함께 회전하도록 각각의 회전축들에 끼워맞춤 결합되어 상기 기판을 지지한다. 상기 회전축들은 구동부로부터 제공되는 회전력에 의해 회전하며, 이에 따라 상기 기판의 이송이 이루어진다. 상기 롤러들과 회전축들 사이에는 상기 롤러들의 유동을 방지하기 위한 고정 링들이 장착되며, 이에 따라 상기 롤러들의 안정적인 결합 상태가 유지될 수 있다.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for transferring a substrate}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 구동부를 설명하기 위한 개략도이다.
도 3은 도 1에 도시된 롤러의 결합 상태를 설명하기 위한 단면도이다.
도 4 및 도 7은 도 1에 도시된 롤러의 장착 구조의 다른 예들을 설명하기 위한 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 평판형 기판 100 : 기판 이송 장치
102 : 회전축 104 : 롤러
106 : 구동부 108 : 고정 링
110 : 챔버 112, 132 : 제1 및 제2 지지부재
114 : 측벽 116 : 모터
118 : 동력 전달 유닛 120 : 타이밍 벨트
122, 126 : 제1 및 제2 구동 기어 124 : 구동축
128, 130 : 제1 및 제2 아이들 기어
134 : 마그네틱 동력 전달 부재
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, OLED(Organic Light Emitting Diode) 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 장치의 제조를 위한 평판형 기판을 이송하기 위한 장치에 관한 것이다.
최근, 정보 처리 기기는 다양한 형태와 기능, 더욱 빨라진 정보 처리 속도 등에 대한 요구에 따라 급속하게 발전하고 있으며, 이들 정보 처리 기기는 가공된 정보를 표시하기 위한 디스플레이 장치를 요구한다. 상기와 같은 정보 디스플레이 장치들은 주로 CRT 모니터를 사용하였으나, 최근 휴대형 정보 기기의 발달에 따라 휴대의 편의성, 소형 경량화에 대한 요구를 실현하기 위하여 액정 디스플레이 장치 또는 OLED 디스플레이 장치 등에 대한 요구가 증가되고 있다. 또한, 가정용 또는 사무용 디스플레이 장치의 경우에도 보다 선명한 화질, 응답 속도, 작업자의 피로도 감소, 공간 확보 등을 위하여 상기 평판 디스플레이 장치에 대한 요구가 증가되고 있다.
예를 들면, 상기 액정 디스플레이 장치의 경우, 상부 기판과 하부 기판 사이에 있는 액정 분자들의 배열 구조에 따른 광의 투과율 차이를 이용하는 디스플레이 장치로서, 최근에는 표시 정보량의 증가와 이에 따른 표시 면적의 증가 요구에 부응하기 위하여 화면을 구성하는 모든 화소에 대하여 개별적으로 구동 신호를 인가 하는 액티브 매트릭스(Active Matrix) 방식의 액정 디스플레이 장치에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다.
상기 액정 디스플레이 장치는 화상 데이터를 액정의 광학적 성질을 이용하여 디스플레이하는 액정 패널과 이를 구동하기 위한 구동 회로를 포함하는 액정 패널 어셈블리와, 화면 표시를 위한 광을 제공하는 백라이트 어셈블리와, 이들을 고정 및 수용하는 몰드 프레임 등을 포함할 수 있다.
상기 액정 디스플레이 장치의 제조에는 대면적의 유리 기판이 사용되며, 상기 유리 기판 상에 전극 패턴들을 형성하기 위하여 다양한 단위 공정들이 수행될 수 있다. 예를 들면, 상기 유리 기판 상에 막을 형성하는 성막 공정, 상기 막을 목적하는 패턴들로 형성하기 위한 식각 공정, 상기 유리 기판 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 상기 유리 기판을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 필요에 따라 반복적으로 수행될 수 있다.
