KR100484061B1 - 기판처리장치 - Google Patents

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KR100484061B1
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다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 장치구성을 복잡하게 하지 않고 처리유닛을 장방형 방향이 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 대해 평면상에서 볼 때 경사지게 하도록 배치하는 것을 포함하여 자유자재로 배치할 수 있는 장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것으로서, 기판(W)을 지지하면서 반송하는 반송롤러 그룹의 처리유닛(34)이 배치되는 처리구역(A)의 반송롤러(22)의 지지롤러부(26) 직경 치수를 처리구역 이외의 반송롤러(10)의 지지롤러부(14)의 직경 치수보다도 크게 하였다.

Description

기판처리장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 반도체 웨이퍼, FPD용 유리 기판, 프린트 기판 등의 기판을 그 반송로에 따라 배열된 복수개의 반송롤러에 의해 수평 자세 또는 경사 자세로 지지하는 상태에서 반송하면서, 세정액 등의 처리액이나 건조용, 제전용(除電用) 등의 처리기체를 기판의 주면에 공급하여 처리하기도 하고, 롤 형상이나 디스크 형상의 브러시를 기판의 주면에 당접시켜 처리하기도 하는 기판처리장치에 관한 것이다.
이 종류의 기판처리장치는 기판을 수평 자세 또는 경사 자세에서 지지하면서 반송하기 때문에, 예컨대 도 10에 일부를 평면도로 나타내고 도 11에 도10의 XI-XI화살표에서 본 단면도를 나타낸 바와 같은 반송기구를 구비하고 있다. 이 반송기구는 복수개의 반송롤러(1)를 서로 평행하게 또 기판(W)의 폭 방향으로 배치하여 기판(W)의 반송방향에 따라 병렬시키도록 설치하는 것으로 구성되어 있다. 반송롤러(1)는 회전이 자유롭게 지지된 회전축(2)에 기판(W)의 하면에 당접하여 기판(W)을 지지하는 지지롤러부(3)를 고착한 구성을 가진다. 지지롤러부(3)는 상세한 구조를 도시하고 있지 않지만, 기판(W)의 측변에 당접하여 기판(W)이 폭방향으로 이동하는 것을 규제하는 턱부가 형성된 단부롤러 등으로 형성할 수 있다. 또, 지지롤러부(3)는 도시예에서는 회전축(2)의 양단부에 한쌍만 고착되어 있지만, 회전축(2)에 3개 이상, 간격을 설치하여 고착하도록 해도 된다. 복수개의 반송롤러(1) 중의 일부는 그 회전축(2)에 모터(4)의 회전축이 연결되어 구동롤러로 되고, 그 구동롤러로 되는 반송롤러(1)과 피동롤러로 되는 다른 반송롤러(1)와는 각각의 회전축(2)에 고착된 풀리(5) 및 벨트(6)를 통해 동력적으로 연결되어 있다.
이와 같은 반송기구를 구비한 종래의 기판처리장치에 있어서, 기판(W)의 하면으로 세정액, 현상액, 애칭액, 박리액 등의 처리액이나 건조용, 제전용(除電用) 등의 처리기체를 공급하여 처리하는 각종 노즐, 기판의 하면에 당접하여 처리하는 롤 형상이나 디스크 형상의 브러시 등의 처리 유닛, 예컨대 샤워 노즐(7)은 도 11에 나타내는 바와 같이, 반송롤러(1)의 하방으로 배치된다. 이 때문에, 샤워 노즐(7)로부터 기판(W)의 하면을 향해 처리액을 분출시킨 때에, 반송롤러(1)의 회전축(2)이나 지지롤러부(3)에 부분적으로 차단되어, 기판(W)의 하면전체에 걸쳐 균일하게 처리액이 도달하지 않는다는 문제점이 있다. 또, 기판(W)의 하면에 근접해 처리유닛, 예컨대 물차단용 에어나이프 또는 브러시를 설치하는 경우, 그것들은 반송롤러(1)의 회전축(2) 사이에 배치되게 된다. 이와 같이, 처리유닛을 배치하는 공간이 한정되기 때문에, 기판(W)을 효율좋게 처리할 수 있도록 처리유닛을 배치할 수 없다는 문제점이 있다. 특히, 장척형상의 노즐이나 롤 형상의 브러시 등을 기판(W)의 반송방향과 직교하는 방향에 대해 평면상에서 볼 때 경사지게 하도록 배치하는 것은 거의 불가능하였다. 또, 반송롤러의 회전축이 방해가 되어 처리유닛의 유지작업을 하기 어렵다는 문제점도 있다.
또, 기판을 안정하게 반송할 수 있도록 하기 위하여, 각각의 반송롤러의 상방에 그것과 대향하도록 압축롤러를 배치하고, 그 압축롤러의 압축롤러부와 반송롤러의 지지롤러부로 기판을 상,하 양면측으로부터 끼우도록 하면서, 기판을 반송하는 반송기구를 구비하는 것이 있다. 이와 같은 반송기구를 구비한 기판처리장치에 있어서도, 기판의 상면측에 처리유닛을 설치하도록 하면 상기와 같은 문제점을 발생시킨다.
