KR101234946B1 - 회로기판 이송장치 및 이를 구비하는 블랙 옥사이드 처리설비 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 기판의 이송 경로를 기준으로 일정 간격이 이격되어 서로 평행하게 배치되는 롤러들 및 롤러들을 구동시키는 구동기를 포함하되, 롤러들은 기판의 양측 가장자리 영역과 접촉되는 접촉부 및 기판의 중앙 영역와 비접촉되는 비접촉부를 포함한다.

Description

회로기판 이송장치 및 이를 구비하는 블랙 옥사이드 처리설비{APPARATUS FOR TRANSFERING CIRCUIT BOARD, AND FACILITY FOR TREATING BLACK OXIDE}

본 발명은 회로기판 이송장치 및 이를 구비하는 블랙 옥사이드 처리설비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 회로기판의 오염을 방지하면서 인쇄회로기판을 이송하는 회로기판 이송장치 및 이를 구비하는 블랙 옥사이드 처리설비에 관한 것이다.

일반적으로 인쇄회로기판의 제조 공정은 인쇄회로기판(PCB)의 기초가 되는 빌드업 절연 시트에 비아홀(via hole)과 같은 개구를 형성하기 위한 공정을 포함한다. 이와 같은 개구를 형성하기 위한 공정으로 레이저 다이렉트 드릴(Laser Direct Drill:LDD) 공법을 사용하는 레이저 드릴링 공정이 최근 사용되고 있다. 상기 레이저 드릴링 공정의 적용을 위해서는 회로 기판에 대해 블랙 옥사이드(black oxide) 처리를 수행하여야 한다. 상기 블랙 옥사이드 처리 공정은 상기 회로 기판에 대해 블랙 옥사이드막을 형성하는 공정으로서, 상기 블랙 옥사이드막은 상기 레이저 드릴링 공정시 상기 레이저의 흡수율을 높이는 기능을 수행한다.

상기와 같은 블랙 옥사이드 처리 공정을 수행하는 설비는 상기 회로 기판에 대해 블랙 옥사이드 처리를 위한 장치와 더불어, 상기 회로 기판을 이송하는 이송 장치를 구비한다. 상기 이송 장치는 롤러 구동 방식으로 상기 회로 기판을 이송한다. 그러나, 상기 기판을 처리하는 과정에서 상기 기판을 이송하는 롤러(roller) 이송 설비에 상기 블랙 옥사이드 반응에 의한 슬러지(sludge)가 잔류하는 경우, 상기 롤러 이송 설비에 의해 상기 기판이 이송되는 과정에서 상기 슬러지가 상기 기판에 부착 및 성장하는 현상이 발생된다. 이와 같이 상기 기판이 상기 슬러지에 의해 오염되면, 추후 상기 슬러지에 의해 오염된 상기 기판의 영역은 블랙 옥사이드 반응이 일어나지 않아, 블랙 옥사이드 형상 불량이 발생된다. 따라서, 종래에는 이와 같은 문제점으로 인해, 레이저 드릴링 공정을 위한 블랙 옥사이드 처리설비는 롤러들을 상하로 수직하게 배치되어 상기 기판을 수직하게 세워 이송하는 수직 롤러 장치만이 사용되고 있다.

한국공개특허번호 : 2008-0070187

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판의 오염을 방지할 수 있는 회로기판 이송장치 및 이를 구비하는 블랙 옥사이드 처리설비를 제공하는 것에 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 레이저 가공 공정시 블랙 옥사이드 처리 과정에서 블랙 옥사이드 반응에 의해 설비에 잔류하는 슬러지로 인한 오염을 방지하는 회로기판 이송장치 및 이를 구비하는 블랙 옥사이드 처리설비를 제공하는 것에 있다.

본 발명에 따른 회로기판 이송장치는 기판의 이송 경로를 기준으로 일정 간격이 이격되어 서로 평행하게 배치되는 롤러들 및 상기 롤러들을 구동시키는 구동기를 포함하되, 상기 롤러들은 상기 기판의 양측 가장자리 영역과 접촉되는 접촉부 및 상기 기판의 중앙 영역와 비접촉되는 비접촉부를 포함한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 접촉부는 상기 비접촉부에 비해 큰 직경의 원기둥 형상으로 제공될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 롤러들은 좌우로 수평하게 놓여질 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 롤러들은 상기 기판의 저면에 배치되는 하부 롤러 및 상기 기판의 상부에 배치되는 상부 롤러를 포함하고, 상기 상부 롤러 및 상기 하부 롤러 중 적어도 상기 하부 롤러는 상기 기판의 중앙 영역의 일부를 선택적으로 지지하는 보조 지지부를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 보조 지지부는 상기 접촉부에 비해 작은 직경을 갖고 상기 비접촉부에 비해 큰 직경을 갖는 원 기둥 형상으로 제공될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 보조 지지부는 상기 기판의 중앙 부분이 아래로 쳐지는 경우에만 상기 기판의 중앙 영역 중 비활성 영역에 접촉할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 접촉부는 상기 기판의 비활성 영역에 한정하여 상기 기판에 접촉될 수 있다.