상기 공정들을 수행하기 위한 기판 처리 장치는 기판의 로딩을 위한 기판 로더와, 상기 로더에 의해 반입된 기판에 대한 식각 또는 세정 공정을 수행하기 위한 제1 처리부와, 상기 식각 또는 세정 처리된 기판을 린스액을 이용하여 린스 처리하기 위한 제2 처리부와, 린스 처리된 기판을 건조시키기 위한 제3 처리부와, 상기 기판을 반출하기 위한 언로더 등을 포함할 수 있다. 또한, 상기 기판 처리 장치는 필요에 따라 기판 상의 정전기를 제거하기 위한 제전 장치, 기판의 일시 대기를 위한 버퍼 챔버 등을 더 포함할 수도 있다.
상기 기판 처리 장치를 사용하여 유리 기판과 같은 평판형 기판을 처리하는 경우, 상기 기판은 다수의 회전 롤러들에 의해 상기 로더로부터 언로더를 향하여 이송될 수 있다. 상기 회전 롤러들은 상기 기판의 이송 방향으로 배열된 다수의 회전축들에 장착되며, 상기 회전 롤러들은 상기 기판 처리를 위한 각 챔버들의 외부에 배치되는 구동부에 의해 회전 가능하도록 설치된다.
상기와 같이 평판형 기판을 이송하기 위한 종래의 기판 이송 장치에서, 상기 롤러들은 각각의 회전축들에 나사 결합 방식을 이용하여 결합된다. 구체적으로, 각각의 롤러들의 일측에는 나사 결합을 위한 나사부가 구비되며, 상기 나사부에 체결 너트가 체결되며, 상기 나사부와 체결 너트 사이에는 상기 롤러의 고정을 위한 쐐기 형태의 고정 부재가 삽입된다. 상기와 같은 고정 부재를 사용하는 고정 방식의 경우 다소의 문제점들이 발생될 수 있다. 예를 들면, 각각의 작업자들에 따른 체결력 차이에 의한 롤러 및 회전축의 손상이 발생될 수 있으며, 체결 너트의 풀림에 의해 롤러와 회전축 사이에서 슬립 현상이 발생될 수 있다. 상기와 같은 문제점들은 평판형 기판의 처리 공정에서 불순물 발생의 원인으로 작용할 수 있으며, 롤러의 불안정한 결합에 의해 기판의 손상이 발생될 수도 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 평판형 기판의 이송을 위한 롤러들의 안정적인 결합 상태를 유지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 평행하게 배열되며, 각각 회전 가능하도록 배치된 다수의 회전축들과, 상기 회전축들과 함께 회전하도록 각각의 회전축들에 끼워맞춤 결합되며, 평판형 기판을 지지하는 다수의 롤러들과, 상기 회전축들과 연결되며, 상기 기판을 이송하기 위하여 회전력을 제공하는 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 이송 장치는 상기 롤러들과 각각의 회전축들 사이에서 상기 회전축들의 원주 방향 및 축 방향으로 슬립 현상이 발생하는 것을 방지하기 위하여 상기 롤러들 및 상기 각각의 회전축들 사이에 배치되는 다수의 고정 링들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 롤러들의 내주면에는 적어도 하나의 고정 링을 장착하기 위한 적어도 하나의 그루브(groove)가 형성될 수 있다. 각각의 회전축들의 외주면에는 상기 롤러들의 내주면들에 형성된 그루브들과 대응하며 서로 마주하는 경사 측면들을 갖는 삼각 그루브들이 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 회전축들의 외주면에는 상기 고정 링들을 장착하기 위한 다수의 그루브들이 형성될 수 있다. 각각의 롤러들의 내주면에는 상기 회전축들에 형성된 그루부들 중 하나와 대응하며 서로 마주하는 경사 측면들을 갖는 삼각 그루브가 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 롤러들의 내주면에는 적어도 하나의 고정 링을 장착하기 위한 적어도 하나의 제1 그루브가 형성될 수 있으며, 각각의 회전축들의 외주면에는 상기 고정 링들을 장착하기 위한 다수의 제2 그루브들이 형성될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 의하면, 기판을 지지하여 이송하기 위한 롤러들을 회전축에 끼워맞춤 방식으로 결합하고, 상기 롤러들의 유동을 방지하기 위하여 롤러들과 회전축 사이에 고정 링을 장착함으로써, 상기 롤러들의 안정적인 결합 상태를 유지할 수 있다. 