JP2004352427A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ガラス基板のような被搬送物を搬送ローラによって搬送する搬送装置において、被搬送物の波打ちや端面の垂れ下がりを抑制することにより、搬送ローラの磨耗や、端面の処理装置との衝突を回避できる、制御が容易な搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送ローラの軸として凹型あるいは凸型に撓んだ軸を用い、同一の直径を持つ複数のコロを、各取り付け位置において、軸に垂直に交わるように固定する。軸の中央部はベアリング入りの軸受けで支持し、両端は、ベアリング入りの軸受けまたは自在軸受けで支持する。
【選択図】 図2
【解決手段】搬送ローラの軸として凹型あるいは凸型に撓んだ軸を用い、同一の直径を持つ複数のコロを、各取り付け位置において、軸に垂直に交わるように固定する。軸の中央部はベアリング入りの軸受けで支持し、両端は、ベアリング入りの軸受けまたは自在軸受けで支持する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板等の被搬送物を搬送するための装置であって、特に、搬送ローラにより、被搬送物を搬送する搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示装置の製造ラインは、洗浄装置、塗布装置、乾燥装置、現像装置、剥離装置などの複数の処理装置からなり、これらの処理装置で、順次、ガラス基板に処理を施すことにより液晶表示装置が製造される。
【0003】
これらの処理装置間でのガラス基板の搬送方法として、従来、水平に並べられた複数の搬送ローラによって搬送する方法がある。搬送ローラは、軸にコロを複数個取り付けたもので、コロが軸の回転とともに回転することにより、コロ上に載置されたガラス基板が水平に動き、搬送される。
【0004】
近年、ガラス基板の大型化に伴い、比較的大きな基板を搬送するために、直径の異なるコロを備えた搬送ローラで、基板を撓ませて搬送する搬送装置が提案されている(特許文献1参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開平9−208078号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この方法では、軸に取り付けてあるコロの直径が異なるため、軸を同じ回転速度で回転させた場合、載置した基板の水平方向の搬送速度が、直径の大きいコロと小さいコロで異なるという問題が生じる。この問題を解決するためには、直径の大きさによって軸の回転速度を変えることが考えられるが、この場合、制御系が複雑になるという問題がある。
【0007】
本発明は、このような問題に鑑みなされたもので、その目的とするところは、制御が容易で、大型の平板状の被搬送物を確実に搬送できる搬送装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために本発明は、被搬送物を搬送する搬送装置であって、撓んだ軸にローラを具備した搬送ローラを備え、搬送ローラ上に被搬送物を載置して搬送する搬送装置を提供する。ここで、被搬送物は、ガラス基板等である。
【0009】
軸は支持部で支持され、軸と支持部との間にはベアリングが設けられることが、撓んだ軸を安定して支持する点から好ましい。支持部の数はローラ長や基板の重量に応じて適宜設定すればよい。また、軸を支持する支持部には自在軸受けを用いることができる。軸の撓み(曲率)は基板の重量による撓みより少なく、また、撓みによる軸材の応力が疲労破壊に至らない程度に設定しても良い。
軸材には棒状(中実)、パイプ状(中空)、コイルバネ状部材などを用いても良い。
【0010】
上記構成によれば、撓んだ軸を持つ搬送ローラ上に載置され、搬送される被搬送物は、軸の撓みと同様の撓みを持った形状で搬送される。被搬送物は、撓ませることにより端部の垂れ下がりや波打ちが抑えられる。これにより、処理装置の搬入口やコロに被搬送物が衝突することのない、安定した搬送が可能な搬送装置を提供できる。また、ローラピッチを拡大できる為ローラ数を削減できる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を詳細に説明する。図1は、本発明の1実施の形態にかかる搬送装置9、13、15、17、19を有する、塗布装置1および乾燥装置11からなる製造ラインの概略構成図、図2は、搬送装置9、13、15、17、19を構成する搬送ローラ7を示す図である。
【0012】
図1に示すように、搬送装置9、13、15、17、19は、液晶表示装置の製造過程において、ガラス基板Gにレジスト膜を形成するための塗布装置1、および、塗布したレジスト膜を乾燥するための乾燥装置11から成る製造ラインに設置される。
