KR100795904B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

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KR100795904B1
KR100795904B1 KR1020070012540A KR20070012540A KR100795904B1 KR 100795904 B1 KR100795904 B1 KR 100795904B1 KR 1020070012540 A KR1020070012540 A KR 1020070012540A KR 20070012540 A KR20070012540 A KR 20070012540A KR 100795904 B1 KR100795904 B1 KR 100795904B1
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최용구
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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 제조용 기판을 이송하는 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 기판을 이동시키는 복수의 이송 샤프트들, 공정시 기판의 양측면을 지지하는 사이드 롤러들, 그리고 사이드 롤러들을 지지하는 롤러 지지부를 포함하되, 상기 롤러 지지부는 공정시 상기 샤프트들에 의해 이동되는 기판의 높이보다 높은 위치에서 상기 사이드 롤러들을 지지한다. 본 발명은 종래에 사이드 롤러들을 기판의 높이보다 낮은 위치에서 지지하는 방식에 비해, 사이드 롤러를 지지하기 위한 지지축의 구비가 필요 없어 기판 이송 장치의 제작 비용을 절감하고, 작업자의 유지 보수가 용이하다.
평판 디스플레이, 글라스, 기판, 이송, 롤러, 사이드 롤러,

Description

기판 이송 장치{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS}
도 1은 종래기술의 기판 이송 장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송 장치가 구비된 기판 처리 설비를 보여주는 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 기판 측면 지지부재를 보여주는 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 기판 측면 지지부재의 정면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 A-A'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 6은 도 3에 도시된 A영역의 확대도이다.
도 7은 도 6에 도시된 B-B'선을 따라 절단한 단면도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호 설명*
10 : 기판 처리 설비
100 : 기판 이송 장치
110 : 사이드 롤러
120 : 고정 프레임
130 : 고정부재
140 : 지지판
본 발명은 기판을 이송하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판 디스플레이 제조용 유리 기판을 이송하는 장치에 관한 것이다.
기판 처리 설비는 반도체 제조용 웨이퍼 및 평판 디스플레이 제조용 유리 기판 등의 기판을 처리하는 설비이다. 이 중 평판 디스플레이 제조용 유리기판을 처리하는 설비는 일련의 공정을 수행하는 처리베스들 및 처리베스들을 따라 기판을 이송시키는 기판 이송 장치를 구비한다. 도 1을 참조하면, 일반적인 기판 이송 장치는 복수의 이송 샤프트들(9)과 기판 측면 지지부재(1)를 포함한다. 이송 샤프트들(9)은 기판의 이동방향과 수직하는 방향으로 평행하게 배치된다. 이송 샤프트들(9)은 공정시 기판이 각각의 처리베스들을 순차적으로 이동하도록 제공된다.
기판 측면 지지부재(1)는 기판의 양측면을 지지하여 기판이 이동경로를 벗어나는 것을 방지한다. 기판 측면 지지부재(1)는 사이드 롤러(side roller)(2) 및 롤러 지지부(roller support member)를 포함한다. 사이드 롤러(2)는 공정시 기판(s)의 측면을 따라 일렬로 배치된다. 사이드 롤러(2)는 공정시 기판(s)의 측면과 접촉되면 회전되도록 설치된다. 롤러 지지부는 사이드 롤러(2)를 지지한다. 롤러 지지부는 고정프레임(4), 고정부재(6), 그리고 지지축(support shaft)(8)을 포함한다. 고정프레임(4)은 이송 샤프트들(9)을 지지하도록 이송 샤프트들(9)의 양측에 제공된다. 고정부재(6)는 일단이 고정프레임(4)에 결합되고, 타단에서 지지판(8a)과 결 합된다. 지지축(8)은 지지판(8a)의 상부에 일렬로 배치된다. 지지축(8)은 지지판(8a)에 고정설치되어 사이드 롤러(2)를 회전가능하도록 지지한다. 지지축(8)에는 사이드 롤러(2)의 중앙에 형성된 홀에 삽입되는 삽입부가 제공된다. 기판 측면 지지부재의 제조 및 유지 보수시 작업자는 사이드 롤러(2)에 형성된 홀에 지지축(8)의 삽입부에 끼운 후 사이드 롤러(2)가 이탈되지 않도록 볼트로 고정시키거나 기타 다른 고정수단으로 사이드 롤러(2)를 지지축(8)에 고정시킨다.