따라서, 종래의 기술에서와 같이 상기 롤러들을 결합하기 위한 너트의 풀림에 의해 발생되는 상기 롤러들 및 회전축의 손상 및 이에 따른 불순물 발생을 방지할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다. 그러나, 본 발명은 하기의 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구현될 수도 있다. 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 보다 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상과 특징이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공된다. 도면들에 있어서, 각 장치 또는 막(층) 및 영역들의 두께는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 과장되게 도시되었으며, 또한 각 장치는 본 명세서에서 설명되지 아니한 다양한 부가 장치들을 구비할 수 있으며, 막(층)이 다른 막(층) 또는 기판 상에 위치하는 것으로 언급되는 경우, 다른 막(층) 또는 기판 상에 직접 형성되거나 그들 사이에 추가적인 막(층)이 개재될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 구동부를 설명하기 위한 개략도이며, 도 3은 도 1에 도시된 롤러의 결합 상태를 설명하기 위한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 유리 기판과 같은 평판형 기판(10)에 대한 처리 공정에서 상기 기판(10)을 일 방향으로 이송하기 위하여 바람직하게 사용될 수 있다.
상기 평판형 처리 공정의 예로는 기판(10) 상의 막 또는 불순물을 제거하기 위한 식각 공정, 기판(10) 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 식각 또는 세정 후 기판(10)을 린스 처리하기 위한 린스 공정, 기판(10)을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 있다. 도시되지는 않았으나, 상기와 같은 처리 공정을 수행하기 위하여, 상기 기판 이송 장치(100)의 상부 또는 하부에는 상기 기판(10)의 처리를 위한 약액 또는 처리 가스 등을 제공하는 노즐들, 에어 나이프(air knife) 또는 샤워 나이프(shower knife) 등이 배치될 수 있다.
상기 기판 이송 장치(100)는 다수의 회전축들(102)과, 상기 회전축들(102)에 장착되는 다수의 롤러들(104) 및 상기 회전축들(102)에 회전력을 제공하는 구동부(106)를 포함할 수 있다. 상기 회전축들(102)과 롤러들(104)은 상기 기판(10)의 처리를 위한 챔버(110) 내에 배치될 수 있으며, 상기 구동부(106)는 상기 챔버(110)의 외측에 배치될 수 있다.
상기 회전축들(102)은 일 방향으로, 예를 들면, 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 서로 평행하게 배열될 수 있으며, 각각의 회전축들(102)에는 다수의 롤러들(104)이 장착된다. 상기 롤러들(104)의 장착 수량은 처리 또는 이송하고자 하는 평판형 기판(10)의 크기에 따라 변화될 수 있으며, 상기 회전축(102)의 길이, 수량 및 상기 롤러들(104)의 수량 등에 의해 본 발명의 범위가 한정되지는 않을 것이다.
각각의 회전축들(102)은 상기 챔버(110) 내에 배치되는 제1 지지부재들(112)에 의해 수평 또는 다소의 경사도를 갖도록 배치될 수 있다. 구체적으로 각각의 회 전축들(102)은 상기 제1 지지부재들(112)을 관통하여 설치될 수 있으며, 상기 제1 지지부재들(112)은 상기 회전축들(102)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함할 수 있다.
