KR100645499B1 - 취성기판의 절단방법 및 그 장치 - Google Patents

취성기판의 절단방법 및 그 장치 Download PDF

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KR100645499B1
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하루오 와카야마
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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    • B65G2249/04Arrangements of vacuum systems or suction cups

Abstract

큰 사이즈의 접합기판에서 작은 사이즈의 복수의 셀 기판으로 절단하여 분리할 때에 불필요한 부분의 유리기판을 동시에 절단하는 절단방법에서는 유리의 단면 등에 갈라짐이 발생하기 쉽다.
셀 기판의 가장자리 부분과 마주 보는 불필요한 부분을 남기고 접합기판을 절단하여 분리한 후에 다른 장치에 의하여 상기 불필요한 부분을 절단하는 분리공정을 채택한다.

Description

취성기판의 절단방법 및 그 장치{A METHOD OF SCRIBING AND BREAKING BRITTLE SHEETS AND AN APPARATUS THEREFOR}
도1은 종래의 브레이크(break) 장치의 개요를 나타내는 도면이다.
도2는 브레이크 바(break bar)를 정면에서 본 도면이다.
도3은 본원 발명에 있어서의 브레이크 장치의 한 실시예를 나타내는 정면도이다.
도4는 도3에 있어서의 요부를 옆 쪽에서 바라 본 도면이다.
도5는 도3에 있어서의 브레이크 바의 구성을 나타내는 도면이다.
도6은 본원 발명에 있어서의 접합유리의 절단방법을 사용하여 절단하는 과정을 나타내는 공정도이다.
도7은 돌출부 절단 장치의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.
도8은 본원 발명에 있어서의 접합유리의 절단장치의 한 실시예를 나타내는 도면이다.
도9는 본원 발명에 있어서의 접합유리의 절단방법을 사용하여 절단하는 과정을 나타내는 공정도이다.
도10은 본원 발명에 있어서의 접합유리 절단장치의 한 실시예를 나 타내는 도면이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
10 : 브레이크(break) 장치 12 : 테이블
12a : 홈 13 : 유리판
14 : 브레이크 바 지지체(break bar 支持體)
15 : 브레이크 바 16 : 서보 모터(servo motor)
18 : 크랭크(crank) 19 : 가압 실린더
21 : 액정패널(液晶 panel) 31 : 액정 셀 기판(液晶 cell 基板)
32 : 돌출부 절단 장치의 테이블
33 : 돌출부 절단 바 34 : 지지 플레이트(支持 plate)
35 : 실린더 36 : 가이드
SM1, SM2, SM11, SM12 : 스크라이버(scriber)
BM1, BM2, BM11, BM12 : 브레이크 장치
FM1, FM3∼4, FM6∼7 : 반송기
FM2, FM5 : 반전 반송기(反轉 搬送機)
FM11, FM13∼14, FM16∼17 : 반송기
FM12, FM15 : 반전 반송기
RO1, RO11 : 로봇(robot)
BQ1, BQ11 : 돌출부 절단 장치
본원 발명은, 취성기판(脆性基板)의 절단방법 및 절단장치에 관한 것이다. 취성기판에는 유리판, 반도체 웨이퍼, 세라믹(ceramic) 등이 포함되고, 2장의 취성기판을 접합한 취성기판도 포함된다.
도1에는 종래에 일반적으로 사용되고 있는 브레이크 장치를 개략적으로 나타내고 있다. 이면(裏面)에 스크라이브 라인(scribe line)S가 형성된 취성기판1이 매트(mat)2를 깔고 테이블3상에 셋팅(setting)되어 있다. 취성기판1의 상방에는 브레이크 바(break bar)4가 위치하고 있고, 이 브레이크 바4는 막대 모양의 금속부재(金屬部材)4a의 밑면에 단면이 V자 모양을 이루는 경질(硬質) 고무4b가 접합된 것이다.
이 경질고무4b의 하단부(下端部)를 스크라이브 라인S와 일치시켜 상방에서 가압(加壓)함으로써, 취성기판1은 매트2상에서 조금 휘어져서 스크라이브 라인S를 따라 절단된다.
