KR100902615B1 - 기판 지지유닛 및 이를 갖는 기판 처리 장치 - Google Patents

Abstract

기판 지지유닛은 기판이 이송 경로로부터 이탈하지 못하도록 기판을 지지하기 위하여 다수의 가이드 롤러 및 롤러 지지부를 포함한다. 다수의 가이드 롤러는 기판의 이송시 기판의 측면과 접촉되어 회전하고, 롤러 지지부는 가이드 롤러들 중 서로 인접하는 두 개의 가이드 롤러에 결합되어 두 개의 가이드 롤러를 지지한다. 롤러 지지부는 회전 브라캣과 지지축으로 이루어진다. 회전 브라캣은 두 개의 가이드 롤러 각각에 형성된 체결홀에 양단부가 각각 삽입되어 두 개의 가이드 롤러를 소정 방향으로 회전시키고, 지지축은 회전 브라캣에 체결되어 회전 브라캣을 지지한다. 따라서, 가이드 롤러로 제공되는 기판의 하중을 분산시킬 수 있고, 그 결과 가이드 롤러의 갈림 현상을 방지할 수 있다.

기판, 가이드 롤러, 롤러 지지부

Description

기판 지지유닛 및 이를 갖는 기판 처리 장치{SUBSTRATE SUPPORING UNIT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

본 발명은 기판 지지유닛 및 이를 갖는 기판 처리 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 지지할 때 받는 하중을 분산시킬 수 있는 기판 지지유닛 및 이를 갖는 기판 처리 장치에 관한 것이다.

기판 처리 장치는 반도체 제조용 웨이퍼 및 평판 디스플레이 제조용 유리 기판 등의 기판을 처리하는 장치이다. 이 중 평판 디스플레이 제조용 유리기판을 처리하는 장치는 적어도 하나의 처리베스를 구비한다.

처리베스에는 기판을 일정속도로 이송시키기 위한 기판 이송부재 및 공정시 기판상에 처리액을 분사하는 처리액 분사부재가 구비된다. 기판 이송부재는 롤러들이 균등한 간격으로 설치되는 복수의 샤프트들을 포함한다. 샤프트들은 기판의 이송방향과 수직하는 방향에서 복수개가 병렬로 배치된다. 샤프트들은 일정속도로 회전함으로써, 기판을 처리베스 내부에서 일정한 속도로 이송시킨다.

처리액 분사부재는 공정시 기판 이송부재에 의해 이동되는 기판을 향해 처리액을 분사시킨다. 처리액으로는 세정액, 식각액, 현상액, 그리고 감광액 등이 사용 될 수 있다.

또한, 처리베스에는 기판의 이송시 기판의 측면을 지지하는 기판 지지부재가 더 구비된다. 기판 지지부재는 공정시 기판의 측면과 접촉하여 회전하는 다수의 가이드 롤러 및 다수의 가이드 롤러 각각을 지지하는 다수의 지지축을 포함한다. 그러나, 가이드 롤러 당 하나의 지지축이 연결된 구조에서, 하나의 가이드 롤러에 기판의 하중이 집중되면 가이드 롤러 및 지지축은 하중을 견디지 못하고 갈라지는 현상이 발생하게 되고, 그 결과 기판 지지부재의 수명이 단축된다.

따라서, 본 발명의 목적은 기판의 측면을 지지할 때 받는 하중을 분산시키기 위한 기판 지지유닛을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상기한 기판 지지유닛을 채용하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.

본 발명에 따른 기판 지지유닛은 기판이 이송 경로로부터 이탈하지 못하도록 기판의 측면을 지지하고, 그러기 위해 다수의 가이드 롤러 및 롤러 지지부를 포함한다.

다수의 가이드 롤러는 상기 기판의 이송시 상기 기판의 측면과 접촉되어 회전되고, 상기 롤러 지지부는 상기 가이드 롤러들 중 서로 인접하는 두 개의 가이드 롤러에 결합되어 상기 두 개의 가이드 롤러를 지지한다.

