JP2005175497A - 連続設備で平坦な材料を接触せずに搬送および処理する方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 僅かに傾けた搬送ローラが搬送時に材料の縁部を把捉して搬送する。薄い回路箔では円滑な搬送に必要な張力が大きすぎて、微細回路技術に必要とされる寸法精度が失われる。本発明によれば、電解質流8を搬送方向3で鏡像対称に材料1に向けることにより、適度な張力で必要な搬送安定性が達成される。盲孔付き回路基板では、追加の電解質流11を鏡像対称にほぼ垂直に材料1に向ける。さらに貫通孔を貫流させるために、材料の両側で電解質内にベルヌーイの原理に従う静圧の差を形成する。
【選択図】 図2
Description
第2の発明では、第1の発明において、上記両側の電解質噴霧管がそれぞれ別の少なくとも一列の開口部を備えていて、これら開口部から電解質が最初の列の開口部の角度αとは異なる角度βで流出し、さらにこの電解質流が流出する電解質の流量および流速に関して、最初の列の第一の電解質流とは独立に変更でき、材料の要件に適合させ得る。
第3の発明では、第1または第2の発明において、電解質流が対をなして配置された電解質噴霧管の若干の開口部から流出し、該開口部が上側と下側とでそれぞれずれて向き合って、しかも両側の表面に交互に電解質中の静圧が小さい局所的な範囲と静圧が大きい局所的な範囲とが向き合って生じるようになっており、これら範囲が材料内に設けた孔の貫流を引き起こすと同時に、流れに起因して材料に加わる力を相殺し、それにより緩やかに緊張せしめられた回路箔も確実に搬送軌道内を案内されるようにした。
第4の発明では、第1〜第3のいずれか一つの発明において、第一の電解質流を通る材料の搬送の支援が材料の両側で行われ、該第一の電解質流が電解質噴霧管から搬送平面を基準にして5°〜60°、好ましくは15°の角度αで流出する。
第5の発明では、第1〜第4のいずれか一つの発明において、材料の両側で第二の電解質流により盲孔内で物質交換が行われ、該第二の電解質流が電解質噴霧管から搬送平面を基準にして60°〜90°、好ましくは80°の角度βで流出する。
第6の発明では、第1〜第5のいずれか一つの発明において、第一の電解質流と第二の電解質流の流量および流速について互いに独立に強さを調節でき、材料の要件に適合させ得ること。
第7の発明では、第1〜第6のいずれか一つの発明において、より少ないスペースですむ「管内管」配置により、第一の電解質流と第二の電解質流がと一つの構成部材から流出するようにしたことによって、搬送区間に沿った材料の処理の持続時間を向上させる。
第8の発明では、第1〜第7のいずれか一つの発明において、搬送ローラの軸を、1.5°を越えない角度γで傾けて、材料に過大な張力が加わるのを避ける。
第9の発明では、第1〜第8のいずれか一つの発明において、搬送ローラの軸に作用する力Fを調整することによって、材料に加わる張力を、寸法精度および搬送確実性に関しての材料の必要性に適合させる。
第10の発明では、第1〜第9のいずれか一つの発明において、材料の電解処理が可溶性の陽極または不溶性の陽極で行われる。
第12の発明では、第11の発明において、電解質噴霧管内に一列の第二の開口部を有しており、第二の電解質流の流出角度βが、第一の電解質流の流出角度αとは異なる。
第13の発明では、第11または第12の発明において、電解質噴霧管内に間隔を置いて設けた第一の開口部が、上側と下側とでそれぞれ開口部の間隔の半分だけ互いにずれて向き合っていて、表面に電解質中の静圧が小さい局所的な範囲と、静圧が大きい局所的な範囲とが交互に形成される。
第14の発明では、第11〜第13のいずれか一つの発明において、第一の電解質流の角度αが、材料の表面を基準として5°〜60°、好ましくは15°である。
第15の発明では、第11〜第14のいずれか一つの発明において、第二の電解質流(11)の角度βが材料の表面を基準にして70°〜90°、好ましくは80°の範囲にある。
第16の発明では、第11〜第15のいずれか一つの発明において、電解質噴霧管が「管内管」構成を有しており、外側の管内には第一の開口部の列が配置され、内側の小さい管内には第二の開口部の列が配置されており、第二の開口部が同時に外側の管の壁を貫通している。