도2에 이 브레이크 바4의 정면도가 나타나 있고, 이 브레이크 바의 길이L은 취성기판1의 가로 폭과 거의 동일하여야 하기 때문에, 취성기판1 이 큰 사이즈가 되면 길이L은 길어지게 된다. 그렇게 되면 경질고무4b의 요철, 브레이크 바4의 휘어짐이나 취성기판1의 휘어짐이 발생하기 때문에, 종래의 경질고무4b를 취성기판1에 일직선 모양으로 간격 없이 접촉시켜 동일하게 가압하는 방법에서는, 브레이크를 할 때에 유리판1에 균일한 브레이크 압력이 걸리지 않게 되어 브레이크의 불량이 발생하기 쉬웠다.
본원 발명은, 신규한 브레이크 바를 사용함으로써 상기한 과제를 해결할 수 있는 브레이크 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 본원 발명은, 접합 취성기판의 브레이크 불량의 발생을 매우 유효하게 억제할 수 있는 절단방법 및 절단장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본원 발명은, 스크라이브 한 취성기판을 브레이크 바에 의하여 가압함으로써 스크라이브 라인을 따라 절단하는 브레이크 장치에 있어서,
가압부위가 하방으로 활처럼 구부러진 브레이크 바를 사용하고, 그 브레이크 바를 취성기판에 가압시킨 상태에서 바 방향으로 회전시켜 유리판으로의 가압점(加壓點)을 수평 이동시킴으로써 취성기판을 브레이크 하는 것을 특징으로 한다.
(실시예)
도3은 본원 발명의 제1실시예를 나타내는 브레이크 장치10의 정면도이고, 도4는 그 장치10을 옆쪽에서 본 측면도로서, 본원 발명에 관계되는 주요 부분을 확대하여 나타내는 도면이다. 한 쌍의 가이드11에 의하여 Y 방향(도3에서는 지면(紙面)과 연직(鉛直) 방향)으로 이동할 수 있는 테이블12상에 스크라이브(scribe)가 완료된 유리판13이 스크라이브 라인(scribe line)을 밑면으로 하여 셋팅(setting)된다. 이 테이블12의 상방에는, 평판 모양의 브레이크 바 지지체14가 수직 상태로 위치하고, 이 브레이크 바 지지체14의 하부에 브레이크 바(break bar)15가 설치되어 있다.
이 브레이크 바15는, 도5에 나타나 있는 바와 같이 밑면이 활처럼 구부러져 있는 기부(基部)15a의 밑면에 경질(硬質) 고무15b를 접합하는 것이다.
이 브레이크 바15의 양단(兩端)에는 핀구멍m, n이 형성되어 있고, 브레이크 바15는 한 점의 핀구멍n을 지점(支點)으로 하여 브레이크 바 지지체14에 대하여 회전할 수 있도록 설치된다. 또한 브레이크 바 지지체14의 소정 부분에는 서보 모터(servo motor)16에 의하여 회전할 수 있도록 원반(圓盤)17이 설치되어 있고, 이 원반17에 설치하는 핀17a와 상기 핀구멍m과의 사이에 크랭크(crank)18이 부착되어 있다. 따라서 원반17이 회전함에 따라 브레이크 바15는 핀구멍n을 지점으로 하여 상하 운동을 한다. 이 때에 브레이크 바15가 유리판13으로 압력을 가하는 가압점(加壓點)은 직선적으로 한 방향으로 이동하기 때문에 유리판13을 일방단(一方端)에서 타단측(他端側)으 로 브레이크를 할 수 있다. 이러한 브레이크 방법에 의하면, 예를 들면 전공 레귤레이터(電空 regulator)를 사용하면 브레이크의 시작단에서 브레이크 압력을 크게 하는 제어도 가능하게 된다. 그리고 서보 모터16의 회전속도를 제어함으로써 엘리베이팅 운동의 속도도 가변(可變)시킬 수 있다.
상기 브레이크 바 지지체14 자체는, 가압 실린더19에 의하여 상하 이동할 수 있게 설치되며 또한 브레이크 바15에 원하는 브레이크 압력을 설정할 수 있게 되어 있다. 브레이크 바15는, 도4에 나타나 있는 바와 같이 유리판13의 스크라이브 라인S 상방에 위치하며 또한 테이블12에는 브레이크 바15의 바로 아래에 폭 5mm, 깊이 0.5mm의 오목한 형상의 홈12a를 브레이크 바15의 바 방향으로 형성한다. 이 홈12a 자체의 크기가 작기 때문에, 이러한 홈 가공에는 에칭(etching) 방법을 사용한다.
다음에 본 브레이크 장치10을 사용하여 접합유리(액정패널(液晶 panel))21을 절단하는 공정을 도6에 의거하여 설명한다. 여기에서는, 최종적으로는 G도(K도)에 나타나 있는 바와 같이 절단한 일방(一方)의 패널편에 가장자리 부분T를 남기는 가공으로 한다.
