DE10358149B3

DE10358149B3 - Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen Behandeln von ebenem Gut in Durchlaufanlagen

Info

Publication number: DE10358149B3
Application number: DE10358149A
Authority: DE
Inventors: Thomas Dipl.-Ing. Kosikowski
Original assignee: HOELLMUELLER MASCHBAU H; Hollmueller Maschinenbau GmbH; Hoellmueller Maschinenbau GmbH
Current assignee: HOELLMUELLER MASCHBAU H; Hollmueller Maschinenbau GmbH; Hoellmueller Maschinenbau GmbH
Priority date: 2003-12-10
Filing date: 2003-12-10
Publication date: 2005-05-12
Anticipated expiration: 2023-12-11
Also published as: CN1638604A; JP2005175497A; TWI374199B; TW200525051A; JP4652794B2; CN1638604B

Abstract

Die Erfindung betrifft das Transportieren und Behandeln von Leiterplatten und Leiterfolien mit horizontalem Transport in naßchemischen Durchlaufanlagen. Geringfügig schräg gestellte Transportrollen erfassen das Gut am Rand und spannen es beim Transportieren. Bei dünnen Leiterfolien kann die für einen störungsfreien Transport erforderliche Zugspannung so groß sein, dass die Maßhaltigkeit, die für die Feinleitertechnik benötigt wird, verloren geht. DOLLAR A Bei mäßiger Zugspannung wird erfindungsgemäß die erforderliche Transportsicherheit durch spiegelbildlich in Transportrichtung 3 auf das Gut 1 gerichtete Elektrolytströme 8 erreicht. Bei Leiterplatten mit Sacklöchern werden zusätzliche Elektrolytströme 11 spiegelbildlich nahezu vertikal auf das Gut 1 gerichtet. Zur weiteren Durchflutung von Durchgangslöchern werden an beiden Seiten des Gutes im Elektrolyten statische Druckunterschiede nach dem Bernoullischen Prinzip erzeugt.

Description

Die Erfindung betrifft das berührungslose Transportieren und Behandeln von ebenem Gut mit horizontalem Transport in Durchlaufanlagen. Vorzugsweise dient sie zum naßchemischen und elektrolytischen Behandeln von Leiterplatten und Leiterfolien, die auch sehr dünn sein können. Diese Behandlungen betreffen bei der Leiterplattentechnik zum Beispiel das Reinigen und Ätzen der Oberflächen, die Entfernung von Bohrmehl aus den Löchern, die Durchkontaktierung der Löcher, die elektrolytische Verstärkung der elektrisch leitfähigen Schichten und Strukturen, das Entwickeln, Strippen und Ätzen der Leiterbahnen, sowie das Oxidieren und Reduzieren der Oberflächen und weitere Prozesse. Die Abmessungen der Strukturen und Löcher werden bei Feinleiterplatten immer kleiner. Diese Leiterzüge und Abstände erreichen Breiten von 25 μm und weniger. Die Dicke der Kupferschichten an den Oberflächen betragen zum Beispiel bei der Startschicht 4 μm. Dies bedeutet, dass die Handhabung derart dünner vollflächiger Kupferoberflächen sehr sorgfältig erfolgen muß. In der Praxis werden die Leiterplatten und Leiterfolien von Transportwalzen durch die Durchlaufanlage transportiert. Dabei können Verunreinigungen als Partikel in die empfindlichen Oberflächen eingewalzt oder eingedrückt werden. Derartige Ablagerungen oder Vertiefungen, auch wenn sie klein sind, führen bei der weiteren Herstellung der Leiterplatten zu Fehlstellen in den Feinleiterstrukturen und damit zu Ausschuß. Nach der Durchkontaktierung der vollflächigen Leiterplatten wird das Leiterbild aufgebracht. Hierzu wird ein lichtempfindlicher, elektrisch nicht leitender Galvanoresist vollflächig aufgebracht. Dieser wird mittels Masken strukturiert, belichtet, entwickelt und gestrippt. Das Leiterbild wird in einem weiteren Prozeß elektrolytisch verstärkt. Die von Galvanoresist abgedeckten Bereiche müssen bei diesem Prozeß unbehandelt bleiben. Die Abmessungen der Strukturen im Galvanoresist sind entsprechend des herzustellenden Leiterbildes sehr klein. Dieser strukturierte Galvanoresist ist gegen eine mechanische Beanspruchung hoch empfindlich. Transportwalzen, die auf dem Galvanoresist abrollen, können die Strukturen beschädigen. Bei der Feinleitertechnik ist von daher ein berührungsloser Transport des zu behandelnden Gutes notwendig. Zumindest muß das Abrollen von Transportwalzen oder das Gleiten von Führungselementen auf dem Nutzbereich des Gutes vermieden werden. Die Ränder der üblicherweise großen Nutzen sind dagegen unkritisch. Sie werden nach der Fertigstellung der Leiterplatten abgeschnitten und verworfen.
Beim Transport von Leiterfolien, die bei Dicken im Bereich von 50 μm und darunter sehr flexibel sind, kommt ein weiterer Schwierigkeitsgrad hinzu: Durch das Anströmen der Oberflächen mit Elektrolyt können sie aus der Transportbahn gelenkt werden. Dabei schleifen die Oberflächen an den Führungselementen oder es kommt im schlimmsten Falle zu einem Transportstau. Das Anströmen des Gutes ist jedoch erforderlich, um bei Leiterplatten, die in der selben Durchlaufanlage produziert werden sollen, einen Stoffaustausch in den Löchern zu erreichen.

Die Druckschrift DE 102 06 660 C1 beschreibt eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Transport von flachem Behandlungsgut in einer Durchlaufanlage. Der Transport erfolgt mittels Transportwalzen, die die Oberfläche des Gutes nicht beschädigen sollen. Hierzu haben jeweils eine obere und untere Transportwalze abwechselnd und versetzt geringfügig unterschiedliche Durchmesser. Dadurch kann ein dünnes und flexibles Gut dem Walzendruck ausweichen und somit gegen Beschädigungen geschützt werden. Bei dicken und starren Leiterplatten verringert sich zwar der Anteil der Druckstellen, und damit auch der Anteil der möglichen Fehlerstellen, ein Ausweichen vom Walzendruck findet jedoch nicht mehr statt.