본 발명에 따른 블랙 옥사이드 처리설비는 회로 기판에 대해 레이저 가공 공정을 수행하기 전, 상기 회로 기판에 대해 블랙 옥사이드 처리를 수행하되, 상기 회로 기판의 이송 경로를 기준으로 일정 간격이 이격되어 좌우로 수평하게 배치되는 롤러들 및 상기 롤러들을 구동시키는 구동기를 포함하되, 상기 롤러들은 상기 기판의 양측 가장자리 영역과 접촉되는 접촉부 및 상기 기판의 중앙 영역와 비접촉되는 비접촉부를 포함한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 접촉부는 상기 비접촉부에 비해 큰 직경의 원기둥 형상으로 제공될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 롤러들은 상기 기판의 저면에 배치되는 하부 롤러 및 상기 기판의 상부에 배치되는 상부 롤러를 포함하고, 상기 상부 롤러 및 상기 하부 롤러 중 적어도 상기 하부 롤러는 상기 기판의 중앙 영역의 일부를 선택적으로 지지하는 보조 지지부를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 보조 지지부는 상기 접촉부에 비해 작은 직경을 갖고 상기 비접촉부에 비해 큰 직경을 갖는 원 기둥 형상으로 제공될 수 있다.

본 발명에 따른 회로기판 이송장치 및 이를 구비하는 블랙 옥사이드 처리설비는 상기 기판의 비활성 영역에만 접촉하여 상기 기판을 이송하므로, 기판 이송 과정에서 설비에 잔류하는 오염물질에 의해 기판의 활성 영역이 오염되는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 회로기판 이송장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 회로기판 이송장치의 변형예를 보여주는 도면이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공될 수 있다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

본 명세서에서 사용된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprise)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 회로기판 이송장치 및 이를 구비하는 블랙 옥사이드 처리설비에 대해 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 회로기판 이송장치를 보여주는 도면이다. 도 1를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 회로기판 이송장치(100)는 기판(10)의 이송 경로를 기준으로 일정 간격이 서로 이격되어 배치되는 제1 롤러(110) 및 제2 롤러(120), 그리고 상기 제1 및 제2 롤러들(110, 120)을 구동시키는 구동기(130)를 포함할 수 있다.

상기 제1 롤러(110)는 기판(10)의 이동 경로의 하부에 배치될 수 있다. 상기 제1 롤러(110)는 좌우 수평하게 놓여지는 제1 회전축(112), 그리고 상기 제1 회전축(112)의 둘레에 원기둥 형상으로 제공되는 제1 비접촉부(114) 및 제1 접촉부(116)를 포함할 수 있다. 상기 제1 비접촉부(114)는 상기 기판(10)과 비접촉하는 상기 제1 롤러(110)의 부분이고, 상기 제1 접촉부(116)는 상기 기판(10)과 접촉하는 상기 제1 롤러(110)의 부분일 수 있다. 상기 제1 비접촉부(114)는 상기 제1 회전축(112)의 대체로 중앙 영역에 배치되고, 상기 제1 접촉부(116)는 상기 제1 회전축(112)의 가장자리 영역에 배치되어 상기 제1 비접촉부(114)의 양측에 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 롤러(10)는 상기 기판(10)의 하부에서 상기 기판(10)의 가장자리 영역에만 선택적으로 접촉하여 상기 기판(10)을 지지시켜 이송하도록 제공될 수 있다.

상기 제2 롤러(120)는 상기 제1 롤러(110)과 대체로 동일한 구조를 가지되, 상기 제1 롤러(110)의 상부에서 상기 제1 롤러(110)와 평행하게 배치될 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 제2 롤러(120)는 상기 기판(10)의 이동 경로의 상부에서 상기 제1 회전축(112)과 평행하도록 좌우 수평하게 놓여지는 제2 회전축(122), 그리고 상기 제2 회전축(122)의 둘레에 원기둥 형상으로 제공되는 제2 비접촉부(124) 및 제2 접촉부(126)를 포함할 수 있다. 상기 제2 비접촉부(124)는 상기 기판(10)과 비접촉하는 상기 제2 롤러(120)의 부분이고, 상기 제2 접촉부(126)는 상기 기판(10)과 접촉하는 상기 제2 롤러(120)의 부분일 수 있다. 상기 제2 비접촉부(124)는 상기 제2 회전축(122)의 대체로 중앙 영역에 배치되고, 상기 제2 접촉부(126)는 상기 제2 회전축(122)의 가장자리 영역에 배치되어 상기 제2 비접촉부(20)의 상부에서 상기 기판(10)의 가장자리 영역에만 선택적으로 접촉하여 상기 기판(10)을 이송시킬 수 있다.