이상과 같은 문제점을 해결하기 위한 제안이, 예컨대 일본국 실용공개공보 평6-59794호에 나타나 있다. 동호 공보에 개시된 기판처리장치는 도 12에 반송기구의 계략구성의 일부를 평면도로 나타낸 바와 같이, 복수개의 반송롤러(1) 중 처리유닛이 배치되는 구역의 반송롤러를 단척의 회전축(2a,2b)의 단부에 지지롤러부(3a,3b)를 고착한 좌우 한쌍의 반송롤러(1a,1b)로 구성하고, 각 구성롤러(1a,1b)의 회전축(2a,2b)의 편지식(片持式)으로 회전이 자유롭게 지지한 반송기구를 구비하고 있다. 그리고, 회전축(2)에 모터(4)의 회전축이 연결되어 구동롤러로 되는 반송롤러(1)와 피동롤러로 되는 좌우 한쌍의 반송롤러(1a,1b)와는, 각각의 회전축(2;2a,2b)에 고착된 풀리(5;5a,5b) 및 벨트(6a,6b)를 통하여 동력적으로 연결되어 있다. 또, 반송롤러의 상방에 압축롤러를 배치하는 경우에는, 도시하고 있지 않지만 마찬가지로, 처리유닛이 배치되는 구역의 압축롤러를 단척의 회전축의 단부에 압축롤러부를 고착한 좌우 한쌍의 압축롤러로 구성하고, 각 압축롤러의 회전축을 편지식으로 지지하도록 한다. 이와 같은 구성으로 함으로써, 기판의 하면측에(압축롤러를 설치하는 경우에는 상면측에도) 처리유닛을 배치하기 위한 공간을 확보하여, 장축형상 노즐이나 롤 형상 브러시 등을 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 대해 평면상에서 볼 때 경사지게 하도록 배치하는 것도 가능하게 하고 있다.
또, 기판을 수평면에 대해 경사지게 하여 반송하면서 처리하는 경우에는, 도 13에 나타낸 바와 같이, 기판(W)의 양단부를 수평면에 대해 경사진 자세로 편지식으로 회전이 자유롭게 지지된 회전축(8a)의 단부에 지지롤러부(8b)를 고착한 좌우 한쌍의 반송롤러(8)에 의해 지지함과 동시에, 기판(W)의 하방측에 되어 있는 단변을 축선방향이 반송롤러(8)의 회전축(8a)와 직교하도록 배치되어 회전이 자유롭게 지지된 사이드 롤러(9)에 의해 지지하면서, 기판을 반송하는 반송기구가 이용된다.
그러나, 도 12 및 도 13에 나타낸 바와 같이, 단부에 지지롤러부(3a,3b;8b)가 고착된 회전축(2a,2b,8a)를 편지식으로 지지한 반송롤러(1a,1b;8)나, 단부에 압축롤러부가 고착된 회전축을 편지식으로 지지한 압축롤러를 가지는 반송기구를 구비한 기판처리장치에서는, 좌우 양측에 배치된 편지상태의 반송롤러의 각각에 구동기구 혹은 동력전달기구를 설치할 필요가 있다. 이 때문에, 장치구성이 복잡하게 되고, 또, 부품점수가 많게 되어 장치 비용이 높게 되기도 하고, 기판의 반송 높이 위치의 조정 등의 작업이 어렵게 되기도 하며, 작업량도 증가하기도 한다는 문제점이 있다.
이 발명은, 이상과 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 장치 구성을 복잡하게 하지 않고, 또, 부품점수가 많게 되어 장치비용이 높게 되거나, 조정작업이 어렵게 되거나, 작업량이 증가하기도 한다는 것도 없이, 처리유닛을 장방형 방향이 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 대해 평면상에서 볼 때 경사지게 하도록 배치하는 것도 포함하여 자유자재로 배치할 수 있는 기판처리장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
청구항 1에 관한 발명은 회전축에 복잡한 지지롤러부를 고착한 반송롤러를 복수개, 서로 평행하게 배치하여 기판의 반송방향에 따라 병렬시킨 반송롤러 그룹에 의해, 기판을 지지하는 상태에서 반송하면서, 처리수단에 의해 기판의 하면을 처리하는 기판처리장치에 있어서, 상기 반송롤러 그룹의 상기 처리수단이 배치되는 구역의 1개 혹은 2개 이상의 반송롤러의 지지롤러부의 직경 치수를 상기 구역 이외의 반송롤러의 지지롤러부의 직경 치수보다도 크게 한 것을 특징으로 한다.