본 발명의 일 예로, 상기 롤러 지지부는 회전 브라캣과 지지축으로 이루어진다. 회전 브라캣은 상기 두 개의 가이드 롤러 각각에 형성된 체결홀에 양단부가 각각 삽입되어 상기 두 개의 가이드 롤러를 소정 방향으로 회전시킨다. 지지축은 상기 회전 브래캣에 체결되어 상기 회전 브라캣을 지지한다.

여기서, 상기 회전 브라캣은 V자 형상으로 이루어지고, 상기 지지축은 상기 회전 브라캣의 중앙부에 체결되어 상기 회전 브라캣을 지지한다.

본 발명의 일 예로, 상기 기판은 소정의 각도로 기울어져 이송되고, 이때 상 기 다수의 가이드 롤러는 기울어진 상기 기판의 하중이 집중되는 하측면을 지지한다.

본 발명에 따른 기판 처리 장치는 기판이 제공되는 처리베스, 상기 처리베스 내에 구비되고, 상기 기판을 이송하는 이송유닛, 및 기판을 지지하는 기판 지지유닛을 포함한다.

기판 지지유닛은 상기 기판의 이송시 상기 기판의 측면과 접촉되어 회전되는 다수의 가이드 롤러 및 상기 가이드 롤러들 중 서로 인접하는 두 개의 가이드 롤러에 결합되어 상기 두 개의 가이드 롤러를 지지하는 롤러 지지부로 이루어진다.

본 발명의 일 예로, 상기 이송유닛은 상기 기판을 소정의 각도로 기울린 상태로 이송하고, 이때 상기 기판 지지유닛은 기울어진 상기 기판의 하중이 집중되는 상기 기판의 하측면을 지지한다.

이와 같은 기판 지지유닛 및 이를 갖는 기판 처리 장치에 따르면, 서로 인접하는 두 개의 가이드 롤러에 결합되어 두 개의 가이드 롤러를 함께 지지함으로써, 두 개의 가이드 롤러 중 어느 하나에 기판의 하중이 집중되더라도, 나머지 가이드 롤러 측으로 하중이 분산되어 가이드 롤러의 갈림 현상을 방지할 수 있고, 그 결과 가이드 롤러의 수명을 연장시킬 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해지도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달되도록 하기 위해 제공되는 것이다. 또한, 본 실시예에서는 평판 디스플레이 제조용 유리 기판을 세정하는 습식 세정 장치를 예로 들어 설명하였으나, 본 발명은 처리액을 사용하여 기판을 처리하는 모든 기판 처리 장치에 적용이 가능하다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판, 이송 유닛 및 기판 지지유닛의 사시도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(100)는 서로 인접하여 배치되는 다수의 처리베스(110)를 포함한다.

각각의 처리베스(110)에는 기판을 처리하기 위한 공간이 제공되어, 각각의 처리베스(110)에서는 상기 공간으로 제공된 기판(10)을 처리하는 공정이 수행된다. 본 발명의 일 예로, 기판(10)은 평판 디스플레이 제조용 유리기판이다. 각각의 처리베스(110)의 일측에는 기판(10)의 출입이 이루어지는 기판 출입구(111)가 제공된다. 기판 출입구(111)는 각각의 처리베스(110)가 서로 인접하는 부분에 제공된다. 따라서, 기판 출입구(111)는 각각의 처리베스(110) 상호간에 기판(10)이 이동되는 통로로 사용된다.

또한, 각각의 처리베스(110) 내에는 기판(10)을 소정 방향으로 이송시키기 위한 이송 유닛(120), 기판 상에 처리액을 분사하기 위한 분사부재(130) 및 기판의 측면을 지지하는 기판 지지유닛(140)을 구비된다.

