KR20080079929A - 에어 나이프 및 이를 구비하는 기판 건조 장치 - Google Patents

Abstract

기판의 건조 효율을 향상시키기 위한 에어 나이프는, 건조 가스를 공급하는 건조 가스 공급부, 상기 건조 가스 공급부와 연결되고, 중력 방향에 대해 수직하게 지지되는 노즐 프레임 및 상기 노즐 프레임 내부에 형성되어 수평방향으로 지지된 대상체에 대해 경사지게 건조 가스를 제공하는 분사노즐을 포함할 수 있다. 따라서, 기판에서 탈이온수 및 먼지 등을 효과적으로 제거할 수 있는 분사각으로 건조 가스를 제공할 수 있는 에어 나이프를 제공함으로써 기판의 건조 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 에어 나이프의 자중에 의한 처짐 및 토출각이 변하는 것을 방지하고, 상기 에어 나이프의 조립 및 설치가 용이하다.

Description

에어 나이프 및 이를 구비하는 기판 건조 장치{air knife and apparatus for drying substrate having the same}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치를 도시한 평면도이다.

도 2는 도 1의 에어 나이프를 설명하기 위한 측면도이다.

도 3은 도 2의 에어 나이프의 측단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 기판 10 : 기판 건조 장치

11 : 챔버 12a : 제1 출입구

12b : 제2 출입구 20 : 이송부

21 : 샤프트 22 : 롤러 어셈블리

30 : 에어 나이프 31 : 노즐 프레임

31a : 체결 가이드 32 : 버퍼

33 : 분사노즐 35 : 지지부재

40 : 건조 가스 공급부 41 : 공급라인

본 발명은 평판형 디스플레이 장치의 제조 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, OLED(Organic Light Emitting Diode) 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 장치를 제조하기 위한 제조 장치의 에어 나이프 및 이를 구비하는 기판 건조 장치에 관한 것이다.

최근, 정보 처리 기기는 다양한 형태와 기능 및 더욱 빨라진 정보 처리 속도 등에 대한 요구에 따라 급속하게 발전하고 있으며, 이들 정보 처리 기기는 가공된 정보를 표시하기 위한 디스플레이 장치를 요구한다. 상기와 같은 정보 디스플레이 장치들은 주로 CRT 모니터를 사용하였으나, 최근 휴대형 정보 기기의 발달에 따라 휴대의 편의성, 소형 경량화에 대한 요구를 실현하기 위하여 액정 디스플레이 장치 또는 OLED 디스플레이 장치 등에 대한 요구가 증가되고 있다. 또한, 가정용 또는 사무용 디스플레이 장치의 경우에도 보다 선명한 화질, 응답 속도, 작업자의 피로도 감소, 공간 확보 등을 위하여 상기 평판 디스플레이 장치에 대한 요구가 증가되고 있다.

예를 들면, 상기 액정 디스플레이 장치의 경우, 상부 기판과 하부 기판 사이에 있는 액정 분자들의 배열 구조에 따른 광의 투과율 차이를 이용하는 디스플레이 장치로서, 최근에는 표시 정보량의 증가와 이에 따른 표시 면적의 증가 요구에 부응하기 위하여 화면을 구성하는 모든 화소에 대하여 개별적으로 구동 신호를 인가하는 액티브 매트릭스(Active Matrix) 방식의 액정 디스플레이 장치에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다.

상기 액정 디스플레이 장치는 화상 데이터를 액정의 광학적 성질을 이용하여 디스플레이하는 액정 패널과 이를 구동하기 위한 구동 회로를 포함하는 액정 패널 어셈블리와, 화면 표시를 위한 광을 제공하는 백라이트 어셈블리와, 상기 구성요소들을 고정 및 수용하는 몰드 프레임 등을 포함할 수 있다.

상기 액정 디스플레이 장치의 패널로는 대면적의 유리 기판이 사용되며, 상기 유리 기판 상에 전극 패턴들을 형성하기 위하여 다양한 단위 공정들이 수행될 수 있다. 예를 들면, 상기 유리 기판 상에 막을 형성하는 성막 공정, 상기 막을 목적하는 패턴들로 형성하기 위한 식각 공정, 상기 유리 기판 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 상기 유리 기판을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 필요에 따라 반복적으로 수행될 수 있다.