청구항 2에 관한 발명은, 청구항 1에 기재된 기판처리장치에 있어서, 상기 반송롤러 그룹의, 상기 처리수단이 배치되는 구역에 복수개의 반송롤러가 배치되고, 그들 복수개의 반송롤러의 서로 인접하는 것끼리에 있어서 회전축간의 거리가 지지롤러 그룹의 직경 치수보다도 작게 되고, 또, 회전축상에서 지지롤러부의 취부 위치가 서로 겹치지 않도록 어긋나게 하는 것을 특징으로 한다.
청구항 3에 관한 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 기판처리장치에 있어서, 상기 반송롤러의 회전축에 3개 이상의 지지롤러부가 간격을 두고 고착되고, 상기 반송롤러 그룹의 상기 처리수단이 배치되는 구역에 배치된 반송롤러에서, 상기 처리수단과 간섭하는 지지롤러부가 회전축으로부터 제거된 것을 특징으로 한다.
청구항 4에 관한 발명은, 회전축에 복수의 지지롤러부를 고착한 반송롤러를 복수개 서로 평행하게 배치하여 기판의 반송방향에 따라 병렬시킨 반송롤러 그룹에 의해 기판을 지지함과 동시에, 상기 반송롤러의 회전축의 상방에 그 회전축과 대향하도록 배치된 상측 회전축에 복수의 압축롤러부를 고착한 압축롤러를 복수개 서로 평행하게 배치하여 기판의 반송방향에 따라 병렬시킨 압축롤러 그룹에 의해 상기 반송롤러 그룹과 협동하여 기판을 끼운 상태에서 기판을 반송하면서, 처리수단에 의해 기판의 상면을 처리하는 기판처리장치에 있어서, 상기 압축롤러 그룹의 상기 처리수단이 배치되는 구역의 1개 또는 2개 이상의 압축롤러의 압축롤러부의 직경 치수를 상기 구역 이외의 반송롤러의 압축롤러부의 직경치수보다도 크게 한 것을 특징으로 한다.
청구항 5에 관한 발명은, 청구항 4에 기재된 기판처리장치에 있어서, 상기 압축롤러 그룹의 상기 처리수단이 배치되는 구역에 복수개의 압축롤러가 배치되고,그들 복수개의 압축롤러가 서로 인접하는 것끼리에 있어서 상측 회전축간의 거리가 압축롤러부의 직경 치수보다도 작게 되고, 또, 상측 회전축상에서 압축롤러부의 취부 위치가 서로 겹치지 않도록 어긋나 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 6에 관한 발명은, 청구항 1, 청구항 2, 청구항 4, 청구항 5 중 어느 것에 기재된 기판처리장치에 있어서, 상기 처리수단이 기판의 폭방향 전체에 걸쳐 액체 또는 기체를 공급하는 장척형상 노즐이고, 그 장척형상 노즐이 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 대해 평면상에서 볼 때 경사지도록 배치된 것을 특징으로 한다.
청구항 7에 관한 발명은, 청구항 1, 청구항 2, 청구항 4, 청구항 5 중 어느 것에 기재된 기판처리장치에 있어서, 상기 처리수단이 기판의 폭방향 전체에 걸쳐 당접하는 롤 형상 브러시이고, 그 롤 형상 브러시가 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 대해 평면상으로 경사지도록 배치된 것을 특징으로 한다.
청구항 1에 기재된 발명의 기판처리장치에 있어서는, 반송롤러 그룹의 처리수단이 배치되는 구역에서는 반송롤러의 지지롤러부의 직경 치수가 그 구역 이외의 반송롤러의 지지롤러부의 직경 치수보다 크게 이루어져 있음으로써, 반송롤러 그룹에 의해 지지되면서 반송되는 기판의 하면과 반송롤러의 회전축과의 사이의 거리가 크게 된다. 그 때문에, 기판 하면과 반송롤러의 회전축과의 사이에 처리수단을 배치하는데 충분한 공간이 확보되고, 그 공간에 처리수단을 장방형 방향이 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 대해 평면상에서 볼 때 경사지게 하도록 배치하는 것도 가능하다.
청구항 2에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 서로 인접하는 반송롤러의 양회전축간의 거리가 지지롤러부의 직경 치수보다도 작게 이루어져 있음으로써, 복수개의 반송롤러에 의한 기판의 지지간격이 좁게 된다. 이 때문에, 기판의 하면측에 처리수단을 배치함에 충분한 공간을 확보하면서, 기판의 반송방향에 있어서 휘어짐의 발생을 방지할 수 있다. 그리고, 서로 인접하는 반송롤러의 양회전축 상에서 지지롤러부의 취부위치가 서로 겹치지 않도록 어긋나 있으므로, 인접하는 반송롤러의 각각의 지지롤러부끼리가 접촉하지 않는다.
청구항 3에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 반송롤러의 회전축에 3개 이상의 지지롤러부가 간격을 두고 고착되어 있으므로, 반송롤러의 복수의 지지롤러부에 의한 기판의 폭방향(기판의 반송방향과 직교하는 방향)에 있어서 지지간격이 좁게 된다. 또, 반송롤러의 복수의 지지롤러부 중 처리수단과 간섭하는 지지롤러부는 회전축으로부터 제거되어 있으므로, 기판의 폭방향에 있어서 휘어짐의 발생을 방지하면서 기판하면과 반송롤러의 회전축과의 사이의 공간에 처리수단을 배치하는 것이 가능하게 된다.
