KR100227646B1 - 기판처리장치 - Google Patents

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이시다 아키라
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Abstract

본 발명은 처리조내에서 처리중인 기판의 오일미스트나 미립자등에 의한 오염이나 구동기구의 처리액에 의한 부식을 확실히 방지할 수 있도록 한 기판처리장치에 관한 것이다.
기판(B)을 반송방향으로 반송하는 처리조(2)내에 배설된 복수의 반송롤러(3), 반송롤러(3)를 구동하는 구동기구(4)와, 이 구동기구(4)와 처리조(2) 사이에 배설된 내부에 간막이공간(6a)을 가지는 간막이박스(6)가 구비되어 있다. 간막이박스(6)는 기체를 도입하는 기체도입구멍(6)을 가지고 있다. 구동기구(4)는 구동모터(41)와, 이 구동모터(41)와 반송롤러(43) 사이에 개설된 구동력 전달수단(43)으로 이루어지고, 구동력 전달수단(43)이 내장되는 베어링부수용박스(5)가 구비되고, 이 베어링부 수용박스(5) 내 및 처리조(2)내의 공기를 흡인하는 흡인 블로워(blower)(7)가 배설되어 있다.

Description

기판처리장치
본 발명은 시트(sheet)형상의 피처리물이 기판을 처리조내에서 기판반송수단에 의해 반송하면서 소정의 처리액을 공급함으로써 처리하는 기판처리장치에 관한 것이다.
종래, 포토레지스트 도포액, 감광성 폴리이미드수지, 컬러필터용 염색제등의 박막이 표면에 형성된 액정용 글라스기판, 포토마스크용 글라스기판등의 시트형상을 띤 기판을 기판처리장치를 따라 배설된 반송수단에 의해 반송하면서, 처리조내에서 소정의 처리액을 공급함으로써 기판에 소정의 처리를 행하는 기판처리장치가 알려져 있다.
이러한 기판처리장치에 있어서는, 통상 반송수단으로서 기판반송방향을 향해서 복수의 반송롤러의 병설된 롤러 컨베이어가 채용되고, 이 롤러 컨베이어가 처리조를 관통하여 배설되어 있음과 동시에, 이 롤러 컨베이어를 구동하는 구동기구가 처리조에 인접하여 배설된 구동기구실에 내장되어 있다.
그리고, 구동기구의 구동력이 구동력 전달수단을 통해서 처리조내의 각 반송롤러에 전달되고, 기판은 처리조내를 각 반송롤러의 동기회전에 의해 반송되면서 처리액 공급노즐로부터 처리액이 공급을 받아 소정의 처리가 행해지도록 이루어져 있다.
그런데, 종래의 기판처리장치에 있어서는, 반송롤러의 롤러축이 처리조와 구동기구실 사이에 개설된 격벽의 관통구멍으로 관통하고 있기 때문에, 처리조내의 처리액의 비말(물보라)이 상기 관통구멍의 내주면과 롤러축의 외주면 사이의 간격을 통해서 구동기구실에 들어가거나, 반대로 구동기구실내의 오일미스트나 미립자등을 함유한 오염된 공기가 처리조내에 침입하거나 한다.
그리고, 처리조내에 처리액이 구동기구실내에 들어가면, 구동기구가 처리액에 의해 부식하여, 구동기구의 내용(耐用)기간을 단축한다고 하는 문제점이 발생함과 동시에, 구동기구실내의 공기가 처리조내에 들어가면, 오일미스트나 미립자등에 의해 기판이 오염된다고 하는 문제점이 발생한다. 또한, 구동기구실에 침입한 처리액이 건조하여 새로운 미립자가 발생한다고 하는 문제점도 존재했다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 처리조내에 처리중인 기판의 오일미스트나 미립자등에 의한 오염이나, 구동기구의 처리액에 의한 부식을 확실하게 방지할 수 있는 기판처리장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
제1도는 본 발명에 관련한 기판처리장치의 일실시형태를 도시한 사시도이다.
