JPH1164834A - 液晶表示基板製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 保護膜の有無およびその膜圧に依存すること
なくスクライブを行うことが可能な液晶表示基板製造装
置を提供すること。 【解決手段】 ガラス基板を載置する載置台と、該載置
台と一体に構成され、一端部が前記載置台の表面に通じ
る１個以上の空気孔と、該空気孔から空気を吸引する空
気吸引手段と、前記ガラス基板を所定位置で切断するた
めの垂直クラックをいれるスクライブ手段とを有する液
晶表示基板製造装置において、前記載置台は前記スクラ
イブ手段の移動方向に沿った１つ以上の開口部を具備
し、前記スクライブ手段は前記載置台が成膜面側とは反
対の側で保持した液晶表示基板を前記開口部を通して保
持側から垂直クラックを形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示基板製造
装置に関し、特に、１枚のガラス基板上に形成した複数
枚分の液晶表示基板を１枚ずつに切断する基板切断装置
に適用して有効な技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の基板切断装置は、搬送装置によっ
て搬送されてきた液晶ガラス基板（ガラス基板）を定盤
上に位置合わせする位置合わせ手段と、位置合わせ後の
基板を定盤上に固定するための固定手段と、固定したガ
ラス基板の上面すなわち定盤と反対の側にガラス基板の
切断線に沿って素直クラックをいれるスクライブ手段と
から構成されていた。

【０００３】従来の基板切断装置では、まず、搬送装置
がカセットに格納されたガラス基板をこのカセットから
１枚ずつ取り出して定盤上におく。ただし、このときの
ガラス基板は、位置合わせ等の定盤上での移動によって
保護膜に傷等が付くことを防止するために、保護膜を付
けた成膜面側が定盤と反対の側すなわち成膜面側が上側
となるように液晶表示基板を設置していた。次に、たと
えば、ガラス基板を四方から挟み込んで位置合わせを行
う位置合わせ手段が定盤上でこのガラス基板の位置合わ
せを行うことによって、スクライブ手段の移動方向とガ
ラス基板との位置合わせを行った後、固定手段がこの位
置でガラス基板を定盤上で移動しないように固定する。
次に、スクライブ手段がガラス基板の表面側である保護
膜が形成されている側からガラス基板に線状のクラック
を形成していた。すなわち、スクライブ手段はガラス基
板を定盤との間に挟み込むようにして、切断線に沿って
垂直クラックいれていた。このガラス基板は搬送装置に
よって、次に工程であるガラス基板分割工程に搬送さ
れ、この工程で、線状の垂直クラックに沿って所定の力
を印加され、分割されていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明者は、前記従来
技術を検討した結果、以下の問題点を見いだした。

【０００５】従来のガラス基板では、その大きさが小さ
かったので、保護膜を含めた各膜圧はほぼ均一に形成す
ることが可能であった。

【０００６】しかしながら、表示装置の大型化に伴っ
て、液晶表示基板に対する大型化の要求も強まってくる
と共に、その価格については更なる低下が要求されるに
至っている。

【０００７】このため、一枚のガラス基板に複数枚分の
液晶表示基板のパターンを形成した後にこのガラス基板
に切断する、いわゆる、複数枚取りと呼ばれる方法が採
用されていた。

【０００８】しかしながら、１枚の液晶表示基板の大き
さが大型化しているので、基となるガラス基板の大きさ
はさらに大型化することになり、保護膜を含めた各膜厚
を均一化することが困難となっていた。これは、たとえ
ば、スピン型の塗布装置を用いた場合では、ガラス基板
を高速に回転させながらガラス基板上部より樹脂系の液
体を吐出することによって、この保護膜となる樹脂系の
液体をガラス基板上に塗布していたので、同一のガラス
基板上にあっても各部にかかる遠心力の違いによって、
中心部分よりも周辺部分の膜厚の方が薄くなるというこ
とがあった。一方、ガラス基板の基板端部分では、表面
張力によって吐出した液体が溜まり易いと共に、その隣
接する領域では溜まった液体の表面張力によって保護膜
が薄くなっていた。この現象は、ガラス基板の角となる
頂角において最も顕著であった。