Den Transport von Leiterfolien in einer naßchemischen Anlage beschreibt die Druckschrift DE 40 35 932 C2 . Die Leiterplatten oder Leiterfolien werden von schräg gestellten Transportrollen am Rand erfaßt und transportiert. Die Leiterfo lien werden gespannt und in die Transportebene gezogen. Dadurch bleibt die Oberfläche des Nutzbereiches praktisch berührungslos. Der spannende Zug hat beim Transport von Leiterplatten keinen nachteiligen Einfluß. Bei Leiterfolien besteht jedoch die Gefahr, dass durch die Zugkräfte ihre Maßhaltigkeit beeinflußt wird. Mit dünner werdender Leiterfolie muß der spannende Zug erhöht werden, um sie vollständig und eben in der Transportebene zu halten. Wenn die Leiterfolie aus der Transportebene ausweicht, zum Beispiel durch eine Elektrolytströmung im Arbeitsbehälter, oder durch Sprühdüsen, die Elektrolyt an die Oberfläche des Gutes leiten, dann besteht die Gefahr, dass die Leiterfolie beim Transport an Konstruktionselemente anstößt und beschädigt wird. Im ungünstigsten Falle führt dies zum Stau der Leiterfolien. Deshalb muß mit abnehmender Foliendicke der straffende Zug erhöht werden. Dies ist aus Gründen der Maßhaltigkeit, die bei der Feinleitertechnik sehr genau zu nehmen ist, nicht möglich. Dünnste Leiterfolien mit einer Dicke von zum Beispiel 25 μm sind von daher mit dieser Vorrichtung nicht mehr zuverlässig produzierbar.

Die Druckschrift DE 101 54 884 A1 beschreibt ein sehr ähnliches Verfahren und eine entsprechend ähnliche Vorrichtung zum Transport von Gut in Durchlaufanlagen. Auch hier bewirken schräg gestellte Transportrollen, die am Rand von Leiterplatten und Leiterfolien abrollen, Zugspannungen, die das Gut versteifen sollen. Dadurch bleibt der Nutzbereich ebenfalls berührungslos. Die erforderlichen Zugspannungen für einen störungsfreien Transport von Leiterfolien einerseits und die zulässigen Zugspannungen bei Leiterfolien in Feinleitertechnik andererseits, begrenzen auch bei dieser Vorrichtung den Anwendungsbereich in der Praxis.

Bei Leiterplatten, zum Beispiel mit einer Dicke von 0,2 mm und größer sind die Zugspannungen kein Problem. Bei ihnen tritt der Stoffaustausch in den Durchgangslöchern und in den Sacklöchern bei der Behandlung in den Vordergrund. Die Druckschrift DE 195 19 211 A1 beschreibt eine Vorrichtung und ein Verfahren zum naßchemischen Behandeln von Leiterplatten unter dem Badspiegel in Durchlaufanlagen mit horizontalem Transport des Gutes. Aus quer zur Transportrichtung angeordneten Düsenrohren strömt Elektrolyt aus, der an Transportwalzen gestaut wird. Die Düsenrohre und die Transportwalzen sind an der Oberseite und an der Unterseite des Gutes in Transportrichtung versetzt angeordnet. Dadurch entstehen durch die an den Oberflächen entlang strömen den Elektrolyte im Bereich der Düsenrohre an den beiden Seiten des Gutes unterschiedliche statische und dynamische Drücke. Nach dem Bernoullischen Prinzip fließt dann der Elektrolyt von der Seite mit dem größeren statischen Druck durch die Durchgangslöcher in Richtung zum niedrigeren Druck. Der niedrige statische Druck herrscht dort, wo der Elektrolyt mit der größeren Geschwindigkeit an der Oberfläche des Gutes entlang strömt im Vergleich zur Strömungsgeschwindigkeit an der gegenüber liegenden Seite des Gutes. Dies bewirkt einen sehr guten Stoffaustausch in den Durchgangslöchern. Von daher eignet sich die Erfindung zur Behandlung von Leiterplatten. Allerdings rollen die Transportwalzen auf dem Gut ab. Damit eignet sich diese Erfindung nicht zur Behandlung von Feinleiterplatten. Insbesondere dann nicht, wenn die Oberflächen mit einem strukturierten Galvanoresist versehen sind. Zunehmend sind jedoch Leiterplatten und Multilayer mit Strukturen in Feinleitertechnik und mit sehr kleinen Durchgangslöchern und Sacklöchern zu behandeln, die den intensiven Stoffaustausch erfordern. Bei Sacklöchern ist zum Stoffaustausch das Bernoullische Prinzip nicht hilfreich, weil sich die Druckunterschiede an beiden Seiten des Gutes nicht auswirken können. Somit ist diese Erfindung zur Behandlung von Sacklöchern nahezu wirkungslos.

Die DE 696 10 763 T2 offenbart eine Vorrichtung zur Behandlung von Gegenständen mit Fluid, die entlang eines vorbestimmten, längsgerichteten Weges befördert werden. Das Fluid strömt dabei aus Düsen auf die Ober- und Unterseite des Gegenstands, wobei ein Teil der Düsen so ausgerichtet ist, dass das Fluid in einer stromaufwärts geneigten Richtung auf die an ihnen vorbeibewegten Gegenstände trifft. Für Gegenstände mit Sacklöchern ist diese Vorrichtung nicht vorgesehen.

Eine Vorrichtung zum Galvanisieren und Durchkontaktieren von Leiterplatten beschreibt die EP 0 276 725 B1 . Hier sind einlaufseitig und auslaufseitig jeweils oberhalb und unterhalb der Durchlaufbahn quer dazu ausgerichtete Elektrolytsammler vorgesehen, die mehrere gleichmäßig über die Breite der Durchlaufbahn angeordnete Bohrungen besitzen, die unter einem geringen Anstellwinkel von beispielsweise 10° schräg auf die Durchlaufbahn und in den Bereich zwischen oberer und unterer Elektrode gerichtet sind. Auch diese Vorrichtung eignet sich weniger für Leiterplatten mit Sacklöchern.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung zu beschreiben, die es ermöglichen, in einer Durchlaufanlage ohne Umbaumaßnahmen dicke Leiterplatten mit Durchgangslöchern und Sacklöchern und dünnste Leiterfolien mit Löchern sicher zu transportieren, wobei die Oberflächen des Nutzbereiches nicht berührt werden sollen, bei gleichzeitiger Einhaltung der Maßhaltigkeit auch bei sehr dünnen Leiterfolien. Des weiteren sollen die Durchgangslöcher und Sacklöcher einem intensiven Stoffaustausch ausgesetzt sein.

Gelöst wird die Aufgabe durch das Verfahren gemäß der Patentansprüche 1 bis 12 und durch die Vorrichtung gemäß der Patentansprüche 13 bis 26.