청구항 4에 관한 발명의 기판처리장치에 있어서는, 압축롤러 그룹의 처리수단이 배치되는 구역에서는 압축롤러의 압축롤러부의 직경 치수가 그 구역 이외의 압축롤러의 압축롤러부의 직경 치수보다 크게 이루어져 있음으로써, 반송롤러 그룹에 의해 지지됨과 동시에 압축롤러 그룹과 반송롤러 그룹과의 협동에 의해 끼워지면서 반송되는 기판의 상면과 압축롤러의 상측 회전축과의 사이의 거리가 크게 된다. 이 때문에, 기판 상면과 압축롤러의 상측 회전축과의 사이에, 처리수단을 배치하는데 충분한 공간이 확보되고, 그 공간에 처리수단을 장방형 방향이 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 대해 평면상에서 볼 때 경사지게 하도록 배치하는 것도 가능하다.
청구항 5에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 서로 인접하는 압축롤러의 양 상측 회전축의 거리가 압축롤러부의 직경 치수보다도 작게 이루어져 있음으로써, 복수개의 압축롤러와 기판과의 기판의 반송방향에서 당접간격을 좁게 하는 것이 가능하게 된다. 이 때문에, 기판의 반송방향에서 휘어짐의 발생을 방지하기 때문에 복수개의 반송롤러에 의한 기판의 지지간격을 좁게한 경우에도 기판의 상면측에 처리수단을 배치하는데 충분한 공간을 확보하면서, 각각의 반송롤러에 대응하여 압축롤러를 배치하는 것이 가능하게 된다. 그리고, 서로 인접하는 압축롤러의 양 상측 회전축 상에서 압축롤러부의 취부위치가 상호 겹치지 않도록 어긋나 있으므로, 인접하는 압축롤러의 각각의 압축롤러부끼리가 접촉하지 않는다.
청구항 6에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판의 폭방향 전체에 걸쳐 액체 또는 기체를 공급하는 장척형상 노즐이 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 대해 평면상에서 볼 때 경사지도록 배치됨으로써, 기판의 처리효과를 높이는 것이 가능하게 된다.
청구항 7에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판의 폭 방향 전체에 걸쳐 당접하는 롤 형상 브러시가 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 대해 평면상에서 볼 때 경사지도록 배치됨으로써 기판의 세정효과를 높이는 것이 가능하게 된다.
[ 발명의 실시형태 ]
이하, 본 발명의 적절한 실시형태에 대해 도 1 내지 도 9를 참조하면서 설명한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시형태의 일례를 나타내고, 도 1은 기판처리장치의 일부의 개략구성을 나타내는 평면도이며, 도 2는 도 1의 II-II 화살표에서 본 단면도이다. 이 기판처리장치에서, 기판(W)은 반송롤러 그룹에 의해 수평 자세 혹은 기판(W)의 폭방향(기판(W)의 반송방향과 직교하는 방향)에 있어서 경사진 자세(도시예의 것은 수평 자세)로 지지되는 상태에서 반송되면서, 처리구역(A)를 통과하는 사이에 하면(下面)이 처리된다.
처리구역(A)의 전,후에는 각각 복수개의 반송롤러(10)가 서로 평행하게, 또 기판(W)의 폭방향에 배치되어 기판(W)의 반송방향에 따라 병렬하도록 설치되어 있다. 반송롤러(10)는 종래장치와 마찬가지로, 회전이 자유롭게 지지된 회전축(12)의 양단부에, 기판(W)의 측단부 하면에 당접하여 기판(W)을 지지하는 한쌍의 지지롤러부(14)를 고착한 구성을 가진다. 또, 지지롤러부(14)를 기판(W)의 측변에 당접하여 기판(W)이 폭방향으로 이동하는 것을 규제하는 턱부가 형성된 단부롤러 등으로 할 수 있다. 또, 지지롤러부(14)는 회전축(12)의 3개소 이상에, 축선방향으로 간격을 두고 복수 고착하도록 하여도 좋다. 복수개의 반송롤러(10) 중의 일부는 그 회전축(12)에 모터(16)의 회전축이 연결되어 구동롤러로 되고, 그 구동롤러로 되는 반송롤러(10)와 피동롤러로 되는 다른 반송롤러(10)와는, 각각의 회전축(12)에 고착된 풀리(18) 및 벨트(20)를 통하여 동력적으로 연결되어 있다.