분사부재(130)는 공정시 이송 유닛(120)에 의해 이동되는 기판(10)을 향해 처리액을 공급한다. 상기 처리액으로는 기판(10) 표면에 잔류하는 이물질을 제거하기 위한 세정액 및 식각액, 그리고 기판(10)을 현상하기 위한 현상액 등이 사용된다. 분사부재(130)로는 약액 나이프(chemical knife)가 사용될 수 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 이송 유닛(120)은 복수의 이송 샤프트들(transfer shafts)(121)을 포함한다. 이송 샤프트(121) 각각에는 다수의 롤러(122)가 균등한 간격으로 구비된다. 이송 샤프트들(121)은 공정시 처리베스(110) 내부에서 기판(10)을 제1 방향(D1)으로 이송시키기 위하여 회전한다. 이송 샤프트(121)에 의해서 상기 다수의 롤러(122)가 회전하게 되고, 다수의 롤러(122)의 상부에 놓여지는 기판은 다수의 롤러(122)에 의해서 제1 방향(D1)으로 이동된다.

본 발명의 일 예로, 상기 기판(10)은 소정 각도로 기울어진 상태로 이송될 수 있다. 즉, 기판(10)이 수평한 상태로 이송되면, 기판(10)으로 제공된 처리액이 공정 완료후에도 기판(10) 상에 잔류하는 경우가 발생한다. 따라서, 기판(10)을 소정 각도로 기울린 상태로 이송하면 기판(10) 상에 제공된 처리액은 기울어진 방향으로 흘러내리게 되고, 그 결과 기판(10) 상에 처리액이 잔류하는 것을 방지할 수 있다.

기판 지지유닛(140)은 공정시 기판(10)의 측면을 지지한다. 특히, 기판(10)이 소정 각도로 기울어져 이송되는 경우, 기판 지지부재(140)는 기판(10)의 하측면(11)을 지지하여 기판(10)이 이동 경로를 벗어나는 것을 방지한다. 기판 지지유닛(140)은 다수의 가이드 롤러(guidde roller) 및 다수의 가이드 롤러 중 서로 인접하는 두 개의 가이드 롤러(141, 142)를 지지하는 롤러 지지부(145)를 가진다.

가이드 롤러들(141, 142)은 기판(10)의 이동시 기판(10)의 하측면(11)을 지지한다. 가이드 롤러(141, 142) 각각은 대체로 원통 형상의 몸체로 이루어져 회전가능하도록 설치된다. 가이드 롤러(141, 142) 각각의 측면은 공정시 기판(10)의 하측면(11)과 접촉되어 기판(10)이 이동경로를 벗어나는 것을 방지한다. 본 발명의 일 예로, 가이드 롤러(141, 142) 각각은 볼 베어링(ball bearing)의 구조를 가진다.

롤러 지지부(145)는 서로 인접하는 두 개의 가이드 롤러(141, 142)를 지지한다. 롤러 지지부(145)는 서로 인접하는 두 개의 가이드 롤러(141, 142)를 회전시키는 회전 브라캣(143) 및 회전 브라캣(143)에 체결되어 상기 회전 브라캣(143)을 지지하는 지지축(144)을 포함한다.

본 발명의 일 예로, 회전 브라캣(143)은 두 개의 가이드 롤러 중 어느 하나의 롤러에 체결되어 지지하는 제1 지지부 및 나머지 하나의 롤러에 체결되어 지지하는 제2 지지부로 이루어지고, 제1 및 제2 지지부가 일체로 연결되어 회전 브라캣(143)은 V자 형상을 갖는다. 구체적으로, 제1 및 제2 지지부 각각의 단부가 두 개의 가이드 롤러(141, 142) 각각의 중앙에 형성된 홀에 삽입되면, 두 개의 가이드 롤러(141, 142)가 회전 브라캣(143)으로부터 이탈되지 않도록 볼트로 고정되거나 기타 다른 고정수단으로 고정된다.