Der Transport des Gutes durch die Durchlaufanlage erfolgt bei der vorliegenden Erfindung mittels Transportrollen, die das Gut außerhalb des Nutzbereiches nur an zwei Rändern erfassen. Der Nutzbereich wird von den Transportmitteln und anderen Führungselementen nicht berührt. Es ist jedoch notwendig, dass auch sehr flexible Leiterfolien in der Transportebene geführt werden. Dies ist nur zum Teil durch eine Spannkraft, die quer zur Transportrichtung des Gutes auf die Leiterfolie einwirkt realisierbar. Bei zu großen Spannkräften geht die Maßhaltigkeit der Leiterfolien verloren und bei kleinen Spannkräften ist die Transportsicherheit bei Leiterfolien nicht gegeben. Durch strömende Elektrolyte wird die nur mäßig gespannte Leiterfolie aus der Transportbahn gelenkt. Dieser Nachteil wird erfindungsgemäß durch schräg in Transportrichtung beidseitig auf das Gut auftreffende Elektrolytströmungen behoben. Diese Strömungen treffen an der Oberseite und an der Unterseite des Gutes spiegelbildlich so auf die Oberflächen, dass sich die durch die Strömungen verursachten Kräfte aufheben. Dadurch bleibt das Gut, auch wenn es nur mäßig gespannt ist, in der Transportebene. Durch die gewählte Strömungsrichtung in Transportrichtung wird der Transport der dünnen Leiterfolien zusätzlich unterstützt. Insgesamt wird dadurch ein sicherer berührungsloser Transport des Nutzbereiches auch von sehr dünnen Leiterfolien unter Einhaltung der erforderlichen Maßhaltigkeit erreicht. Die Anforderungen, die bei der Feinleitertechnik an die Einhaltung der Maßhaltigkeit gestellt werden sind sehr groß. Bei Abmessungen der Leiterzüge und der Zwischenräume von 50 μm sei eine Toleranz ihrer Positionierung von zum Beispiel ± 10% zulässig, das heißt ± 5 μm. In Durchlaufanlagen betragen die Abmessungen des zu behandelnden Gutes bis zu 660 × 660 mm². Aus diesen so genannten Nutzen werden bei der Fertigstellung die eigentlichen, in der Regel kleineren Leiterplatten, herausgeschnitten. Bei einer zulässigen Toleranz der Positionierung von absolut ± 5 μm beträgt dann die zulässige relative Toleranz ± 8 ppm. Dies bedeutet, dass bei der naßchemischen Behandlung von Leiterfolien in Durchlaufanlagen praktisch keine bleibende Änderung der Abmessungen auftreten darf; weil bei den weiteren Prozessen ebenfalls mit Toleranzen zu rechnen ist. Die dafür zulässige mäßige Zugspannung quer zur Transportrichtung des Gutes wird durch nur geringfügig schräg gestellte Transportrollen, die das Gut an zwei Rändern erfassen, aufgebracht. Die Winkel der Achsen der Transportrollen weichen für diese Schrägstellung von der vertikalen Richtung zur Transportrichtung des Gutes nur minimal ab. Dadurch wird erreicht, dass die quer zur Transportrichtung auftretenden Zugkräfte, die auf das Gut einwirken, nur klein sind. Dies ist zur Vermeidung einer bleibenden Streckung von dünnen zu transportierenden Leiterfolien notwendig.

Dickere Leiterfolien und Leiterplatten sind auch mit meist sehr kleinen Sacklöchern versehen. Der Stoffaustausch dieser Löcher wird erfindungsgemäß durch eine weitere Elektrolytanströmung realisiert. In nahezu vertikaler Strömungsrichtung strömt Elektrolyt an die Oberflächen des Gutes aus Sprührohren, die ebenfalls quer zur Transportrichtung des Gutes angeordnet sind. Diese im Winkel spiegelbildliche Elektrolytanströmung an der Oberseite ist in Transportrichtung zur Elektrolytanströmung an der Unterseite des Gutes geringfügig versetzt. Das Zentrum der Elektrolytströme trifft nicht aufeinander. Dadurch erfolgt auch in den Durchgangslöchern ein zusätzlicher Stoffaustausch. Weil die vertikalen Elektrolytanströmungen, insbesondere wenn es sich um große Volumenströme und/oder große Strömungsgeschwindigkeiten handelt, mäßig gespannte Leiterfolien aus der Transportbahn auslenken können, werden diese Elektrolytströme bevorzugt nur dann eingeschaltet, wenn dickere Leiterfolien mit Sacklöchern oder Leiterplatten produziert werden. Auch ein Drosseln oder anderweitiges Variieren der Elektrolytströme zur Anpassung an die vom Gut gegebenen Anforderungen ist möglich. Bei dünnen Leiterfolien kommen in der Praxis keine Sacklöcher vor. Die Grenze liegt etwa bei einer Dicke von 100 μm. Darunter wird die vertikale Elektrolytanströmung nicht, oder nur mit einem kleineren Volumenstrom benötigt.

Insbesondere der nahezu vertikal auf das Gut auftreffende zweite Elektrolytstrom kann im Volumenstrom variabel ausgeführt und der Dicke des Gutes angepaßt werden durch einstellbare Pumpen, Drosseln, Stauscheiben oder Klappen in den Elektrolytkreisläufen.

Ein weiterer Stoffaustausch in Durchgangslöchern wird erfindungsgemäß durch die Anwendung des Bernoullischen Prinzips realisiert. Unter Badspiegel befinden sich beidseitig in der Nähe des Gutes und quer zur Transportrichtung Elektrolyt-Sprührohre. Aus diesen tritt schräg in Transportrichtung Elektrolyt aus, der entlang der Oberflächen strömt. Unterschiedliche Strömungsgeschwindigkeiten dieser Elektrolyte an beiden Seiten des Gutes bewirken unterschiedlich große statische Drücke, die ein Durchströmen der Durchgangslöcher in den Leiterplatten bewirken. Bei mäßig gespannten Leiterfolien würden diese Druckunterschiede ein Auslenken derselben aus der Transportbahn bewirken. Das Halten des Gutes in der Transportbahn durch ein kräftiges Spannen mittels schräg gestellter Transportrollen ist aus Gründen der Maßhaltigkeit der Leiterfolien nicht möglich. Deshalb werden gemäß der vorliegenden Erfindung die Druckunterschiede an beiden Seiten des Gutes örtlich begrenzt und an der Oberseite und Unterseite in kleinen Flächenbereichen quer zur Transportrichtung abgewechselt. Dadurch heben sich die durch die Strömungen auf die Leiterfolien global wirkenden Kräfte so auf, dass sie nicht aus der Transportbahn gelenkt werden können. Durch den aus den Elektrolyt-Sprührohren schräg in Transportrichtung spiegelbildlich zur Transportebene austretenden Elektrolyten wird der Transport der Leiterfolie zusätzlich unterstützt. Damit bleibt auch eine mäßig gespannte Leiterfolie sicher in der Transportbahn. Durch die örtlich abwechselnden statischen Druckunterschiede im Elektrolyten an beiden Seiten des Gutes bleibt das Bernoullische Prinzip erhalten. Dies ist mit zunehmend dickerem Gut, das in der selben Durchlaufanlage ebenso behandelt werden soll, wie die Leiterfolien, von entscheidender Bedeutung für den Stoffaustausch in den Durchgangslöchern.