제2도는 제1도에 도시한 기판처리장치의 정면에서 본 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 기판처리장치 2 : 처리조
21 : 기판도입구 22 : 산액관
22a : 산액 노즐 23 : 측벽
24 : 베어링판 25 : 베어링
26 : 저판 27 : 천정판
3 : 반송롤러 31 : 롤러축
32 : 기판재치롤러 33 : 플랜지부
4 : 구동기구 41 : 구동모터
42 : 구동축 43 : 구동력 전달수단
44 : 구동풀리 45 : 종동풀리
46 : 보조풀리 47 : 구동벨트
5 : 베어링부 수용박스 5a : 베어링판 수용공간
51 : 제1박스 52 : 제2박스
53 : 외벽 6 : 간막이박스
61 : 간막이 62 : 기체도입구멍
7 : 흡인 블로워 71 : 처리조 배기통
72 : 박스배기통 B : 기판
청구항 1에 기재된 발명은 반송중인 기판에 처리조내에서 처리액을 공급함으로써 소정의 처리를 행하는 기판처리장치에 있어서, 상기 처리조내에 배설되고 또한 처리조의 양측벽을 관통한 회전축의 회전에 의해 기판을 반송하는 반송수단과, 상기 회전축의 단부를 지지하는 베어링과, 상기 회전축을 구동하는 구동기구와, 적어도 구동기구측의 베어링과 상기 처리조 사이에 회전축이 관통한 상태로 배치된 내부에 간막이공간을 가지는 간막이박스가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
이 발명에 의하면, 구동기구의 구동에 의해 발생한 오일미스트나 미립자등의 오염물은 처리조내의 압력이 구동기구가 존재하는 공간의 압력보다도 저압이 되어, 기류에 의해 처리조내에 방향으로 이동해도 오염물은 간막이박스내에 일단 도입되기 때문에, 오염물은 간막이박스내에서 확산하고, 박스의 내벽면이나 바닥면에 부착함으로써 처리조내로의 침입이 억제되어, 처리조내에서 처리중인 기판의 오염이 억지된다. 마찬가지로, 처리조내의 압력이 구동기구가 존재하는 공간의 압력보다도 고압이 되고, 기류에 의해 처리액의 비말이 구동기구쪽을 향하더라도, 처리액의 비말은 간막이박스내에서 상기와 동일하게 확산하기 때문에, 처리액이 구동기구로 향하는 비산이 억제되고, 이에 의해 처리액에 의한 구동기구의 녹발생은 억제된다.
청구항 2에 기재된 발명은 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 기체도입수단을 가짐과 동시에, 간막이박스는 장치외부로부터 그 내부에 기체를 도입하는 기체도입구를 가지고, 상기 기체도입수단은 기체도입구멍을 통과하여 간막이박스를 기체를 도입하는 것을 특징으로 하는 것이다.
이 발명에 의하면, 기체도입수단에 의해 기체도입구멍을 통과하여 간막이박스에 기체를 도입함으로써, 기체는 간막이박스를 통해서 처리조측 및 구동기구측으로 향하는 기류가 형성되기 때문에, 이 기류에 의해 오일미스트나 미립자등의 오염물이 처리조내에 침입하는 것을 저지할 수 있음과 동시에, 처리액이 구동기구가 배설된 공간으로 비산하는 것을 저지할 수 있다.
청구항 3에 기재된 발명은 청구항 2에 기재된 기판처리장치에 있어서, 상기 기체도입수단은 상기 기체도입구를 통해서 상기 간막이박스내에 청정기체를 강제도입하는 블로우수단인 것을 특징으로 하는 것이다.
이 발명에 의하면, 기체도입수단으로서의 블로우수단에 의해 간막이박스내에 청정기체가 강제도입된다.