처리구역(A)에는 회전이 자유롭게 지지된 회전축(24)의 양단부에 고착된 한쌍의 지지롤러부(26)의 직경 치수가 처리구역(A) 이외의 반송롤러(10)의 지지롤러부(14)의 직경 수치보다도 크게 된 대경 반송롤러(22)가 복수개, 도시예에서는 3개, 서로 평행하게 또 반송롤러(10)와 평행하게 배치되어 기판(W)의 반송방향에 따라 병렬이 되도록 배치되어 있다. 대경 반송롤러(22)는 도 2에 나타낸 바와 같이, 그 지지롤러부(26)의 최상위치가 반송롤러(10)의 지지롤러부(14)의 최상위치와 동일 높이로 되도록 지지되고, 복수개의 대경 반송롤러(22)와 복수개의 반송롤러(10)로서 1개의 수평반송면이 형성되도록 이루어져 있다. 또, 대경 반송롤러(22)의 한쌍의 지지롤러부(26)는 기판(W)의 측단부 하면에 당접하여 기판(W)을 지지한다. 또, 대경 반송롤러(22)의 지지롤러부(26)를 기판(W)의 측변에 당접하여 기판(W)이 폭방향으로 이동하는 것을 규제하는 턱부가 형성된 단부롤러 등으로 하여도 좋다. 또, 회전축(24)에 그 축선방향으로 간격을 두어 3개 이상의 지지롤러부(26)를 고착하여 대경 반송롤러(22)를 구성하도록 하여도 좋다. 3개의 대경 반송롤러(22) 중의 1개의 대경 반송롤러(22)는 그 회전축(24)에 모터(28)의 회전축을 연결하여 구동롤러로 된다. 구동롤러로 되는 대경 반송롤러(22) 및 피동롤러로 된 나머지 2개의 대경 반송롤러(22)에는 각각의 회전축(24)에 풀리(30)가 고착되고, 각 풀리(30) 사이에 벨트(32)가 감겨져 있으며, 3개의 대경 반송롤러(22)는 일체적으로 회전구동된다.
상기한 바와 같이, 처리구역(A)에 설치된 대경 반송롤러(22)의 지지롤러부(26)의 직경 치수는 처리구역(A) 이외에 설치된 반송롤러(10)의 지지롤러부(14)의 직경 수치보다 크게 이루어져 있으므로, 처리구역(A)에 있어서는 대경 반송롤러(22)에 의해 지지되면서 반송되는 기판(W)의 하면과 대경 반송롤러(22)의 회전축(24)과의 사이의 거리가 크게 된다. 이 때문에, 기판(W)의 하면과 대경 반송롤러(22)의 회전축(24)과의 사이에 큰 공간이 확보되고, 그 공간에 처리유닛, 예컨대, 기판(W)의 하면으로 세정액, 현상액, 에칭액, 박리액 등의 처리액을 공급하여 처리하는 샤워 노즐이나 나이프형 노즐, 기판(W)의 하면으로 공기를 층상으로 불어 넣어 수분차단이나 건조처리를 행하는 나이프형 노즐, 기판(W)의 하면으로 이온화된 기체를 공급하여 정전기 제거처리를 행하는 이온화 노즐, 기판(W)의 하면에 당접하여 세정처리하는 롤 형상이나 디스크 형상의 브러시 등이 배치된다. 도 2에 나타낸 예에서는, 기판(W)의 하면과 대경 반송롤러(22)의 회전축(24)과의 사이의 공간에 복수의 사워 노즐(34)을 배치하고 있다.
다음에, 도 3에 처리구역의 평면도를 나타낸 기판처리장치에서는, 복수개의 대경 반송롤러의, 서로 인접하는 대경 반송롤러(22a)와 대경 반송롤러(22b)에 있어서, 회전축(24a,24b) 사이의 거리(1)가 지지롤러부(26a,26b)의 직경 치수(D)보다도 작게 되어 있다. 그리고, 서로 인접하는 대경 반송롤러(22a)와 대경 반송롤러(22b)에서 각각의 지지롤러부(26a,26b) 끼리가 접촉하지 않도록 회전축(24a,24b) 상에서 지지롤러부(26a,26b)의 취부 위치가 서로 겹치지 않도록 어긋나 있다.
처리구역의 반송기구를 도 3에 나타낸 바와 같은 구성으로 함으로써, 복수개의 대경 반송롤러(22a,22b)에 의한 기판(W)의 지지간격이 좁게 된다. 이 때문에, 기판(W)의 하면측에 처리유닛을 배치하는데 충분한 공간을 확보하면서 기판(W)의 반송방향에서 휘어짐의 발생을 방지할 수 있다.
도 4 및 도 5에 처리구역의 평면도 및 정면도를 각각 나타낸 기판처리장치에서는, 샤워 노즐이나 나이프형 노즐, 롤 형상 브러시, 이온화 노즐 등의 장척 형상의 처리유닛(36)을 기판(W)의 반송방향과 직교하는 방향에 대해 평면상에서 볼 때 경사지게 하도록 배치하고 있다. 이와 같이, 대경 반송롤러(22)를 이용하여 처리구역의 반송기구를 구성함으로써, 반송롤러에 의한 설치 스페이스 상의 제약을 받지 않고, 처리유닛(36)을 기판(W)의 하면측에 자유자재로 배치할 수 있어 기판(W)의 처리효과를 높이는 것이 가능하다.
