KR20060025810A - 롤러 어셈블리 및 그를 이용한 기판이송장치 - Google Patents
롤러 어셈블리 및 그를 이용한 기판이송장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20060025810A KR20060025810A KR1020040074642A KR20040074642A KR20060025810A KR 20060025810 A KR20060025810 A KR 20060025810A KR 1020040074642 A KR1020040074642 A KR 1020040074642A KR 20040074642 A KR20040074642 A KR 20040074642A KR 20060025810 A KR20060025810 A KR 20060025810A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- rotating shaft
- feed roller
- circumferential surface
- rotation
- roller assembly
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G39/00—Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors
- B65G39/10—Arrangements of rollers
- B65G39/12—Arrangements of rollers mounted on framework
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C13/00—Rolls, drums, discs, or the like; Bearings or mountings therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
- B65G2201/022—Flat
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
Abstract
Description
Claims (14)
- 회전축의 외주에 배치되는 이송롤러;상기 이송롤러의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 배치되는 제1 부재;상기 제1부재의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 끼움 결합되어 상기 이송롤러가 상기 회전축에 고정되도록 하는 제2 부재;를 포함하는 롤러 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 제2 부재는 상기 제1 부재와 상기 회전축 사이에 억지 끼움 결합되도록 테이퍼진 것을 특징으로 하는 롤러 어셈블리.
- 제2항에 있어서, 상기 제2 부재의 테이퍼 부분은 축 방향으로 다수의 절개부가 제공되는 롤러 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 부재는 축의 중심 방향으로 돌출되는 적어도 하나 이상의 회전 방지 돌출부가 제공되며, 상기 제2 부재는 상기 회전 방지 돌출부에 대응되어 끼움 결합되는 회전 방지 홈이 제공되는 롤러 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 부재는 회전 방지 홈이 제공되며, 상기 제2 부재는 상기 회전 방지 홈에 끼워지도록 돌출되는 회전 방지 돌출부가 제공되는 롤러 어셈블리.
- 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 제1 부재 또는 제2 부재에는 끼움 방지 돌출부와 끼움 방지 홈이 서로 끼움 결합되는 위치를 안내하는 표시부가 제공되는 롤러 어셈블리.
- 기판 처리를 위한 작업공간을 제공하는 베스;상기 베스에 설치되어 회전동력을 발생하는 구동원;상기 작업공간에 위치되어 기판을 이송 및 지지하는 기판 이송을 위한 다수의 회전축;상기 회전축들의 외주에 배치되는 다수의 이송롤러;를 포함하며,상기 이송롤러들의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 배치되는 제1 부재, 상기 제1 부재의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 끼움 결합되어 상기 이송롤러가 상기 회전축에 고정되도록 하는 제2 부재를 구비한 롤러 어셈블리를 포함하는 기판이송장치.
- 제7항에 있어서, 상기 제2 부재는 상기 제1 부재와 상기 회전축 사이에 억지 끼움 결합되도록 테이퍼진 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
- 제8항에 있어서, 상기 제2 부재의 테이퍼 부분은 축 방향으로 다수의 절개부가 제공되는 기판이송장치.
- 제7항에 있어서, 상기 제1 부재는 축의 중심 방향으로 돌출되는 적어도 하나 이상의 회전 방지 돌출부가 제공되며, 상기 제2 부재는 상기 회전 방지 돌출부에 대응되어 끼움 결합되는 회전 방지 홈이 제공되는 기판이송장치.
- 제7항에 있어서, 상기 제1 부재는 회전 방지 홈이 제공되며, 상기 제2 부재는 상기 회전 방지 홈에 끼워지도록 돌출되는 회전 방지 돌출부가 제공되는 기판이송장치.
- 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 제1 부재 또는 제2 부재에는 끼움 방지 돌출부와 끼움 방지 홈이 서로 끼움 결합되는 위치를 안내하는 표시부가 제공되는 기판이송장치.
- 회전축의 외주에 배치되며 축 방향으로 걸림홈이 형성된 이송롤러;상기 이송롤러의 걸림홈에 삽입될 수 있는 걸림돌기가 외주면에 제공되고, 상기 이송롤러의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 배치되는 제1 부재;상기 제1부재의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 끼움 결합되어 상기 이송롤러가 상기 회전축에 고정되도록 하는 제2 부재;를 포함하는 롤러 어셈블리.