상기 구동부(106)는 상기 챔버(110)의 측벽(114)과 인접하여 배치되며, 회전력을 발생시키는 모터(116)와, 상기 모터(116)의 회전력을 전달하기 위한 동력 전달 유닛(118)과, 회전 속도 및 회전력을 조절하기 위한 감속기(미도시) 등을 포함할 수 있다.
상세히 도시되지는 않았으나, 상기 모터(116)의 회전력은 상기 감속기 및 동력 전달 유닛(118)을 통하여 각각의 회전축들(102)에 전달될 수 있다. 예를 들면, 상기 동력 전달 유닛(118)은 타이밍 벨트(120)와 다수의 기어들의 조합에 의해 구현될 수 있다.
도 2를 참조하면, 상기 동력 전달 유닛(118)은 상기 타이밍 벨트(120)와, 상기 모터(116)와 연결된 제1 구동 기어(122)와, 상기 회전축들(102)에 회전력을 전달하기 위한 구동축들(124)에 결합된 제2 구동 기어들(126)과, 상기 회전력의 전달 효율을 향상시키기 위하여 상기 제2 구동 기어들(126) 사이에 배치된 제1 아이들 기어들(128)과, 상기 제1 구동 기어(122)와 인접하게 배치되어 상기 타이밍 벨트(120)의 장력을 조절하기 위한 제2 아이들 기어(130) 등을 포함할 수 있다. 한편, 상기 기어들(122, 126, 128, 130)은 제2 지지부재들(132)에 의해 지지될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 구동축들(124)의 단부들과 상기 회전축들(102) 의 단부들은 상기 챔버(110)의 측벽(114)을 사이에 두고 서로 마주하여 배치되며, 상기 단부들에는 비접촉 방식으로 회전력을 전달하기 위한 마그네틱(magnetic) 동력 전달 부재들(134)이 장착될 수 있다. 각각의 마그네틱 동력 전달 부재들(134)은 자체 중심에 대하여 방사상으로 배치되는 다수의 영구 자석들을 내장하고 있으며, 상기 영구 자석들은 마그네틱 동력 전달 부재(134)의 원주 방향으로 극성이 변화되도록 배치된다.
상기와 같이 상기 회전력은 상기 모터(116)로부터 상기 타이밍 벨트(120), 제1 및 제2 구동 기어들(122, 126), 구동축들(124) 및 마그네틱 동력 전달 부재들(134)을 통해 상기 회전축(102)으로 전달되며, 상기 회전축(102)의 회전에 의해 상기 롤러들(104) 상에 지지된 기판(10)의 이송이 가능하게 된다.
도 3을 참조하면, 상기 롤러(104)는 회전축(102)에 끼워맞춤 결합에 의해 장착될 수 있다. 특히, 상기 롤러(104)와 회전축(102) 사이에서 틈새가 존재하는 틈새끼움 결합에 의해 장착될 수 있으며, 상기 롤러(104)는 고정 링(108)에 의해 위치가 고정될 수 있다. 상기 고정 링(108)은 상기 회전축(104)의 축 방향 및 원주 방향으로 상기 롤러(104)의 슬립이 발생되지 않도록 하기 위하여 장착된다. 이를 위하여 상기 롤러(104)의 내주면에는 상기 고정 링을 장착하기 위한 그루브(104a)가 형성되어 있다. 상기 고정 링(108)으로는 원형 단면을 갖는 오링(O-ring)이 사용될 수 있으며, 그밖에도 다양한 형태의 단면 형상을 갖는 패킹 등이 사용될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 롤러(104)는 상기 회전축(102)에 억 지끼움(또는 열박음) 결합에 의해 장착될 수도 있다. 구체적으로, 상기 롤러(104)의 내경이 상기 회전축(102)의 외경보다 작게 설계될 수 있으며, 적정 온도로 가열된 후 상기 회전축(102)에 장착될 수 있다. 즉, 상기 롤러(104)의 연성을 증가시키기 위하여 상기 롤러(104)를 가열한 후, 상기 회전축(102)에 억지끼워맞춤 방식으로 상기 가열된 롤러(104)를 장착하며, 상기 롤러(104)를 상온에서 냉각시킴으로써 상기 롤러(104)의 장착 위치를 고정시킬 수 있다.
