KR100862232B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR100862232B1
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Abstract

대면적 기판을 처리하기 위한 장치가 개시된다. 상기 장치는 기판의 처리 공정을 수행하기 위한 처리조와, 상기 처리조 내에서 상기 기판을 수평 방향으로 이송하기 위한 기판 이송부와, 상기 처리조를 다수의 처리 공간들로 구획하며 상기 이송하는 기판을 통과시키는 출입구를 갖는 격벽과, 상기 격벽과 인접하게 배치되어 상기 출입구를 통해 통과하는 기판을 지지하기 위한 다수의 지지부들을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 기판의 이송 도중에 상기 격벽과 인접하는 지점에서 발생되는 기판의 처짐에 따른 기판의 손상을 방지할 수 있다.

Description

기판 처리 장치{Apparatus for treating substrate}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 기판 이송부를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 내부를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 각각의 지지부들을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 5A 내지 도 5C는 도 4에 도시된 지지부 상에서 기판이 이송되는 상태를 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다.
도 6은 도 1에 도시된 각각의 지지부들의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 기판 100 : 기판 처리 장치
102 : 처리조 102a, 102b : 처리 공간
104 : 격벽 104a : 출입구
106 : 회전축 108 : 이송 롤러
110 : 동력 제공부 112 : 제1 마그네틱 풀리
114 : 제2 마그네틱 풀리 116 : 구동 풀리
118 : 타이밍 벨트 120 : 제1 아이들 풀리
122 : 제2 아이들 풀리 124 : 처리 유체 제공부
130, 230 : 지지부 132, 232 : 실린더
134, 234 : 실린더 로드 136, 236 : 아이들 롤러
138 : 코일 스프링 238 : 고정 부재
본 발명은 평판형 기판을 처리하기 위한 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, OLED(Organic Light Emitting Diode) 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 장치의 제조를 위한 평판형 기판을 이송하면서 상기 이송되는 기판에 대한 처리 공정을 수행하기 위한 장치에 관한 것이다.
최근, 정보 처리 기기는 다양한 형태와 기능, 더욱 빨라진 정보 처리 속도 등에 대한 요구에 따라 급속하게 발전하고 있으며, 대부분의 정보 처리 기기들은 가공된 정보를 표시하기 위한 디스플레이 장치를 요구한다. 상기와 같은 정보 디스플레이 장치들은 주로 CRT 모니터를 사용하였으나, 최근 휴대형 정보 기기의 발달 에 따라 휴대의 편의성, 소형 경량화 등에 대한 요구를 실현하기 위하여 액정 디스플레이 장치 또는 OLED 디스플레이 장치 등에 대한 요구가 증가되고 있다. 또한, 가정용 또는 사무용 디스플레이 장치의 경우에도 보다 선명한 화질, 응답 속도, 작업자의 피로도 감소, 공간 확보 등을 위하여 상기 평판 디스플레이 장치에 대한 요구가 증가되고 있다.
예를 들면, 상기 액정 디스플레이 장치의 경우, 상부 기판과 하부 기판 사이에 있는 액정 분자들의 배열 구조에 따른 광의 투과율 차이를 이용하는 디스플레이 장치로서, 최근에는 표시 정보량의 증가와 이에 따른 표시 면적의 증가 요구에 부응하기 위하여 화면을 구성하는 모든 화소에 대하여 개별적으로 구동 신호를 인가하는 액티브 매트릭스(Active Matrix) 방식의 액정 디스플레이 장치에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다.
최근, 상기 액정 디스플레이 장치의 제조에는 대면적의 유리 기판이 사용되며, 상기 유리 기판 상에 전극 패턴들을 형성하기 위하여 다양한 단위 공정들이 수행될 수 있다. 예를 들면, 상기 유리 기판 상에 막을 형성하는 성막 공정, 상기 막을 목적하는 패턴들로 형성하기 위한 식각 공정, 상기 유리 기판 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 상기 유리 기판을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 필요에 따라 반복적으로 수행될 수 있다.