그러나, 상술한 구조를 가지는 기판 측면 지지부재(1)는 사이드 롤러(2) 또는 지지축(8)에 이상 발생시 작업자의 유지 보수가 용이하지 않았다. 즉, 각각의 사이드 롤러들(2)과 지지축(8), 지지판(8a)과 지지축들(8)이 서로 볼트 체결방식 등으로 체결되는 구조이므로, 작업자는 사이드 롤러(2)의 손상 및 교체 등을 위한 유지 보수시 각각의 사이드 롤러(2)와 지지축(8), 그리고 지지판(8a)의 볼트 결합을 일일이 해체시킨 후 유지 보수 후 다시 이들을 결합시켜야 하므로, 작업자의 부담이 컸다. 또한, 이러한 유지 보수 작업이 수행되는 동안에는 설비의 가동이 중지되므로 유비 보수 시간의 증가로 인해 가동률이 저하된다.
또한, 상술한 기판 측면 지지부재는 사이드 롤러들(2)의 개수만큼의 지지축들(8)이 구비되어야 한다. 그러나, 일반적인 기판 처리 설비에는 사이드 롤러들(2)이 1500개 이상이 소모되고 있으므로, 사이드 롤러들(2)을 지지하는 지지축들(8)의 개수 증가로 인한 기판 이송 장치의 제작 비용이 증가한다. 특히, 지지축들(8)은 작업자가 별도로 가공하여 제작하여야 하는 가공품이므로, 이러한 지지축들(8)의 제조에 상당한 비용 및 시간이 소모된다.
상술한 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 작업자의 유지 보수가 용이하여 설비 가동률을 향상시키는 기판 이송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 제작 비용을 절감하는 기판 이송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 기판을 이동시키는 이송 샤프트들, 기판의 이송시 기판의 측면을 지지하는 사이드 롤러, 그리고 상기 사이드 롤러를 회전가능하도록 지지하는 롤러 지지부를 포함하되, 상기 롤러 지지부는 공정시 상기 이송 샤프트들에 의해 이동되는 기판의 높이보다 높은 위치에서 상기 사이드 롤러를 지지하는 지지판을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 사이드 롤러는 복수개가 상기 지지판을 따라 일렬로 배치된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 롤러 지지부는 상기 이송 샤프트들의 양측에서 상기 이송 샤프트들을 지지하는 고정 프레임 및 일측에서 상기 고정 프레임과 체결되고, 타측에서 상기 지지판과 체결되는 고정부재를 더 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 고정부재는 상기 고정 프레임의 외측면 일부를 감싸도록 형상지어지는 제1 브라켓 및 일단이 상기 제1 브라켓에 결합되고 타단이 상기 지지판과 결합되는 제2 브라켓을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 롤러 지지부는 상기 사이드 롤러의 중앙에 형성되는 관통홀에 삽입되어 상기 사이드 롤러가 회전가능하도록 상기 사이드 롤러와 체결되는 고정핀이 제공된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 롤러 지지부는 상기 고정 프레임과 상기 제1 브라켓의 결합을 위한 결합부재 및 상기 제1 브라켓과 상기 제2 브라켓의 체결을 위한 체결부재를 더 포함한다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해지도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달되도록 하기 위해 제공되는 것이다. 또한, 본 실시예에서는 평판 디스플레이 제조용 유리 기판을 습식으로 처리하는 설비에 제공되는 기판 이송 장치를 예로 들어 설명하였으나, 본 발명은 평판 디스플레이 제조용 기판을 이송하는 모든 기판 이송 장치에 적용이 가능하다.
(실시예)
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송 장치가 구비된 기판 처리 설비를 보여주는 도면이고, 도 3은 도 2에 도시된 기판 측면 지지부재를 보여주는 사시도이다. 그리고, 도 4는 도 3에 도시된 기판 측면 지지부재의 정면도이고, 도 5는 도 3에 도시된 A-A'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 기판 처리 설비(substrate treating facility)(10)는 복수의 처리베스들(treating bath)(20) 및 기판 이송 장치(100)를 포함한다. 각각의 처리베스(20)는 기판(s)을 처리하는 공정을 수행하고, 기판 이송 장치(100)는 공정시 기판(s)이 처리베스들(20)을 순차적으로 이동하도록 한다. 여기서, 기판(s)은 평판 디스플레이 제조용 유리기판(glass)이다.
처리베스들(20) 각각은 하우징(housing)(22), 처리액 분사부재(treating-liquid injection member)(24)을 포함한다. 하우징(22)는 내부에 처리액을 사용하여 기판(s)을 처리하는 공간을 제공한다. 하우징(22)의 일측에는 기판(s)의 출입이 이루어지는 기판 출입구(22a)가 제공된다. 기판 출입구(22a)는 각각의 하우징(22)이 인접하는 부분에 제공된다. 기판 출입구(22a)는 각각의 하우징(22) 상호간에 기판(s)이 이동되는 통로로 사용된다.
