JP2006179789A - ウエット処理装置およびウエット処理方法 - Google Patents
ウエット処理装置およびウエット処理方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 基板1を傾斜姿勢で保持し、処理液を基板1の被処理面10上で流下させながらウエット処理するウエット処理装置において、水平面に対し垂直または傾斜した受け面31で前記基板1の上端縁11と当接する受け部材3と、この受け部材3の受け面31に処理液を供給する供給手段4とを備え、供給手段4により供給した処理液を受け面31に沿って流下させ、この処理液を受け面31に当接させた基板1の上端縁11の端面へと導き、この端面を越流させた処理液を基板1の被処理面10へ供給してウエット処理することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
1 基板
10 被処理面
11 上端縁
111 上端縁の端面
12 下端縁
2 搬送手段
21 第一コンベヤ
22 第二コンベヤ
3 受け部材
31 受け面
32 枠体
4 供給手段
41 貯留槽
42 堰堤部
43 第二貯留槽
44 第二堰堤部
Claims (6)
- 基板を水平面に対し傾斜した姿勢で保持し、該基板の被処理面に供給される処理液を被処理面に沿って流下させながらウエット処理するウエット処理装置において、
水平面に対し垂直または傾斜した受け面を有し、該受け面で前記基板の上端縁と当接する受け部材と、
該受け部材の受け面に前記処理液を供給する供給手段と、
を備え、
前記供給手段により供給した処理液を前記受け部材の受け面に沿って流下させ、該処理液を該受け面に当接させた前記基板の上端縁の端面へと導き、該端面を越流させた処理液を該基板の被処理面へ供給してウエット処理することを特徴とするウエット処理装置。 - 前記受け部材が、枠体に張架された柔軟性シート材から成り、
該受け部材の受け面が、前記基板の上端縁と当接したとき該基板の上端縁に倣って変形し得ることを特徴とする請求項1に記載のウエット処理装置。 - 前記供給手段が、
前記受け部材の上方に設けられ、処理液を貯留する貯留槽と、
該貯留槽の開口部に、前記受け部材の全幅にわたって水平に設けられた堰堤部と、
を備えており、
前記貯留槽へ処理液を供給して前記堰堤部を溢流させた処理液を前記受け部材の受け面へ供給することを特徴とする請求項1または2に記載のウエット処理装置。 - 基板を搬入および搬出可能な搬送手段を備えてなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のウエット処理装置。
- 前記搬送手段が水平面に対し傾斜した姿勢の基板を該基板の幅方向へ搬送可能であり、
該搬送手段が、
前記基板の下端縁を支える第一コンベヤと、
該基板の裏面を支え、該基板に向かって進退移動可能な第二コンベヤと、
から構成されており、
前記第二コンベヤを前記基板の裏面を支えた状態で後退させ、該基板を傾倒させることによって、該基板の上端縁を前記受け部材の受け面に当接させることを特徴とする請求項4に記載のウエット処理装置。 - 基板を水平面に対し傾斜した姿勢で保持し、該基板の被処理面に供給された処理液を被処理面に沿って流下させながらウエット処理するウエット処理方法において、
処理液を受け部材の受け面に沿って流下させ、
次いで、該処理液を該受け面に当接させた前記基板の上端縁の端面へと導き、
該端面を越流させた処理液を該基板の被処理面へ供給することを特徴とするウエット処理方法。
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