Die Erfindung wird nachfolgend an Hand der schematischen und nicht maßstäblichen 1 bis 5 weiter erläutert.
1 zeigt in der Seitenansicht am Rand des Gutes abrollende Transportrollen mit Elektrolyt-Sprührohren zur naßchemischen Behandlung von Gut und zur Unterstützung des Transportes von Leiterfolien.
2 zeigt desgleichen eine weitere Elektrolytanströmung zur Behandlung von Leiterplatten mit Sacklöchern und Durchgangslöchern.
3 zeigt den Querschnitt einer naßchemischen Anlage in der Sicht gegen die Transportrichtung des Gutes und in der Seitenansicht, mit abwechselnden örtlichen Elektrolytströmungen an beiden Seiten des Gutes.
4 zeigt in der Seitenansicht eine elektrolytische Anlage zur Behandlung von Leiterfolien und Leiterplatten.
5 zeigt die elektrolytische Anlage der 4 in der Draufsicht.
In 1 wird das zu behandelnde Gut 1 von angetriebenen Transportrollen 2 mit Achsen 4 in Transportrichtung 3 gefördert. Die Transportrollen 2 erfassen das Gut 1 nur an den beiden Rändern, die nicht zum Nutzbereich des Gutes gehören. Damit kann Gut, das an den Oberflächen empfindlich ist, produziert werden. Zunehmend ist auch dünnes und sehr dünnes Gut naßchemisch und/oder elektrolytisch zu behandeln. Die Dicke d dieser Leiterfolien betragt in der Leiterplattentechnik 50 μm oder weniger. Wenn der Kern dieser Leiterfolien zum Beispiel aus Polyimid besteht, dann können sie besonders flexibel und an den Oberflächen sehr empfindlich sein. Dies erschwert den Transport durch eine naßchemische Durchlaufanlage ganz erheblich.
Bei Leiterfolien der Feinleitertechnik wird zusätzlich die Einhaltung der Maßhaltigkeit gefordert. Zugkräfte dürfen auf diese Leiterfolien nur begrenzt ausgeübt werden. Damit ist beim Transport das Spannen der Leiterfolien durch eine größere Schrägstellung der Transportrollen, wie es nach dem Stand der Technik bekannt ist, nicht mehr möglich. Nicht gespannte Leiterfolien können jedoch von Turbulenzen und Elektrolytströmungen aus der Transportbahn gelenkt werden und zu einem Transportstau führen.
Der Transport der Leiterfolien ohne Beeinflussung der Maßhaltigkeit wird erfindungsgemäß durch eine sehr kleine Schrägstellung der Achsen 4 der Transportrollen 2 erreicht. Gleichzeitig wird Mittels einer Verstelleinrichtung eine kleine Andruckkraft F in Richtung des Pfeiles 5 eingestellt, die auf die oberen Achsen 4 wirkt. Beide Maßnahmen bewirken, dass die Leiterfolien beim Transport nur mäßig gespannten werden. Die sichere Führung des Gutes 1 in der Transportebene 20 bewirken die gleich großen ersten Elektrolytströme 8, die an der Oberseite 6 und an der Unterseite 7 der Transportebene 20 spiegelbildlich gegen die Oberflächen des Gutes gerichtet sind. Die Richtung dieser Elektrolytströme 8 weist in die Transportrichtung 3. Durch ein genau abgestimmtes schräges Anströmen des Gutes 1 mit den ersten Elektrolytströmen 8 von beiden Seiten unter dem Winkel α werden auch mäßig gespannte Leiterfolien in der Transportebene 20 geführt. Diese ersten Elektrolytströme 8 strömen aus paarweise zur Transportebene angeordneten Elektrolyt-Sprührohren 10, die mit darin befindlichen und in einer Reihe angeordneten Öffnungen 9 versehen sind. Bei den Öffnungen 9 kann es sich zum Beispiel um Löcher oder Düsen handeln. Die Elektrolyt-Sprührohre 10 erstrecken sich an beiden Seiten der Transportebene 20 quer zur Transportrichtung mindestens über die gesamte Breite des Gutes. Der Elektrolyt wird im Kreislauf mittels nicht dargestellter Pumpen durch die Elektrolyt-Sprührohre 10 in den ebenfalls nicht dargestellten Arbeitsbehälter, der mit Elektrolyt gefüllt ist, und von dort in einen Pumpensumpf zurück gefördert.
Die durch die Elektrolytströme 8 verursachten Kräfte an beiden Seiten des Gutes 1 heben sich gegenseitig weitgehend auf. Durch die Strömungsrichtung des Elektrolyten in Transportrichtung unter dem Winkel α wird das Gut zusätzlich im Transport unterstützt. Der Winkel α liegt im Bereich von 5° bis 60°, bevorzugt 15° bezogen auf die Oberflächen des Gutes.
Die erforderliche Schrägstellung der Achsen 4 für bestimmte Leiterfolien ist im wesentlichen abhängig vom Reibwert der Transportrollen 2 im Elektrolyten und von der Kraft F, die auf Achsen 4 der Transportrollen 2 wirken. Die Transportrollen 2 sind an der Oberseite 6 so gelagert, dass sie sich gegen die wirkende Kraft F der Dicke d des Gutes 1 anpassen können. Die Transportrollen an der Unterseite 7 des Gutes sind so gelagert, dass sie die Transportebene fest vorgeben. Bevorzugt wird die Kraft F von Federkräften oder von Gewichten aufgebracht. Die Kräfte können auch verstellbar ausgeführt werden. Mit zunehmender Dicke der Leiterplatten ist im allgemeinen eine zunehmende Kraft F erforderlich. Bei einem großen Reibwert ist eine kleinere Kraft F erforderlich und umgekehrt. Die Laufflächen der Transportrollen haben auch im Elektrolyten einen großen Reibwert, wenn sie aus einem weichen Gummi bestehen. Die Schrägstellung der Achsen 4, die in der 1 nicht dargestellt ist, kann in diesem Falle sehr klein sein, zum Beispiel 0,1 °. Transportrollen 2, bestehend aus einem harten und glatten Wertstoff, zum Beispiel aus Polyethylen, erfordern eine größere Schrägstellung der Achsen 4, zum Beispiel 0,3° um eine mäßige Spannung des Gutes zu bewirken. Aus Gründen der Übersichtlichkeit sind in den 1 und 2 große Abstände der Transportrollen 2 in Transportrichtung 3 dargestellt. Die Transportrollen 2 können auch in dichter Folge angeordnet werden. Die Elektrolytsprührohre 10 befinden sich dann zwischen den Transportrollen 2 der beiden Ränder.
