KR970016822A - 포토에칭용 노광장치 - Google Patents

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KR970016822A
KR970016822A KR1019950031240A KR19950031240A KR970016822A KR 970016822 A KR970016822 A KR 970016822A KR 1019950031240 A KR1019950031240 A KR 1019950031240A KR 19950031240 A KR19950031240 A KR 19950031240A KR 970016822 A KR970016822 A KR 970016822A
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KR
South Korea
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exposure apparatus
photoetching
sheet material
metal sheet
present
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Application number
KR1019950031240A
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English (en)
Inventor
이인석
Original Assignee
조희재
Lg 마이크론주식회사
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Abstract

본 발명은 포토에칭용 노광장치에 관한 것으로서, 본 발명의 목적은 포토에칭에 의해 제조하여 칼라 텔레비젼의 섀도우 마스크나 반도체용 리드프레임에 사용하는 금속 시트재의 노광공정에서, 상·하부 노광기의 이·접합시 수평도가 일정하게 유지되며 기어 장치의 마모물이 감소되는 포토에칭용 노광장치를 제공하는 데 있다.
이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은 포토에칭에 따라 감광액 도포공정을 거친 금속 시트재의 감광막에 일정 형상을 전사하기 위한 포토에칭용 노광장치에 있어서, 상부 노광기와 하부 노광기 중 어느 하나는 전동기의 작동에 따라 상·하 이동되도록 하고 나머지 하는 프레임 상에 고정시키며, 상기 상·하부 노광기의 좌·우 측에 위치하여 금속 시트재를 지지하는 롤러에 리니어 액츄에이터를 장착하여 롤러를 상기 상부 및 하부 노광기 중 어느 하나와 동일 방햐으로 이동되도록 함을 본 발명의 요지로 한다.

Description

포토에칭용 노광장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 8도 (A), (B), (C)는 본 발명의 다른 실시예에 따른 포토에칭용 노광장치의 구성 및 작동 상태도.

Claims (2)

  1. 포토에칭에 따라 감광액 도포공정을 거친 금속 시트재의 감광막에 일정 형상을 전사하기 위한 포토에칭용 노광장치에 있어서, 상부 노광기와 하부 노광기 중 어느 하나는 전동기의 작동에 따라 상하로 이동되도록 하고 나머지 하나는 프레임 상에 고정시키며, 상기 상부 및 하부 노광기의 좌우측에 위치하여 금속 시트재를 지지하는 롤러에 리니어 액츄에이터를 장착하여 롤러를 상기 상부 및 하부 노광기 중 어느 하나와 동일 방향으로 이동되도록 함을 특징으로 하는 포토에칭용 노광장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 롤러의 승하강시 금속 시트재의 늘어짐이 방지되도록 추의 자중에 의해 금속시트재의 상면을 지속적으로 눌러주는 텐션롤러를 프레임 상에 장착함을 특징으로 하는 포토에칭용 노광장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950031240A 1995-09-21 1995-09-21 포토에칭용 노광장치 KR970016822A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016076610A1 (ko) * 2014-11-10 2016-05-19 (주)프리테크 리드프레임 제조용 노광장치

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016076610A1 (ko) * 2014-11-10 2016-05-19 (주)프리테크 리드프레임 제조용 노광장치

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