처리액 분사부재(24)는 공정시 기판 이송 장치(100)에 의해 이동되는 기판(s)을 향해 처리액을 공급한다. 상기 처리액으로는 기판(s) 표면에 잔류하는 이물질을 제거하기 위한 세정액 및 식각액, 그리고 기판(s)을 현상하기 위한 현상액 등이 사용된다. 처리액 분사부재(24)는 기판(s)의 상부면으로 처리액을 공급하는 제1 분사부재(24a) 및 기판(s)의 하부면으로 약액을 공급하는 제2 분사부재(24b)를 포함한다. 제1 분사부재(24a) 및 제2 분사부재(24b)로는 약액나이프(chemical knife)가 사용될 수 있다.
계속해서, 본 발명에 따른 기판 이송 장치(100)의 구성에 대해 상세히 설명한다. 도 3 내지 도 5를 참조하면, 기판 이송 장치(100)는 복수의 이송 샤프트들(transfer shafts)(102) 및 기판 측면 지지부재(member for sporting side of substrate)를 포함한다. 이송 샤프트들(102)은 공정시 처리베스(20) 내부에서 기판(s)을 이송시킨다. 이송 샤프트(102)는 롤러(102a)가 균등한 간격으로 구비되는 회전축(rotating shaft)(102a)을 가진다. 회전축들(102b)은 기판(s)이 이동방향과 수직하는 방향으로 평행하게 배치된다. 또한, 회전축들(102b)은 동일한 높이로 제공되며, 서로 일정한 간격이 이격되어 배치된다. 공정시 기판(s)은 회전축(102b)에 구비되는 롤러들(102a)의 상부에 놓여져, 회전축(102b)의 회전에 의해 하우징(22) 내부에서 이동된다.
기판 측면 지지부재는 공정시 기판(s)의 측면을 지지한다. 기판 측면 지지부재는 사이드 롤러(side roller)(110) 및 롤러 지지부(roller support member)를 가진다. 사이드 롤러(110)는 기판(s)의 이동시 기판(s)의 측면을 지지한다. 사이드 롤러(110)는 대체로 원통형상의 몸체를 가진다. 사이드 롤러(110)는 회전가능하도록 설치된다. 사이드 롤러(110)의 측면은 공정시 기판(s)의 측면과 접촉되어 기판(s)이 이동경로를 벗어나는 것을 방지한다. 사이드 롤러(110)는 볼 베어링(ball bearing)의 구조를 가진다.
롤러 지지부는 사이드 롤러(110)들을 지지한다. 롤러 지지부는 고정 프레임(support frame)(120), 고정부재(fixing member)(130), 그리고 지지판(support plate)(140)을 포함한다. 고정 프레임(120)은 이송 샤프트들(102)을 지지한다. 또한, 고정 프레임(120)은 고정부재(130)가 설치되기 위한 지지체로 사용된다. 고정 프레임(120)은 이송 샤프트들(102)의 양측을 지지한다. 고정 프레임(120)에는 이송 샤프트들(102)의 끝단이 삽입되는 베어링(bearing)이 설치되기 위한 홈이 형성된 다.
고정부재(130)는 지지판(140)을 지지한다. 고정부재(130)는 제1 브라켓(first bracket)(132) 및 제2 브라켓(second bracket)(134)을 포함한다. 제1 브라켓(132)은 고정 프레임(120)의 외측면 일부를 감싸도록 설치된다. 예컨대, 제 3에 도시된 바와 같이, 제1 브라켓(132)은 제1 브라켓(132)의 길이방향과 수직하는 단면이 'ㄱ'자 형상인 바(bar) 형상을 가진다. 제1 브라켓(132)은 고정 프레임(120)의 외부면에 놓여져 고정 설치된다. 고정 프레임(120)과 제1 브라켓(132)의 결합을 위해 결합부재(132a)가 제공된다. 결합부재(132a)로는 고정볼트(fixing bolt)가 사용될 수 있다. 제2 브라켓(134)은 지지판(140)을 지지한다. 제2 브라켓(134)의 일단은 제1 브라켓(132)에 결합되고, 제2 브라켓(134)의 타단은 지지판(140)에 결합된다. 제2 브라켓(134)은 두 개가 하나의 지지판(140)을 지지한다. 즉, 제2 브라켓(134)은 지지판(140)의 양단에 하나씩 제공되어 지지판(140)을 지지한다. 이때, 제2 브라켓(134)의 타단과 지지판(140)은 서로 탈착가능하도록 체결된다. 이를 위해, 제2 브라켓(134)의 타단에는 체결부재(134a)가 제공된다. 체결부재(134a)로는 체결볼트가 사용될 수 있다. 본 실시예에서는 고정 프레임(120)과 제1 브라켓(132), 그리고 제2 브라켓(134)과 지지판(140)이 볼트 결합으로 고정되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 고정 프레임(120)과 제1 브라켓(132), 그리고 제2 브라켓(134)과 지지판(140)의 결합은 다양한 방식으로 이루어질 수 있다.