한편, 도시된 바에 의하면, 상기 각각의 롤러(104)는 상기 기판(10)과 면접촉이 가능하도록 짧은 원통 형태를 갖는다. 그러나, 상기 롤러(104)는 상기 기판(10)과 점접촉될 수 있도록 도넛 형태를 가질 수도 있다.
도 4 및 도 7은 도 1에 도시된 롤러의 장착 구조의 다른 예들을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4를 참조하면, 평판형 기판(10)의 이송을 위한 회전축(202)과 롤러(204)는 끼워맞춤 방식으로 결합될 수 있으며, 상기 회전축(202)의 외주면에는 상기 롤러(204)를 고정시키기 위한 고정 링들(208)이 장착되는 그루브들(202a)이 형성될 수 있다. 상기 롤러(204)는 상기 고정 링들(208)이 회전축(202)에 장착된 후 끼워맞춤 방식으로 결합될 수 있다.
도 5를 참조하면, 평판형 기판(10)의 이송을 위한 회전축(302)과 롤러(304)는 끼워맞춤 방식으로 결합될 수 있으며, 상기 회전축(302)의 외주면 및 롤러(304)의 내주면에는 상기 롤러(304)를 고정시키기 위한 고정 링들(308)이 장착되는 제1 그루브들(302a) 및 제2 그루브들(304a)이 형성될 수 있다.
도 6을 참조하면, 평판형 기판(10)의 이송을 위한 회전축(402)과 롤러(404)는 끼워맞춤 방식으로 결합될 수 있으며, 상기 회전축(402)의 외주면에는 상기 롤러(404)를 고정시키기 위한 고정 링들(408)이 장착되는 제1 그루브들(402a)이 형성될 수 있다. 또한, 상기 롤러(404)의 내주면에는 상기 제1 그루브들(402a)과 대응하며 상기 고정 링들(408)이 삽입되는 제2 그루브들(404a)이 형성될 수 있다.
상기 제1 그루브들(402a)은 상기 고정 링들(408)의 유동을 방지하기 위하여 사각 단면을 가질 수 있으며, 상기 제2 그루브들(404a)은 상기 롤러들(404)의 장착 편의성 및 상기 회전축(402)의 축 방향 전단력에 의한 고정 링(408)의 파손을 방지하기 위하여 삼각 단면을 갖는 것이 바람직하다. 구체적으로, 상기 제2 그루브들(404a)은 서로 마주하는 경사 측면들을 가질 수 있으며, 상기 경사 측면들은 상기 회전축(402)의 축 방향에 대하여 약 30° 내지 45° 정도의 경사각을 가질 수 있다. 상기 경사각이 너무 큰 경우 상기 롤러(404)의 장착이 용이하지 않을 수 있으며, 상기 경사각이 너무 작은 경우 상기 회전축(402)의 축 방향에 대한 상기 롤러(404)의 유동에 대하여 취약할 수 있다.
도 7을 참조하면, 평판형 기판(10)의 이송을 위한 회전축(502)과 롤러(504)는 끼워맞춤 방식으로 결합될 수 있으며, 상기 롤러(504)의 내주면에는 상기 롤러(508)를 고정시키기 위한 고정 링들이 장착되는 제1 그루브들(504a)이 형성될 수 있다. 또한, 상기 회전축(502)의 외주면에는 상기 제1 그루브들(504a)과 대응하며 상기 고정 링들(508)이 삽입되는 제2 그루브들(502a)이 형성될 수 있다.