Die Anordnung der 2 begünstigt die Behandlung von Leiterplatten mit Sacklöchern. Dieses Gut wird wieder von angetriebenen Transportrollen 2 mit Achsen 4 transportiert. Ein zweiter Elektroytstrom 11 strömt aus einer Reihe von zweiten Öffnungen 12 aus dem Elektrolytsprührohr 10 und bewirkt einen intensiven Stoffaustausch auch in Sacklöchern. Die Öffnungen 12 sind durch die Wände des Innensprührohres 13 und des äußeren Elektrolytsprührohres 10 geführt. Der Austrittswinkel β dieses zweiten Elektrolytstromes 11 weicht deutlich vom Austrittswinkel α ab. Der Austrittswinkel β liegt im Bereich von 60° bis 90°, bevorzugt 80°. Bei einem Austrittswinkel β kleiner 90° weist auch der zweite Elektrolytstrom 11 in die Transportrichtung des Gutes 1. Dieser zweite Elektrolytstrom 11 kann vom selben Elektrolytsprührohr 10 gespeist werden, wie der erste Elektrolytstrom 8. Diese kostengünstige Ausführung eignet sich zur Behandlung von Leiterplatten mit Sacklöchern, die vom zweiten Elektrolytstrom 11 wegen ihrer Dicke nicht aus der Transportbahn gelenkt werden können. Dies auch dann, wenn die zweiten Elektrolytströme 11 an der Oberseite 6 und an der Unterseite 7 des Gutes 1 in Transportrichtung etwas versetzt sind, so wie es die 2 zeigt. Der Versatz bewirkt eine zusätzliche Durchflutung von Durchgangslöchern, wobei der Stoffaustausch in den Sacklöchern erhalten bleibt. Für sehr empfindliche dünne Leiterfolien erweist sich der zweite Elektrolytstrom 11 jedoch als störend. Bei einer starken Strömung leidet die Transportsicherheit der Leiterfolien und bei einer schwachen Strömung ist der Stoffaustausch in den Sacklöchern von Leiterplatten zu klein, die in der selben Durchlaufanlage behandelt werden sollen. Deshalb werden die beiden Elektrolytströme 8, 11 aus zwei Elektrolyt-Sprührohren durch bevorzugt zwei unabhängig voneinander einstellbare Elektrolytkreisläufe gespeist. Die zwei Elektrolyt-Sprührohre können in Transportrichtung 3 an beiden Seiten des Gutes auch nacheinander angeordnet sein. Zur Verkürzung der Anlagenlänge beziehungsweise zur Erhöhung der Behandlungszeit wird bevorzugt eine „Rohr in Rohr" Konstruktion gewählt, die weniger Platz zum Einbau in der Anlage benötigt. Die dargestellten runden Rohre sind als Beispiel für eine „Rohr in Rohr" Konstruktion zu betrachten. Es können auch Rechteckrohre ineinander gebaut werden. Andere gefräste, geklebte oder extrudierte Ausführungen der beiden Elektrolytkreisläufe in einem Konstruktionselement sind ebenfalls möglich. Die Elektrolytströme 8, 11 im Elektrolyt-Sprührohr 10 und im Innensprührohr 13 können unabhängig voneinander eingestellt werden. Dies betrifft den Volumenstrom und die Strömungsgeschwindigkeit. Insbesondere bei sehr dünnen Leiterfolien, zum Beispiel mit einer Dicke d kleiner gleich 50 μm, kann der zweite Elektrolytstrom vollständig abgeschaltet werden. Diese Ausführung erlaubt es, in einer Durchlaufanlage nacheinander und ohne Umbau der Anlage dünnste Leiterfolien und Leiterplatten zu behandeln. Die jeweils erforderliche Intensität der Elektrolytströme 8, 11 wird durch steuerungstechnische Maßnahmen, die auf nicht dargestellte Elektrolytpumpen und Ventile wirken, eingestellt.
Bei Leiterplatten, zum Beispiel mit einer Dicke von 1,6 mm und größer, erweist sich die Dauer der Lochdurchflutung im Durchlauf, insbesondere bei kleinen Lochdurchmessern von zum Beispiel 0,2 mm, auch bei Zuschaltung des zweiten Elektrolytstromes als zu gering. Die Anzahl der Elektrolyt-Sprührohre müßte in Transportrichtung gesehen erhöht werden, um eine längere Behandlungszeit für den Stoffaustausch in den Löchern zu bewirken. Zur Vermeidung dieses anlagentechnischen Aufwandes wird in einer weiteren Ausführung der Erfindung der erste Elektrolytstrom 8 so ausgeführt, dass die Durchgangslöcher im Gut über eine größere Strecke der Anlage von Elektrolyt durchströmt werden, ohne die Anzahl der Elektrolyt-Sprührohre zu erhöhen. Dies geschieht unter Anwendung des Bernoullischen Prinzips. In Folge von Druckunterschieden im Elektrolyten an der Oberseite 6 und an der Unterseite 7 des Gutes 1 wird erreicht, dass die Löcher durchströmt werden. Durch die Löcher strömt Elektrolyt von der Seite mit dem größeren statischen Druck zur Seite mit dem kleineren statischen Druck. Bei derartigen Druckunterschieden zu beiden Seiten des Gutes würden auch mäßig gespannte Leiterfolien aus der Transportbahn gelenkt werden. Die Folge wäre wieder ein Stau der Leiterfolien. Deshalb werden erfindungsgemäß an der Oberseite 6 und an der Unterseite 7 des Gutes gegenüberliegend örtlich abwechselnde Druckunterschiede eingestellt, so dass sich die auf die Leiterfolie wirkenden Kräfte gegenseitig aufheben. Das Gut wird weiterhin in der Transportebene geführt.