상기 공정들을 수행하기 위한 기판 처리 장치는 기판의 로딩을 위한 기판 로더와, 상기 로더에 의해 반입된 기판에 대한 식각, 세정, 스트립 또는 현상 등의 처리 공정을 수행하기 위한 기판 처리부와, 상기 처리된 기판을 린스액을 이용하여 린스 처리하기 위한 린스 처리부와, 린스 처리된 기판을 건조시키기 위한 건조 처리부와, 상기 기판을 반출하기 위한 언로더 등을 포함할 수 있다. 또한, 상기 기판 처리 장치는 필요에 따라 기판 상의 정전기를 제거하기 위한 제전 장치, 기판의 일시 대기를 위한 버퍼 챔버 등을 더 포함할 수도 있다.
상기와 같은 기판 처리 장치는 상기 기판의 처리를 위한 처리조를 포함하고 있으며, 각각의 처리부는 특정 공정을 수행하기 위한 처리 공간을 갖는다. 상기 처리 공간들은 상기 처리조의 내부 공간을 격벽을 이용하여 구획함으로써 한정될 수 있으며, 상기 격벽에는 상기 기판의 이송을 위한 출입구가 형성되어 있다.
각각의 처리 공간들 내에는 상기 기판을 지지하여 수평 방형으로 이송하기 위한 다수의 이송 롤러들이 배치되며, 상기 이송 롤러들의 회전에 의해 상기 기판은 상기 처리부들 사이에서 이송될 수 있다. 그러나, 상기 격벽과 인접하는 이송 롤러들 사이의 거리는 상대적으로 넓게 구성될 수 있으며, 이에 의해 기판의 손상이 발생될 수 있다. 구체적으로, 상기 격벽의 출입구를 향하여 이송하는 기판의 에지 부위는 상대적으로 간격이 넓은 구간을 지나는 동안 처짐이 발생될 수 있으며, 이에 의해 상기 기판의 에지 부위가 출입구를 정상적으로 통과하지 못하고 상기 격벽에 충돌될 수 있다. 또한, 상기 기판이 상기 출입구를 통과하는 동안 상기 기판의 저면이 상기 출입구와 접촉될 수 있으며, 이에 따라 상기 기판의 손상이 발생될 수 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 상기 격벽과 인접하는 롤러들 사이의 간격을 최소화하고 있으나, 설계상의 한계로 인하여 기판의 대형화에 따른 기판의 처짐에 적극적으로 대처할 수 없다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 기판의 처짐을 방지할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치는, 기판의 처리 공정을 수행하기 위한 처리조와, 상기 처리조 내에서 상기 기판을 수평 방향으로 이송하기 위한 기판 이송부와, 상기 처리조를 다수의 처리 공간들로 구획하며 상기 이송하는 기판을 통과시키는 출입구를 갖는 격벽과, 상기 격벽과 인접하게 배치되어 상기 출입구를 통해 통과하는 기판을 지지하기 위한 다수의 지지부들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 지지부는, 상기 처리조 내에 배치되며 내부 공간을 갖는 실린더와, 상기 실린더의 내부 공간에 신축 및 신장 가능하도록 배치되는 실린더 로드와, 상기 실린더 로드의 상부에 결합되어 상기 이송하는 기판의 저면과 접촉하는 미끄럼 부재와, 상기 실린더의 측벽을 통해 설치되며, 상기 실린더 로드의 높이를 고정시키기 위한 고정 부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 미끄럼 부재로는 상기 실린더 로드의 상부에 회전 가능하도록 배치되는 롤러가 사용될 수 있다.