【０００９】このため、ガラス基板が小さい場合には、
周辺部分に働く遠心力が小さかったので保護膜の膜圧は
比較的均一に形成することができたが、ガラス基板が大
きくなるにしたがって、周辺部分に働く遠心力は中心か
らの距離の２乗に比例して大きくなるので、中心部分と
周辺部分との膜厚の差および基板端部分とその隣接領域
との膜厚の差が大きくなり、膜厚を均一に保つことが困
難となった。一方、保護膜の厚さはガラス基板表面を保
護するという目的を達成させるための所定の厚さ以下に
することは困難であったので、従来では最も薄い個所の
膜厚が所定位置以上の膜圧となるように、保護膜の形成
を行っていた。このために、ガラス基板の端部、特に、
角においては保護膜の厚さが厚くなってしまうというこ
とがあった。一方、保護膜は樹脂成分を主成分としてい
るので、その膜厚が所定の値以上の個所に達するとスク
ライブ手段の回転部分であるホイールが保護膜上で滑っ
てしまうという回転不良が発生してしまい、十分な垂直
クラックをガラス基板にいれることができず、切断不良
が多発してしまうという問題があった。

【００１０】また、従来ではガラス基板の種類に応じて
保護膜の有無および当該保護膜の膜厚が異なっていたの
で、基板切断装置はガラス基板の種類に応じてスクライ
ブ時の圧力すなわち回転ホイールをガラス基板に押しつ
ける力を変化させなければならないという問題があっ
た。

【００１１】本発明の目的は、保護膜の有無およびその
膜圧に依存することなくスクライブを行うことが可能な
液晶表示基板製造装置を提供することにある。

【００１２】本発明の他の目的は、ガラス基板切断時の
不良率を低減することが可能な液晶表示基板製造装置を
提供することにある。

【００１３】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００１５】（１）ガラス基板を載置する載置台と、該
載置台と一体に構成され、一端部が前記載置台の表面に
通じる１個以上の空気孔と、該空気孔から空気を吸引す
る空気吸引手段と、前記ガラス基板を所定位置で切断す
るための垂直クラックをいれるスクライブ手段とを有す
る液晶表示基板製造装置において、前記載置台は前記ス
クライブ手段の移動方向に沿った１つ以上の開口部を具
備し、前記スクライブ手段は前記載置台が成膜面側とは
反対の側で保持した液晶表示基板を前記開口部を通して
保持側から垂直クラックを形成する。

【００１６】（２）前述した（１）に記載の液晶表示基
板製造装置において、スクライブ時に、少なくとも前記
開口部に沿って前記ガラス基板を前記載置台とは反対の
方向から押さえる押さえ手段を具備する。

【００１７】（３）前述した（１）もしくは（２）に記
載の液晶表示基板製造装置において、前記スクライブ手
段は、回転部分に付着するガラス片を除去するブロー手
段を具備する。

【００１８】（４）前述した（１）ないし（３）の内の
いずれかに記載の液晶表示基板製造装置において、前記
ガラス基板は、形成したパターン上に厚さが１．４０μ
ｍ以上の保護膜を具備する。

【００１９】前述した（１）〜（４）の手段によれば、
例えば、載置台の所定部分にガラス基板を切断するため
の線状の垂直クラックを形成するホイールを移動させる
ための切り欠きである開口部を設け、当該開口部からホ
イールをガラス基板に押し当てて移動させることによっ
て、載置台の吸着面側である保護膜の形成されていない
側から垂直クラックを形成することができるので、保護
膜の厚さに依存せずにスクライブ圧力に比例した垂直ク
ラックを形成することができる。したがって、ガラス基
板切断時の不良率を低減することができる。さらには、
保護膜とは反対の側に垂直クラックを形成するので、こ
の垂直クラックに沿ってガラス基板を分割（ブレーク）
する工程において、分割時に発生するガラス片がガラス
基板の保護膜面の側に飛び散り付着することを防止でき
るという効果もある。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明について、発明の実
施の形態（実施例）とともに図面を参照して詳細に説明
する。