第17の発明では、第11〜第16のいずれか一つの発明において、電解質の電解質流に個別的に影響を与えるための手段としてポンプ、バルブ、フラップ、スライドおよびバッフルプレートが設けられている。
第18の発明では、第11〜第17のいずれか一つの発明において、軸の角度γが0.05°〜1.5°、好ましくは0.2°である。
第19の発明では、第11〜第18のいずれか一つの発明において、搬送ローラの軸に作用する力Fの調節装置を有する。
第20の発明では、第11〜第19のいずれか一つの発明において、電解処理連続設備で可溶性または不溶性の陽極を有する。
第21の発明では、第11〜第20のいずれか一つの発明において、第一の電解質流に対する電解質噴霧管と、該電解質噴霧管から分離して配置された第二の電解質流に対する電解質噴霧管との対を有する。
2 搬送ローラ、接触ローラ
3 搬送方向
4 軸
5 力の方向を示す矢印
6 上側
7 下側
8 第一の電解質流
9 第一の開口部
10 電解質噴霧管
11 第二の電解質流
12 第二の開口部
13 内側噴霧管
14 静圧が小さい範囲
15 静圧が大きい範囲
16 陽極
17 材料の縁部
18 材料の有効範囲
19 管継手
20 搬送平面
Claims (21)
- 材料を水平方向に搬送する湿式化学処理および/または電解処理の連続設備で、平坦な材料、好ましくは回路箔および回路基板を有効範囲に接触せずに電解質中で搬送および処理する方法であって、傾けて押し付けられる搬送ローラおよび接触ローラを用い、これらローラが当該材料を二つの縁部で把捉して材料上を転動しながら搬送方向に対して横断方向に緊張させて搬送するようにした方法において、
上記材料に作用する緊張力を小さく調節して回路箔でも寸法精度の損失が生じないようにし、さらに該材料を搬送平面内で電解質流(8)に通し、該電解質流(8)が材料の上側と下側とでそれぞれ電解質噴霧管(10)に設けた一列の第一の孔(9)から材料に向かって鏡像対称に流出して、材料に加わる力の作用がほぼ相殺され、しかも搬送を支援するために電解質流(8)の流出方向が搬送方向に向いていることを特徴とする方法。 - 上記両側の電解質噴霧管(10)がそれぞれ別の少なくとも一列の開口部(12)を備えていて、これら開口部(12)から電解質が最初の列の開口部(9)の角度αとは異なる角度βで流出し、さらにこの電解質流(11)が流出する電解質の流量および流速に関して、最初の列の第一の電解質流(8)とは独立に変更でき、材料の要件に適合させ得ることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 電解質流(8)が対をなして配置された電解質噴霧管の若干の開口部(9)から流出し、該開口部(9)が上側と下側とでそれぞれずれて向き合って、しかも両側の表面に交互に電解質中の静圧が小さい局所的な範囲と静圧が大きい局所的な範囲とが向き合って生じるようになっており、これら範囲が材料内に設けた孔の貫流を引き起こすと同時に、流れに起因して材料に加わる力を相殺し、それにより緩やかに緊張せしめられた回路箔も確実に搬送軌道内を案内されるようにしたことを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 第一の電解質流(8)を通る材料の搬送の支援が材料の両側で行われ、該第一の電解質流(8)が電解質噴霧管から搬送平面を基準にして5°〜60°、好ましくは15°の角度αで流出することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- 材料の両側で第二の電解質流(11)により盲孔内で物質交換が行われ、該第二の電解質流(11)が電解質噴霧管から搬送平面を基準にして60°〜90°、好ましくは80°の角度βで流出することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
- 第一の電解質流と第二の電解質流の流量および流速について互いに独立に強さを調節でき、材料の要件に適合させ得ることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。