상기와 같은 제1 및 제2 접촉부들(116, 126)은 상기 기판(10)의 가장자리 영역에만 선택적으로 접촉할 수 있다. 여기서, 상기 기판(10)의 가장자리 영역은 상기 기판(10)에 대한 공정이 수행되지 않는 비활성 영역일 수 있다. 따라서, 상기 제1 및 제2 접촉부들(116, 126)의 세부 구조 및 폭 등은 상기 기판(10)의 가장자리 영역에만 한정하여 접촉할 수 있도록 그 구조가 제공되며, 이와 같은 세부 구조는 상기 기판(10)의 제품 설계에 따라 변경될 수 있다.

상기 구동기(130)는 상기 제1 롤러(110) 및 상기 제2 롤러(120)를 구동시킬 수 있다. 상기 구동기(130)는 상기 제1 회전축(112) 및 상기 제2 회전축(122) 각각을 독립적으로 구동시킬 수 있는 구동 모터 및 상기 구동 모터를 제어하는 컨트롤러(미도시됨) 등을 포함할 수 있다.

한편, 상기와 같은 구조의 회로기판 이송장치(100)는 블랙 옥사이드 처리설비(미도시됨)에 구비될 수 있다. 상기 블랙 옥사이드 처리설비는 레이저 다이렉트 드릴링 공정을 수행하기 이전에, 상기 회로 기판(10)에 대해 블랙 옥사이드막을 형성하는 공정을 수행할 수 있다. 상기 블랙 옥사이드막은 상기 레이저 다이렉트 드릴링 공정시, 상기 레이저의 흡수률을 높여 효과적으로 드릴링 공정이 수행되도록 할 수 있다.

상기와 같은 구조의 회로기판 이송장치(100)는 상기 기판(10)의 이송 처리시에 상기 기판(10)의 비활성 영역인 가장자리 영역만을 선택적으로 접촉시켜 이송 처리를 수행하므로, 상기 제1 및 제2 롤러들(110, 120)에 불순물이 잔류하여도 상기 불순물에 의해 상기 기판(10)의 활성 영역이 오염되는 것을 방지할 수 있다.

특히, 상기 회로기판 이송장치(100)가 상술한 레이저 드릴링 공정을 수행하는 설비에 구비되는 경우, 상기 제1 및 제2 롤러들(110, 120) 상에는 레이저 가공 공정을 위해 블랙 옥사이드 처리 공정시에 사용되는 블랙 옥사이드 반응에 의한 슬러지(sludge)가 잔류할 수 있다. 그러나, 상기 슬러지가 상기 제1 및 제2 롤러들(110, 120) 상에 잔류한다 하여도, 상기 제1 및 제2 롤러들(110, 120)은 상기 기판(10)의 가장자리 영역에만 한정하여 접촉하여 상기 기판(10)을 이송하므로, 상기 기판(10)이 상기 슬러지에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다.

이에 따라, 본 발명에 따른 회로기판 이송장치 및 이를 구비하는 블랙 옥사이드 처리설비는 상기 기판의 비활성 영역에만 접촉하여 상기 기판을 이송하므로, 기판 이송 과정에서 설비에 잔류하는 오염물질에 의해 기판의 활성 영역이 오염되는 것을 방지할 수 있다.

계속해서, 본 발명의 실시예에 따른 회로기판 이송장치의 변형예에 대해 상세히 설명한다. 여기서, 앞서 도 1을 참조하여 설명한 본 발명의 실시예에 따른 회로기판 이송장치(100)에 대해 중복되는 내용은 생략하거나 간소화될 수 있다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 회로기판 이송장치의 변형예를 보여주는 도면이다. 도 2를 본 발명의 변형예에 따른 회로기판 이송장치(101)는 앞서 도 1을 참조하여 설명한 회로기판 이송장치(100)에 비해, 기판(10)의 중앙 영역 중 일 부분을 선택적으로 지지하도록 제공되는 보조 지지부(118)를 더 포함할 수 있다.