【0013】
このほかに、搬送装置は、液晶表示装置の製造ラインにおいて、洗浄装置、現像装置、剥離装置など、他の処理装置および処理装置間に設置することも可能である。
【0014】
塗布装置1は、ステージ5、ダイヘッド3、ガラス基板Gの搬入口1aおよび搬出口1b等を有する。ステージ5の上面には、ガラス基板Gより僅かに大きい矩形状のステージ面5aが設けられ、この上にガラス基板Gが載置される。
【0015】
ダイヘッド3は、ガラス基板Gの一辺程度の長さの直方体形状を有し、その長手方向が塗布装置1の搬入口1aと搬出口1bを結ぶ方向に向けられている。また、ダイヘッド3の下面には、その長手方向に沿って塗布液を吐出するためのスリットがある。ダイヘッド3は、塗布液を吐出しながら、図1において手前から奥に向かう方向に移動し、ステージ面5a上に載置されたガラス基板Gの全面に塗布液を塗布する。
【0016】
搬送口1aの外側には、ガラス基板Gを搬入口1aに搬入するための搬送装置9、搬出口1bの外側には、搬出口1bから搬出されるガラス基板Gを次の処理装置である乾燥装置11に搬入するための搬送装置13が設置される。搬送装置9、13は、同一の方向に同一の速度で回転する複数個の搬送ローラ7を水平に配置したものである。
【0017】
乾燥装置11は、乾燥室21、および、真空予備室23、25等を有し、減圧下でガラス基板Gを乾燥する。
【0018】
乾燥室21は加熱装置27と搬送装置17等を有し、図示していない減圧ポンプにより減圧される。また、乾燥室21は、搬入口21aと搬出口21bを持つ。
【0019】
加熱装置27は、遠赤外線による輻射加熱でガラス基板Gを乾燥する。搬入口21aおよび搬出口21bにはゲートバルブが設けられており、搬送装置17は、同一の方向に同一の速度で回転する複数個の搬送ローラ7を水平に配置したもので、ガラス基板Gを搬入口21aを介して真空予備室23から受け入れ、また、乾燥済みのガラス基板Gを搬出口21bを介して真空予備室25に送り出す。
【0020】
真空予備室23は、図示していない減圧ポンプにより減圧が可能で、ゲートバルブが設けられた搬入口23aを持ち、搬送装置15を備えている。同様に、真空予備室25は、図示していない減圧ポンプにより減圧が可能で、ゲートバルブが設けられた搬出口25bを持ち、搬送装置19を備えている。搬送装置15、19は、同一の方向に同一の速度で回転する複数個の搬送ローラ7を水平に配置したものである。
【0021】
塗布装置1によるレジスト膜の塗布が完了し、搬出口1bから搬出されたガラス基板Gは、搬送装置13上を移動し、真空予備室23の搬入口23aを介して搬送装置15上に搬入され、搬送装置15の所定の位置に至る。その後、搬入口23aのゲートバルブが閉じられ、真空予備室23が所定の減圧度まで減圧される。
【0022】
減圧完了後、ガラス基板Gは、搬送装置15上を移動し、搬入口21aを介して乾燥室21の搬送装置17上に搬入され、搬送装置17上の所定の位置で加熱装置27により乾燥される。乾燥後、ガラス基板Gは乾燥装置17上を移動し、乾燥室21の搬出口21bを介して減圧された真空予備室25の搬送装置19上に送り出される。その後、真空予備室25が通常圧に戻され、ガラス基板Gは、搬出口25bを介して乾燥装置11から搬出される。
【0023】
図2は、図1に示した搬送装置9、13、15、17、19を構成する搬送ローラ7の概略構成図である。
【0024】
図2に示すように、搬送ローラ7は、軸69、複数のコロ71、中央支持部51、および、側部支持部53、55等を有し、ガラス基板Gを載置して搬送する。軸69は凹状に撓ませてあり、両端を、略直方体の側部支持部53および55によって、中央を、これも略直方体の中央支持部51によって支持されている。軸69は、表示されていないモータ等の駆動系により、一定の回転速度で回転する。
【0025】
中央支持部51には、円筒状の穴57が、その中心線が水平になるように設けられ、この穴57にベアリング59が設けられる。軸69を、ベアリング59の入ったこの穴57を貫通するように設置することにより、回転する撓んだ軸69の中央部が支持される。
【0026】
また、側部支持部53、55にも、それぞれ、円筒状の穴61、65が設けられ、さらに、それらの穴61、65に、それぞれ、ベアリング63、67が設けられる。軸69の一端がベアリング63の入った穴61を、また、軸69の他の一端がベアリング67の入った穴65を貫通するように設置することにより、軸69の両端が支持される。
【0027】
側部支持部53および55に設置する軸受けには、自在軸受けを用いることもできる。
【0028】
軸69には円盤状の複数のコロ71が設けられる。各コロ71は同一の直径を有する。コロ71の個数は、ガラス基板Gの大きさや厚さ等の条件、搬送装置9、13、15、17、19の設置形態等の条件に合うように設定される。