청구항 4에 기재된 발명은 청구항 1 내지 3의 어느 한 항에 기재된 발명에 있어서, 상기 구동기구는 구동모터와, 이 구동모터와 상기 회전축 사이에 개설되는 구동력 전달수단으로 이루어지고, 상기 구동력 전달수단은 구동기구실내에 내장되고, 상기 기체도입수단은 이 구동기구실내 및 상기 처리조내의 공기를 흡인하는 흡인수단인 것을 특징으로 하는 것이다.
이 발명에 의하면, 처리조 및 구동기구실은 그들 내부가 기체도입수단으로서의 흡인수단에 의해 흡인에 의해 부압이 되어 있기 때문에, 공기가 기체도입구멍을 통과하고, 간막이박스를 통해서 처리조 및 구동기구실에 도입된다.
제1도는 본 발명에 관련된 기판처리장치(1)의 일실시형태를 도시한 사시도이고, 제2도는 제1도에 도시한 기판처리장치(1)의 정면에서 본 단면도이다. 이들 도면에 도시한 바와 같이 기판처리장치(1)는 시트형상의 기판(B)을 처리하는 상자형의 처리조(2), 이 처리조(2)내에 기판(B)의 반송방향(2점쇄선의 화살표로 나타낸다)으로 병설되고, 또한 기판을 처리조(2)내에 반송방향을 향해서 반송하는 복수의 반송롤러(3), 이들 복수의 반송롤러(3)를 동기회전시키는 구동기구(4), 상기 반송롤러(3)의 롤러축(회전축)(31)의 양측부를 지지한 후술하는 베어링판(24)을 수용하는 한쌍의 베어링부 수용박스(5), 각 베어링부 수용박스(5)와 처리조(2) 사이에 개설된 한쌍의 간막이박스(6), 및 처리조(2)내 및 베어링부 수용박스(5)내의 공기를 흡인하는 흡인 블로워(7)를 구비한 기본구성을 가지고 있다. 또한, 제1도에서는 우측의 간막이박스(6)의 도시를 생략하고 있다.
상기 처리조(2)는 상류측의 벽면에 앞의 공정에서 수평자세로 반송되어 온 기판(B)을 도입하는 횡방향의 긴 슬릿모양이 기판도입구(21)를 가짐과 동시에, 도시를 생략한 하류측 벽면에 처리가 끝난 기판(B)을 다음 공정으로 도출하는 기판도출구가 기판도입구(21)내에 대향하도록 배설되고, 이들 기판도입구(21) 및 기판도출구 사이에 복수의 반송롤러(3)가 병설되어 있다. 그리고, 기판도입구(21)로부터 처리조(2)내에 도입된 기판(B)은 반송롤러(3)상에 재치된 상태로 그들의 동기회전에 의해 반송되도록 이루어져 있다.
또, 처리조(2)내에는 반송롤러(3)의 위쪽에 복수개의 산액관(22)이 처리조(2)내를 폭방향으로 횡단하도록 배설되고, 이들 산액관(22)의 저면에 아래쪽을 향해 돌설된 복수의 산액노즐(22a)로부터 반송중인 기판(B)에 처리액을 산액함으로써 기판(B)에 소정의 처리가 행해지도록 하고 있다. 처리조(2)의 저부에는 저판(26)(제2도)이 배설되고, 산액후의 처리액은 이 저판(26)을 통해서 회수된 후 순환사용된다. 이 저판(26)은 처리조(2)의 양측벽(23)으로부터 바깥쪽으로 뻗은 연설부분을 가지고 있다.
상기 반송롤러(3)는 처리조(2)내에서 기판반송방향으로 직교하는 방향으로 뻗는 롤러축(31), 이 롤러축(31)의 처리조(2)내에 있어서의 양측부에 동심으로 동시회전이 가능하게 배설된 한쌍의 기판재치롤러(32) 및 각 기판재치롤러(32)의 폭방향의 바깥쪽에 부설된 플래지부(33)로 구성되어 있다.
상기 롤러축(31)은 그 양측부가 처리조(2)의 폭방향의 양측벽(23)에 관통설치 관통구멍(23a)에 끼워진 상태로 그 양단부가 양측벽(23)의 바끝쪽에서 입설된 폭방향 한쌍의 베어링판(24)에 베어링(25)을 통해서 지지되어, 이에 의해 자축심 둘레에 회전이 자유롭게 되어 있다.
