KR19990029486U - 노광장비의 소재처짐방지장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 노광장비의 소재처짐방지장치에 관한 것으로서, 개시된 소재처짐방지장치는 이송되는 노광 대상소재의 상하에 인접하게 설치되는 광투과성 상, 하부 글래스마스크와, 상기 상부 글래스마스크가 장착되는 것으로 상기 소재의 이송방향을 가로지르는 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되는 상부다이와, 상기 이송소재를 중심으로 상기 상부 다이의 반대편에 설치되는 하부다이와, 상기 상, 하부다이의 양측에 위치하여 이송되는 소재에 일정한 인장력을 가하도록 된 인장력 부가장치와, 상기 인장력 부가장치와 하부다이 사이에 설치되는 서포터를 포함하는 것을 특징으로 하며 리드프레임 소재의 처짐을 방지하여 제작공정에서의 노광품질의 향상할 수 있는 이점을 가진다.

Description

노광장비의 소재처짐방지장치

본 고안은 노광장비의 소재처짐방지장치에 관한 것으로서, 특히 노광 되는 리드프레임소재의 처짐을 방지 할 수 있는 소재처짐방지장치에 관한 것이다.

일반적으로, 리드프레임의 제작방식은 물리적인 방식과 화학적인 방식으로 대별된다.

상기 물리적 방식은 주로 프레스를 이용하고, 또한 상기 화학적 방식은 에칭을 통하여 이루어지며 리드간 피치(Pitch)가 작은 형태일 경우 유리하다.

상기 에칭방식은 포토레지스터 코팅(Photo Resistor Coating)이 되어 릴(Reel)에 연속적으로 감겨진 금속재료 위에 마스터(Master)를 올려놓고 자외선 등의 광원으로 일정시간 노광한 다음 에칭액을 도포 하여 리드프레임을 제작한다.

도 1에는 종래의 노광장비의 소재처짐방지장치의 구성이 도시되어 있다.

상기 도면을 참조하면, 종래의 노광장비의 소재처짐방지장치는 상부 다이(Upper Die,11a)에 하부 다이(Lower Die,11b)가 결합되어 있고, 상기 다이세트(Dieset,11)의 내부에는 상, 하 양면에 포토레지스터 코팅이 되어 있는 소재(13)의 노광을 위하여, 빛을 투과시킬 수 있는 상, 하부 글래스마스크(Glass Mask,12a,12b)가 구비된다.

또한 상기 상, 하부 글래스마스크(12a)(12b) 사이에 개재되는 소재(13)를 지지하고, 소재(13)가 피딩(Feeding)시 안내 및 슬라이딩 되도록 하는 상, 하텐션롤러(14a)(14b)로 이루어진 텐션롤러(14)가 상기 다이세트(11)의 양측면에 소정간격 이격되어 설치되어 있다.

또한 도시되지는 않았지만, 상기 다이세트(11)의 상, 하부 글래스마스크(12a)(12b)에 광을 제공하는 광원이 포함된 광학수단이 상기 상, 하부 글래스마스크(12a)(12b)에 인접하여 설치된다.

상기와 같은 구조를 가진 종래의 노광장비의 소재처짐방지장치는 다음과 같이 동작한다. 상기 포토레지스터 코팅된 소재를 감광시키기 위해서는 먼저, 상기 다이세트(11)의 상부 다이세트(12a)를 상부로 이동시켜 상기 다이세트(11)에 소재를 올려놓는다. 이후 광학수단을 이용하여 포커싱 상태를 조정한다. 다음으로 상기 상부 다이세트(12a)를 하부로 내리고 상기 광원으로부터 조사된 광이 광학수단을 통하여 소재(13)의 포토레지스터 코팅에 조사되도록 노광 시킨다.

상기와 같이 소재(13)를 노광 시키는 노광작업은, 노광시 상기 소재(13)에 일정한 텐션(Tension)을 주어 소재(13)가 완전히 펴진 상태에서 작업을 해야만 노광품질이 우수하나, 종래의 인장력 부가장치(14)는 다이세트(11)와 상당거리 떨어져 위치하여 소재(13)가 처짐으로서 노광품질이 나빠져 제품의 품질이 떨어지는 문제점이 있다.

본 고안은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 리드프레임 소재의 처짐을 방지하여 제작공정에서의 노광품질의 향상이 이루어지는 노광장비의 소재처짐방지장치를 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 종래의 노광장비의 소재처짐방지장치를 개략적으로 도시한 단면도.