상기 공정들을 수행하기 위한 기판 처리 장치는 기판의 로딩을 위한 기판 로더와, 상기 로더에 의해 반입된 기판에 대한 식각 또는 세정 공정을 수행하기 위한 제1 처리부와, 상기 식각 또는 세정 처리된 기판을 린스액을 이용하여 린스 처리하기 위한 제2 처리부와, 린스 처리된 기판을 건조시키기 위한 제3 처리부와, 상기 기판을 반출하기 위한 언로더 등을 포함할 수 있다. 또한, 상기 기판 처리 장치는 필요에 따라 기판 상의 정전기를 제거하기 위한 제전 장치, 기판의 일시 대기를 위한 버퍼 저장 탱크 등을 더 포함할 수도 있다.

상기 기판 처리 장치를 사용하여 유리 기판과 같은 평판형 기판을 처리하는 경우, 상기 기판은 다수의 회전 롤러들에 의해 상기 로더로부터 언로더를 향하여 이송될 수 있다. 상기 회전 롤러들은 상기 기판의 이송 방향으로 배열된 다수의 회전축들에 장착되며, 상기 회전 롤러들은 상기 기판 처리를 위한 각 챔버들의 외부 에 배치되는 구동부에 의해 회전 가능하도록 설치된다.

한편, 상기 건조 공정을 수행하기 위한 기판 건조 장치는 상기 회전 롤러들에 의해 이송되는 기판 상으로 가스를 제공하여 상기 기판 상에 잔류하는 탈이온수를 상기 기판에서 밀어내기 위한 에어 나이프를 구비한다. 여기서, 상기 에어 나이프는 상기 린스 공정에서 상기 기판 상에 잔류하는 탈이온수를 가스를 분사하여 상기 기판 상에서 밀어냄으로써 상기 기판을 건조시킬 수 있다.

한편, 점차 평판 디스플레이 장치의 크기가 대형화됨에 따라 종래의 기판 건조 장치 및 에어 나이프의 크기도 역시 대형화되는 추세에 있다. 또한, 상기 에어 나이프는 상기 기판 상에서 상기 탈이온수를 효과적으로 제거할 수 있도록 상기 기판 표면에 대해 비스듬하게 가스가 분사되도록 상기 에어 나이프를 소정 각도로 기울여서 설치하게 된다. 따라서, 상기 에어 나이프 자체의 자중으로 인해 처짐이 발생하며, 이로 인해 상기 가스의 분사각이 변하게 되는 문제점이 있다. 또한, 상기 에어 나이프를 설치하기 위한 필요한 공간 및 조립 부품수가 증가하고, 에어 나이프의 높이 및 각도 조절이 복잡한 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점들을 해소하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 제1 목적은 기판을 건조시키기 위한 에어 나이프를 제공한다.

또한, 본 발명의 제2 목적은 상기와 같은 에어 나이프를 구비하는 평판 디스플레이 장치의 기판 건조 장치를 제공한다.

상기 본 발명의 제1 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 나이프는, 건조 가스를 공급하는 건조 가스 공급부, 상기 건조 가스 공급부와 연결되고, 중력 방향에 대해 수직하게 지지되는 노즐 프레임 및 상기 노즐 프레임 내부에 형성되어 수평방향으로 지지된 대상체에 대해 경사지게 건조 가스를 제공하는 분사노즐을 포함할 수 있다.

실시예에서, 상기 분사노즐은, 상기 분사노즐에서 토출되는 건조 가스가 상기 대상체에 대해 60ㅀ 각도를 이루도록 형성될 수 있다.

실시예에서, 상기 노즐 프레임을 중력 방향에 대해 수직 방향으로 체결시키기 위한 체결 가이드가 형성될 수 있다.

실시예에서, 상기 노즐 프레임 내부에서 상기 건조 가스를 수용하기 위한 공간을 형성하는 버퍼를 더 포함할 수 있다.

한편, 상기 본 발명의 제2 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치는, 기판이 수용되는 챔버와, 상기 챔버 내부에 구비되어 상기 기판을 수평방향으로 지지하고 이송하는 이송부와, 상기 기판으로 건조 가스를 제공하여 상기 기판을 건조시키기 위한 에어 나이프를 포함하고, 상기 에어 나이프는, 건조 가스를 공급하는 건조 가스 공급부, 상기 건조 가스 공급부와 연결되고, 상기 기판에 대해 수직하게 지지되는 노즐 프레임 및 상기 노즐 프레임 내부에 형성되어 상기 기판에 대해 경사지게 건조 가스를 제공하는 분사노즐을 포함할 수 있다.