지지판(140)은 복수의 사이드 롤러들(110)을 지지한다. 지지판(140)은 대체로 긴 판(plate) 형상을 가진다. 지지판(140)는 일정한 단위개수만큼의 사이드 롤 러들(110)을 기판(s)의 이동방향으로 지지한다. 예컨대, 하나의 지지판(140)은 네 개의 사이들 롤러(110)들을 일렬로 지지한다. 지지판(140)에는 사이드 롤러(110)를 회전가능하도록 지지시키는 고정핀(fixing pin)(142)이 구비된다. 사이드 롤러(110)의 중앙에는 고정핀(142)이 삽입되기 위한 관통홀이 형성되며, 고정핀(142)은 지지판(140)에 형성된 홀에 삽입되고 사이드 롤러(110)의 중앙에 형성된 관통홀에 삽입되어 사이드 롤러(110)를 고정시킨다.
여기서, 지지판(140)은 이송 샤프트들(102)에 의해 이송되는 기판(s)의 높이보다 높은 위치에서 사이드 롤러(110)를 지지한다. 즉, 지지판(140)은 사이드 롤러들(110)의 상부에 배치되어 사이드 롤러들(110)이 지지판(140)의 아래에서 회전가능하도록 지지한다. 이는 사이드 롤러들(110)을 별도의 지지축(8)의 구비없이 지지하기 위한 것이다. 만약, 지지축(8)이 없이 지지판(140)이 직접 사이드 롤러(110)의 하부에서 사이드 롤러들(110)을 지지하면, 지지판(140)과 이송 샤프트들(102)의 설치높이가 동일 및 유사하여 지지판(140)과 이송 샤프트들(102)이 서로 충돌하게 된다. 따라서, 지지판(140)은 이송 샤프트들(102)의 설치 높이 보다 높은 위치(또는, 공정시 기판(s)의 높이보다 높은 위치)에서 사이드 롤러들(110)을 지지한다.
지지판(140)은 제2 브라켓(134) 상에서 위치가 조정될 수 있도록 제공된다. 예컨대, 도 6 및 도 7을 참조하면, 제2 브라켓(134)의 양단에는 제1 장공(134')이 형성된다. 제1 장공(frist long hole)(134')은 지지판(140)의 길이방향과 수직하는 방향으로 길게 형상지어진다. 제2 브라켓(134)과 결합되는 지지판(140)의 양단에는 제2 장공(second long hole)(142')이 형성된다. 제2 장공(142')은 지지판(140)의 길이방향(제1 장공(134')과 수직하는 방향)으로 형상지어진다. 그리고, 제2 브라켓(134)과 지지판(140)은 볼트결합방식으로 고정된다. 즉, 작업자는 제1 장공(134')과 제2 장공(142')를 관통하도록 볼트(134a)를 삽입시킨 후 너트(134c)로 고정시킨다. 이때, 효율적인 체결을 위해 와셔(washer)(134b)가 제공된다. 상술한 구조를 가지는 롤러 지지부는 복수의 사이드 롤러들(110)을 지지하는 지지판(140)의 양단을 제2 브라켓(134) 상에서 조정하여 작업자가 복수의 사이드 롤러들(110)의 위치를 한번에 조정할 수 있다. 본 실시예에서는 제2 브라켓(134)과 지지판(140) 각각에 장공을 형성시켜 지지판(140)의 위치가 조정함으로써 지지판(140)에 설치되는 사이드 롤러들(110)의 위치를 정렬하는 방식을 것을 예로 들어 설명하였으나, 사이드 롤러(110)를 정렬시키는 방식은 다양하게 변경될 수 있다.