또, 상기 각 플랜지부(33)의 대향면 사이의 거리는 기판(B)의 폭치수보다 약간 길게 설정되고, 이것에 의해 처리조(2)내에 진입하여, 기판재치롤러(32)상에 재치된 기판(B)은 좌우 한쌍의 플랜지부(33)에 폭방향으로의 위치편차가 규제된 상태로 기판재치롤러(32)의 회전에 의해 순차적으로 하류측을 향해서 반송되도록 되어 있다.
상기 베어링부 수용박스(5)는 제2도의 왼쪽에 배설된 제1박스(51)와, 동 오른쪽에 배설된 제2박스(52)로 이루어져 있다. 제1 박스(51)내에는 베어링판(24) 외에 후술하는 구동력 전달수단(43)이 배설되어 있지만, 제2박스(52)내에는 베어링판(24)만이 배설되어 있다. 또, 상기 베어링부 수용박스(5)는 후술하는 간막이박스(61), 처리층의 전후벽, 저판(26), 천정판(27) 및 저판(26) 및 천정판(27)의 바깥쪽 선단 가장자리부 사이에 배설된 외벽(53)에 의해 형성되어, 내부에 베어링판 수용공간(5a)을 가지고 있다.
상기 간막이박스(6)는 처리조(2)의 양측벽(23)의 바깥쪽으로서, 이 측벽(23), 처리조(2)의 전후벽, 저판(26), 천정판(27) 및 저판(26)과 천정판(27)사이에 배설된 간막이박스(61)에 의해 형성되고, 내부에 간막이박스(6a)이 형성되어 있다. 상기 천정판(27)에는 간막이박스(6a)에 연통한 기체도입구멍(62)이 천설(穿設)되어 있다.
그리고, 상기 왼쪽의 베어링판(24)은 베어링판 수용공간(5a)내의 저판(26)상에 입설되어 있다. 또, 간막이판(61)에는 롤러축(31)을 꿰뚫는 관통구멍(61a)이 천설되고, 롤러축(31)은 그 좌측부가 이 관통구멍(61a)을 관통하여 베어링판(24)의 베어링(25)에 도달하고, 또한 좌단부가 베어링(25)으로부터 베어링판 수용공간(5a)내에 돌출되어 있다.
상기 구동기구(4)는 처리조(2)의 상류측 제1 박스(51) 외측부에 설치된 구동모터(41)(제1도)와, 이 구동모터(41)의 구동회전을 각 반송롤러(3)에 전달하는 구동력 전달수단(43)을 구비하여 형성되어 있다. 상기 구동모터(41)는 그 구동축(42)이 롤러축(31)과 평행하게 되도록 플로어상에 설치되어 있다. 그리고, 구동축(42)의 선단부는 제1 박스(51)의 외벽(53)을 관통하여 베어링판 수용공간(5a)내에 몰입되어 있다.
상기 구동력 전달수단(43)은 베어링판 수용공간(5a)내에 있어서 상기 구동축(42)이 선단측에 설치된 구동풀리(44), 롤러축(31)의 좌단부에 설치된 종동풀리(45), 각 종동풀리(45) 사이의 하부에 설치된 보조풀리(46) 및 구동풀리(44), 종동풀리(45) 및 보조풀리(46)에 장설(張設)된 구동벨트(47)에 의해 구성되어 있다. 구동벨트(47)는 종동풀리(45) 및 보조풀리(46)에 사행(蛇行)상태로 장설되고, 이에 의해 구동벨트(47)의 종동풀리(45)에 대한 접촉길이가 길어지고, 구동모터(41)의 구동력이 종동풀리(45)에 확실하게 전달되도록 하고 있다.
