KR100777983B1 - 기판 절단 장치 - Google Patents

기판 절단 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100777983B1
KR100777983B1 KR1020050133560A KR20050133560A KR100777983B1 KR 100777983 B1 KR100777983 B1 KR 100777983B1 KR 1020050133560 A KR1020050133560 A KR 1020050133560A KR 20050133560 A KR20050133560 A KR 20050133560A KR 100777983 B1 KR100777983 B1 KR 100777983B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
scriber
cutting
conveyor belt
scribers
Prior art date
Application number
KR1020050133560A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20070070731A (ko
Inventor
김준영
Original Assignee
주식회사 탑 엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 탑 엔지니어링 filed Critical 주식회사 탑 엔지니어링
Priority to KR1020050133560A priority Critical patent/KR100777983B1/ko
Priority to TW095144535A priority patent/TWI318620B/zh
Priority to CNB2006101610645A priority patent/CN100451756C/zh
Publication of KR20070070731A publication Critical patent/KR20070070731A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100777983B1 publication Critical patent/KR100777983B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/22Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/32Methods and apparatus specially adapted for working materials which can easily be split, e.g. mica, slate, schist
    • B28D1/327Methods and apparatus specially adapted for working materials which can easily be split, e.g. mica, slate, schist for cutting or shearing easily splittable working materials
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67092Apparatus for mechanical treatment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

취성 기판을 컨베이어벨트로 이송시켜 주는 기판 절단 장치에 관한 것으로, 절단대상인 기판에 대하여 스크라이빙 처리를 하는 스크라이버; 상기 스크라이버에 상기 기판을 이송시켜 주는 이송수단; 및 상기 스크라이버와 상기 이송수단 사이에 설치되어, 상기 스크라이버에 접근한 상기 기판의 일단부를 미리 설정된 기준 위치로 유지해 주는 기준 설정 수단으로 구성된다.
이러한 기판 절단 장치를 이용하는 것에 의해 기판 절단의 정밀도를 높여 주고, 균일도를 일정하게 유지시켜 주기 때문에 기판의 가공 품질을 향상시켜 주는 효과를 제공한다.
기판, 절단, 스크라이버