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본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 처리 공간들 내에 각각 배치되며 상기 기판 상으로 액상 또는 기상의 처리 유체를 제공하는 다수의 처리 유체 제공부들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 처리조 내에서 상기 기판의 이송 방향을 따라 배열되며, 상기 이송 방향에 대하여 수직 방향으로 연장하는 다수의 회전축들과, 상기 회전축들과 함께 회전 가능하도록 상기 회전축들에 장착되며, 상기 기판의 저면을 지지하는 다수의 롤러들과, 상기 처리조 외부에 배치되어 상기 회전축들을 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 동력 제공부와, 상기 동력 제공부와 상기 회전축들 사이에서 동력을 전달하는 동력 전달부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 동력 전달부는, 상기 처리조 외부에 배치되어 상기 동력 제공부와 연결된 구동 풀리와, 상기 처리조 내부에서 상기 회전축의 단부들에 결합되며, 원주 방향으로 N극과 S극이 번갈아 배열되도록 다수의 마그네틱 부재들이 각각 장착된 다수의 제1 마그네틱 풀리들과, 상기 처리조의 측벽을 사이에 두고 상기 처리조의 외부에서 상기 제1 마그네틱 풀리들과 마주하여 배치되며, 원주 방향으로 N극과 S극이 번갈아 배열되도록 다수의 마그네틱 부재들이 각각 장착된 다수의 제2 마그네틱 풀리들과, 상기 회전력을 전달하기 위하여 상기 구동 풀리와 상기 제2 마그네틱 풀리들을 결합시키는 벨트를 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 의하면, 상기 처리 공간들 사이에서 상기 격벽을 통과하는 기판은 상기 다수의 지지부들에 의해 안정적으로 지지될 수 있다. 따라서, 상기 처리 공간들 사이에서 기판의 처짐에 의한 상기 격벽과의 간섭이 제거될 수 있으며, 이에 따라 기판의 손상이 방지될 수 있다. 또한, 상기 기판의 에지 부위가 상기 격벽을 향해 다가가는 동안 다소의 처짐이 발생하더라도 상기 롤러가 상기 코일 스프링에 의해 수직 방향으로 유동적으로 배치됨으로써 상기 기판의 에지 부위 손상을 방지할 수 있다.
실시예
이하, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다. 그러나, 본 발명은 하기의 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구현될 수도 있다. 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 보다 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상과 특징이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공된다. 도면들에 있어서, 각 장치 또는 막(층) 및 영역들의 두께는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 과장되게 도시되었으며, 또한 각 장치는 본 명세서에서 설명되지 아니한 다양한 부가 장치들을 구비할 수 있으며, 막(층)이 다른 막(층) 또는 기판 상에 위치하는 것으로 언급되는 경우, 다른 막(층) 또는 기판 상에 직접 형성되거나 그들 사이에 추가적인 막(층)이 개재될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 기판 이송부를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 내부를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(100)는 유리 기판과 같은 평판형 기판(10)에 대한 처리 공정, 예를 들면, 식각, 세정, 스트립, 현상, 린스 등과 같은 공정을 수행하기 위하여 바람직하게 사용될 수 있다.
상기 기판 처리 장치(100)는 상기 다수의 단위 공정들을 수행하기 위한 다수의 기판 처리부들을 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 기판 처리 장치(100)는 상기 단위 공정들을 수행하기 위한 처리조(102)를 포함하며, 상기 처리조(102) 내에는 상기 처리조(102)의 내부 공간을 상기 단위 공정들을 수행하기 위한 다수의 처리 공간들(102a, 102b)로 구획하는 격벽(104)이 설치되어 있다. 도시된 바에 의하면, 하나의 격벽(104)과 두 개의 처리 공간(102a, 102b)이 구비되어 있으나, 상기 격벽(104) 및 처리 공간(102a, 102b)의 수량은 상기 단위 공정들에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
상기 격벽(104)에는 상기 기판(10)의 이송을 위한 출입구(104a)가 형성되어 있으며, 전단계 처리 공간(102a)에 기판(10)의 처리가 완료된 후 상기 출입구(104a)를 통해 후단계 처리 공간(102b)으로 기판(10)의 이송이 이루어진다.
상기 기판 처리 장치(100)는 상기 처리조(102) 내에서 상기 기판(10)을 수평 방향으로 이송하기 위한 기판 이송부를 포함할 수 있다. 상기 기판 이송부는 상기 처리조(102) 내에서 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 배열되는 다수의 회전축 들(106)을 포함할 수 있다. 상기 회전축들(106)은 상기 기판(10)의 이송 방향에 수직하는 방향으로 연장할 수 있으며, 상기 회전축들(106)에는 상기 기판(10)의 저면을 지지하기 위한 다수의 이송 롤러들(108)이 장착되어 있다. 상기 이송 롤러들(108)은 상기 회전축들(106)과 함께 회전하도록 구비되며, 상기 이송 롤러들(108)의 회전에 의해 상기 기판(10)의 이송이 이루어질 수 있다.
상기 기판 이송부는 상기 회전축들(106)의 회전을 위한 회전력을 제공하는 동력 제공부(110)와 상기 회전력을 상기 회전축들(106)에 전달하기 위한 동력 전달부를 포함할 수 있다. 상기 동력 제공부(110)는 상기 처리조(102)의 외부에 배치되며, 상기 동력 전달부는 상기 동력 제공부(110)와 상기 회전축들(106) 사이에 결합되어 상기 회전력을 전달한다.