Die Erzeugung der örtlichen Druckunterschiede zeigt die 3. Die Elektrolyt-Sprührohre sind mit oder ohne Innensprührohr zu beiden Seiten der Transportebene 20 paarweise angeordnet. In ihnen befinden sich jeweils beabstandete Öffnungen. Die ersten Öffnungen 9 des Elektrolyt-Sprührohres 10 an der Oberseite 6 sind zu den ersten Öffnungen 9 an der Unterseite 7 jeweils um einen halben Abstand der Öffnungen voneinander versetzt. Dadurch entstehen an den beiden Seiten abwechselnde Bereiche mit unterschiedlichen Strömungsgeschwindigkeiten des Elektrolyten entlang der Oberflächen des Gutes 1. Durch den aus den Öffnungen 9 der Elektrolyt-Sprührohre 10 schnell ausströmenden Elektrolyten entsteht an der Oberfläche des Gutes in unmittelbarer Nähe der Öffnungen 9 bei hohem dynamischen Druck ein Bereich 14 mit kleinem statischen Druck. Zwischen den Öffnungen 9 ist die Strömungsgeschwindigkeit klein. Dort entsteht ein Bereich mit niedrigem dynamischen Druck und hohem statischen Druck. Diese Bereiche wechseln sich quer zur Transportrichtung ab. Durch den Versatz der Öffnungen 9 im Elektrolyt-Sprührohr 10 an der gegenüber liegenden Seite sind auch die abwechselnden Druckbereiche versetzt. Somit steht im Bereich der ersten Elektrolytströme 8 an den beiden Seiten des Gutes jeweils einem örtlich hohen statischen Druck ein kleiner statischen Druck gegenüber. Die örtlichen Druckunterschiede bewirken über eine größere Transportstrecke hinweg ein Durchströmen von Durchgangslöchern und damit einen zeitlich längeren wirkungsvollen Stoffaustausch. Die örtlich abwechselnde Nutzung des Bernoullischen Prinzips kann kombiniert werden mit dem zweiten Elektrolytstrom 11, der besonders bei Sacklöchern wirkungsvoll ist. Desgleichen kann hierfür auch ein Innensprührohr 13 verwendet werden. Der Transport des Gutes erfolgt mittels der angetriebenen Transportrollen 2, die mit den Achsen 4 gelagert sind.
Die 4 zeigt in der Seitenansicht eine elektrolytische Anlage unter Anwendung der vorliegenden Erfindung. Auch bei elektrolytischen Prozessen bestimmt der Stoffaustausch in den Löchern und/oder Sacklöchern die Wirtschaftlichkeit des Verfahrens. Ein großer Stoffaustausch erlaubt die Anwendung von großen Stromdichten. Beim Galvanisieren wird versucht, die aktive Länge, das heißt die Länge der Anoden in Transportrichtung in Bezug auf die Länge der Durchlaufanlage groß zu gestalten. Deshalb eignet sich hier besonders die „Rohr in Rohr" Konstruktion. Diese Ausführung ist sowohl für Leiterfolien als auch für Leiterplatten geeignet. Insbesondere beim elektrolytischen Leiterbildaufbau ist es wichtig, dass der Nutzbereich des Gutes 1 nicht von Konstruktionselementen berührt wird. In diesem Bereich befindet sich der strukturierte Galvanoresist, der bei der Feinleitertechnik gegen mechanische Belastungen sehr empfindlich ist. Die ersten spiegelbildlichen Elektrolytströme 8 halten das Gut auch bei mäßiger Spannung unter den Anoden 16 in der Transportbahn. Dadurch können sich weitere Isoliermittel erübrigen, die gegebenenfalls die Oberflächen des Gutes berühren und beschädigen könnten. Bei den Anoden 16 kann es sich um lösliche oder unlösliche Anoden handeln. Die Transportrollen 2, die geringfügig schräg gestellt sind, dienen teilweise oder vollständig zugleich als Kontaktrollen zur Stromübertragung auf das Gut.
Die 5 zeigt die Draufsicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung am Beispiel der elektrolytischen Anlage. Das Gut 1 ist partiell und strichpunktiert dargestellt. Die Transportrollen 2 erfassen das Gut 1 nur an den beiden Rändern 17. Der Nutzbereich 18 wird von den Konstruktionselementen der Anlage nicht berührt.
Die Transportrollen beziehungsweise Kontaktrollen 2 sind an angetriebenen Achsen 4 befestigt. Die Achsrichtung weicht zur Transportrichtung des Gutes 1 um den Winkel γ in der dargestellten Richtung ab. Zur Vermeidung einer zu großen Zugkraft wird nur ein sehr kleiner Winkel γ gewählt. Er beträgt bei Leiterfolien 0,05° bis zu 1,5°. Bei sehr dünnen zu behandelnden Leiterfolien mit einer Dicke d von zum Beispiel 25 μm oder darunter wird ein Winkel γ von 0,2° bevorzugt. Mit zunehmender Mindestdicke von Leiterplatten, die in der Anlage zu produzieren sind, verliert dieser Winkel γ an Bedeutung. Bereits bei Leiterfolien ab einer Dicke von 0,2 mm kann auf die Schrägstellung der Achsen 4 völlig verzichtet werden, weil der erste Elektrolytstrom 8 dieses Gut schon ausreichend stabilisiert und führt. Zwischen den Anoden 16 ist ein Elektrolyt-Sprührohr 10 mit einem integrierten Innensprührohr 13 angeordnet. Diese Rohre haben getrennte Elektrolytkreisläufe, die über die Rohrverbindungen 19 an die jeweiligen Pumpen angeschlossen werden.