따라서, 구동모터(41)를 구동함으로써, 그 구동회전은 구동축(42), 구동풀리(44), 구동벨트(47) 및 종동풀리(45)를 통해서 각 롤러축(31)에 전달되고, 각 롤러축(31)의 동기회전에 의해 기판재치롤러(32)에 재치된 기판(B)이 전진하도록 되어 있다.
또, 상기 처리조(2)의 천정부에는 처리조(2)의 내부에 연통한 처리조 배기통(71)이 접속되어 있음과 동시에, 각 베어링부 수용박스(5)에는 그들 외벽(53)에 베어링부 수용박스(5)의 내부에 연통한 한쌍의 박스배기통(72)이 접속되어 있다. 이들 배기통(71, 72)은 하류측에서 흡인 블로워(7)에 접속되고, 흡인 블로워(7)의 가동에 의해 처리조(2)내 및 베어링판 수용공간(5a)내의 공기가 흡입되도록 하고 있다.
따라서, 흡인 블로워(7)를 가동함으로써, 처리조(2)내 및 베어링판 수용공간(5a)이 부압이 되기 때문에, 외기가 간막이박스(6)의 기체도입구멍(62) 및 간막이박스(6)의 간막이박스(6a)을 통하고, 또한 처리조(2)의 측벽(23)에 천설된 관통구멍(23a)을 통과하여 처리조(2)내에 도입됨과 동시에, 간막이박스(61)에 천설된 관통구멍(61a)을 통해서 베어링판 수용공간(5a)내에 도입되는 것이 된다.
상기의 실시형태의 구성에 의하면, 구동모터(41)의 구동에 의한 각 반송롤러(3)의 동기회전에 의해 처리조(2)내에서 반송되고 있는 기판(B)의 표면에 산액노즐(22a)로부터 처리액이 공급되고, 이에 의해 처리조(2)내에 처리액이 비말이 충만한 상태가 되어 있지만, 흡인 블로워(7)를 가동함으로써 처리조 배기통(71)을 통과하여 처리조(2)내의 공기가 흡인되기 때문에 처리조(2)내에 부압이 되어, 이에 의해 간막이박스(6)내의 간막이공간(6a)을 통해서 기체도입구멍(62)을 통과한 기체가 측벽(23)의 관통구멍(23a)의 내주면과, 롤러축(31)의 외주면 사이의 간극으로부터 처리조(2)내로 블로우하기 때문에, 처리조(2)내의 비말이 상기 간극으로부터 간막이공간(6a)내에 침입하는 일은 없다.
또, 마찬가지로 베어링판 수용공간(5a)내의 공기도 박스배기통(72)을 통과하여 흡인되고, 이에 의해 베어링판 수용공간(5a)내가 부압이 된다. 이에 의해 기체도입구멍(62)으로부터 간막이공간(6a)내에 도입된 외기가 간막이판(61)의 관통구멍(61a)의 내주면과, 롤러축(31)의 외주면 사이의 간극을 통과하여 베어링판 수용공간(5a)내에 블로우오프하기 때문에, 종동풀리(45)나 구동벨트(47)등의 구동력 전달수단(43)으로부터 발생하는 오일미스트나 미립자등의 오염물을 함유한 제1박스(51)의 베어링판 수용공간(5a)내의 공기가 간막이공간(6a)내에 침입하는 일은 없다. 또, 제2박스(52)의 베어링판 수용공간(5a)내의 공기가 간막이공간(6a)내에 침입하는 일은 없다.
이와 같이, 간막이박스(6)내의 간막이공간(6a)을 경계로 하여, 기체도입구멍(62)으로부터 간막이(6a)내에 도입된 외기가 측벽(23)이 관통구멍(23a) 및 간막이판(61)의 관통구멍(61a)을 통과하여 각각 처리조(2)내 및 베어링판 수용박스(5)내로 블로우오프하기 때문에, 처리조(2)내의 처리액의 비말이 베어링판 수용공간(5a)에 칩입하는 것이 확실히 방지됨과 동시에, 베어링판 수용공간(5a) 내의 오일미스트나 미립자등의 오염물이 처리조(2) 내에 침입하는 것을 확실히 방지하고, 이에 의해 처리조(2)내에서 처리중인 기판(B)에 오염물이 부착하여 기판(B)을 오염한다고 하는 결함이 확실히 방지됨가 동시에, 제1박스(51)의 베어링판 수용공간(5a)내의 구동력 전달수단(43)에 처리액의 비말이 튀고, 그것에 의해 구동력 전달수단(43)에서 녹이 발생하는 결함도 확실히 방지된다.