상기 동력 제공부(110)로는 통상의 모터가 사용될 수 있으며, 회전수, 회전 속도, 토크(torque) 등을 조절하기 위한 감속기를 더 포함할 수 있다.
상기 동력 전달부로는 벨트 전동 장치가 사용될 수 있다. 구체적으로, 상기 처리조(102) 내부에 배치된 회전축들(106)의 일 단부들에는 각각 제1 마그네틱 풀리들(112)이 결합될 수 있으며, 상기 처리조(102)의 외부에는 상기 처리조(102)의 측벽을 사이에 두고 상기 제1 마그네틱 풀리들(112)과 마주하는 제2 마그네틱 풀리들(114)이 배치될 수 있다.
각각의 제1 및 제2 마그네틱 풀리들(112, 114)에는 각각의 원주 방향으로 N극 및 S극이 번갈아 배열되도록 다수의 마그네틱 부재들이 장착되며, 상기 마그네틱 부재들 사이에서 형성되는 흡인력에 의해 회전력 전달이 이루어진다. 상기 제1 및 제2 마그네틱 풀리들(112, 114)은 상기 처리조(102)의 측벽과 소정의 갭을 두고 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 및 제2 마그네틱 풀리들(112, 114)은 원활한 회전력 전달을 위하여 약 5mm 내지 7mm 정도의 간격을 두고 배치될 수 있다. 또한, 상기 제1 및 제2 마그네틱 풀리들(112, 114)과 상기 처리조(102) 측벽 사이의 간격은 약 1mm 내지 2mm 정도로 조절될 수 있다.
한편, 상기 동력 제공부(110)의 구동축에는 구동 풀리(116)가 결합될 수 있으며, 상기 구동 풀리(116)와 상기 제2 마그네틱 풀리들(114)은 벨트에 의해 서로 결합될 수 있다. 예를 들면, 상기 구동 풀리(116)와 제2 마그네틱 풀리들(114)의 외주면들에는 각각 치차가 형성되며, 상기 벨트로는 타이밍 벨트(118)가 사용될 수 있다.
상기 구동 풀리(116)와 인접하여 상기 타이밍 벨트(118)의 장력을 조절하기 위한 제1 아이들 풀리들(120)이 배치될 수 있다. 또한, 상기 제2 마그네틱 풀리들(114) 사이에는 상기 제2 마그네틱 풀리들(114)이 동일한 방향으로 회전하도록 하기 위한 제2 아이들 풀리들(122)이 배치될 수 있다.
상세히 도시되지는 않았으나, 상기 제2 마그네틱 풀리들(114)과 상기 제2 아이들 풀리들(122)은 상기 처리조(102) 외측에 배치되는 구동축들 및 아이들 축들에 결합될 수 있다. 상기 구동축들 및 아이들 축들은 이들이 회전 가능하도록 지지하는 다수의 제1 지지부재들에 의해 지지될 수 있다. 또한, 상기 처리조(102) 내부에는 상기 회전축들(106)이 회전 가능하도록 이들을 지지하는 제2 지지부재들이 배치될 수 있다. 상기 제1 및 제2 지지부재들은 회전을 위한 베어링들을 포함할 수 있 다.
도시된 바에 의하면, 각각의 처리 공간들(102a, 102b)에서 기판(10)을 이송하기 위한 기판 이송부가 별도로 구비되고 있으나, 필요에 따라서 상기 기판 이송부는 처리조(102) 전체에 대하여 하나의 어셈블리로 제공될 수도 있다.
상기 처리 공간들(102a, 102b)에는 각각 상기 기판(10)의 처리를 위한 처리액 또는 처리 가스를 제공하는 처리 유체 제공부들(124)이 배치될 수 있다. 상기 처리 유체 제공부들(124)은 상기 이송되는 기판(10) 상으로 처리액 또는 처리 가스를 제공하기 위하여 상기 처리 공간들(102a, 102b)의 상부에 배치될 수 있다.
상기 처리 유체 제공부들(124)의 예로는 다수의 노즐들을 포함하는 노즐 파이프들, 처리액 또는 처리 가스를 제공하기 위한 샤워 나이프 또는 에어 나이프 등을 포함할 수 있다. 상기 처리액 또는 처리 가스의 예로는 상기 기판 상에 형성된 막 또는 불순물을 제거하기 위한 식각 용액, 세정 용액, 스트립 용액, 건조 가스 등이 있을 수 있다.