우선, A도에 나타나 있는 바와 같이 액정패널21의 상측의 유리판에 2개의 스크라이브 라인S를 형성하고, 이어서 액정패널21의 표리(表裏)를 반전(反轉)시켜 1개의 스크라이브 라인을 형성한다. 여기에서 액정패널21의 반전상태를 알아 볼 수 있도록 일방의 유리판에 빗금을 그었다.
다음에 C도에 나타나 있는 바와 같이 본 브레이크 장치10을 사용하 여 하측의 유리판에 B1과 같이 브레이크를 한다. 종래의 브레이크 방법에 의하면, 다음에 H도에 나타나 있는 바와 같이 나머지 스크라이브 라인에 B2와 같이 브레이크를 한다. 그리고 I도에 나타나 있는 바와 같이 액정패널의 표리를 반전시키고 나서, J도에 나타나 있는 바와 같이 하측의 유리판에 형성되어 있는 스크라이브 라인에 B3과 같이 브레이크를 함으로써, K도에 나타나 있는 바와 같이 액정패널21은 최종적으로 두 부분으로 절단된다.
그런데 H도에 있어서, B2의 브레이크에서는 그 바로 좌측에서 Bl의 브레이크에 의하여 유리판이 이미 절단되어 있기 때문에 B2의 브레이크에서 큰 브레이크 압력을 가하여야 하지만, 이 브레이크 압력이 지나치게 크면 상측의 유리판까지 절단되어 버리기 때문에 브레이크의 가압(加壓) 제어가 용이하지 않다. 또한 B3의 브레이크에 있어서 B1이 이웃하는 유리판과 접촉함으로써 유리 단면 등에 갈라짐이 발생하기 쉽다. 액정패널의 절단공정에서는 이러한 유리 단면에 발생하는 갈라짐도 브레이크 불량 또는 절단 불량으로서 취급된다.
그래서 본 실시예에서는, C도에 나타나 있는 바와 같이 B1을 브레이크 한 후에는 D도에 나타나 있는 바와 같이 액정패널21을 반전시키고, 다음에 E도에 나타나 있는 바와 같이 B3을 브레이크를 한다. 이 시점에서 F도에 나타나 있는 바와 같이 액정패널21은 이미 두 부분으로 절단되어 있다. 절단하여야 하는 돌출부Q에 관하여는 G도에 나타나 있는 바와 같이 돌출부 절단용 장치를 사용하면 이 돌출부Q의 부분을 절단하는 것을 용이하게 할 수 있다.
도7은 돌출부 절단 장치BQ의 일례이다. 반송 로봇(도면에 나타내지 않는다)이 액정패널21에서 분리된 액정 셀 기판(液晶 cell 基板)31을 돌출부Q가 테이블에서 소정량 돌출하도록 돌출부 절단 장치BQ의 테이블32상으로 반송한다. 그 후에 액정 셀 기판31은 테이블32상에 흡인(吸引)되어 고정된다. 테이블32 측면의 상방에는 돌출부 절단 바33이 지지플레이트34에 설치되는 실린더35에 의하여 상하 이동할 수 있게 지지되어 있고, 돌출부 절단 바33의 윗면 양단(兩端)에는 긴 원기둥 모양의 가이드36이 부착되어 있다. 도7에서는 돌출부 절단 바33은 상승한 상태로 나타나 있지만, 이 돌출부 절단 바33을 하강시킴으로써 돌출부Q 부분이 액정 셀 기판31에서 절단된다.
도6의 A도∼G도에 나타나 있는 돌출부 절단 장치를 사용하는 액정패널의 절단방법을 사용하면, 상기한 유리 단면에 발생하는 갈라짐을 방지하는 것에 대하여 매우 효과적이다. 그리고 브레이크 불량은 거의 발생하지 않는다.
도8은 본 실시예를 나타내는 도6의 A도∼G도의 액정패널의 절단방법을 사용하는 액정패널의 절단장치의 일례이다.