Description

기판 절단 장치{Apparatus for Cutting Substrate}
도 1은 종래의 절단 장치의 구조를 설명하기 위한 구성도.
도 2는 종래의 절단 장치의 문제점을 설명하기 위한 설명도.
도 3은 종래의 다른 절단 장치의 구조를 설명하기 위한 구성도.
도 4는 종래의 또 다른 절단 장치의 구조를 설명하기 위한 구성도.
도 5는 본 발명에 따른 절단 장치의 구조를 설명하기 위한 구성도.
도 6은 본 발명에 따른 다른 절단 장치의 구조를 설명하기 위한 구성도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
41 : 컨베이어벨트 41a : 벨트
41b : 제 1벨트롤러 41c : 제 2벨트롤러
42 : 기판 43a : 제 1스크라이버
43b : 제 2스크라이버 44 : 기준롤러
44a : 제 1기준롤러 44b : 제 2기준롤러
45 : 기판 홀더
본 발명은 기판 절단 장치에 관한 것으로, 특히 취성 기판을 컨베이어벨트로 이송시켜 주는 기판 절단 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판형 디스플레이로 이용되는 LCD나 유기발광소자 등은 기판으로 유리 기판을 이용한다.
상기와 같이 유리 기판을 소자의 기판으로 이용하기 위해서는 소자의 크기에 따라 유리 기판을 절단 가공해야 하는데, 이와 같은 기능을 가지는 장치는 통상적으로 스크라이버(Scriber)라고 한다.
상기 스크라이버는 유리 기판의 설정된 위치에 절단을 위한 스크라이빙 처리를 하고, 상기 스크라이빙 처리에 의해 형성된 크랙을 이용하여 브레이커를 이용하여 절단 처리한다.
상기와 같은 기능을 가지는 스크라이버의 전형적인 구조를 도 1에 나타내었다.
도 1에 나타낸 종래의 스크라이버는 유리 기판(12)의 상하면에 스크라이빙 처리해 주는 제 1스크라이버(13a) 및 제 2스크라이버(13b)에 대하여 컨베이어벨트(11)를 이용하여 상기 유리 기판(12)을 이송시켜 준다. 이때, 기판 홀더(14)를 이용하여 상기 유리 기판(12)의 일측을 고정시킴으로써, 상기 유리기판(12)의 방향이 틀어지는 것을 방지한다.
그런데, 상기와 같은 종래의 절단 장치에서, 상기 컨베이어벨트(11)와 상기 제 1 및 제 2스크라이버(13a, 13b)가 서로 상당한 거리를 유지하게 구성되어 있고, 상기 제 1 및 제 2스크라이버(13a, 13b)는 단순하게 상기 유리 기판(12)에 대한 스 크라이빙 처리만 할 수 있을 정도로 접촉되기 때문에 상기 제 1 및 제2 스크라이버(13a, 13b) 쪽으로 상기 컨베이어벨트(11)를 벗어한 유리 기판(12)의 일측단은 자체 하중이나 상기 제 1 및 제2 스크라이버(13a, 13b) 중 어느 하나의 스크라이버만 동작하는 경우에 동작하는 스크라이버에 의해서 가해지는 힘을 받아 아래로 휘어지는 현상이 발생할 수 있다(참조 도 2의 A -> B).
따라서, 스크라이버(13a, 13b)의 위치 설정이 기판(12)의 절단 위치 변경과 무관하게 설정된 상태에서 스크라이빙 처리가 이루어지기 때문에, 이를 보정하지 않는 한, 유리 기판(12)에 대한 정밀한 절단이 어려워지는 문제점이 있다.
특히, 상기 유리 기판(12)의 경우에는 기계적 강도가 높아서 그 휘어지는 정도가 상대적으로 작지만, 다른 고분자계열의 기판인 경우에는 휘어지는 정도가 상대적으로 크기 때문에 정밀한 위치의 절단이 더욱 어려워지는 문제점이 있다.
그리고, 2005년 8월 29일에 특허공개번호 제 2005-85135호로 공개된 "기판 절단 시스템, 기판 제조장치, 기판 스크라이브 방법및 기판 절단방법"의 도 85에 컨베이어를 이용하여 기판을 이송시키는 기술이 개시되어 있다.
상기 특허공개번호 제 2005-85135호에 소개되어 있는 기술은 도 3에 나타낸 바와 같이, 중앙의 스크라이버(21)를 중심으로 양측에 기판을 이송시켜 주는 컨베이어벨트(22)가 설치되어 있어서, 스크라이빙 처리되는 기판을 이송시켜 주는 기술이다.
그러나, 상기 특허공개번호 제 2005-85135호는 컨베이어벨트(22)와 스크라이버(21)간의 거리가 상당히 멀리 설치되어 있으면서 스크라이버(21) 주변에 기판을 지지해 주는 수단이 마련되어 있지 않아서 상기 기판에 대한 스크라이빙 처리 도중에 기판 자체의 하중이나 스크라이버에 의해 가해지는 힘을 받아 기판이 일측으로 휘어지는 현상을 해소할 수 있는 기술이 마련되어 있지 않다.
한편, 2000년 5월 15일에 공개된 특허공개번호 제 2000-27155호는 "스크라이브 라인 음각 장치"에 대한 기술로, 도 4에 나타낸 바와 같이, 기판(36)이 테이블(35)에 고정된 채, 스크라이버(31)를 이송 벨트(32) 및 구동 롤러(33)로 구성된 이송장치를 이용하여 이송시키면서 상기 스크라이버(31)의 휠(31a)로 상기 기판(36)에 대하여 스크라이빙 처리하는 기술이 소개되어 있다.
상기와 같은 특허공개번호 제 2000-27155호는 상기 기판(36)을 상기 테이블(35)에 대하여 고정시킨 상태에서 스크라이빙 처리를 하기 때문에 상기 기판(36)이 위의 다른 종래 기술과 같이 휘는 문제점을 해소할 수 있으나, 상기 스크라이버(31)를 이송장치(32, 33)를 이용하여 이송시키면서 스크라이빙 처리를 하기 때문에 상기 스크라이버(31)의 구동제어에 필요한 케이블링이 복잡해지는 문제점이 발생한다.
