KR20090108498A - 기판 처짐 방지 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 기판 처짐 방지장치는 기판이 안착되는 트레이와 마스크 중 어느 하나에 설치되는 처짐방지부재를 포함하여 증착시 또는 이송시 기판의 처짐을 방지함으로써, 증착 재료의 균일도를 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 기판의 이송속도를 향상시켜 공정 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있게 된다.

기판, 처짐방지부재, 스트링, 트레이, 마스크, 스트링 홈

Description

기판 처짐 방지 장치{APPARATUS FOR PREVENTING SUBSTRATE FROM BENDING}

본 발명은 간단한 구조로 기판이 처지는 현상을 방지할 수 있는 기판 휨 방지장치에 관한 것이다.

최근 디스플레이의 대형화로 인하여 대형 기판의 증착 과정을 수행하는 시스템이 개발되어 사용되고 있다. 그러나 이러한 증착 시스템은 대형기판의 휨 현상으로 인하여 기판과 마스크간의 정렬을 위한 이격 거리를 균일하게 유지하지 못하게 되고, 이로 인해 대형기판과 마스크 간의 정렬과정에서 사용되는 광학기구가 기판의 정렬 마크와 마스크의 정렬 마크 간의 영상 초점을 동시에 볼 수 없는 문제점가 발생하고 있다.

또한, 대형기판의 처짐 현상으로 인하여 정렬 거리가 가까운 경우 마스크와 기판간의 접촉으로 인하여 기판이 손상되는 문제 또한 발생하고 있다. 특히 대형 기판의 처짐 현상은 마스크와 합체 후에도 해소되지 않아 대형기판으로 인한 합체 마스크의 처짐 현상을 유발하고 처진 마스크는 일부 영역에서 증착이 이루어지지 않거나 마스크로써의 역할을 수행하지 못하게 되는 경우도 발생하고 있다.

또한, 로보트나 컨베이어(conveyor)에 의해 기판 이송 시 기판 처짐으로 인 하여 이송 속도가 저하되고 이로 인해 공정시간이 연장되어 생산성이 저하되는 문제가 발생하고 있다. 특히, 기판 처짐으로 인한 증착 균일도가 저하되고, 이로 인해 제품의 신뢰성이 저하되는 문제가 발생하고 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로서, 간단한 구조로 기판의 처짐 현상을 방지하여 기판의 생산성을 향상시킬 뿐만 아니라 증착 균일도 향상에 따른 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 기판 처짐 방지 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 처짐 방지장치는 기판이 안착되는 지지대에 기판이 처지는 부분을 받칠 수 있도록 처짐방지부재가 설치된다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 처짐방지부재는 상기 지지대에 상기 기판을 지지할 수 있도록 설치된 스트링으로 구성될 수 있고, 상기 지지대는 상기 기판이 안착되어 이송되는 트레이로 구성되거나 기판의 일면에 부착되는 마스크로 구성될 수 있다.

상기 스트링은 금속이나 폴리머 재질로 제작될 수 있으며, 상기 스트링은 기판의 성막이 되지 않은 부분을 통과하도록 설치될 수 있으며, 상기 스트링의 위치를 변경할 수 있는 별도의 기구물이 상기 지지대에 설치될 수도 있다.

한편, 상기 트레이에 스트링이 설치되는 경우, 마스크 또는 마스크 프레임에는 상기 스트링이 삽입되는 스트링 홈이 형성될 수 있으며, 이와 같은 스트링 홈에 의해 상기 마스크와 상기 기판이 이격되는 현상을 방지할 수 있게 된다.

상기 스트링 홈은 복수의 분할 마스크의 이격된 공간에 형성될 수 있을 뿐만 아니라 마스크 및 마스크 프레임에 별도의 스트링 홈을 형성할 수도 있다.

이상에서 설명한 과제 해결 수단에 의하면, 처짐방지부재에 의해 기판의 처짐을 방지함으로써, 기판의 이송 속도를 향상시킬 수 있어 공정 시간을 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 기판에 증착되는 증착 물질의 두께 균일도를 향상시킬 수 있게 된다.

또한, 기판의 처짐을 방지함으로써, 기판과 마스크간의 정렬과정을 원활히 수행할 수 있게 된다.

또한, 스트링을 기판의 성막 미형성부분에 배치되도록 설치하여 기판의 증착 공정을 더욱 효율적을 할 수 있게 되고, 특히 마스크 또는 마스크 프레임에 스트링 홈을 형성하여 스트링에 의해 마스크와 기판 사이에 갭이 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처짐 방지장치에 대하여 상세히 설명한다.

도 1을 참조하면, 기판 처짐 방지장치는 트레이와 같은 지지대와, 상기 지지대에 설치되는 처짐방지부재 및 마스크를 포함한다.

상기 지지대는 상기 기판(glass)이 장착되어 함께 이송하는 트레이가 이용될 수 있을 뿐만 아니라 마스크가 이용될 수도 있다. 본 실시예에서는 지지대로 트레 이가 이용되는 것을 예시하여 설명한다.