보다 구체적으로, 상기 회로기판 이송장치(101)는 제1 및 제2 롤러들(110a, 120), 그리고 상기 제1 및 제2 롤러들(110a, 120)을 구동시키는 구동기(130)를 포함하되, 상기 제1 롤러(110a)는 제1 회전축(112), 상기 제1 회전축(112)의 중앙 영역에 배치되어 상기 기판(10)의 중앙 영역과 비접촉되는 제1 비접촉부(114), 상기 제1 회전축(112)의 가장자리 영역베 배치되어 상기 기판(10)의 가장자리 영역과 접촉되는 제1 접촉부(116), 그리고 상기 제1 회전축(112)의 중앙에서 상기 기판(10)의 중앙 영역 중 일부에 선택적으로 접촉되는 보조 지지부(118)를 포함할 수 있다. 그리고, 상기 제2 롤러들(120)은 제1 회전축(122), 상기 제2 회전축(122)에 구비되는 제2 비접촉부(124) 및 제2 접촉부(126)를 구비할 수 있다.

상기 보조 지지부(118)는 상기 기판(10)의 중앙 부분이 쳐지는 경우에만 선택적으로 상기 기판(10)에 접촉되도록 제공될 수 있다. 즉, 상기 제1 및 제1 접촉부들(116, 126)은 상기 기판(10)의 가장자리 영역만을 지지하므로, 도 2에서 점선으로 표시한 바와 같이, 상기 기판(10)의 중앙 영역이 아래로 쳐지는 현상이 발생될 수 있다. 이 경우 상기 기판(10)의 이송 정밀성 및 처리 효율이 낮아져, 상기 기판(10)이 손상되는 등의 현상이 발생될 수 있다. 이를 방지하기 위해, 상기 보조 지지(118)는 상기 제1 접촉부(116)의 직경에 비해 작은 직경을 갖는 원 기둥 형상으로 제공되어, 상기 기판(10)의 쳐짐 현상이 발생되는 경우에 한에, 상기 기판(10)을 지지하도록 할 수 있다. 이에 더하여, 상기 보조 지지부(118)는 상기 기판(10)의 중앙 영역 중 비활성 영역을 지지하도록 구성될 수 있다. 일 예로서, 상기 보조 지지부(118)는 상기 기판(10)의 중앙 영역 중 상기 기판(10)을 복수의 개별 회로기판들로 절단하기 위한 스크라이빙 라인에만 선택적으로 접촉하도록, 그 위치 및 폭이 조절될 수 있다.

상기와 같은 구조의 보조 지지부(118)는 상기 기판(10)의 중앙 부분이 쳐지는 현상이 발생될 때, 상기 기판(10)의 중앙 영역의 비활성 영역에만 한정하여 지지함으로써, 기판 이송시 상기 기판(10)의 중앙 부분이 쳐지는 현상을 방지함과 더불어, 설비에 잔류하는 오염물질에 의해 상기 기판(10)이 오염되는 것 또한 방지할 수 있다.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

100 : 회로기판 이송장치
110 : 제1 롤러
112 : 제1 회전축
114 : 제1 접촉부
116 : 제1 비접촉부
118 : 보조 지지부
120 : 제2 롤러
122 : 제2 회전축
124 : 제2 접촉부
126 : 제2 비접촉부
130 : 구동기

Claims (11)

1. 삭제
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 삭제
7. 삭제
8. 회로 기판에 대해 레이저 가공 공정을 수행하기 전, 상기 회로 기판에 대해 블랙 옥사이드 처리를 수행하되,
   상기 회로 기판의 이송 경로를 기준으로 일정 간격이 이격되어 좌우로 수평하게 배치되는 롤러들; 및
   상기 롤러들을 구동시키는 구동기를 포함하되,
   상기 롤러들은:
   상기 회로 기판의 양측 가장자리 영역과 접촉되는 접촉부; 및
   상기 회로 기판의 중앙 영역와 비접촉되는 비접촉부를 포함하는 블랙 옥사이드 처리설비.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 접촉부는 상기 비접촉부에 비해 큰 직경의 원기둥 형상으로 제공되는 블랙 옥사이드 처리설비.
10. 제 8 항에 있어서,
    상기 롤러들은:
    상기 회로 기판의 저면에 배치되는 하부 롤러; 및
    상기 회로 기판의 상부에 배치되는 상부 롤러를 포함하고,
    상기 상부 롤러 및 상기 하부 롤러 중 적어도 상기 하부 롤러는 상기 회로 기판의 중앙 영역의 일부를 선택적으로 지지하는 보조 지지부를 포함하는 블랙 옥사이드 처리설비.
11. 제 10 항에 있어서,
    상기 보조 지지부는 상기 접촉부에 비해 작은 직경을 갖고 상기 비접촉부에 비해 큰 직경을 갖는 원 기둥 형상으로 제공되는 블랙 옥사이드 처리설비.

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