도 6은 본 발명의 다른 실시형태를 나타내며, 기판처리장치의 반송롤러 그룹의 일부를 나타내는 평면도이다. 이 장치에서는 처리구역의 전,후에 배치되는 반송롤러(38)가 회전축(40)에 3개 이상, 도시예에서는 5개의 지지롤러부(42)를 등간격으로 고착한 구성을 가진다. 또, 처리구역에 배치되는 대경 반송롤러(44)도 회전축(46)에 반송롤러(38)의 지지롤러부(42)와 동일피치로 지지롤러부(48)를 고착하여 구성되어 있지만, 5개의 지지롤러부(48) 중의 일부의 것이 회전축(46)으로부터 제거되어 있다. 그리고, 대경 반송롤러(44)의 회전축(46)으로부터 일부의 지지롤러부(48)를 제거하여 생기는 공간에 처리유닛(50)을 기판반송 방향과 직교하는 방향에 대해 평면상에서 볼 때 경시지게 하도록 배치하고 있다.
반송롤러 그룹을 도 6에 나타낸 바와 같은 구성으로 하면, 반송롤러(38) 및 대경 반송롤러(44)의 복수의 지지롤러부(42,48)에 의한 기판의 폭방향(기판 반송방향과 직교하는 방향)에 있어서 지지간격이 좁아지므로 기판의 폭방향에 있어서 휘어짐의 발생을 방지할 수 있음과 동시에, 대경 반송롤러(44)의 지지롤러부(48)와 간섭하지 않고 처리유닛(50)을 기판 하면과 대경 반송롤러(44)의 회전축(46)과의 사이의 공간에 배치할 수 있다.
다음에, 도 7 내지 도 9는, 기판을 안정하게 반송할 수 있도록 하기 위해 기판의 상면측에 압축롤러 그룹을 배치한 반송기구를 구비한 기판처리장치의 개략구성을 단면도에 각각 나타낸다.
도 7에 나타낸 기판처리장치에서는 기판(W)의 반송로의 하측에, 도 1 및 도 2에 나타낸 장치와 같은 반송롤러(10) 및 대경 반송롤러(22)와 샤워 노즐(34)(처리유닛)이 배치되어 있다. 그리고, 기판(W)의 반송로의 상측의 처리구역 이외에는, 각 반송롤러(10)와 대향하도록, 상측 회전축(54)에 복수의 압축롤러부(56)가 고착된 압축롤러(52)가 각각 배치되어 있고, 그 압축롤러(52)의 압축롤러부(56)와 반송롤러(10)의 지지롤러부(14)로 기판(W)을 상,하 양면측에서부터 끼우도록 하면서 반송한다. 또, 기판(W)의 반송로의 상측의 처리구역에는, 각 대경 반송롤러(22)와 대향하도록 상측 회전축(60)에 복수의 압축롤러(52)의 압축롤러부(56)의 직경 치수보다 큰 직경 치수를 가지는 압축롤러부(62)가 고착된 대경 압축롤러(58)가 각각 배치되어 있고, 그 대경 압축롤러(58)의 압축롤러부(62)와 대경 반송롤러(22)의 지지롤러부(26)로 기판(W)을 상,하 양면측에서부터 끼우도록 하면서 기판(W)을 반송한다. 또, 처리구역에는, 기판(W)의 상면과 대경 압축롤러(58)의 상측 회전축(60)과의 사이에 샤워 노즐(34)(처리유닛)이 배치된다.
도 7에 나타낸 장치구성으로 함으로써, 대경 반송롤러(22)에 의해 지지되면서 반송되는 기판(W)의 상면과 대경 압축롤러(58)의 상측 회전축(60)과의 사이의 거리가 크게 되고, 기판(W)의 상면과 대경 압축롤러(22)의 상측 회전축(60)과의 사이에 큰 공간이 확보된다. 이 때문에, 기판(W)의 하면측과 마찬가지로, 기판(W)의 상면측에도 처리유닛을 자유자재로 배치할 수 있게 된다.
도 8에 나타낸 기판처리장치는, 기판(W)의 반송로의 하측에 처리유닛을 배치하지 않고, 처리구역에도 통상의 반송롤러(10)를 설치하고, 기판(W)의 반송로의 상측에 도 7에 나타낸 장치와 마찬가지의 압축롤러(52) 및 대경 압축롤러(58)와 샤워 노즐(34)(처리유닛)을 배치한 구성을 구비하고 이다. 이 장치에서는, 처리구역에서 모든 반송롤러(10)에 대응하도록 대경 압축롤러(58)를 설치하는 구성으로는 되어 있지 않다.