그리고, 상기 기판(36)의 크기가 매우 큰 경우에 적용되는 장치일 경우에는 상기 이송장치를 구성하는 이송벨트(32)의 길이가 길어지기 때문에 구동 거리 확장에 따른 이송벨트(32)의 제어 오차가 커져서 상기 스크라이버(31)에 대한 정밀한 위치 제어가 어려워지는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 절단 대상인 기판을 컨베이어벨트 방식으로 스크라이버로 이송시켜 주는 방식의 기판 절단 장치에서 상기 스크라이버의 근처에 기판의 변형을 방지해 주는 수단을 통하여 기판의 평탄도를 유지함으로써 정밀한 절단 가공이 가능한 기판 절단 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 절단대상인 기판에 대하여 스크라이빙 처리를 하는 스크라이버; 상기 스크라이버에 상기 기판을 이송시켜 주는 이송수단; 및 상기 스크라이버와 상기 이송수단 사이에 설치되어, 상기 스크라이버에 접근한 상기 기판의 일단부를 미리 설정된 기준 위치로 유지해 주는 기준 설정 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치를 제공한다.
상기 기준 설정 수단은 상기 스크라이버가 상기 기판의 상부에 설치되면 상기 기판의 아래에 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 기준 설정 수단은 상기 스크라이버가 상기 기판의 상부 및 하부에 설치되면 상기 기판의 아래 및 위에 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 기판의 위에 설치된 상기 기준 설정 수단은 상기 기판의 두께에 따라 그 높이를 변경 가능한 것을 특징으로 한다.
상기 기준 설정 수단은 롤러로 구성되는 것을 특징으로 한다.
(실시예)
본 발명에 따른 기판 절단 장치유기발광소자 및 그 제조방법에 대하여 본 발 명의 바람직한 실시예를 나타낸 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
첨부한 도면, 도 5는 본 발명에 따른 절단 장치의 구조를 설명하기 위한 구성도이며, 도 6은 본 발명에 따른 다른 절단 장치의 구조를 설명하기 위한 구성도이다.
본 발명에 따른 기판 절단 장치는 도 5에 나타낸 바와 같이, 유리와 같은 취성 기판(42)를 절단하기 위한 것으로, 절단을 위한 스크라이빙 처리 방식은 커팅 휠을 이용한 제 1 및 제 2스크라이버(43a. 43b)를 이용한다.
상기 제 1 및 제 2스크라이버(43a, 43b)에 상기 기판(42)를 이송시켜 주는 이송 수단은 컨베이어벨트(41)를 이용하는데, 상기 컨베이어벨트(41)는 기판(42)을 이송시켜 주는 벨트(41a)와, 상기 벨트(41a)의 양단을 지지하면서 구동시켜 주는 제 1벨트롤러(41b)와 제 2벨트롤러(41c)로 구성된다.
그리고, 상기 기판(42)이 상기 컨베이어벨트(41)에 의하여 상기 제 1 및 제 2스크라이버(43a, 43b)로 이송될 때에 그 방향이 틀어지는 것을 방지하기 위해, 상기 기판(42)의 일측을 일정 방향으로 고정시킨 채 이동되는 기판홀더(45)가 상기 컨베이어벨트(41)와 연동된다.
또한, 본 발명은 상기 기판(42)이 상기 제 1 및 제 2스크라이버(43a, 43b)로 이송되어 스크라이빙 처리될 때에 기판(42)의 일단부가 휘는 것을 방지하기 위하여, 기판(42)의 높이를 미리 설정된 기준 위치로 유지시켜 주는 기준 롤러(44)가 상기 컨베이어벨트(41)와 제 1 및 제 2스크라이버(43a, 43b) 사이의 기판(42) 아래 위치에 설치된다.
따라서, 상기 기준 롤러(44)의 위치는 상기 기판(42)을 이송시켜 주는 상기 컨베이어벨트(41)의 일단의 높이와 같은 높이로 설정되어야 한다.
그리고, 상기 기준 롤러(44)는 상기 기판(42)이 상기 컨베이어벨트(41)에서 제 1 및 제 2스크라이버(43a, 43b) 쪽으로 이송될 때에 회전하는 것이기 때문에 구동력이 없는 더미 롤러로 구성되는 것이 바람직한데, 경우에 따라서는 상기 기준 롤러(44)의 외주면의 선속도가 상기 컨베이어벨트(41)의 이송 속도와 같은 속도로 회전하게 해 주는 별도의 모터를 이용하여 구동시켜도 무방하다.
도 5에서는 상기 스크라이버(43a, 43b)를 기판(42)의 상하에 설치된 것을 예로 들었지만, 상부에 한 개만 설치된 경우에 적용되는 것이 바람직하다.
한편, 도 6에 나타낸 본 발명의 다른 실시예는 도 5에 나타낸 한 개의 기준 롤러(44) 대신에 기판(42)의 아랫면과 윗면에 각각 접촉되는 제 1기준 롤러(44a)와 제 2기준 롤러(44b)를 채택한 것이다.
상기와 같이, 상기 제 1기준 롤러(44a)와 상기 제 2기준 롤러(44b)를 이용하여 상기 기판(42)의 아래와 위에서 동시에 기준 위치를 고정시켜 주면, 상기 제 1 및 제 2스크라이버(43a, 43b)에 의해 스크라이빙 처리가 이루어지는 도중에 상기 제 1 및 제 2스크라이버(43a, 43b)의 기판(42)에 대한 접촉력의 편차가 발생되더라도 상기 기판(42)이 어느 한 방향으로 휘는 것을 방지할 수 있다.
이때, 상기 제 1기준 롤러(44a)의 높이는 상기 컨베이어벨트(41)의 일단부의 상단 높이와 동일하게 설정하면 되지만, 상기 제 2기준 롤러(44b)의 높이 즉, 상기 기판(42)에 접촉되는 높이는 상기 제 1기준 롤러(44a)의 높이에 상기 기판(42)의 높이를 산정하여 설정하는 것이 바람직하다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명은 상기 기준 롤러(44)와 제 1 및 제 2기준 롤러(44a, 44b)를 통하여 상기 기판(42)이 휘는 것을 원천적으로 방지할 수도 있지만, 만약에 그 것이 불가능하다고 하더라도 자체 하중에 의하여 상기 기판(42)이 휘어지는 것을 최소화시키기 때문에 상기 스크라이버의 위치 보정량이 상대적으로 줄어들어 보다 정밀한 절단이 가능하게 한다.
상기와 같이 기판(42)에 정밀하게 스크라이빙 처리를 한 후에 브레이커(도시 생략)를 이용하여 절단한다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명은 스크라이버와 컨베이어벨트 사이에 기준 롤러를 설치함으로써 기판 절단의 정밀도를 높여 주고, 균일도를 일정하게 유지시켜 주기 때문에 기판의 가공 품질을 향상시켜 주는 효과를 제공한다.