【００２１】なお、発明の実施の形態を説明するための
全図において、同一機能を有するものは同一符号を付
け、その繰り返しの説明は省略する。

【００２２】図１は本発明の一実施の形態の液晶表示基
板製造装置である基板切断装置の概略構成を説明するた
めのブロック図であり、１０１はガラス基板、１０２は
保護膜、１０３は定盤（載置台）、１０４は開口部、１
０５はスクライブ手段、１０６は押し出し手段、１０７
は位置決め手段、１０８はテレビカメラ、１０９は押さ
え手段、１１０は押し出しピン、１１１は位置決めピン
を示す。

【００２３】図１において、ガラス基板１０１は、たと
えば、一方の側に周知のカラーフィルタを形成した後に
保護膜１０２を形成した周知のカラーフィルタ基板であ
る。

【００２４】定盤１０３は、図示しない搬送装置（搬送
手段）によって搬送されたガラス基板１０１を載置する
周知の定盤であり、ガラス基板１０１の裏面側すなわち
保護膜等の成膜を行っていない側を定盤側とする。ま
た、定盤１０３にはたとえば図示しない周知の移動機構
が設けられており、図示しない制御手段の移動信号に基
づいて、定盤１０３を点線で示すａ点から実線で示すｂ
点に移動させる。すなわち、定盤１０３は、点線で示す
ａ点においてガラス基板１０１の受け取り、位置合わせ
および固定を行った後に、実線で示すｂ点においてスク
ライブ手段１０５がガラス基板１０１の裏面側すなわち
保護膜１０２を形成していない側から切断のための垂直
クラックをいれる。なお、定盤１０３の詳細について
は、後述する。

【００２５】開口部１０４は、定盤１０３に設けた直線
状の開口部であり、本実施の形態においては、この開口
部１０４に沿ってスクライブ手段１０５の先端部分を移
動することによってガラス基板１０１に垂直クラックを
いれる。

【００２６】スクライブ手段１０５はガラス基板１０１
に切断のための垂直クラックを切断線に沿っていれる手
段であり、本実施の形態においては、図１に示すよう
に、定盤側すなわちガラス基板１０１の裏面側から垂直
クラックをいれる。なお、スクライブ手段の詳細につい
ては、後述する。

【００２７】押し出し手段１０６は、位置決め手段１０
７と共に、ガラス基板１０１の搭載位置を所定の位置す
なわちガラス基板１０１を切断する位置と開口部１０４
との位置合わせをするための手段であり、たとえば、周
知のエアシリンダとエアシリンダの先端部分に取り付け
た押し出しピン１１０とによって構成される。

【００２８】位置決め手段１０７は、たとえば、定盤１
０３の上方に設けたエアシリンダとその先端部分に取り
付けた位置決めピン１１１とからなり、図示しない制御
手段の位置決め信号に基づいて、エアシリンダの伸長お
よび収縮を行うことによってガラス基板１０１の位置決
めを行う。したがって、本実施の形態においては、図示
しない搬送装置によって搬送されてきて定盤１０３に載
置されたガラス基板１０１を図示しない制御手段の位置
合わせ信号に基づいて、まず、位置決め手段１０７が位
置決めピン１１１を下降させ、次に、押し出し手段１０
６が押し出しピン１１０を図中の矢印方向に伸長するこ
とによって、押し出しピン１１０でガラス基板１０１が
位置決め手段１０７の位置決めピン１１１にあたるまで
押すことによって、当該ガラス基板１０１の位置決めを
行う。ただし、本実施の形態においては、前述する方向
と垂直をなす方向すなわち図１の紙面と垂直な方向での
位置合わせを行うための手段として、前述する押し出し
手段１０６と位置決め手段１０７とからなる位置合わせ
手段が設けられている。