- 제13항에 있어서, 상기 제1 부재는 내주면에 원주 방향으로 걸림턱이 형성되고, 상기 제2 부재는 상기 제1 부재의 걸림턱에 결합될 수 있도록 외주면에 걸림 돌출부가 제공되는 롤러 어셈블리.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040074642A KR100628734B1 (ko) | 2004-09-17 | 2004-09-17 | 롤러 어셈블리 및 그를 이용한 기판이송장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040074642A KR100628734B1 (ko) | 2004-09-17 | 2004-09-17 | 롤러 어셈블리 및 그를 이용한 기판이송장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060025810A true KR20060025810A (ko) | 2006-03-22 |
KR100628734B1 KR100628734B1 (ko) | 2006-09-29 |
Family
ID=37131192
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040074642A KR100628734B1 (ko) | 2004-09-17 | 2004-09-17 | 롤러 어셈블리 및 그를 이용한 기판이송장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100628734B1 (ko) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100811107B1 (ko) * | 2006-11-30 | 2008-03-06 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치 |
KR100877685B1 (ko) * | 2007-07-31 | 2009-01-08 | (주)원에스티 | 롤러 어셈블리 |
KR100894223B1 (ko) * | 2007-08-23 | 2009-04-20 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 이송용 롤러장치 |
KR101010277B1 (ko) * | 2008-08-26 | 2011-01-24 | 박해신 | 회전 롤러 |
KR102457793B1 (ko) * | 2022-05-18 | 2022-10-20 | 이희균 | 재활용을 위한 폐샌드위치 판넬용 분리 가공장치 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20240059837A (ko) | 2022-10-28 | 2024-05-08 | 아메스산업(주) | 안내롤러를 구비하는 기판 이송 장치 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0247804Y2 (ko) | 1985-02-18 | 1990-12-14 | ||
JP2879329B2 (ja) | 1996-09-25 | 1999-04-05 | 矢崎化工株式会社 | プーリ、これを用いたアキュームローラコンベヤローラ及びアキュームローラコンベヤ |
-
2004
- 2004-09-17 KR KR1020040074642A patent/KR100628734B1/ko active IP Right Grant
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100811107B1 (ko) * | 2006-11-30 | 2008-03-06 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치 |
KR100877685B1 (ko) * | 2007-07-31 | 2009-01-08 | (주)원에스티 | 롤러 어셈블리 |
KR100894223B1 (ko) * | 2007-08-23 | 2009-04-20 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 이송용 롤러장치 |
KR101010277B1 (ko) * | 2008-08-26 | 2011-01-24 | 박해신 | 회전 롤러 |
KR102457793B1 (ko) * | 2022-05-18 | 2022-10-20 | 이희균 | 재활용을 위한 폐샌드위치 판넬용 분리 가공장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100628734B1 (ko) | 2006-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4911533B2 (ja) | 基板搬送装置及び前記装置に使用される基板ガイドユニット | |
US5152522A (en) | Sheetlike article conveying roller assembly | |
KR100628734B1 (ko) | 롤러 어셈블리 및 그를 이용한 기판이송장치 | |
US20180051687A1 (en) | Tube Pump and Tube Stabilizer | |
US5119922A (en) | Apparatus for driving rollers in roller hearth kiln | |
KR20130000764U (ko) | 마그네틱 기어의 축 결합구조 | |
JPH08244946A (ja) | ローラコンベア装置 | |
JP2004205964A (ja) | 画像形成装置 | |
KR101427281B1 (ko) | 기판 반송장치 및 기판처리방법 | |
KR200382821Y1 (ko) | 이송롤러와 베어링의 고정클립 | |
KR100645801B1 (ko) | 기판 이송용 회전축 및 그를 이용한 기판이송장치 | |
KR20160083507A (ko) | 기판 이송용 롤러 | |
KR200381368Y1 (ko) | 이송롤러와 베어링의 고정클립 | |
KR100877685B1 (ko) | 롤러 어셈블리 | |
KR101722521B1 (ko) | 호스 체결밴드용 밴드 밴딩장치 | |
KR101801762B1 (ko) | 샤프트에 고정 가능한 기판 이송용 롤러 | |
KR20190002621U (ko) | 기판이송장치 | |
CN216152910U (zh) | 带轮结构、同步带传动组件及注塑机 | |
KR20090019272A (ko) | 이송장치 | |
CN216582636U (zh) | 一种皮带机毛刷方便拆卸的定位装置 | |
KR100536170B1 (ko) | 회전되는 샤프트 서포팅 장치 | |
CN208417295U (zh) | 一种转轴限位组件及暂存机构 | |
JP2022081440A (ja) | 衛生的なコンベヤローラ | |
JP4572106B2 (ja) | 搬送ローラ体及びこの搬送ローラ体を用いた画像処理装置 | |
JPH07106820B2 (ja) | 紙送り装置におけるスプロケット及びベルト受け回転体の構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130625 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140703 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150729 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160912 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170824 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180903 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190902 Year of fee payment: 14 |