본 발명은 이상이 실시형태의 한정되는 것은 아니고, 이하의 내용도 포함하는 것이다.
(1) 상기의 실시형태에 있어서는, 간막이박스(6)의 천정판(27)에 기체도입구멍(62)을 천설함과 동시에, 흡인 블로우(7)에 의해 처리조(2)내 및 베어링판 수용공간(5a)내의 공기를 흡인하고, 기체도입구멍(62)으로부터 간막이공간(6a)을 통해서 외기를 처리조(2)내 및 베어링판 수용공간(5a)내에 적극적으로 도입하도록 하고 있지만, 본 발명은 처리조(2) 및 베어링판 수용공간(5a)내에 적극적으로 외기를 도입하는 것에 한정되는 것은 아니고, 처리조(2)와 베어링 수용박스(5) 사이에 간막이박스(6)를 개재시키는 것만을 해도 된다. 이렇게 함으로써, 처리조(2)로부터의 처리액의 비말은 간막이공간(6a)내에서 확산하고, 베어링판 수용공간(5a)내로의 침입이 억제됨과 동시에, 베어링판 수용공간(5a)으로부터의 오일미스트나 미립자등의 오염물을 함유한 공기도 간막이공간(6a)내에서 확산하고, 처리조(2)내로의 침입이 억제된다.
(2) 상기의 실시형태에 있어서는, 기체도입구멍(62)을 통해서 외기가 간막이공간(6a)내에 도입되도록 하고 있지만, 이렇게 하는 대시에 처리조(2)의 근방에 청정기체도입을 도입하는 블로우 블로워나 고압기체 봄베등의 블로우수단을 배설하고, 이 블로우수단으로 미리 청정화처리한 공기나 질소가스등의 청정기체를 적극적으로 간막이공간(6a)내에 공급하도록 해도 된다. 이렇게 함으로써, 외기중의 미세한 먼지가 처리조(2)나 베어링판 수용공간(5a)내로 침입하는 것을 방지할 수 있음과 동시에, 간막이공간(6a)으로부터 처리조(2)내 및 베어링판 수용공간(5a)내를 향하는 기체의 양이 증가하고, 처리액이 비말의 베어링판 수용공간(5a)으로의 침입 및 오일미스트나 미립자등의 처리조(2)내로의 침입을 보다 확실히 저지할 수 있게 된다.
(3) 상기(2)에 있어서는, 기체도입구멍(62)으로부터 적극적으로 청정화기체가 가막이공간(6a)내에 도입되고, 이 청정화기체는 처리조(2)내 및 베어링판 수용공간(5a)내에 블로우오프함으로써 처리조(2)내 및 베어링판 수용공간(5a)내는 정압이 되기 때문에, 특히 흡인 블로워(7)를 설치하지 않더라도 처리조(2)내 및 베어링판 수용공간(5a)내의 공기는 외부로 배출될 수 있는 상태가 된다. 따라서, 기체도입구멍(62)으로부터 적극적을 청정화기체를 간막이공간(6a)내에 도입생략하는 경우에는, 흡인 블로워(7)의 설치를 생략하는 것이 가능해진다.