【００２９】テレビカメラ１０８は周知のテレビカメラ
であり、このテレビカメラ１０８で撮影したガラス基板
１０１上に設けた位置合わせ用のマーク（以下、「アラ
イメントマーク」と記す）に基づいて、図示しない制御
手段が切断用の垂直クラックをいれるスクライブ手段１
０５の移動方向の微調整を行う。

【００３０】押さえ手段１０９は、定盤１０３の上面側
すなわちガラス基板１０１を成膜面側から押さえつける
ための手段であり、本実施の形態においては、スクライ
ブ手段１０５による押し上げ力によってガラス基板１０
１が定盤１０３に設けた吸着手段から外れることを防止
する。

【００３１】次に、図１に基づいて、本実施の形態１の
基板切断装置の動作を説明すると、まず、点線で示すａ
点に定盤１０３が位置するときに、図示しない搬送装置
によってガラス基板１０１が搬送されて載置される。次
に、図示しない制御手段からの位置合わせ信号に基づい
て、位置決め手段１０７がエアシリンダを伸長すること
によって先端部分に取り付けられた位置決めピン１１１
を定盤１０３の面上に下降させる。次に、押し出し手段
１０６がエアシリンダを伸長することによって、その先
端に取り付けた押し出しピン１１０で定盤１０１上のガ
ラス基板を位置決めピン１１１にあたるまで図中の矢印
の方向に移動させることによって、ガラス基板１０１の
位置決めすなわちガラス基板１０１の切断位置と開口部
１０４との位置合わせを行う。この位置合わせが終了し
たならば、次に、図示しない制御手段は、定盤１０３に
設けた吸着手段にガラス基板１０１の吸着を指示して当
該ガラス基板１０１を吸着する。ガラス基板１０１を定
盤１０３に吸着させたならば、次に、図示しない制御手
段は、図示しない定盤１０３の移動機構に移動を指示し
て定盤１０３の位置をａ点からｂ点に移動させた後、制
御手段は、テレビカメラ１０８が撮影したアライメント
マークの位置情報から定盤１０３上でのガラス基板１０
１のズレ量を計算し、このズレ量に基づいて、スクライ
ブ手段１０５による垂直クラックのいれる位置を調整す
る。この後、制御手段は押さえ手段１０９を垂直クラッ
クをいれる位置に移動して上面側からガラス基板１０１
に押し下げ力を印加した後、制御手段はスクライブ手段
１０５に垂直クラックをいれるように指示することによ
って線状の垂直クラックをいれる。ただし、このときの
押さえ手段１０９の押し下げ力としては、たとえば、ス
クライブ手段１０５が下側からガラス基板１０１を押し
上げる力と釣り合うように、０．２±０．１ｋｇ程度の
力を印加するのが最も適している。ここで、図に示す位
置での垂直クラックをいれる作業が終了したならば、制
御手段は次に位置（図面上では右となりの開口部１０４
の位置）にスクライブ手段を移動して垂直クラックをい
れる作業を順次行うことによって、ガラス基板１０１の
所定位置に基板切断用の線状の垂直クラックをいれる。
この作業が終了したならば、制御手段は図示しない吸着
手段にガラス基板１０１の解除を指示した後、搬送手段
にガラス基板１０１の搬送を指示し、搬送手段に当該ガ
ラス基板１０１を次に工程である切断工程の装置に搬送
させると共に、図示しない移動機構に定盤１０３の移動
を指示して定盤１０３の位置をｂ点からａ点に戻させる
ことによって、本発明の基板切断装置における作業を終
了する。

【００３２】次に、図２に本実施の形態のスクライブ手
段の概略構成を説明するための図を示し、以下、図２に
基づいて、スクライブ手段の構成および動作について説
明する。