한편, 도시된 바에 의하면, 상기 이송되는 기판(10)의 상면으로 처리액 또는 처리 가스를 제공하는 처리 유체 제공부들(102a, 102b)이 구비되지만, 상기 기판(10)의 하면으로 처리액 또는 처리 가스를 제공하는 추가적인 처리 유체 제공부들이 더 구비될 수도 있다.
상술한 바와 같은 기판 처리 장치(100)를 사용하여 대면적 기판(10)을 처리하는 경우, 전단계 처리 공정이 종료된 후, 후단계 처리 공정으로 상기 기판(10)을 이송하는 동안 상기 기판(10)의 손상이 발생될 수 있다. 구체적으로, 상기 격 벽(104)의 출입구(104a)를 향하여 기판(10)이 이동하는 경우, 기판(10)의 자중에 의해 기판 에지 부위의 처짐이 발생될 수 있으며, 이에 따라 상기 격벽(104)의 출입구(104a)를 정상적으로 통과하지 못하고 상기 격벽(104)에 충돌될 수 있다. 또한, 상기 격벽(104)의 출입구(104a)를 통과하더라도 상기 출입구(104a)와 상기 기판(10)의 저면이 서로 접촉할 수 있으며, 이에 따라 기판(10)의 저면 상에 스크레치가 발생될 수 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 상기 격벽(104)과 인접한 부위에 다수의 지지부들(130)이 배치될 수 있다. 따라서, 상기 기판(10)이 출입구(104a)를 통과하는 동안 상기 지지부들(130)에 의해 지지되므로 상기 기판(10)의 손상이 방지될 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 각각의 지지부들을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 4를 참조하면, 상기 지지부들(130)은 상기 격벽(104)의 양측 부위에서 상기 기판(10)의 이송 방향과 수직하는 방향으로 배열될 수 있다.
각각의 지지부들(130)은 내부 공간을 갖는 실린더(132)와, 상기 실린더(132)의 내부 공간에 신축 및 신장 가능하도록 배치되는 실린더 로드(134)와, 상기 실린더 로드(134)의 상부에 결합되어 상기 이송하는 기판(10)의 저면과 접촉하여 상기 이송하는 기판(10)을 지지하는 미끄럼 부재를 포함할 수 있다.
상기 미끄럼 부재의 예로는 상기 실린더 로드(134)의 상부에 회전 가능하도록 배치되는 아이들 롤러(136)를 들 수 있다.
또한, 상기 실린더(132)의 내부 공간에는 코일 스프링(138)이 배치되며, 상기 실린더 로드(134)는 상기 코일 스프링(138) 상에 배치된다. 따라서, 상기 기판(10)은 상기 코일 스프링(138)에 의해 상기 아이들 롤러(136) 상에서 탄성적으로 지지될 수 있다.
도 5A 내지 도 5C는 도 4에 도시된 지지부 상에서 기판이 이송되는 상태를 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다.
도 5A 내지 도 5C를 참조하면, 대면적 기판(10)의 경우, 이송 도중 상기 지지부들(130)의 아이들 롤러들(136)에 에지 부위가 닿기 전에 처짐이 발생될 수 있다. 이 경우, 상기 기판(10)의 에지 부위는 아이들 롤러들(136)과 부딪힐 수 있으나, 상기 지지부(130)의 실린더 로드(134)가 수직 방향으로 유동적으로 움직일 수 있으므로 기판(10)의 에지 부위의 손상이 억제될 수 있다.
구체적으로, 상기 이송하는 기판(10)에 의해 상기 실린더 로드(134)는 하방으로 이동할 수 있으며, 상기 기판(10)이 아이들 롤러(136) 상에 지지된 후, 상기 실린더 로드(134)는 상기 압축 스프링(138)의 복원력에 의해 상승될 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(10)은 상기 격벽(104)의 출입구(104a)를 통해 안전하게 이송될 수 있다.
도 6은 도 1에 도시된 각각의 지지부들의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 6에 도시된 지지부(230)는 내부 공간을 갖는 실린더(232)와, 상기 실린더(232)의 내부 공간에 신축 및 신장 가능하도록 배치되는 실린더 로드(234)와, 상 기 실린더 로드(234)의 상부에 결합되어 상기 이송하는 기판(10)의 저면과 접촉하여 상기 이송하는 기판(10)을 지지하는 미끄럼 부재를 포함할 수 있다.