도 2는 본 고안에 따른 노광장비의 소재처짐방지장치를 개략적으로 도시한 단면도.

도 3은 본 고안에 따른 노광장비의 소재처짐방지장치의 다른 실시예를 개략적으로 도시한 단면도.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

11a,11b...상, 하부 다이 12a,12b...글래스마스크

13...소재 15...서포터

15a...롤러 15b...롤러지지대

상기와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 고안의 노광장비의 소재처짐방지장치는 이송되는 노광 대상소재의 상하에 인접하게 설치되는 광투과성 상, 하부 글래스마스크와, 상기 상부 글래스마스크가 장착되는 것으로 상기 소재의 이송방향을 가로지르는 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되는 상부다이와, 상기 이송소재를 중심으로 상기 상부다이의 반대편에 설치되는 하부다이와, 상기 상, 하부다이의 양측에 위치하여 이송되는 소재에 일정한 인장력을 가하도록 된 인장력 부가장치와, 상기 인장력 부가장치와 하부다이 사이에 설치되는 서포터를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 서포터는 상기 소재에 접촉되는 롤러 및 상기 롤러에 일정한 탄력을 부가하는 스프링; 을 구비하는 것을 더 포함하는 것이 바람직하다. 또한 상기 서포터는 상기 하부다이의 양측에 마련된 다이블록 상에 설치되는 것을 더 포함하는 것이 바람직하다.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 고안의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

본 고안의 실시예에 따른 노광장비의 소재처짐방지장치가 도 2에 도시되어 있다. 여기에서 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 가리킨다.

상기 도면을 참조하면, 본 고안의 노광장비의 소재처짐방지장치는 노광을 위하여 빛을 투과시키며, 그 사이에 소재(13)를 직접 접촉되지 않는 오프 컨택(Off-Contact) 방식으로 개재하는 상, 하부 글래스마스크(12a)(12b)와, 상기 상부 글래스마스크(12a)를 결합하며 상하로 움직이는 상부다이(11a)와, 상부 상부다이(11a)의 하부에 설치되며 다이블록(11c)이 형성되며, 상기 하부 글래스마스크(12b)가 설치되는 하부다이(11b)와, 상기 상, 하부다이(11b)의 양측면에 돌출된 다이블록(11c)면 상에 상기 소재(13)를 슬라이딩 지지하도록 설치되는 복수개의 서포터(15)를 포함한다. 또한 상기 서포터(15)는 상부에 설치되는 롤러(15b)와, 상기 롤러(15b)를 회동 가능하게 지지하도록 하부에 결합되는 지지대(15a)를 포함한다.

또한 상기 롤러(15b)의 외주에는 상기 소재(13)의 상하 양면에 도포된 레지스트코팅의 손상을 방지하기 위하여 실리콘이 도포 또는 삽입된 것이 바람직하다. 상기 소재(13)의 재질로는 리드프레임용인 구리, 구리합금, 철, 철합금, 니켈, 니켈합금 등이 사용된다.

또한 본 고안의 노광장비의 소재처짐방지장치는 소재(13)가 피딩시 안내 및 슬라이딩 되도록 하는 상, 하 텐션롤러(14a)(14b)로 이루어진 인장력 부가장치(14)가 상기 다이세트(11)의 양측면에 소정간격 이격되어 설치되는 것을 포함한다.

또한 상기 서포터(15)는 상기 소재(13)를 피딩시 포토레지스터 코팅에 손상이 가지 않도록, 소재(13)의 텐션보다 작은 탄성력을 가지는 스프링(15c)을 롤러(15b)와 지지대(15a) 사이에 설치하여 소재(13)가 수평면을 벗어나 들어 올려지지 않도록 설치하는 것을 더 포함하는 것이 바람직하다. 상기 롤러(15b)의 너비는 소재(13)의 폭보다 넓게 제작하여 소재(13)가 상면에 지지되어 쉽게 이탈되지 않도록 한다.

도 3 에는 본 고안의 다른 실시예에 따른, 노광장비와 소재처짐방지장치가 도시되어 있다. 여기에서 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 가리킨다.