【００３３】図２において、ガラス基板１０１と保護膜
１０２とに挟まれているパターン層２０１はカラーフィ
ルタ層であり、通常、基板切断装置の切断個所は図２に
示すように、パターン層２０１と隣接するパターン層２
０１との間の保護膜１０２のみの部分で行う。

【００３４】定盤１０３に設けられた吸着孔（空気孔）
２０２は、図示しない真空ポンプ（空気吸引手段）およ
び高圧コンプレッサに電磁弁を介して接続されており、
図示しない制御手段の指示に基づいて、この電磁弁の切
り換えを真空ポンプ側もしくは高圧コンプレッサ側へと
切り換え制御することにより、定盤１０３に載置したガ
ラス基板１０１の吸着（固定）と解除とを制御する。す
なわち、本実施の形態では、この吸着孔２０２と図示し
ない真空ポンプと高圧コンプレッサとそのその切り換え
を行う電磁弁とによって吸着手段を構成する。

【００３５】ホイール２０３は、ガラス基板１０１に線
状の垂直クラックを切断方向に沿っていれるための周知
のホイールであり、本実施の形態のスクライブ手段は、
このホイール２０３をガラス基板１０１に所定の力で押
しつけながら、切断方向に移動することによって、ホイ
ール２０３を回転させてガラス基板１０１に垂直クラッ
クを形成する。

【００３６】ホルダ２０４は、円板状のホイール２０３
の中心に通した周知のピンを介して当該ホイール２０３
を回転可能に支持するための手段であり、エアシリンダ
２０５の先端部分に取り付けられている。

【００３７】エアシリンダ２０５は、周知のエアシリン
ダであり、本実施の形態においては、ホイール２０３を
ガラス基板１０１に押しつける力を一定に保持するため
に使用される。したがって、エアシリンダ２０５に限定
されることはなく、バネおよびゴム等の弾性体、あるい
は、後述する移動機構のようにモータおよびボールネジ
を用いた圧力機構と圧力検出器およびモータ制御装置か
らなる圧力制御機構とから構成してもよい。

【００３８】エアシリンダ支持台２０６には、エアシリ
ンダ２０５が取り付けられると共に、紙面上下方向に設
置した上下用モータ２０８の回転軸に接続されるボール
ネジ２０７のネジに嵌合するネジが形成されており、上
下用モータ２０８の回転によってエアシリンダ支持台２
０６を含むエアシリンダ２０５およびホイール２０３等
を上下させる。ただし、その移動制御は、たとえば、図
示しない制御手段の出力で上下用モータ２０８を回転さ
せると共に、当該上下用モータ２０８に取り付けた周知
のエンコーダ出力に基づいて、制御手段が検知すること
によって行う。また、エアシリンダ支持台２０６は、前
後用支持台２０９に設けられた図示しないガイドレール
によってその動作方向が上下に制限される。

【００３９】前後用支持台２０９は、エアシリンダ支持
台２０６と同様に、左右用支持台２１１に設けられた紙
面の前後方向のガイドレール２１４によってその動作方
向が紙面の前後方向に制限されると共に、その移動制御
は図示しない制御手段の出力による前後方向に設置され
た前後用モータ２１０の制御によって行う。

【００４０】左右用支持台２１１も、前述したエアシリ
ンダ支持台２０６と同様に、装置の底部に左右方向に設
置した左右用モータ２１４の回転軸に接続されたボール
ネジ２１３に嵌合する嵌合部２１２の移動によって、該
嵌合部２１２に接続された当該左右用支持台２１１を左
右方向に移動制御される。

【００４１】また、吸着孔２０２は、定盤１０３に設け
られた複数個の孔であり、図示しない真空ポンプに接続
され、図示しない制御手段の制御出力によって、この真
空ポンプを動作を制御することによりガラス基板１０１
の吸着と解除とを行う。