또한, 본 실시예에서는 지지판(140)이 복수의 사이드 롤러들(110)을 일렬로 지지하는 것을 예로 들어 설명하였으나, 사이드 롤러(110)를 지지하는 방식은 다양하게 응용될 수 있다. 예컨대, 사이드 롤러(110)는 제2 브라켓(134)에 의해 하나씩 지지될 수 있다. 이 경우 지지판(140)은 구비되지 않으며, 제2 브라켓(134)의 일단은 제1 브라켓(132)에 결합되고, 제2 브라켓(134)의 타단은 사이드 롤러(110)를 상부로 연장되어 사이드 롤러(110)를 상부에서 지지한다. 그러나, 제2 브라켓(134)이 직접 사이드 롤러(110)를 지지하는 경우에는 기판 측면 지지부재의 유지 보수시 작업자가 각각의 사이드 롤러(110)의 위치를 일일이 조정하여야 하므로, 작업자의 부담이 클 수 있다. 따라서, 지지판(140)을 구비하여 유지 보수시 지지판(140)의 위치를 조정함으로써, 다수의 사이드 롤러들(110)을 한번에 조정할 수 있는 구조가 바람직할 것이다.
상술한 기판 측면 지지부재는 기판(s)의 측면을 지지하는 사이드 롤러들(110)을 사이드 롤러(110)의 상부에서 지지한다. 이러한 구조의 기판 측면 지지부재는 종래의 사이드 롤러(110)의 하부에서 사이드 롤러(110)를 지지하는 방식에 비해, 지지축(8)이 구비되지 않아 작업자의 유지 보수 효율을 향상시킨다. 또한, 본 발명은 종래의 기판 이송 장치에 비해 지지축(8)이 구비되지 않으므로 기판 측면 지지부재의 구조를 단순화시킬 수 있어 기판 이송 장치(100)의 제작 비용을 절감할 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한, 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 사이드 롤러와 출결합 되어 사이드 롤러를 지지하는 지지축의 구비가 요구되지 않으므로, 작업자가 사이드 롤러의 수리 및 교체를 위한 유지 보수를 용이하게 수행할 수 있어 설비 가동률을 향상시키고, 장치의 제작 비용을 절감한다.

Claims (6)

  1. 평판 디스플레이 제조용 기판을 이송하는 장치에 있어서,
    기판을 이동시키는 이송 샤프트들과,
    기판의 이송시 기판의 측면을 지지하는 사이드 롤러와,
    상기 사이드 롤러를 회전가능하도록 지지하는 롤러 지지부를 포함하되,
    상기 롤러 지지부는,
    공정시 상기 이송 샤프트들에 의해 이동되는 기판의 높이보다 높은 위치에서 상기 사이드 롤러를 지지하는 지지판을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 사이드 롤러는,
    복수개가 상기 지지판을 따라 일렬로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 롤러 지지부는,
    상기 이송 샤프트들의 양측에서 상기 이송 샤프트들을 지지하는 고정 프레임과,
    일측에서 상기 고정 프레임과 체결되고, 타측에서 상기 지지판과 체결되는 고정부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 고정부재는,
    상기 고정 프레임의 외측면 일부를 감싸도록 형상지어지는 제1 브라켓과,
    일단이 상기 제1 브라켓에 결합되고, 타단이 상기 지지판과 결합되는 제2 브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 롤러 지지부는,
    상기 사이드 롤러의 중앙에 형성되는 관통홀에 삽입되어 상기 사이드 롤러가 회전가능하도록 상기 사이드 롤러와 체결되는 고정핀이 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 롤러 지지부는,
    상기 고정 프레임과 상기 제1 브라켓의 결합을 위한 결합부재 및 상기 제1 브라켓과 상기 제2 브라켓의 체결을 위한 체결부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100902615B1 (ko) 2007-09-27 2009-06-11 세메스 주식회사 기판 지지유닛 및 이를 갖는 기판 처리 장치
KR101121200B1 (ko) * 2009-11-30 2012-03-22 세메스 주식회사 기판 이송 장치
KR20130053848A (ko) * 2011-11-16 2013-05-24 주식회사 케이씨텍 대면적 기판의 이송장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05277456A (ja) * 1992-03-31 1993-10-26 Hitachi Ltd 液処理装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05277456A (ja) * 1992-03-31 1993-10-26 Hitachi Ltd 液処理装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100902615B1 (ko) 2007-09-27 2009-06-11 세메스 주식회사 기판 지지유닛 및 이를 갖는 기판 처리 장치
KR101121200B1 (ko) * 2009-11-30 2012-03-22 세메스 주식회사 기판 이송 장치
KR20130053848A (ko) * 2011-11-16 2013-05-24 주식회사 케이씨텍 대면적 기판의 이송장치

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