실시예에서, 상기 에어 나이프를 상기 기판에 대해 수직 방향으로 체결시키 기 위한 체결 가이드를 더 포함할 수 있다.

실시예에서, 상기 에어 나이프는 상기 기판을 대칭으로 상기 기판의 상부와 하부에 서로 대응되게 배치될 수 있다.

실시예에서, 상기 분사노즐은, 상기 분사노즐에서 토출되는 건조 가스가 상기 기판에 대해 60ㅀ 각도를 이루도록 형성될 수 있다.

실시예에서, 상기 노즐 프레임은 상기 기판의 이송방향과 교차하도록 배치되어, 상기 노즐 프레임은 상기 기판의 일 방향 길이보다 적어도 같거나 큰 길이를 가질 수 있다.

상기한 본 발명에 따르면, 에어 나이프를 기판에 대해 수직한 방향으로 고정시킴으로써, 상기 에어 나이프가 자중에 의한 처짐 및 분사각 변화를 방지할 수 있다. 또한, 상기 에어 나이프의 고정 구조가 간단하고 조립 부품수가 적어 설치 및 유지보수가 용이한 장점이 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 에어 나이프 및 이를 구비하는 기판 건조 장치에 대해 상세히 설명한다.

본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 도 2는 도 1의 에어 나이프의 실시예들을 설명하기 위한 측면도이다. 도 3은 도 2의 에어 나이프의 측단면도이다.

이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치에 대해 상세히 설명한다.

도 1을 참조하면, 기판 처리 장치는 기판(1)이 수용되어 소정의 처리 공정이 수행되는 챔버(11)와, 상기 기판(1)을 지지하고 이송하기 위한 이송부(20)와, 상기 기판 건조 장치(10)의 상부 또는 하부에는 상기 기판(1)의 처리를 위한 약액 또는 처리 가스 등을 제공하기 위한 나이프 유닛 등이 구비될 수 있다.

상기 처리 공정의 예로는 상기 기판(1) 상의 막 또는 불순물을 제거하기 위 한 식각 공정, 상기 기판(1) 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 식각 또는 세정 후 린스 처리하기 위한 린스 공정, 건조시키기 위한 건조 공정 등이 있다.

상기 나이프 유닛은 상기 기판(1)을 세정하기 위한 탈이온수(deionized water, DI)를 분사하기 위한 인샤워 나이프(In-shower knife)(미도시), 상기 인샤워 나이프를 통해 분사된 탈이온수가 상기 기판(1) 표면에 부딪혀 비산되는 탈이온수를 흡입하는 흡입 나이프(미도시) 및 상기 기판(1) 상에 잔류하는 탈이온수를 건조시키기 위한 에어 나이프(air knife)(30) 등을 포함할 수 있다.

이하에서 본 발명의 실시예들은 기판(1)의 건조 공정을 예로 들어 설명하며, 기판 건조 장치(10) 및 에어 나이프(30)를 예로 들어 설명한다.

상기 챔버(11)는 상기 기판(1)의 출입을 가능하게 하는 제1 출입구(12a)와 제2 출입구(12b)가 형성되고, 상기 이송부(20)는 상기 제1 출입구(12a)로 투입된 기판(1)을 상기 제2 출입구(12b)로 이송시키도록 제공될 수 있다.

상기 이송부(20)는 다수의 샤프트(21)와, 상기 샤프트(21) 상에 장착되는 상기 기판(1)을 지지하고 이송하기 위한 롤러 어셈블리(22)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 기판 건조 장치(10)의 일측에는 상기 샤프트(21)에 회전력을 제공하기 위한 구동부(미도시) 및 구동부(미도시)로부터 상기 샤프트(21)로 회전력을 전달하는 동력전달부재(미도시)가 구비될 수 있다. 여기서, 상기 구동부(미도시)는 회전력을 발생시키는 모터(미도시)와, 모터의 회전 속도와 회전력을 조절하기 위한 감속기(미도시) 등을 포함할 수 있다.