상기 제1 그루브들(504a)은 상기 고정 링들(508)의 유동을 방지하기 위하여 사각 단면을 가질 수 있으며, 상기 제2 그루브들(502a)은 상기 롤러들(504)의 장착 편의성 및 상기 회전축(502)의 축 방향 전단력에 의한 고정 링(508)의 파손을 방지하기 위하여 삼각 단면을 갖는 것이 바람직하다. 구체적으로, 상기 제2 그루브들(502a)은 서로 마주하는 경사 측면들을 가질 수 있으며, 상기 경사 측면들은 상기 회전축(502)의 축 방향에 대하여 약 30° 내지 45° 정도의 경사각을 가질 수 있다. 상기 경사각이 너무 큰 경우 상기 롤러(508)의 장착이 용이하지 않을 수 있으며, 상기 경사각이 너무 작은 경우 상기 회전축(502)의 축 방향에 대한 상기 롤러(504)의 유동에 대하여 취약할 수 있다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 평판형 기판을 이송하기 위하여 사용되는 회전축들과 롤러들은 끼워맞춤 방식으로 결합된다. 또한, 롤러들의 유동을 방지하기 위하여 상기 회전축들과 롤러들 사이에는 고정 링들이 장착될 수 있다. 이에 따라, 상기 롤러들의 안정적인 결합 상태가 유지될 수 있다.
따라서, 쐐기 형태의 고정 부재들과 체결 너트들을 이용하는 종래의 경우와 비교하여 상기 롤러들의 장착 과정에서 상기 롤러들 및 회전축들의 손상을 방지할 수 있으며, 또한 작업자에 따라 상이한 체결력에 의해 상기 롤러들의 결합 상태가 해제되는 문제점을 방지할 수 있다. 더 나아가, 상기 롤러들과 회전축들의 손상 및 롤러들의 결합 해제에 따른 불순물 발생을 방지할 수 있으므로, 상기 기판의 처리 공정에서의 불량 요인을 원천적으로 제거할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (7)

  1. 평행하게 배열되며, 각각 회전 가능하도록 배치된 다수의 회전축들;
    상기 회전축들과 함께 회전하도록 각각의 회전축들에 끼워맞춤 결합되며, 평판형 기판을 지지하는 다수의 롤러들;
    상기 회전축들과 연결되며, 상기 기판을 이송하기 위하여 회전력을 제공하는 구동부; 및
    상기 롤러들과 각각의 회전축들 사이에서 상기 회전축들의 원주 방향 및 축 방향으로 슬립 현상이 발생하는 것을 방지하기 위하여 상기 롤러들 및 상기 각각의 회전축들 사이에 배치되는 다수의 고정 링들을 포함하되,
    각각의 롤러들의 내주면에는 적어도 하나의 고정 링을 장착하기 위한 적어도 하나의 그루브가 형성되어 있고,
    각각의 회전축들의 외주면에는 상기 롤러들의 내주면들에 형성된 그루브들과 대응하며 서로 마주하는 경사 측면들을 갖는 삼각 그루브들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 평행하게 배열되며, 각각 회전 가능하도록 배치된 다수의 회전축들;
    상기 회전축들과 함께 회전하도록 각각의 회전축들에 끼워맞춤 결합되며, 평판형 기판을 지지하는 다수의 롤러들;
    상기 회전축들과 연결되며, 상기 기판을 이송하기 위하여 회전력을 제공하는 구동부; 및
    상기 롤러들과 각각의 회전축들 사이에서 상기 회전축들의 원주 방향 및 축 방향으로 슬립 현상이 발생하는 것을 방지하기 위하여 상기 롤러들 및 상기 각각의 회전축들 사이에 배치되는 다수의 고정 링들을 포함하되,
    각각의 회전축들의 외주면에는 상기 고정 링들을 장착하기 위한 다수의 그루브들이 형성되어 있고,
    각각의 롤러들의 내주면에는 상기 회전축들에 형성된 그루브들 중 하나와 대응하며 서로 마주하는 경사 측면들을 갖는 삼각 그루브가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 삭제
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