【0029】
各コロ71は、それぞれの取り付け位置において、軸69に対して垂直をなすように固定され、1本の搬送ローラ7に取り付けられた複数のコロ71とガラス基板Gが接触する接触面は、軸69の凹型の撓みが反映された形状をなす。
【0030】
その結果、搬送ローラ7に載置され、搬送されるガラス基板Gは、凹型に撓んだ形状を保って搬送される。このような凹型形状にすることにより、ガラス基板Gは波打つことなく、また、端面が垂れ下がることなく搬送される。
【0031】
ガラス基板Gの端面の垂れ下がらないので、処理装置の搬入口や搬出口、例えば、図1に示した塗布装置1の搬入口1a、乾燥装置11の真空予備室23および乾燥室21の搬入口23a、21a、乾燥室21および真空予備室25の搬出口21b、25bとの衝突によるガラス基板Gの破損の問題が回避できる。
【0032】
次に、搬送ローラ7の他の実施形態について説明する。図3は、凸型の軸99を有する搬送ローラ7の概略構成図である。
【0033】
図3に示すように、搬送ローラ7は、軸99、複数のコロ101、中央支持部81、および、側部支持部83、85等を有し、ガラス基板Gを載置して搬送する。軸99は凸型に撓ませてあり、軸99は、両端を略直方体の側部支持部83および85、中央をこれも略直方体の中央支持部81によって支持され、表示されていないモータ等の駆動系により、一定の回転速度で回転する。
【0034】
中央支持部81には、円筒状の穴87が、その中心線が水平になるように設けられ、この穴87にベアリング89が設けられる。軸99を、ベアリング89の入ったこの穴87を貫通するように設置することにより、回転する撓んだ軸99の中央部が支持される。
【0035】
また、側部支持部83、85にも、それぞれ、円筒状の穴91、95が設けられ、さらに、それらの穴91、95に、それぞれ、ベアリング93、97が設けられる。軸99の一端がベアリング93の入った穴91を、また、軸99の他の一端がベアリング97の入った穴95を貫通するように設置することにより、軸99の両端が支持される。側部支持部83および85に設置する軸受けには、自在軸受けを用いることもできる。
【0036】
軸99には複数の円盤状のコロ101が設けられる。各コロ101の直径は同一で、コロ101の個数は、ガラス基板Gの条件、搬送装の条件に合うように設定される。各コロ101は、それぞれの取り付け位置において、軸99に対して垂直をなすように固定され、1本の搬送ローラ7に取り付けられた複数のコロ101のガラス基板Gとの接触面は、軸99の凸型の撓みが反映された形状をなす。
【0037】
その結果、搬送ローラ7によって搬送されるガラス基板Gは、凸型に撓んだ状態で搬送され、図2に示した凹型の搬送ローラの場合と同様に、ガラス基板Gの波打ちや端面の垂れ下がりを抑制でき、処理装置の搬入口や搬出口との衝突の問題が回避できる。
【0038】
以上、本発明の実施の形態を詳細に説明したが、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものでなく、種々の改変が可能であり、それらも、本発明の技術的範囲に含まれる。
【0039】
例えば、前述した実施の形態では、液晶表示装置について説明したが、本発明は、プリント配線板等の可撓性基板の製造ラインにおいても用いることができる。
【0040】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によれば、制御が容易で、大型の平板状の被搬送物を確実に搬送できる搬送装置を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施の形態にかかる搬送装置9、13、15、17、19の概略構成図
【図2】搬送装置9、13、15、17、19に設けられた凹型の搬送ローラ7を示す図
【図3】搬送装置9、13、15、17、19に設けられた凸型の搬送ローラ7を示す図
【符号の説明】
9、13、15、17、19 ……… 搬送装置
7 ……… 搬送ローラ
51 ……… 中央支持部
53、55 ……… 側部支持部
69 ……… 軸
71 ……… コロ
G ……… ガラス基板
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板等の被搬送物を搬送するための装置であって、特に、搬送ローラにより、被搬送物を搬送する搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示装置の製造ラインは、洗浄装置、塗布装置、乾燥装置、現像装置、剥離装置などの複数の処理装置からなり、これらの処理装置で、順次、ガラス基板に処理を施すことにより液晶表示装置が製造される。