Zur sicheren Führung, insbesondere von sehr dünnen Leiterfolien, ist es bei allen Ausführungen der Erfindung vorteilhaft, wenn die jeweiligen hydrodynamischen Bedingungen an der Oberseite 6 und an der Unterseite 7 des Gutes 1 exakt gleich sind. Dies läßt sich sehr kostengünstig realisieren durch den Anschluß der jeweils paarweise angeordneten Elektrolytsprührohre 10 an der Oberseite 6 und an der Unterseite 7 des Gutes 1 an einen gemeinsamen Elektrolytkreislauf. Mindestens ein Paar der Elektrolyt-Sprührohre 10 sind an einen Kreislauf, d. h. an eine Elektrolytpumpe angeschlossen. Dies stellt die gleichen hydrodynamischen Bedingungen in den Elektrolyt-Sprührohren sicher. Gleiches gilt für ein Paar von Innensprührohren 13. Diese Rohre an der Obersei te 6 und an der Unterseite 7 sind an einen weiteren gemeinsamen Elektrolytkreislauf angeschlossen.
Bei Durchlaufanlagen, die fortgesetzt nur ein einziges Produkt zu behandeln haben, kann auch ein gemeinsamer Elektrolytkreislauf für einen sicheren Transport von Leiterfolien ausreichend sein. Die Elektrolytströme 8, 11 werden fest eingestellt, zum Beispiel durch Pumpen, Ventile, Klappen oder Stauscheiben.
Die vorstehende Beschreibung bezeichnet die Behandlungsflüssigkeiten für die jeweiligen Prozesse allgemein als Elektrolyte. Bei naßchemischen und elektrolytischen Behandlungen muß das Gut beim Übergang von einem Prozeß zum nachfolgenden gespült werden, um Verschleppungen der Prozeßflüssigkeiten zu vermeiden. Auch bei den Spülprozessen ist der Stoffaustausch in Löchern und Sacklöchern sehr wichtig. Die Erfindung bezieht sich daher auch auf derartige Prozesse unter Badspiegel, das heißt auf Spülbäder in Durchlaufanlagen.
In der Beschreibung der Erfindung wird aus pragmatischen Gründen bei der Charakterisierung des Gutes von unterschiedlichen Dicken d ausgegangen, weil sich in der Praxis die Dicke d sehr einfach messen läßt. Es werden Leiterplatten, Leiterfolien und sehr dünne Leiterfolien beschrieben. Dabei wird davon ausgegangen, dass ein dünnes Gut flexibler ist als dickeres. Dies ist in der Praxis meist auch der Fall.
Für den sicheren Transport des Gutes durch die Durchlaufanlage ist die Flexibilität beziehungsweise die Steifigkeit des ebenen Gutes entscheidend. Es soll darauf hingewiesen werden, dass gleich dicke Platten oder Folien unterschiedliche Steifigkeiten aufweisen können. Zum Beispiel werden Leiterfolien bei abnehmender Dicke des aus einem Kunststoff bestehenden Kernes und zunehmender Dicke der darauf befindlichen Kupferkaschierungen zunehmend steifer, obwohl die Dicke d gleich groß geblieben ist.
Die Erfindung eignet sich in der Praxis der Leiterplattentechnik für alle vorkommenden Arten von Gut. Dies zeigen die nachfolgenden Beispiele. Sie eignet sich jedoch auch zur naßchemischen und elektrolytischen Behandlung von anderem ebenen Gut im horizontalen Durchlauf, wie zum Beispiel Solarzellen.
Bei Leiterplatten mit einer angenommenen Dicke von 2,4 mm und Durchgangslöchern mit einem Durchmesser von zum Beispiel 0,3 mm erfordert die naßchemische und/oder elektrolytische Behandlung einen intensiven Stoffaustausch in den Löchern. Gleiches gilt für Sacklöcher in diesen Platten. Dieser Stoffaustausch wird erfindungsgemäß sehr gut erreicht. Bei Leiterfolien mit einer Dicke von zum Beispiel 50 μm beträgt das Verhältnis von Lochdurchmesser und Lochtiefe etwa 1:1. Zum Stoffaustausch in den Löchern ist von daher das intensive Anströmen mit Elektrolyt nicht erforderlich. Deshalb erfolgt die Behandlung der Leiterfolien bevorzugt ohne die vertikale Elektrolytanströmung. Der Transport erfolgt durch die geringfügig schräg gestellten Transportrollen, die das Gut nur am Rand erfassen und transportieren. Der Nutzbereich des Gutes wird damit nicht berührt. Die Schrägstellung der Achsen der Transportrollen ist so gerichtet, dass das dünne und flexible Gut gespannt, aber nicht überspannt wird. Gleiches gilt für die Andruckkraft, die auf die Transportrollen wirkt. Das Ausweichen von sehr dünnen Leiterfolien aus der Transportebene wird durch das gezielte und gleich große Anströmen der Leiterfolien mit Elektrolyt aus den paarweise angeordneten Elektrolyt-Sprührohren von beiden Seiten vermieden. Die Anströmung erfolgt mit einem Winkel, der von 90° zur Transportebene deutlich abweicht, wobei die Richtung der Strömung in Transportrichtung des Gutes weist. Zugleich heben sich die Kräfte der Elektrolytströmungen an der Oberseite und an der Unterseite gegenseitig so auf, dass auch eine wenig gespannte Leiterfolie in der Transportebene sicher geführt und behandelt wird.