상기 도면을 참조하면, 본 고안의 바람직한 다른 실시예에 따른 노광장비의 소재처짐방지장치는 노광을 위하여 빛을 투과시키며, 그 사이에 소재(13)를 개재하는 상, 하부 글래스마스크(12a)(12b)와, 상기 상부 글래스마스크(12a)를 결합하며 상하로 움직이며 돌출된 다이블룩이 형성되지 않은 상부다이(31a)와, 상부 상부다이(31a)의 하부에 설치되며 상기 하부 글래스마스크(12b)가 설치되며 돌출된 다이블록이 형성되지 않은 하부다이(31b)와, 상기 상, 하부다이(11b)의 양 측면에서 가장 가까운 소정 위치에 상기 소재(13)를 슬라이딩 지지하도록 설치되는 서포터(15)를 포함한다. 또한 상기 서포터(15)는 상부에 설치되는 롤러(15b)와, 상기 롤러(15b)를 회동 가능하게 하부에 결합되는 지지대(15a)를 포함한다.

또한 소재(13)가 피딩시 안내 및 슬라이딩 되도록 하는 상, 하 텐션롤러(14a)(14b)로 이루어진 인장력 부가장치(14)가 상기 다이세트(11)의 양 측면에 소정간격 이격되어 설치되는 것을 포함한다.

상기와 같은 구조를 가진 본 고안에 따른 노광장비의 소재처짐방지장치는 다음과 같이 동작된다.

도 2의 실시예와 도 3의 실시예의 작동이 유사하므로 동시에 설명하면, 먼저 상기 포토레지스터 코팅된 소재(13)를 감광시키기 위해서는 상기 다이세트(11)의 상부 다이세트(11a)/(31a)를 상부로 이동시키고 소재(13)가 슬라이딩 피딩 되도록 하는 인장력부가장치(14)의 텐션롤러(14)가 상기 다이세트(11)의 양측면에서 상기 소재(13)에 텐션을 부여하고, 동시에 본 고안의 특징부인 서포터(15)에 의해 지지되면서 상기 다이세트(11)에 상기 소재(13)가 하부 다이세트(11b)/(31b) 상에 소정간격 이격되어 안착된다. 이후 광학수단(미도시)을 이용하여 포커싱 상태를 조정한다. 다음으로 상기 상부다이세트(11a)/(31a)를 하부로 내리고 상기 광원으로부터 조사된 광이 광학수단을 통하여 소재(13)의 양면의 포토레지스터 코팅에 조사되도록 노광 시킨다.

상기와 같이 소재(13)를 노광 시키는 노광작업은, 노광시 상기 소재(13)에 일정한 텐션(Tension)을 주어 소재(13)가 완전히 펴진 상태에서 노광작업을 실시하므로 노광품질이 우수하다.

이상 설명된 바와 같은 본 고안에 따른 노광장비의 소재처짐방지장치는 리드프레임 소재의 처짐을 방지하여 제작공정에서의 노광품질의 향상이 이루어지는 효과를 갖는다.

본 고안은 첨부된 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것이며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예가 가능하다는 점을 이해 할 수 있을 것이다. 따라서 본 고안의 진정한 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims (5)

1. 이송되는 노광 대상소재의 상하에 인접하게 설치되는 광투과성 상, 하부 글래스마스크와;

   상기 상부 글래스마스크가 장착되는 것으로 상기 소재의 이송방향을 가로지르는 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되는 상부다이와;

   상기 이송소재를 중심으로 상기 상부다이의 반대편에 설치되는 하부다이 및

   상기 상, 하부다이의 양측에 위치하여 이송되는 소재에 일정한 인장력을 가하도록 된 인장력 부가장치; 및

   상기 인장력 부가장치와 하부다이 사이에 설치되는 서포터; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장비의 소재처짐방지장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 서포터는 상기 소재에 접촉되는 롤러; 및

   상기 롤러의 하단에 회동 가능하게 결합되는 것을 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장비의 소재처짐방지장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 서포터는 상기 하부다이의 양측에 마련된 다이블록 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 노광장비의 소재처짐방지장치.
4. 제 2 항에 있어서,

   상기 롤러와 상기 지지대 사이에는 상기 롤러에 일정한 탄력을 부가하는 스프링을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장비의 소재처짐방지장치.
5. 제 2 항에 있어서,

   상기 롤러의 외주에는 실리콘이 도포 또는 삽입되는 것을 특징으로 하는 노광장비의 소재처짐방지장치.