상기 미끄럼 부재의 예로는 상기 실린더 로드(234)의 상부에 회전 가능하도록 배치되는 아이들 롤러(236)를 들 수 있다.
또한, 상기 지지부(230)는 상기 실린더 로드(234)의 높이를 고정시키기 위한 고정 부재(238)를 더 포함할 수 있다. 상기 고정 부재(238)로는 볼트가 사용될 수 있으며, 상기 실린더(232)의 측벽에는 상기 고정 부재(238)가 체결되는 나사공이 형성될 수 있다. 구체적으로, 상기 실린더 로드(234)의 높이를 조정한 후, 상기 나사공을 통해 상기 고정 부재(238)를 상기 실린더 로드(234)에 밀착시킴으로써 상기 실린더 로드(234)의 높이를 고정시킬 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 처리 공간들 사이에서 상기 격벽을 통과하는 기판은 상기 다수의 지지부들에 의해 안정적으로 지지될 수 있다. 따라서, 상기 처리 공간들 사이에서 기판의 처짐에 의한 상기 격벽과의 간섭이 제거될 수 있으며, 이에 따라 기판의 손상이 방지될 수 있다. 또한, 상기 기판의 에지 부위가 상기 격벽을 향해 다가가는 동안 다소의 처짐이 발생하더라도 상기 롤러가 상기 코일 스프링에 의해 수직 방향으로 유동적으로 배치됨으로써 상기 기판의 에지 부위 손상을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영 역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (8)

  1. 기판의 처리 공정을 수행하기 위한 처리조;
    상기 처리조 내에서 상기 기판을 수평 방향으로 이송하기 위한 기판 이송부;
    상기 처리조를 다수의 처리 공간들로 구획하며 상기 이송하는 기판을 통과시키는 출입구를 갖는 격벽; 및
    상기 격벽과 인접하게 배치되어 상기 출입구를 통해 통과하는 기판을 지지하기 위한 다수의 지지부들을 포함하되,
    각각의 지지부는,
    상기 처리조 내에 배치되며 내부 공간을 갖는 실린더;
    상기 실린더의 내부 공간에 신축 및 신장 가능하도록 배치되는 실린더 로드;
    상기 실린더 로드의 상부에 결합되어 상기 이송하는 기판의 저면과 접촉하는 미끄럼 부재; 및
    상기 실린더의 측벽을 통해 설치되며, 상기 실린더 로드의 높이를 고정시키기 위한 고정 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 미끄럼 부재는 상기 실린더 로드의 상부에 회전 가능하도록 배치되는 롤러인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 처리 공간들 내에 각각 배치되며 상기 기판 상으로 액상 또는 기상의 처리 유체를 제공하는 다수의 처리 유체 제공부들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 기판 이송부는,
    상기 처리조 내에서 상기 기판의 이송 방향을 따라 배열되며, 상기 이송 방향에 대하여 수직 방향으로 연장하는 다수의 회전축들;
    상기 회전축들과 함께 회전 가능하도록 상기 회전축들에 장착되며, 상기 기판의 저면을 지지하는 다수의 롤러들;
    상기 처리조 외부에 배치되어 상기 회전축들을 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 동력 제공부; 및
    상기 동력 제공부와 상기 회전축들 사이에서 동력을 전달하는 동력 전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 동력 전달부는,
    상기 처리조 외부에 배치되어 상기 동력 제공부와 연결된 구동 풀리;
    상기 처리조 내부에서 상기 회전축의 단부들에 결합되며, 원주 방향으로 N극과 S극이 번갈아 배열되도록 다수의 마그네틱 부재들이 각각 장착된 다수의 제1 마그네틱 풀리들;
    상기 처리조의 측벽을 사이에 두고 상기 처리조의 외부에서 상기 제1 마그네틱 풀리들과 마주하여 배치되며, 원주 방향으로 N극과 S극이 번갈아 배열되도록 다수의 마그네틱 부재들이 각각 장착된 다수의 제2 마그네틱 풀리들; 및
    상기 회전력을 전달하기 위하여 상기 구동 풀리와 상기 제2 마그네틱 풀리들을 결합시키는 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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