【0003】
これらの処理装置間でのガラス基板の搬送方法として、従来、水平に並べられた複数の搬送ローラによって搬送する方法がある。搬送ローラは、軸にコロを複数個取り付けたもので、コロが軸の回転とともに回転することにより、コロ上に載置されたガラス基板が水平に動き、搬送される。
【0004】
近年、ガラス基板の大型化に伴い、比較的大きな基板を搬送するために、直径の異なるコロを備えた搬送ローラで、基板を撓ませて搬送する搬送装置が提案されている(特許文献1参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開平9−208078号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この方法では、軸に取り付けてあるコロの直径が異なるため、軸を同じ回転速度で回転させた場合、載置した基板の水平方向の搬送速度が、直径の大きいコロと小さいコロで異なるという問題が生じる。この問題を解決するためには、直径の大きさによって軸の回転速度を変えることが考えられるが、この場合、制御系が複雑になるという問題がある。
【0007】
本発明は、このような問題に鑑みなされたもので、その目的とするところは、制御が容易で、大型の平板状の被搬送物を確実に搬送できる搬送装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために本発明は、被搬送物を搬送する搬送装置であって、撓んだ軸にローラを具備した搬送ローラを備え、搬送ローラ上に被搬送物を載置して搬送する搬送装置を提供する。ここで、被搬送物は、ガラス基板等である。
【0009】
軸は支持部で支持され、軸と支持部との間にはベアリングが設けられることが、撓んだ軸を安定して支持する点から好ましい。支持部の数はローラ長や基板の重量に応じて適宜設定すればよい。また、軸を支持する支持部には自在軸受けを用いることができる。軸の撓み(曲率)は基板の重量による撓みより少なく、また、撓みによる軸材の応力が疲労破壊に至らない程度に設定しても良い。
軸材には棒状(中実)、パイプ状(中空)、コイルバネ状部材などを用いても良い。
【0010】
上記構成によれば、撓んだ軸を持つ搬送ローラ上に載置され、搬送される被搬送物は、軸の撓みと同様の撓みを持った形状で搬送される。被搬送物は、撓ませることにより端部の垂れ下がりや波打ちが抑えられる。これにより、処理装置の搬入口やコロに被搬送物が衝突することのない、安定した搬送が可能な搬送装置を提供できる。また、ローラピッチを拡大できる為ローラ数を削減できる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を詳細に説明する。図1は、本発明の1実施の形態にかかる搬送装置9、13、15、17、19を有する、塗布装置1および乾燥装置11からなる製造ラインの概略構成図、図2は、搬送装置9、13、15、17、19を構成する搬送ローラ7を示す図である。
【0012】
図1に示すように、搬送装置9、13、15、17、19は、液晶表示装置の製造過程において、ガラス基板Gにレジスト膜を形成するための塗布装置1、および、塗布したレジスト膜を乾燥するための乾燥装置11から成る製造ラインに設置される。
【0013】
このほかに、搬送装置は、液晶表示装置の製造ラインにおいて、洗浄装置、現像装置、剥離装置など、他の処理装置および処理装置間に設置することも可能である。
【0014】
塗布装置1は、ステージ5、ダイヘッド3、ガラス基板Gの搬入口1aおよび搬出口1b等を有する。ステージ5の上面には、ガラス基板Gより僅かに大きい矩形状のステージ面5aが設けられ、この上にガラス基板Gが載置される。
【0015】
ダイヘッド3は、ガラス基板Gの一辺程度の長さの直方体形状を有し、その長手方向が塗布装置1の搬入口1aと搬出口1bを結ぶ方向に向けられている。また、ダイヘッド3の下面には、その長手方向に沿って塗布液を吐出するためのスリットがある。ダイヘッド3は、塗布液を吐出しながら、図1において手前から奥に向かう方向に移動し、ステージ面5a上に載置されたガラス基板Gの全面に塗布液を塗布する。
【0016】
搬送口1aの外側には、ガラス基板Gを搬入口1aに搬入するための搬送装置9、搬出口1bの外側には、搬出口1bから搬出されるガラス基板Gを次の処理装置である乾燥装置11に搬入するための搬送装置13が設置される。搬送装置9、13は、同一の方向に同一の速度で回転する複数個の搬送ローラ7を水平に配置したものである。
【0017】
乾燥装置11は、乾燥室21、および、真空予備室23、25等を有し、減圧下でガラス基板Gを乾燥する。
【0018】
乾燥室21は加熱装置27と搬送装置17等を有し、図示していない減圧ポンプにより減圧される。また、乾燥室21は、搬入口21aと搬出口21bを持つ。