도 9에 나타낸 기판처리장치에서도, 도 8에 나타낸 장치와 마찬가지로, 기판(W)의 반송로의 하측에 처리유닛을 배치하지 않고 처리구역에 통상의 반송롤러(10)를 설치하고 있다. 그리고, 기판(W)의 반송로의 상측의 처리구역에 배치되는 복수개의 대경 압축롤러와 서로 인접하는 대경 압축롤러(58a)와 대경 압축롤러(58b)에서 상측 회전축(60a,60b) 사이의 거리가 압축롤러부(62a,62b)의 직경 치수보다도 작게 되어 있다. 또, 서로 인접하는 대경 압축롤러(58a)와 대경 압축롤러(58b)에서, 각각의 압축롤러부(62a,62b)끼리가 접촉하지 않도록 회전축(60a,60b) 상에서 압축롤러부(62a,62b)의 취부위치가 상호 겹치지 않도록 어긋나 있다. 또, 도면에서는 표현되어 있지 않지만, 처리구역에 배치되는 복수개의 반송롤러의 서로 인접하는 반송롤러(10)끼리에 있어서는 각 대경 압축롤러(58a,58b)에 대응하도록 회전축(12) 상에서의 지지롤러부(14)의 취부위치가 상호 겹치지 않도록 어긋나 있다.
도 9에 나타낸 구성에 의하면, 복수개의 대경 압축롤러(58a,58b)와 기판(W)과의 기판 반송방향에 있어서 당접간격을 좁게 하는 것이 가능하게 된다. 이 때문에, 기판(W)의 반송방향에서 휘어짐의 발생을 방지하기 위하여 복수개의 반송롤러(10)에 의한 기판(W)의 지지간격을 좁게한 경우에도, 기판(W)의 상면측에 처리유닛을 배치하는데 충분한 공간을 확보하면서 각각의 반송롤러(10)에 대응하여 대경 압축롤러(58a,58b)를 배치하는 것이 가능하게 된다.
또, 처리구역 내에서도, 처리유닛의 설치나 처리조작에 지장이 없는 부분에는 통상의 반송롤러를 설치하여도 된다. 또, 대경 반송롤러 사이에, 편지식으로 지지된 보조롤러를 배치하도록 하여도 좋다. 또, 기판을 그 폭방향에 있어서 경사지게 한 자세로 지지하면서 반송하도록 한 경우에는, 기판의 측변에 당접하여 지지하는 사이드 롤러를 배치할 수도 있다.
청구항 1에 관한 발명의 기판처리장치를 사용하면, 기판의 하면측에 처리유닛을 장방형 방형이 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 대해 평면상에서 볼 때 경사지게 하도록 배치하는 것도 포함하여 자유자재로 배치할 수 있고, 장치구성을 복잡하게 하지 않으며, 또, 부품 점수가 많게 되어 장치비용이 높게 되기도 하고 조정작업이 어렵게 되기도 하고 작업량이 증가하기도 한다는 것이 없다.
청구항 2에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판의 하면측에 처리수단을 배치하는데 충분한 공간을 확보하면서, 기판의 반송방향에서 휘어짐의 발생을 방지할 수 있다.
청구항 3에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판의 폭방향에서 휘어짐의 발생을 방지하면서, 기판 하면과 반송롤러의 회전축과의 사이의 공간에 처리수단을 배치할 수 있다.
청구항 4에 관한 발명의 기판처리장치를 사용하면, 기판의 하면측에 처리유닛을 장방형 방향이 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 대해 평면상에서 볼 때 경사지게 하도록 배치하는 것도 포함하여 자유자재로 배치할 수 있고, 장치구성을 복잡하게 하지도 않고, 또, 부품점수가 많게 되어 장치비용이 높게 되거나 조정작업이 어렵게 되거나 작업량이 증가하기도 한다는 것도 없다.
청구항 5에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판의 반송방향에 있어서 휘어짐의 발생을 방지하기 위하여 복수개의 반송롤러에 의한 기판의 지지간격을 좁게 한 경우에도, 기판의 상면측에 처리수단을 배치하는데 충분한 공간을 확보하면서, 각각의 반송롤러에 대응하여 압축롤러를 배치할 수 있다.
청구항 6에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판의 처리효과를 높일 수 있다.
청구항 7에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판의 세정효과를 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태의 일례를 나타내며, 기판처리장치 일부의 개략구성을 나타내는 평면도,
도 2는 도 1의 II-II 화살표에서 본 단면도,
도 3은 본 발명의 다른 실시형태를 나타내며, 기판처리장치의 처리구역에서의 반송기구의 평면도,
도 4는 본 발명의 또 다른 실시형태를 나타내며, 기판처리장치의 처리구역에서의 반송기구의 평면도,
도 5는 도 4에 나타낸 반송기구의 정면도,
도 6은 본 발명의 또 다른 실시형태를 나타내며, 기판처리장치의 반송롤러 그룹의 일부를 나타내는 평면도,
도 7은 도 1 내지 도 6에 관한 발명과는 다른 발명의 실시형태의 일례를 나타내며, 기판처리장치의 일부의 개략구성을 나타내는 도면,
도 8은 다른 발명의 다른 실시형태를 나타내며, 기판처리장치의 일부의 개략구성을 나타내는 단면도,
도 9는 다른 발명의 또 다른 실시형태를 나타내며, 기판처리장치의 일부의 개략구성을 나타내는 단면도,
도 10은 종래의기판처리장치에서의 반송기구의 개략구성의 일례를 나타내느 일부 평면도,
도 11은 도 10 XI-XI 화살표에서 본 단면도,
도 12는 종래의 기판처리장치에서 반송기구의 개략구성의 다른 예를 나타내는 일부 평면도,
도 13은 종래의 기판처리장치에서 반송기구의 개략구성 중 다른 예를 나타내는 부분확대 정면도이다.