Claims (5)

  1. 절단대상인 기판에 대하여 스크라이빙 처리를 하는 제1 또는 제2 스크라이버(43a, 43b);
    상기 제1 또는 제2 스크라이버에 상기 기판을 이송시켜 주는 이송수단; 및
    상기 제1 또는 제2 스크라이버와 상기 이송수단 사이에 설치되어, 상기 제1 또는 제2 스크라이버에 접근한 상기 기판의 일단부를 미리 설정된 기준 위치로 유지해 주는 기준 롤러(44, 44a, 44b)를 포함하고,
    상기 기준 롤러는 상기 기판의 두께에 따라 그 높이를 변경 가능한 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 기준 롤러(44)는 상기 제1 스크라이버(43a)가 상기 기판의 상부에 설치되면 상기 기판의 아래에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 기준 롤러(44a, 44b)는 상기 제1 또는 제2 스크라이버(43a, 43b)가 상기 기판의 상부 및 하부에 설치되면 상기 기판의 아래 및 위에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
KR1020050133560A 2005-12-29 2005-12-29 기판 절단 장치 KR100777983B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050133560A KR100777983B1 (ko) 2005-12-29 2005-12-29 기판 절단 장치
TW095144535A TWI318620B (en) 2005-12-29 2006-11-30 Apparatus for cutting substrate
CNB2006101610645A CN100451756C (zh) 2005-12-29 2006-12-04 用于切割基板的装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050133560A KR100777983B1 (ko) 2005-12-29 2005-12-29 기판 절단 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070070731A KR20070070731A (ko) 2007-07-04
KR100777983B1 true KR100777983B1 (ko) 2007-11-21

Family

ID=38059162

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050133560A KR100777983B1 (ko) 2005-12-29 2005-12-29 기판 절단 장치

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR100777983B1 (ko)
CN (1) CN100451756C (ko)
TW (1) TWI318620B (ko)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5139852B2 (ja) * 2008-03-17 2013-02-06 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライブ装置及びスクライブ方法
KR101562302B1 (ko) * 2009-04-30 2015-10-22 주식회사 탑 엔지니어링 글래스 패널의 더미 낙하방지장치
CN102442767B (zh) * 2011-08-19 2014-03-19 深圳市华星光电技术有限公司 切割机及其对面板进行对位的方法
KR101651253B1 (ko) * 2014-05-29 2016-08-26 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이브 장치용 이송 밸트 및 이를 갖는 스크라이브 장치
KR101668778B1 (ko) * 2014-05-29 2016-10-31 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이브 장치
KR102525334B1 (ko) * 2016-03-03 2023-04-27 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치
CN106773159B (zh) * 2016-12-12 2018-04-10 惠科股份有限公司 一种残材去除装置
KR102027136B1 (ko) * 2017-09-27 2019-10-01 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치
KR102176870B1 (ko) * 2019-05-10 2020-11-11 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치의 제어 방법
KR102267730B1 (ko) * 2019-05-14 2021-06-23 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이브 장치의 제어 방법
KR20210021194A (ko) * 2019-08-14 2021-02-25 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치의 제어 방법
CN113203960A (zh) * 2021-04-26 2021-08-03 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 开路短路测试装置及方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1164834A (ja) 1997-08-11 1999-03-05 Hitachi Ltd 液晶表示基板製造装置
KR100425511B1 (ko) 2000-08-23 2004-03-30 양근창 평판조명장치용 도광판 제조 장치 및 방법
KR20050000480A (ko) * 2003-06-27 2005-01-05 주식회사 탑 엔지니어링 평판표시장치 제조용 기판 절단장치
KR20050000479A (ko) * 2003-06-27 2005-01-05 엘지.필립스 엘시디 주식회사 평판표시장치 제조용 기판 절단장치
KR20060075108A (ko) * 2004-12-28 2006-07-04 삼성코닝정밀유리 주식회사 유리기판의 필름 스크라이빙 장치
KR20060077361A (ko) * 2004-12-30 2006-07-05 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정패널 절단장치