1: Gut, Leiterplatte, Leiterfolie
2: Transportrolle, Kontaktrolle
3: Transportrichtung
4: Achse
5: Kraftrichtungspfeil
6: Oberseite
7: Unterseite
8: erster Elektrolytstrom
9: erste Öffnungen
10: Elektrolyt-Sprührohr
11: zweiter Elektrolytstrom
12: zweite Öffnungen
13: Innensprührohr
14: Bereich mit kleinem statischem Druck
15: Bereich mit großem statischem Druck
16: Anode
17: Rand des Gutes
18: Nutzbereich des Gutes
19: Rohrverbindungen
20: Transportebene

Claims

Verfahren zum berührungslosen Transportieren und Behandeln des Nutzbereiches von ebenem Gut in naßchemischen und/oder elektrolytischen Durchlaufanlagen im Elektrolyten mit horizontalem Transport des Gutes, vorzugsweise von Leiterfolien und Leiterplatten mittels schräg gestellter und angedrückter Transport- und Kontaktrollen, die das Gut an zwei Rändern erfassen und darauf abrollend quer zur Transportrichtung spannen und transportieren, dadurch gekennzeichnet, dass die auf das Gut wirkende Spannkraft so klein eingestellt wird, dass auch bei Leiterfolien kein Maßhaltigkeitsverlust auftritt und dass das Gut in der Transportebene durch Elektrolytströme (8) geführt wird, die an der Oberseite und an der Unterseite des Gutes aus einer Reihe von ersten Öffnungen (9) in Elektrolyt-Sprührohren (10) spiegelbildlich zum Gut austreten und sich in der Kraftwirkung auf das Gut nahezu aufheben, wobei die Austrittsrichtungen der Elektrolytströme (8) zur Unterstützung des Transportes in die Transportrichtung weisen.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die beidseitigen Elektrolyt-Sprührohre (10) mit mindestens je einer weiteren Reihe von Öffnungen (12) ausgestattet sind, aus denen Elektrolyt in Richtung des Gutes ausströmt mit einem Winkel β der vom Winkel α der ersten Reihe von Öffnungen (9) abweicht und dass diese Elektrolytströme (11) unabhängig von den ersten Elektrolytströmen (8) der ersten Reihen in Bezug auf die austretende Elektrolytmenge und die Strömungsgeschwindigkeit verändert und an die Anforderungen des Gutes angepaßt werden kann.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrolytströme (8) aus paarweise angeordneten Elektrolyt-Sprührohren mit einzelnen Öffnungen (9) austritt, die an der Oberseite und Unterseite jeweils gegenüber liegend so versetzt sind, dass abwechselnd an den Oberflächen der beiden Seiten gegenüber liegend örtliche Bereiche mit einem kleinen statischen Druck im Elektrolyten und mit einem großen statischen Druck entstehen, die ein Durchströmen der Löcher im Gut bewirken bei gleichzeitiger Aufhebung der strömungsbedingten Kräfte auf das Gut, wodurch auch Leiterfolien, die mäßig gespannt sind, sicher in der Transportbahn geführt werden.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Unterstützung des Transportes von Gut durch erste Elektrolytströme (8) an beiden Seiten des Gutes erfolgt, die unter einem Winkel α aus den Elektrolyt-Sprührohren im Bereich von 5° bis 60°, bezogen auf die Transportebene, austreten.
Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel α 15° beträgt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Stoffaustausch in den Sacklöchern durch zweite Elektrolytströme (11) an beiden Seiten des Gutes erfolgt, die aus Elektrolyt-Sprührohren unter einem Winkel β im Bereich von 60° bis 90°, bezogen auf die Transportebene, austreten.
Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel β 80° beträgt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Volumenströme und die Strömungsgeschwindigkeiten der ersten und zweiten Elektrolytströme unabhängig voneinander in der Intensität eingestellt und an die Erfordernisse des Gutes angepaßt werden können.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Dauer der Behandlung des Gutes entlang der Transportstrecke dadurch erhöht wird, dass durch eine „Rohr in Rohr" Anordnung, die weniger Platz beansprucht, der erste und der zweite Elektrolytstrom aus einem Konstruktionselement austreten.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass durch eine Schägstellung der Achsen der Transportrollen mit einem Winkel γ, der nicht größer als 1,5° ist, eine zu große Spannkraft auf das Gut vermieden wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Spannkraft auf das Gut durch Einstellung der auf die Achsen der Transportrollen wirkenden Kraft F den Erfordernissen des Gutes bezüglich der Maßhaltigkeit und der Transportsicherheit angepaßt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrolytische Behandlung des Gutes mit löslichen oder unlöslichen Anoden erfolgt.
Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren und Behandeln des Nutzbereiches von ebenem Gut in naßchemischen und/oder elektrolytischen Durchlaufanlagen im Elektrolyten mit horizontalem Transport des Gutes, vorzugsweise von Leiterfolien und Leiterplatten mittels schräg gestellter und angedrückter Transport- und Kontaktrollen, die das Gut an zwei Rändern erfassen und darauf abrollend quer zur Transportrichtung spannen und transportieren zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 12, gekennzeichnet durch eine Schrägstellung und Andruckkraft F der Transport- und Kontaktrollen, die so klein eingestellt sind, dass bei Leiterfolien kein Verlust an Maßhaltigkeit auftritt und durch Elektrolyt-Sprührohre (10), die quer zur Transportrichtung des Gutes ausgerichtet und paarweise angeordnet sind mit je einer Reihe von Öffnungen (9) an der Oberseite und Unterseite der Transportebene (20), wobei diese Öffnungen (9) so gerichtet sind, dass die Elektrolytströme (8) der beiden Elektrolyt-Sprührohre (10) spiegelbildlich in Transportrichtung unter einem Winkel α so austreten, dass sich die Kraftwirkungen der gleich großen Elektrolytströme (8) der beiden Seiten (6, 7) auf das Gut gegenseitig aufheben können.
Vorrichtung nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch eine Reihe von zweiten Öffnungen (12) in den Elektrolyt-Sprührohren, wobei der Austrittswinkel β der zweiten Elektrolytströme (11) vom Austrittswinkel α der ersten Elektrolytströme (8) abweicht.
Vorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, gekennzeichnet durch beabstandete erste Öffnungen (9) in den Elektrolyt-Sprührohren die an der Oberseite (6) und Unterseite (7) gegenüber liegend jeweils um einen halben Abstand der Öffnungen voneinander versetzt sind, zur Erzeugung von örtlichen Bereichen (14, 15) an den Oberflächen mit abwechselnd kleinem und mit großem statischem Druck im Elektrolyten.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 15, gekennzeichnet durch einen Winkel α des ersten Elektrolytstromes (8) im Bereich von 5° bis 60° bezogen auf die Oberfläche des Gutes.
Vorrichtung nach Anspruch 16, gekennzeichnet durch einen Winkel α des ersten Elektrolytstromes (8) von 15°.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 17, gekennzeichnet durch einen Winkel β des zweiten Elektrolytstromes (11) im Bereich von 70° bis 90° bezogen auf die Oberfläche des Gutes.
Vorrichtung nach Anspruch 18, gekennzeichnet durch einen Winkel β des zweiten Elektrolytstromes (11) von 80°.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 19, gekennzeichnet durch eine „Rohr in Rohr" Ausführung der Elektrolyt-Sprührohre, (10), wobei im äußeren Rohr die Reihe mit den ersten Öffnungen (9) angeordnet ist und im kleineren inneren Rohr (13) die Reihe mit den zweiten Öffnungen (12), die zugleich durch die Wand des äußeren Rohres geführt sind.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 20, gekennzeichnet durch Mittel als Pumpen, Ventile, Klappen, Schieber und Stauscheiben zur individuellen Beeinflussung der Elektrolytströme (8, 11) des Elektrolyten.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 21, gekennzeichnet durch einen Winkel γ der Achsen (4) im Bereich von 0,05° bis 1,5°.
Vorrichtung nach Anspruch 22, gekennzeichnet durch einen Winkel γ der Achsen (4) von 0,2°.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 23, gekennzeichnet durch eine Verstelleinrichtung für die Kraft F, die auf die Achsen (4) der Transportrollen (2) wirkt.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 24, gekennzeichnet durch lösliche oder unlösliche Anoden in elektrolytischen Durchlaufanlagen.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 25, gekennzeichnet durch Paare von Elektrolyt-Sprührohren für die ersten Elektrolytströme (8) und getrennt davon angeordneten Paaren von Elektrolyt-Sprührohren für die zweiten Elektrolytströme (11).