- より少ないスペースですむ「管内管」配置により、第一の電解質流と第二の電解質流がと一つの構成部材から流出するようにしたことによって、搬送区間に沿った材料の処理の持続時間を向上させることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
- 搬送ローラの軸を、1.5°を越えない角度γで傾けて、材料に過大な張力が加わるのを避けることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法。
- 搬送ローラの軸に作用する力Fを調整することによって、材料に加わる張力を、寸法精度および搬送確実性に関しての材料の必要性に適合させることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の方法。
- 材料の電解処理が可溶性の陽極または不溶性の陽極で行われることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載の方法を実施するための装置であって、材料を水平方向に搬送する湿式化学処理および/または電解処理の連続設備で、平坦な材料、好ましくは回路箔および回路基板を、有効範囲に接触せずに電解質中で搬送および処理し、しかも傾けて押し付けられる搬送ローラおよび接触ローラを用い、これらローラが該材料を二つの縁部で把捉して材料上を転動しながら搬送方向に対して横断方向に緊張させて搬送するようにしたものにおいて、
回路箔について寸法精度の損失が生じないように、搬送ローラおよび接触ローラの傾斜と押圧力Fが小さく調節されており、電解質噴霧管(10)が対をなして材料の搬送方向に対して横断方向に向けられて、搬送平面(20)の上側と下側とにそれぞれ一列の開口部(9)を備えており、しかもこれら開口部(9)の向きは、両電解質噴霧管(10)の電解質流(8)が搬送方向に角度αで鏡像対称に流出して、両側(6、7)で等しい大きさの電解質流(8)の材料に加わる力の作用が互いに相殺され得るようにしたことを特徴とする装置。 - 電解質噴霧管内に一列の第二の開口部(12)を有しており、第二の電解質流(11)の流出角度βが、第一の電解質流(8)の流出角度αとは異なることを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 電解質噴霧管内に間隔を置いて設けた第一の開口部(9)が、上側(6)と下側(7)とでそれぞれ開口部の間隔の半分だけ互いにずれて向き合っていて、表面に電解質中の静圧が小さい局所的な範囲と、静圧が大きい局所的な範囲(14、15)とが交互に形成されることを特徴とする請求項11または12に記載の装置。
- 第一の電解質流(8)の角度αが、材料の表面を基準として5°〜60°、好ましくは15°であることを特徴とする請求項11〜13のいずれか1項に記載の装置。
- 第二の電解質流(11)の角度βが材料の表面を基準にして70°〜90°、好ましくは80°の範囲にあることを特徴とする請求項11〜14のいずれか1項に記載の装置。
- 電解質噴霧管(10)が「管内管」構成を有しており、外側の管内には第一の開口部(9)の列が配置され、内側の小さい管(13)内には第二の開口部(12)の列が配置されており、第二の開口部(12)が同時に外側の管の壁を貫通していることを特徴とする請求項11〜15のいずれか1項に記載の装置。
- 電解質の電解質流(8、11)に個別的に影響を与えるための手段としてポンプ、バルブ、フラップ、スライドおよびバッフルプレートが設けられていることを特徴とする請求項11〜16のいずれか1項に記載の装置。
- 軸(4)の角度γが0.05°〜1.5°、好ましくは0.2°であることを特徴とする請求項11〜17のいずれか1項に記載の装置。
- 搬送ローラ(2)の軸(4)に作用する力Fの調節装置を有することを特徴とする請求項11〜18のいずれか1項に記載の装置。
- 電解処理連続設備で可溶性または不溶性の陽極を有することを特徴とする請求項11〜19のいずれか1項に記載の装置。
- 第一の電解質流(8)に対する電解質噴霧管と、該電解質噴霧管から分離して配置された第二の電解質流(11)に対する電解質噴霧管との対を有することを特徴とする請求項11〜20のいずれか1項に記載の装置。
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