【0019】
加熱装置27は、遠赤外線による輻射加熱でガラス基板Gを乾燥する。搬入口21aおよび搬出口21bにはゲートバルブが設けられており、搬送装置17は、同一の方向に同一の速度で回転する複数個の搬送ローラ7を水平に配置したもので、ガラス基板Gを搬入口21aを介して真空予備室23から受け入れ、また、乾燥済みのガラス基板Gを搬出口21bを介して真空予備室25に送り出す。
【0020】
真空予備室23は、図示していない減圧ポンプにより減圧が可能で、ゲートバルブが設けられた搬入口23aを持ち、搬送装置15を備えている。同様に、真空予備室25は、図示していない減圧ポンプにより減圧が可能で、ゲートバルブが設けられた搬出口25bを持ち、搬送装置19を備えている。搬送装置15、19は、同一の方向に同一の速度で回転する複数個の搬送ローラ7を水平に配置したものである。
【0021】
塗布装置1によるレジスト膜の塗布が完了し、搬出口1bから搬出されたガラス基板Gは、搬送装置13上を移動し、真空予備室23の搬入口23aを介して搬送装置15上に搬入され、搬送装置15の所定の位置に至る。その後、搬入口23aのゲートバルブが閉じられ、真空予備室23が所定の減圧度まで減圧される。
【0022】
減圧完了後、ガラス基板Gは、搬送装置15上を移動し、搬入口21aを介して乾燥室21の搬送装置17上に搬入され、搬送装置17上の所定の位置で加熱装置27により乾燥される。乾燥後、ガラス基板Gは乾燥装置17上を移動し、乾燥室21の搬出口21bを介して減圧された真空予備室25の搬送装置19上に送り出される。その後、真空予備室25が通常圧に戻され、ガラス基板Gは、搬出口25bを介して乾燥装置11から搬出される。
【0023】
図2は、図1に示した搬送装置9、13、15、17、19を構成する搬送ローラ7の概略構成図である。
【0024】
図2に示すように、搬送ローラ7は、軸69、複数のコロ71、中央支持部51、および、側部支持部53、55等を有し、ガラス基板Gを載置して搬送する。軸69は凹状に撓ませてあり、両端を、略直方体の側部支持部53および55によって、中央を、これも略直方体の中央支持部51によって支持されている。軸69は、表示されていないモータ等の駆動系により、一定の回転速度で回転する。
【0025】
中央支持部51には、円筒状の穴57が、その中心線が水平になるように設けられ、この穴57にベアリング59が設けられる。軸69を、ベアリング59の入ったこの穴57を貫通するように設置することにより、回転する撓んだ軸69の中央部が支持される。
【0026】
また、側部支持部53、55にも、それぞれ、円筒状の穴61、65が設けられ、さらに、それらの穴61、65に、それぞれ、ベアリング63、67が設けられる。軸69の一端がベアリング63の入った穴61を、また、軸69の他の一端がベアリング67の入った穴65を貫通するように設置することにより、軸69の両端が支持される。
【0027】
側部支持部53および55に設置する軸受けには、自在軸受けを用いることもできる。
【0028】
軸69には円盤状の複数のコロ71が設けられる。各コロ71は同一の直径を有する。コロ71の個数は、ガラス基板Gの大きさや厚さ等の条件、搬送装置9、13、15、17、19の設置形態等の条件に合うように設定される。
【0029】
各コロ71は、それぞれの取り付け位置において、軸69に対して垂直をなすように固定され、1本の搬送ローラ7に取り付けられた複数のコロ71とガラス基板Gが接触する接触面は、軸69の凹型の撓みが反映された形状をなす。
【0030】
その結果、搬送ローラ7に載置され、搬送されるガラス基板Gは、凹型に撓んだ形状を保って搬送される。このような凹型形状にすることにより、ガラス基板Gは波打つことなく、また、端面が垂れ下がることなく搬送される。
【0031】
ガラス基板Gの端面の垂れ下がらないので、処理装置の搬入口や搬出口、例えば、図1に示した塗布装置1の搬入口1a、乾燥装置11の真空予備室23および乾燥室21の搬入口23a、21a、乾燥室21および真空予備室25の搬出口21b、25bとの衝突によるガラス基板Gの破損の問題が回避できる。
【0032】
次に、搬送ローラ7の他の実施形態について説明する。図3は、凸型の軸99を有する搬送ローラ7の概略構成図である。
【0033】
図3に示すように、搬送ローラ7は、軸99、複数のコロ101、中央支持部81、および、側部支持部83、85等を有し、ガラス基板Gを載置して搬送する。軸99は凸型に撓ませてあり、軸99は、両端を略直方体の側部支持部83および85、中央をこれも略直方体の中央支持部81によって支持され、表示されていないモータ等の駆動系により、一定の回転速度で回転する。
【0034】