【００４２】次に、図２に基づいて、本実施の形態のス
クライブ手段の動作を説明すると、まず、ガラス基板１
０１の位置合わせが終了すると図示しない制御手段が真
空ポンプを動作させることによって、吸着孔２０２内の
空気を抜きガラス基板１０１を定盤１０３に吸着する。
次に、図示しない制御手段はテレビカメラ１０８の撮影
したアライメントマークの位置情報から定盤１０３上で
のガラス基板１０１のズレ量を計算した後に、このズレ
量を補正するための前後用モータ２０８と左右用モータ
２１４の移動量を計算する。この後、制御手段は、押さ
え手段１０９を垂直クラックをいれる位置に移動して上
面側からガラス基板１０１に押し下げ力を印加した後
に、図示しないポンプを動作させてエアシリンダ２０５
に所定圧力を発生させる量の圧縮空気送り込む。次に、
制御手段は上下用モータ２０８を回転させることによっ
てエアシリンダ２０５を含めたホイール２０３をガラス
基板１０１に接触させることによって、接触部分にエア
シリンダ２０８の圧力に比例する深さの垂直クラックを
形成する。次に、制御手段はズレ量を補正するための前
後用モータ２１０と左右用モータ２１４との回転量にし
たがって、当該各モータ２１０，２１４を動作させるこ
とによってホイール２０３を回転させながら移動させ
る。したがって、ガラス基板１０１の裏面側である保護
膜１０２の形成されていない側から線状の垂直クラック
をいれることができる。

【００４３】図３は、本実施の形態のホイール部分の拡
大図であり、特に、図１，２に示すように、ガラス基板
１０１の下側からホイール２０３を当てる場合には、垂
直クラックを形成する際に発生するガラス片が、ホイー
ル２０３とホルダ２０４との隙間部分に堆積してしま
い、ホイール２０３の回転不良を発生させうことがあ
る。したがって、本実施の形態では、この図３に示すよ
うに、ホイール２０３の回転軸部分に圧縮空気を噴射す
る噴射ノズル（ブロー手段）３０１を設け、スクライブ
時にこの噴射ノズル３０１から圧縮空気をホイール２０
３とホルダ２０４との間に噴射させることによって、こ
の部分にガラス片が堆積することに伴うホイール２０３
の回転不良を防止することが可能となる。

【００４４】図４は、本実施の形態のガラス基板切断装
置の効果を説明するための図であり、特に、図４（ａ）
は従来の保護膜の側から垂直クラックをいれた場合のそ
の深さの測定結果であり、図４（ｂ）は本実施の形態に
おける垂直クラックの深さの測定結果である。

【００４５】この図４（ａ）から明らかなように、従来
の保護膜１０２の側からガラス基板１０１に垂直クラッ
クをいれる場合では、保護膜１０２の厚さが厚くなるに
したがって、垂直クラックの深さが浅くなってしまう。
このとき、垂直クラックの深さはスクライブ圧力すなわ
ちホイール２０３をガラス基板１０１に押しつける圧力
に比例して深くなるが、スクライブ圧力の上昇に伴って
ガラス基板１０１に垂直クラックをいれた部分からガラ
ス基板１０１にひび割れが発生してしまうので、十分な
圧力を印加できなかった。

【００４６】一方、本実施の形態では、図４（ｂ）から
明らかなように、保護膜１０２を設けていない側からガ
ラス基板１０１に垂直クラックを形成するので、ガラス
基板１０１に形成した垂直クラックの深さは保護膜１０
２の深さに依存しないで形成できる。

【００４７】また、保護膜はその成分にもよるが、たと
えば、アクリル樹脂を保護膜とする場合には、図４
（ａ）から明らかなように、保護膜１０２の厚さが１．
４０μｍ以上の場合では垂直クラックの深さに対するス
クライブ圧力の余裕が小さくなるので、不良率が上昇し
ていたが、本発明では、保護膜１０２の厚さに影響され
ないので、保護膜の厚さが１．４０μｍ以上の場合にお
いて特にその効果がある。