상기 샤프트(21)는 일 방향으로, 예를 들면, 상기 기판(1)의 이송 방향을 따 라 서로 평행하게 배열될 수 있으며, 상기 각 샤프트(21) 상에는 다수의 롤러 어셈블리(22)가 장착된다. 여기서, 상기 롤러 어셈블리(22)는 상기 샤프트(21)와 회동하도록 상기 샤프트(21)의 외주면 상에 고정되고, 상기 각 롤러 어셈블리(22)는 동일한 간격으로 배치될 수 있다. 따라서, 상기 롤러 어셈블리(22)는 상기 기판(1)에 직접적으로 접촉하여 상기 기판(1)을 실질적으로 지지하고, 상기 샤프트(21)가 회전함에 따라 상기 기판(1)을 일 방향으로 이동시킬 수 있다. 한편, 상기 샤프트(21) 및 롤러 어셈블리(22)의 수와 배치는 대상체가 되는 상기 기판(1)의 크기에 따라 실질적으로 다양하게 변화될 수 있으며, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

상기 챔버(11) 내부에는 상기 이송부(20)에 의해 이송되는 기판(1) 상으로 건조 가스를 제공하여 상기 기판(1)을 건조시키기 위한 에어 나이프(30)가 제공된다. 예를 들어, 상기 기판(1)의 상부 및 하부에 서로 대응되는 위치에 한 쌍의 에어 나이프(30)가 설치될 수 있다.

상기 에어 나이프(30)는 상기 기판(1) 상으로 건조 가스를 분사함으로써, 상기 기판(1) 상에서 탈이온수를 밀어내어 상기 기판(1)을 건조시킨다. 따라서, 상기 기판(1) 상에서 탈이온수를 효과적으로 제거할 수 있도록, 상기 에어 나이프(30)는 상기 기판(1)의 이송 방향에 대해 반대 방향으로, 본 실시예에서는 제1 출입구(12a) 방향으로 건조 가스를 분사하도록 설치될 수 있을 것이다.

도 2와 도 3은 본 발명에 의한 에어 나이프(30)를 설명하기 위한 측면도와 측단면도이다. 이하, 도 2와 도 3을 참조하여 상기 에어 나이프(30)에 대해 상세히 설명한다.

상기 에어 나이프(30)는 노즐 프레임(31)과, 상기 기판(1) 상으로 건조 가스를 분사하는 분사노즐(33)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 에어 나이프(30)는 일측에 건조 가스의 공급원이 되는 건조 가스 공급부(40)와, 상기 건조 가스 공급부(40)와 상기 노즐 프레임(31)을 연결하여 상기 건조 가스를 제공하기 위한 공급라인(41)을 더 포함할 수 있다.

여기서, 상기 건조 가스는 건조 공기를 포함할 수 있다. 또는, 상기 건조 가스는 질소 가스 등을 포함하는 불활성 가스를 사용할 수 있을 것이다.

예를 들어, 상기 건조 가스 공급부(40)는 상기 챔버(11) 외부에 제공될 수 있다. 또한, 상기 공급라인(41) 상에는 상기 공급라인(41)을 선택적으로 개폐하기 위한 공급밸브(미도시)가 더 구비될 수 있을 것이다. 여기서, 상기 공급밸브(미도시)는 개폐밸브 또는 솔레노이드 밸브일 수 있다.

상기 노즐 프레임(31)은 상기 기판(1)의 일 방향 길이보다 긴 길이를 갖도록 형성될 수 있으며, 상기 기판(1)의 이송 방향에 대해서 교차하도록 설치되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 상기 노즐 프레임(31)은 상기 기판(1)의 이송 방향에 대해 대략적으로 직교하도록 설치될 수 있다. 또는, 도 1에 도시한 바와 같이, 상기 기판(1)의 이송 방향에 대해서 소정 각도로 교차하게 설치될 수 있다. 즉, 상기 에어 나이프(30)는 상기 기판(1)이 이송됨에 따라 상기 에어 나이프(30)와 교차되면서 상기 기판(1) 상에서 일 방향으로만 탈이온수를 밀어낼 수 있다.

상기 노즐 프레임(31) 내부에는 분사노즐(33) 및 버퍼(32)가 형성될 수 있 다. 또한, 상기 노즐 프레임(31)의 일측에는 상기 공급라인(41)이 상기 버퍼(32)와 연통되도록 연결되어, 상기 건조 가스가 상기 버퍼(32)로 공급되고 상기 분사노즐(33)을 통해 상기 기판(1) 상으로 분사된다.