中央支持部81には、円筒状の穴87が、その中心線が水平になるように設けられ、この穴87にベアリング89が設けられる。軸99を、ベアリング89の入ったこの穴87を貫通するように設置することにより、回転する撓んだ軸99の中央部が支持される。
【0035】
また、側部支持部83、85にも、それぞれ、円筒状の穴91、95が設けられ、さらに、それらの穴91、95に、それぞれ、ベアリング93、97が設けられる。軸99の一端がベアリング93の入った穴91を、また、軸99の他の一端がベアリング97の入った穴95を貫通するように設置することにより、軸99の両端が支持される。側部支持部83および85に設置する軸受けには、自在軸受けを用いることもできる。
【0036】
軸99には複数の円盤状のコロ101が設けられる。各コロ101の直径は同一で、コロ101の個数は、ガラス基板Gの条件、搬送装の条件に合うように設定される。各コロ101は、それぞれの取り付け位置において、軸99に対して垂直をなすように固定され、1本の搬送ローラ7に取り付けられた複数のコロ101のガラス基板Gとの接触面は、軸99の凸型の撓みが反映された形状をなす。
【0037】
その結果、搬送ローラ7によって搬送されるガラス基板Gは、凸型に撓んだ状態で搬送され、図2に示した凹型の搬送ローラの場合と同様に、ガラス基板Gの波打ちや端面の垂れ下がりを抑制でき、処理装置の搬入口や搬出口との衝突の問題が回避できる。
【0038】
以上、本発明の実施の形態を詳細に説明したが、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものでなく、種々の改変が可能であり、それらも、本発明の技術的範囲に含まれる。
【0039】
例えば、前述した実施の形態では、液晶表示装置について説明したが、本発明は、プリント配線板等の可撓性基板の製造ラインにおいても用いることができる。
【0040】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によれば、制御が容易で、大型の平板状の被搬送物を確実に搬送できる搬送装置を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施の形態にかかる搬送装置9、13、15、17、19の概略構成図
【図2】搬送装置9、13、15、17、19に設けられた凹型の搬送ローラ7を示す図
【図3】搬送装置9、13、15、17、19に設けられた凸型の搬送ローラ7を示す図
【符号の説明】
9、13、15、17、19 ……… 搬送装置
7 ……… 搬送ローラ
51 ……… 中央支持部
53、55 ……… 側部支持部
69 ……… 軸
71 ……… コロ
G ……… ガラス基板
Claims (4)
- 被搬送物を搬送する搬送装置であって、
撓んだ軸にローラが設けられた搬送ローラを有し、前記搬送ローラ上に前記被搬送物を載置して、前記被搬送物を搬送することを特徴とする搬送装置。 - 前記軸は、支持部で支持され、前記軸と前記支持部との間にはベアリングが設けられることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記軸を支持する支持部には自在軸受けが設けられることを特徴とする請求項2に記載の搬送装置。
- 前記被搬送物は、基板であることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
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JP2003151722A JP2004352427A (ja) | 2003-05-29 | 2003-05-29 | 搬送装置 |
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JP2003151722A JP2004352427A (ja) | 2003-05-29 | 2003-05-29 | 搬送装置 |
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ID=34047129
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Country | Link |
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JP (1) | JP2004352427A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2003
- 2003-05-29 JP JP2003151722A patent/JP2004352427A/ja active Pending
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