상기한 회전 브라캣(143)은 지지축(144)과 체결된다. 특히, 지지축(144)은 회전 브라캣(143)의 중앙부(즉, 제1 및 제2 지지부가 연결된 부분)에서 체결된다. 따라서, 지지축(144)은 제1 및 제2 지지부를 함께 지지한다.

본 발명의 일 실시예에서는 고정 브라캣(143)과 지지축(144)을 분리하여 설명하였으나, 본 발명의 다른 일 실시예로서 고정 브라캣(143)과 지지축(144)은 일체로 형성될 수도 있다.

상기와 같이, 두 개의 가이드 롤러(141, 142)를 하나의 롤러 지지부(145)를 통해 함께 지지함으로써, 두 개의 가이드 롤러(141, 142) 중 어느 하나에 기판의 하중이 집중되더라도, 롤러 지지부(145)를 통해 하중을 나머지 롤러에 분산시킬 수 있고, 그 결과 가이드 롤러(141, 142)의 갈림 현상을 방지하여 롤러의 수명을 연장시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 단면도이다.

도 2는 도 1에 도시된 기판, 이송 유닛 및 기판 지지유닛의 사시도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

100 : 기판 처리 장치 110 : 처리 베스

120 : 이송 유닛 130 : 분사부재

140 : 기판 지지유닛 141, 142 : 가이드 롤러

145 : 롤러 지지부 143 : 회전 브라캣

144 : 지지축

Claims (10)

1. 기판의 측면을 지지하는 유닛에 있어서,

   상기 기판의 이송시 상기 기판의 측면과 접촉되어 회전되는 다수의 가이드 롤러; 및

   상기 가이드 롤러들 중 서로 인접하는 두 개의 가이드 롤러에 결합되어 상기 두 개의 가이드 롤러를 지지하는 롤러 지지를 포함하되,

   상기 롤러 지지부는,

   상기 두 개의 가이드 롤러 각각에 형성된 체결홀에 양단부가 각각 삽입되어 상기 두 개의 가이드 롤러를 그 중심축을 기준으로 회전시키는 회전 브라캣; 및

   상기 회전 브래캣에 체결되어 상기 회전 브라캣을 지지하는 지지축을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지유닛.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 상기 회전 브라캣은 V자 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 지지유닛.
4. 제3항에 있어서, 상기 지지축은 상기 회전 브라캣의 중앙부에 체결되어 상기 회전 브라캣을 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 지지유닛.
5. 제1항에 있어서, 상기 기판은 수평상태로부터 기울어져 이송되고,

   상기 다수의 가이드 롤러는 기울어진 상기 기판의 하측면을 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 지지유닛.
6. 기판이 제공되는 처리베스;

   상기 처리베스 내에 구비되고, 상기 기판을 이송하는 이송유닛; 및

   상기 기판의 이송시 상기 기판의 측면과 접촉되어 회전되는 다수의 가이드 롤러 및 상기 가이드 롤러들 중 서로 인접하는 두 개의 가이드 롤러에 결합되어 상기 두 개의 가이드 롤러를 지지하는 롤러 지지부로 이루어진 기판 지지유닛을 포함하되,

   상기 롤러 지지부는,

   상기 두 개의 가이드 롤러 각각에 형성된 체결홀에 양단부가 각각 삽입되어 상기 두 개의 가이드 롤러를 그 중심축을 기준으로 회전시키는 회전 브라캣; 및

   상기 회전 브래캣에 체결되어 상기 회전 브라캣을 지지하는 지지축을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 이송유닛은 상기 기판을 수평상태로부터 기울린 상태로 이송하고,

   상기 기판 지지유닛은 기울어진 상기 기판의 하측면을 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
8. 삭제
9. 제6항에 있어서, 상기 회전 브라캣은 V자 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 지지축은 상기 회전 브라캣의 중앙부에 체결되어 상기 회전 브라캣을 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.

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