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05297334A (ja) * 1992-04-20 1993-11-12 Mitsubishi Electric Corp 液晶表示素子用ガラス基板の切断加工方法
CN1486285B (zh) * 2001-01-17 2013-01-16 三星宝石工业株式会社 划线分断设备及其系统
KR100789455B1 (ko) * 2002-02-20 2007-12-31 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 패널의 절단 방법

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1164834A (ja) 1997-08-11 1999-03-05 Hitachi Ltd 液晶表示基板製造装置
KR100425511B1 (ko) 2000-08-23 2004-03-30 양근창 평판조명장치용 도광판 제조 장치 및 방법
KR20050000480A (ko) * 2003-06-27 2005-01-05 주식회사 탑 엔지니어링 평판표시장치 제조용 기판 절단장치
KR20050000479A (ko) * 2003-06-27 2005-01-05 엘지.필립스 엘시디 주식회사 평판표시장치 제조용 기판 절단장치
KR20060075108A (ko) * 2004-12-28 2006-07-04 삼성코닝정밀유리 주식회사 유리기판의 필름 스크라이빙 장치
KR20060077361A (ko) * 2004-12-30 2006-07-05 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정패널 절단장치

Also Published As

Publication number Publication date
TW200730447A (en) 2007-08-16
TWI318620B (en) 2009-12-21
CN100451756C (zh) 2009-01-14
KR20070070731A (ko) 2007-07-04
CN1952751A (zh) 2007-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100777983B1 (ko) 기판 절단 장치
KR100645499B1 (ko) 취성기판의 절단방법 및 그 장치
KR101696718B1 (ko) 스크라이빙 조립체 및 스크라이빙 방법
EP1886783B1 (en) Plate material cutting unit, cutting device having the cutting unit, and cutting facility having the cutting device
KR100834566B1 (ko) 글라스 반송 장치
US11318508B2 (en) Glass-plate cleaning device and method for producing glass plate
WO2014192482A1 (ja) ガラス基板の切断方法及びガラス基板の製造方法
JP7456633B2 (ja) ワーク端面クリーンローラ装置
KR20150035577A (ko) 유리 기판의 절단 방법 및 유리 기판의 제조 방법
JP5332085B2 (ja) フラットパネルディスプレイ用のガラス基板の製造方法
JP6331454B2 (ja) スクライブ装置
CN101274407A (zh) 载物台装置
KR100719689B1 (ko) 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터
JP2007266393A (ja) 基板の位置決め方法、基板の位置決め装置、プラズマディスプレイ用背面板の製造装置。
KR102027136B1 (ko) 스크라이빙 장치
JPH07124837A (ja) 板ガラスの位置決め方法及び装置
KR20100026633A (ko) 스크라이빙 장치 및 방법
KR101991268B1 (ko) 스크라이빙 장치 및 스크라이빙 방법
JP2005026554A (ja) 基板処理方法および基板処理装置
JP2001102283A (ja) 基板処理装置
CN109250502B (zh) 基板输送装置
KR102458915B1 (ko) 글라스 기판의 이송 시 발생되는 손상을 방지하는 복수의 글라스 기판 이송 장치를 포함하는 글라스 기판 이송 시스템
KR100678294B1 (ko) 유리기판의 필름 스크라이빙 장치
KR101052754B1 (ko) 기판 이송 장치
JP6402940B2 (ja) スクライブ装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121023

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130826

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140825

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150825

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160922

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170921

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180918

Year of fee payment: 12