또한, 상기 노즐 프레임(31)은 얇으면서 길어야 하기 때문에 쉽게 휘어지지 않는 재질이 적합하다. 따라서 금속, 합금, 스텐인레스 스틸 등의 재질이 바람직하나 이에 해당하지 아니하여도 쉽게 휘어지지 아니하는 다른 재질로도 제작될 수 있다.

한편, 상기 챔버(11) 내부에는 지지부재(35)가 구비되고, 상기 노즐 프레임(31)은 상기 지지부재(35)에 장착시키기 위한 체결 가이드(31a)가 형성된다. 여기서, 상기 노즐 프레임(31)은 자중에 의한 처짐을 최소화하고, 상기 처짐에 의한 상기 분사노즐(33)의 토출각이 변화를 최소화할 수 있도록 상기 노즐 프레임(31)은 중력 방향을 따라 배치됨이 바람직하다. 예를 들어, 상기 지지부재(31a)는 상기 챔버(11) 내부에 수직 방향으로 형성된 벽일 수 있고, 상기 체결 가이드(31a)는 상기 노즐 프레임(31)을 관통하여 형성된 볼트 홀로서, 상기 체결 가이드(31a) 내부에 볼트(미도시)를 삽입하여 상기 노즐 프레임(31) 후방의 지지부재(35)에 볼트 체결시킬 수 있다.

즉, 상기 노즐 프레임(31)은 상기 지지부재(35)에 수직 방향으로 체결되므로, 상기 에어 나이프(30)의 조립시 고려해야할 요소가 줄어들고, 상기 에어 나이프(30)를 조립하기 위한 구성요소가 줄어들므로, 유지보수에 필요한 시간과 노력을 절감할 수 있다.

상기 분사노즐(33)은 상기 기판(1)의 폭 방향에 대응하여 길게 형성된 슬릿 형태를 가질 수 있다. 그러나, 본 실시예의 분사노즐(33)은 노즐 형상으로 한정되는 것은 아니며, 상기 분사노즐(33)은 복수의 홀이나, 노즐 또는 슬릿 등 실질적으로 다양한 형상을 가질 수 있을 것이다.

또한, 상기 분사노즐(33)은 상기 노즐 프레임(31) 내부에서 소정 각도로 비스듬하게 형성될 수 있다. 즉, 상기 노즐 프레임(31)이 후방의 지지부재(35)에 수직으로 체결되었을 때 상기 분사노즐(33)은 상기 분사노즐(33)을 통해 토출되는 건조 가스는 상기 기판(1)에 대해 소정 각도로 이루도록 형성된다. 예를 들어, 상기 분사노즐(33)은 상기 노즐 프레임(31)이 상기 지지부재(35)에 결합되는 후면에 대해 30ㅀ의 각을 이루도록, 즉, 상기 분사노즐(33)이 상기 기판(1)에 대해서 60ㅀ의 각을 이루도록 비스듬하게 형성될 수 있다. 여기서, 상기 분사노즐(33)에서 토출되는 건조 가스가 상기 기판(1) 표면에 대해 60ㅀ 각을 이루는 경우에 상기 기판(1) 상에서 탈이온수를 효과적으로 밀어낼 수 있다. 따라서, 상기 분사노즐(33)은 분사되는 건조 가스의 압력을 이용하여 상기 기판(1) 상에서 탈이온수를 일방향으로 효과적으로 밀어낼 수 있으며, 상기와 같이 밀어낸 탈이온수가 상기 기판(1) 상에서 이미 건조가 수행된 부분으로 역류하는 것을 방지할 수 있다.

한편, 본 실시예에서는 상기 분사노즐(33)이 상기 노즐 프레임(31) 내부에서 비스듬하게 형성되어 상기 분사노즐(33) 자체가 상기 건조 가스를 소정의 각도로 안내하는 가이드 역할을 겸했다. 이와 달리, 상기 분사노즐(33)로부터 토출되는 상기 건조 가스를 소정 각도로 상기 기판(1)으로 안내하기 위한 가이드(미도시)를 더 설치하는 것도 가능할 것이다. 또한, 상기 분사노즐(33)로부터 토출되는 건조 가스의 토출각을 변화시키기 위한 가이드를 더 구비할 수도 있을 것이다.