(4) 상기의 실시형태에 있어서는, 간막이박스(6)로서 베어링판(24)과 구동력 전달수단(43)이 내장된 제1박스(51)측의 간막이박스(6) 및 베어링판(24)만을 내장한 제2박스(52)측의 간막이박스(6)가 설치되어 있지만, 제2박스(52)이 간막이박스(6)의 설치는 필수는 아니고, 구동력 전달수단(43)이 내장된 제1박스(51)의 간막이박스(6)만을 설치하도록 해도 된다. 이렇게 함으로써, 구동력 전달수단(43)으로부터의 발생략이 많은 오일미스트나 미립자등의 처리조(2)내로의 침입을 확실히 방지하는 것이 가능해진다.
청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 처리조내에 배설되고 또한 처리조의 양측벽을 관통한 회전축의 회전에 의해 기판을 반송하는 반송수단과, 상기 회전축의 단부를 지지하는 베어링과, 상기 회전축을 구동하는 구동기구와, 적어도 구동기구측 베어링과 상기 처리조 사이에 상기 회전축이 관통한 상태로 배치된 내부에 간막이 공간을 가지는 간막이 박스를 구비했기 때문에, 구동기구의 구동에 의해 발생한 오일미스트나 미립자등이 오염물이 처리조내의 방향으로 이동하더라도, 오염물은 간막이박스내에 일단 도입되어, 여기에서 확산함으로써 처리조내로의 침입을 억제할 수 있고, 마찬가지로 처리조내의 처리액이 비말이 구동기구쪽으로 향하더라도, 처리액의 비말은 간막이박스내에서 확산하고, 처리액의 구동기구로 향하는 이동을 억제할 수 있다. 따라서, 오일미스트나 미립자등에 의한 처리중의 기판의 오염을 유효하게 방지할 수 있음과 동시에, 구동기구의 처리액에 의한 녹발생을 유효하게 방지할 수 있다.
청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 기체도입수단에 의해 간막이박스내에 청정기체가 강제도입되고, 이 기류에 의해 오일미스트나 미립자등의 오염물이 처리조내에 침입하는 것을 방지할 수 있음과 동시에, 처리액이 구동기구가 설치된 공간으로 비산하는 것을 저지할 수 있다.
청구항 3에 기재된 발명에 의하면, 기체도입구를 통해서 상기 간막이박스내에 청정기체를 강제도입하는 블로우수단이 배설되어 있음과 동시에, 블로우수단에 의해 간막이박스내에 청정기체를 강제도입할 수 있다.
청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 구동기구의 구동력을 전달하는 구동력 전달수단을 내장한 구동기구실내 및 처리조내의 공기는 흡인수단에 의해 흡인되도록 하고 있음과 동시에, 흡인수단의 가동에 의해 처리조내 및 구동기구실내는 부압이 되고, 이에 의해 공기를 기체도입구멍 및 간막이박스를 통해서 처리조 및 구동기구실에 도입할 수 있다.

Claims (4)

  1. 반송중인 기판에 처리조내에서 처리액을 공급함으로써 소정의 처리를 실시하는 기판처리장치에 있어서, 상기 처리조내에 배설되고 또한 처리조의 양측벽을 관통한 회전축의 회전에 의해 기판을 반송하는 반송수단과, 상기 회전축의 단부를 지지하는 베어링과, 상기 회전축을 구동하는 구동기구와, 적어도 구동기구측 베어링과 상기 처리조 사이에 상기 회전축이 과통한 상태로 배치된 내부에 간막이 공간을 가지는 간막이박스가 구비도어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 기체도입수단을 가짐과 동시에 상기 간막이박스는 장치외부로부터 그 내부에 기체를 도입하는 기체도입구를 가지고, 상기 기체도입수단은 기체도입구멍을 통과하여 간막이박스내에 기체를 도입하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 기체도입수단은 상기 기체도입구를 통해서 상기 간막이박스내에 청정기체를 강제도입하는 블로우수단인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 있어서, 상기 구동기구는 구동모터와, 이 구동모터와 상기 회전축 사이에 개설되는 구동력 전달수단으로 이루어지고, 상기 구동력 전달수단은 구동기구실내에 내장되고, 상기 기체도입수단은 이 구동기구실내 및 상기 처리조내의 공기를 흡인하는 흡인수단인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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