【００４８】さらには、ガラス基板の大きさがさらに大
きくなった場合に、保護膜１０２の厚さを均一に保つこ
とが困難となってくるので、従来以上の大きさのガラス
基板を切断する場合において、本発明の切断装置は特に
効果がある。

【００４９】以上説明したように、本実施の形態の基板
切断装置では、定盤１０３の所定部分にガラス基板１０
１を切断するための線状の垂直クラックを形成するホイ
ール２０３を移動させるための切り欠き部分を設け、当
該切り欠き部分からホイール２０３をガラス基板１０１
に押し当てて移動させることによって、定盤１０３の吸
着面側である保護膜１０２の形成されていない側から垂
直クラックを形成することができるので、保護膜１０２
の厚さに依存せずにスクライブ圧力に比例した垂直クラ
ックを形成することができる。したがって、ガラス基板
切断時の不良率を低減することができる。さらには、保
護膜１０２とは反対の側に垂直クラックを形成するの
で、この垂直クラックに沿ってガラス基板１０１を分割
（ブレーク）する工程において、分割時に発生するガラ
ス片がガラス基板１０１の保護膜面の側に飛び散り付着
することを防止できるという効果もある。

【００５０】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本
発明は、前記発明の実施の形態に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能で
あることは勿論である。

【００５１】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。

【００５２】（１）保護膜の有無およびその膜圧に依存
することなくスクライブを行うことができる。

【００５３】（２）ガラス基板切断時の不良率を低減す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の液晶表示基板製造装置
である基板切断装置の概略構成を説明するためのブロッ
ク図である。

【図２】本実施の形態のスクライブ手段の概略構成を説
明するための図である。

【図３】本実施の形態のホイール部分の拡大図である。

【図４】本実施の形態のガラス基板切断装置の効果を説
明するための図である。

【符号の説明】

１０１…ガラス基板、１０２…保護膜、１０３…定盤、
１０４…開口部、１０５…スクライブ手段、１０６…押
し出し手段、１０７…位置決め手段、１０８…テレビカ
メラ、１０９…押さえ手段、１１０…押し出しピン、１
１１…位置決めピン、２０１…パターン層、２０２…吸
着孔、２０３…ホイール、２０４…ホルダ、２０５…エ
アシリンダ、２０６…エアシリンダ支持台、２０７，２
１３…ボールネジ、２０８…上下用モータ、２０９…前
後用支持台、２１０…前後用モータ、２１１…左右用支
持台、２１２…嵌合部、２１４…ガイドレール、３０１
…噴射ノズル。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラス基板を載置する載置台と、該載置
   台と一体に構成され、一端部が前記載置台の表面に通じ
   る１個以上の空気孔と、該空気孔から空気を吸引する空
   気吸引手段と、前記ガラス基板を所定位置で切断するた
   めの垂直クラックをいれるスクライブ手段とを有する液
   晶表示基板製造装置において、 前記載置台は前記スクライブ手段の移動方向に沿った１
   つ以上の開口部を具備し、前記スクライブ手段は前記載
   置台が成膜面側とは反対の側で保持した液晶表示基板を
   前記開口部を通して保持側から垂直クラックを形成する
   ことを特徴とする液晶表示基板製造装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の液晶表示基板製造装置
   において、 スクライブ時に、少なくとも前記開口部に沿って前記ガ
   ラス基板を前記載置台とは反対の方向から押さえる押さ
   え手段を具備することを特徴とする液晶表示基板製造装
   置。
3. 【請求項３】 請求項１もしくは２に記載の液晶表示基
   板製造装置において、 前記スクライブ手段は、回転部分に付着するガラス片を
   除去するブロー手段を具備することを特徴とする液晶表
   示基板製造装置。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３の内のいずれか１項に
   記載の液晶表示基板製造装置において、 前記ガラス基板は、形成したパターン上に厚さが１．４
   ０μｍ以上の保護膜を具備することを特徴とする液晶表
   示基板製造装置。