상기 버퍼(32)는 다수개로 형성될 수 있으며 상기 분사노즐(33)을 따라 일정한 간격으로 배치될 수 있다. 상기 버퍼(32)와 상기 분사노즐(33)이 연결되어 있으므로 상기 공급라인(41)으로부터 유입된 건조 가스는 상기 버퍼(32)를 채우면서 상기 분사노즐(33)을 통해 분사될 수 있다. 여기서, 상기 버퍼(32)는 상기 에어 나이프(30)로 유입되는 건조 가스의 압력을 견딜수 있도록 하는 완충역할을 한다. 즉, 상기 공급라인(41)으로부터 유입되는 건조 가스의 압력이 일정 범위내에서 변화하더라도 상기 분사노즐(33)을 통해 토출되는 건조 가스는 균일한 압력으로 분사될 수 있다.

상술한 실시예들에서는 에어 나이프(30)는 고정시킨 상태에서 이송부(20)에 의해 이송되는 기판(1) 상으로 건조 가스를 공급하였으나, 상기 이송부(20)를 생략하고, 상기 에어 나이프(30)가 고정된 기판(1) 상에서 이동하면서 건조 가스를 공급하는 실시예도 가능할 것이다.

또한, 상술한 실시예들에서는 유리 기판과 같은 평판 디스플레이 장치에 사용되는 기판의 처리와 관련하여 본 발명의 실시예가 기술되고 있으나, 실리콘 웨이퍼와 같이 반도체 장치용 기판 등에 대하여도 본 발명의 실시예가 다양하게 적용될 수 있으며, 또한, 기체 상태뿐만 아니라 액체 상태의 처리액을 공급하기 위한 슬릿 노즐의 경우에도 본 발명의 실시예들이 바람직하게 적용될 수 있을 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따르면 에어 나이프를 기판에 대해 수직한 방향으로 설치함으로써, 상기 에어 나이프의 자중으로 인한 처짐 및 토출각이 변하는 것을 방지하여 건조 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 에어 나이프의 지지 구조가 간단해지고, 조립 및 설치가 용이한 장점이 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (9)

1. 건조 가스를 공급하는 건조 가스 공급부;

   상기 건조 가스 공급부와 연결되고, 중력 방향에 대해 수직하게 지지되는 노즐 프레임; 및

   상기 노즐 프레임 내부에 형성되어 수평방향으로 지지된 대상체에 대해 경사지게 건조 가스를 제공하는 분사노즐을 포함하는 기판 건조 장치의 에어 나이프.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 분사노즐은, 상기 분사노즐에서 토출되는 건조 가스와 상기 대상체가 60ㅀ의 각도를 이루도록 형성된 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치의 에어 나이프.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 노즐 프레임을 중력 방향에 대해 수직으로 체결하기 위한 체결 가이드가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치의 에어 나이프.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 노즐 프레임 내부에서 상기 건조 가스를 수용하기 위한 공간을 형성하는 버퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치의 에어 나이프.
5. 기판이 수용되는 챔버;

   상기 챔버 내부에 구비되어 상기 기판을 수평방향으로 지지하고 이송하는 이송부; 및

   상기 기판으로 건조 가스를 제공하여 상기 기판을 건조시키기 위한 에어 나이프를 포함하고,

   상기 에어 나이프는,

   건조 가스를 공급하는 건조 가스 공급부;

   상기 건조 가스 공급부와 연결되고, 상기 기판에 대해 수직하게 지지되는 노즐 프레임; 및

   상기 노즐 프레임 내부에 형성되어 상기 기판에 대해 경사지게 건조 가스를 제공하는 분사노즐을 포함하는 기판 건조 장치.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 에어 나이프를 상기 기판에 대해 수직 방향으로 체결시키기 위한 체결 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
7. 제 5 항에 있어서, 상기 에어 나이프는 상기 기판을 대칭으로 상기 기판의 상부와 하부에 서로 대응되게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
8. 제 5 항에 있어서, 상기 분사노즐은, 상기 분사노즐에서 토출되는 건조 가스가 상기 기판과 60ㅀ 각도를 이루도록 형성된 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
9. 제 5 항에 있어서, 상기 노즐 프레임은 상기 기판의 일 방향 길이보다 적어도 같거나 큰 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.

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