본 실시예에서, 상기 처짐방지부재는 스트링으로 구성된다. 상기 스트링은 상기 트레이에 십자형으로 설치되며, 상기 트레이에 안착되는 기판은 상기 스트링에 접촉되어 지지된다. 이때, 상기 스트링이 배치되는 상기 기판상의 위치는 성막이 이루어지지 않는 데드존(dead zone)인 것이 바람직하다.

상기 스트링은 일정한 텐션을 가질 수 있도록 별도의 장력 조절 장치에 의해 트레이에 설치될 수 있으며, 상기 스트링의 재질로는 메탈(Metal) 계열의 와이어(wire)나 폴리머 재질 등 상기 기판의 처짐을 방지할 수 있을 정도의 강성을 가질 수 있는 한 다양한 재질이 이용될 수 있다. 상기 스트링은 상기 기판상의 성막의 위치에 따라 그 위치가 가변되도록 별도로 마련된 기구부를 통해 트레이에 설치될 수도 있다.

상기 마스크는, 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 스트링이 설치된 기판의 일면에 밀착되게 설치되어 상기 기판에 성막 영역을 형성하기 위한 것으로서, 상기 마스크에는 상기 스트링에 의해 상기 마스크와 상기 기판이 이격되는 것을 방지할 수 있도록 스트링 홈이 형성된다. 상기 스트링 홈은 상기 스트링의 직경보다 크게 형성되는 것이 바람직하며, 상기 마스크의 지지대에 대응되는 부분에 형성되는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 상기 스트링 홈이 상기 마스크 지지대에 대응하는 부분에 형성되는 것으로 설명하였으나, 분할 마스크를 일정 간격 이격시켜 형성된다.

도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 의하면, 상기 스트링 홈은 상기 마스크 프레임과 마스크에 함몰된 홈으로 형성된다.

이와 같은 스트링 홈에 의해 스트링에 의해 마스크와 기판이 이격되는 현상을 최소화할 수 있게 되고, 이에 의해 쉐도우 현상을 최소화할 수 있게 된다.

기판은 상기 트레이에 별도의 클램핑 장치에 의해 장착될 수 있으며, 상기 클램핑 장치는 상기 기판과 상기 스트링을 함께 상기 트레이에 고정시키는 역할을 할 수도 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처짐 방지장치의 기판과 트레이 및 스트링을 개략적으로 나타낸 분해 사시도,

도 2는 도 1의 기판에 부착되는 마스크를 개략적으로 나타낸 개념도,

도 3은 본 발명의 다른 실시에에 따른 마스크를 개략적으로 나타낸 개념도,

도 4는 도 2에 도시된 마스크와 기판이 결합되는 동작을 개략적으로 나타낸 개념도,

도 5는 도 3에 도시된 마스크와 기판이 결합되는 동작을 개략적으로 나타낸 개념도이다.

Claims (7)

1. 기판이 자중에 의해 처지는 것을 방지하기 위한 기판 처짐 방지장치로서,

   기판이 안착되는 지지대; 및

   상기 기판이 처지는 것을 받칠 수 있도록 상기 지지대에 마련된 처짐방지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처짐 방지장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 처짐방지부재는 상기 기판을 지지할 수 있도록 상기 지지대에 설치된 적어도 하나의 스트링인 것을 특징으로 하는 기판 처짐 방지장치.
3. 제2항에 있어서,

   상기 스트링은 금속재질 또는 폴리머 재질로 제작되는 것을 특징으로 하는 기판 처짐 방지장치.
4. 제2항에 있어서,

   상기 스트링은 상기 기판의 성막이 되지 않은 영역을 통과하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처짐 방지장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 지지대는,

   상기 기판이 안착되어 함께 이송되는 트레이 또는 상기 기판과 합체하여 상기 기판의 성막 영역을 형성하는 마스크 중 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 처짐 방지장치.
6. 제1항에 있어서,

   상기 지지대는 상기 기판이 안착되어 함께 이송되는 트레이로 구성되고,

   상기 처짐방지부재는 상기 기판을 지지할 수 있도록 상기 지지대에 설치된 적어도 하나의 스트링으로 구성되며,

   상기 기판과 합체하여 상기 기판의 성막 영역을 형성하는 마스크나 상기 마스크를 지지하기 위한 마스크 프레임 중 적어도 어느 하나에는 상기 스트링이 삽입되는 스트링 홈이 형성되어 상기 스트링에 의해 상기 마스크와 상기 기판이 이격되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 기판 처짐 방지장치.
7. 제6항에 있어서,

   상기 마스크는 복수의 분할 마스크를 포함하며,

   상기 스트링 홈은 상기 복수의 분할 마스크 사이의 이격된 공간인 것을 특징으로 하는 기판 처짐 방지장치.

Images