(도면 중 주요부분에 대한 부호의 설명)
10,38...반송롤러
12,40...반송롤러의 회전축
14,42...반송롤러의 지지롤러부
16,28...모터
18,30...풀리
20,32...벨트
22,22a,22b,44...대경(大徑) 반송롤러
24,24a,24b,46...대경 반송롤러의 회전축
26,26a,26b,48...대경 반송롤러의 지지롤러부
34...샤워 노즐(처리유닛)
36,50...처리유닛
52...압축롤러
54...압축롤러의 상측회전축
56...압축롤러의 압축롤러부
58,58a,58b...대경 압축롤러
60,60a,60b...대경 압축롤러의 상측 회전축
62,62a,62b...대경 압축롤러의 압축롤러부
W...기판
A...처리구역
l...대경 반송롤러의 회전축간의거리
D...대경 반송롤러의 지지롤러부의 직경 치수

Claims (7)

  1. 회전축에 복수의 지지롤러부를 고착한 반송롤러를 복수개 서로 평행하게 배치하여 기판의 반송방향에 따라 병렬시킨 반송롤러 그룹에 의해, 기판을 지지하여 반송하면서, 처리수단에 의해 기판의 하면을 처리하는 기판처리장치에 있어서,
    상기 반송롤러 그룹의 상기 처리수단이 배치되는 구역의 1개 혹은 2개 이상의 반송롤러의 지지롤러 그룹의 직경 치수를, 상기 구역 이외의 반송롤러의 지지롤러 그룹의 직경 치수보다도 크게 한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 반송롤러 그룹의 상기 처리수단이 배치되는 구역에 복수개의 반송롤러가 배치되고, 그들 복수개의 반송롤러의 서로 인접하는 것끼리에 있어서 회전축간의 거리가 지지롤러부의 직경 치수보다도 작게 되고, 또, 회전축상에서 지지롤러부의 취부 위치가 상호 겹치지 않도록 어긋나 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 반송롤러의 회전축에 3개 이상의 지지롤러부가 간격을 두고 고착되고,
    상기 반송롤러 그룹의 상기 처리수단이 배치되는 구역에 배치된 반송롤러에서, 상기 처리수단과 간섭하는 지지롤러부가 회전축으로부터 제거된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 회전축에 복수의 지지롤러부를 고착한 반송롤러를 복수개 서로 평행하게 배치하여 기판의 반송방향에 따라 병렬시킨 반송롤러 그룹에 의해 기판을 지지함과 동시에, 상기 반송롤러의 회전축의 상방에 그 회전축과 대향하도록 배치된 상측 회전축에 복수의 압축롤러부를 고착한 압축롤러를 복수개 서로 평행하게 배치하여 기판의 반송방향에 따라 병렬시킨 압축롤러 그룹에 의해 상기 반송롤러 그룹과 협동하여 기판을 끼운 상태에서 기판을 반송하면서, 처리수단에 의해 기판의 상면을 처리하는 기판처리장치에 있어서,
    상기 압축롤러 그룹의 상기 처리수단이 배치되는 구역의 1개 또는 2개 이상의 압축롤러의 압축롤러부의 직경 치수를 상기 구역 이외의 반송롤러의 압축롤러부의 직경치수보다도 크게 한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 압축롤러 그룹의 상기 처리수단이 배치되는 구역에 복수개의 압축롤러가 배치되고,그들 복수개의 압축롤러의 서로 인접하는 것끼리에 있어서 상측 회전축간의 거리가 압축롤러부의 직경 치수보다도 작게 되고, 또, 상측 회전축상에서 압축롤러부의 취부 위치가 상호간에 겹치지 않도록 어긋나 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  6. 제1항, 제2항, 제4항, 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리수단이 기판의 폭방향 전체에 걸쳐 액체 또는 기체를 공급하는 장척형상 노즐이고, 그 장척형상 노즐이 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 대해 평면상으로 경사지도록 배치된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  7. 제1항, 제2항, 제4항, 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리수단이 기판의 폭방향 전체에 걸쳐 당접하는 롤 형상 브러시이고, 그 롤 형상 브러시가 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 대해 평면상으로 경사지도록 배치된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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