급재 반송기(給材 搬送機)FM1에 의하여 액정패널21이 스크라이버SM1의 테이블에 공급되어 액정패널21의 일방(一方)의 면에 소정의 스크라이브 라인을 형성한 후, 반전 반송기(反轉 搬送機)FM2는 스크라이버SM1의 테이블상의 액정패널21을 받아 액정패널21을 반전시킨다(기판을 뒤집는다). 반전 반송기FM2에 의하여 반전된 액정패널21을 반송기FM3이 받아 스크라이버SM2의 테이블상으로 반송한다. 스크라이버SM2에서는 액정패널21의 타방(他方)의 면에 소정의 스크라이브 라인이 형성되고, 반송기FM4에 의하여 본원 발명의 브레이크 장치BM1의 테이블상에 반송되어 액정패널21의 일방의 면의 유리판이 브레이크 된다. 그리고 반전 반송기FM5는 브레이크 장치BM1에서 액정패널21을 받아 다시 액정패널21을 반전시킨다. 이렇게 반전된 액정패널21을 반송기FM6이 브레이크 장치BM2의 테이블상으로 반송하여 액정패널의 타방의 면의 유리판을 브레이크 한다. 그 후에 반송기FM7에 의하여 액정패널21은 분리 테이블BT1로 반송되어 돌출부Q 이외의 불필요한 부분의 기판이 제거된다. 그 후에 분리된 액정 셀 기판31을 한 장씩 로봇RO1로 픽업(pick-up)하고, 돌출부 절단 장치BQl의 테이블상으로 반송하여 불필요한 돌출부Q의 부분을 절단한다.
상기한 장치는 스크라이브 가공, 스크라이브 가공, 브레이크 가공, 브레이크 가공, 돌출부 절단 가공의 순서로 액정패널의 절단을 완료하는 액정패널 절단장치의 일례이지만, 스크라이버 1대와 브레이크 장치 1대와 적어도 1대의 반송장치에 의하여 스크라이브 가공, 스크라이브 가공, 브레이크 가공, 브레이크 가공의 순서로 가공 공정을 거친 후에 돌출부 절단 가공을 하는 돌출부 절단 장치를 구비하는 접합유리(액정패널) 절단장치에 의하여 하더라도 좋다.
다음에 스크라이브 가공, 브레이크 가공, 스크라이브 가공, 브레이크 가공, 돌출부 절단 가공이라는 순서로 액정패널의 절단을 완료하는 액정패널의 절단방법 및 장치를 이하에서 설명한다.
도9는 스크라이브 가공, 브레이크 가공, 스크라이브 가공, 브레이크 가공, 돌출부 절단 가공의 순서로 가공되는 접합유리(액정패널)의 절단방법을 나타내는 도면이다.
우선, AA도에 나타나 있는 바와 같이 액정패널21의 상측의 유리판에 2개의 스크라이브 라인S를 형성한다. 여기에서 액정패널21의 반전상태를 알아 볼 수 있도록 일방의 유리판에 해칭을 하였다.
다음에 BB도에 나타나 있는 바와 같이 액정패널21을 반전시킨다(기판을 뒤집는다). 그리고 CC도에 나타나 있는 바와 같이 본 브레이크 장치10을 사용하여 하측의 유리판에 B11과 같이 브레이크를 한다. 그 후에 상측의 유리판에 한 개의 스크라이브 라인을 형성한다. 그리고 DD도에 나타나 있는 바와 같이 액정패널21을 다시 반전시키고, 다음에 EE도에 나타나 있는 바와 같이 B13을 브레이크 한다. 이 시점에서 FF도에 나타나 있는 바와 같이 액정패널21은 이미 2개로 절단되어 있다. 절단하여야 하는 돌출부Q에 관하여는 GG도에 나타나 있는 바와 같이 돌출부 절단용 장치를 사용하면 돌출부Q의 부분을 용이하게 절단할 수 있다.
도10은 스크라이브 가공, 브레이크 가공, 스크라이브 가공, 브레이크 가공, 돌출부 절단 가공의 순서로 가공되는 접합유리(액정패널) 절단장치의 일례를 나타내는 도면이다.
급재 반송기FM11에 의하여 액정패널21이 스크라이버SM11의 테이블에 공급되어 액정패널21의 일방의 면에 소정의 스크라이브 라인을 형성한 후, 반전 반송기FM12는 스크라이버SM11의 테이블상의 액정패널21을 받아 액정패널21을 반전시킨다(기판을 뒤집는다). 반전 반송기FM12에 의하여 반전된 액정패널21을 반송기FM13이 받아 브레이크 장치BM11의 테이블상으로 반송한다. 브레이크 장치BM11에서는 액정패널21의 일방의 면의 유리판이 브레이크 된다. 반송기FM14는 브레이크 장치BM11에서 액정패널21을 받아 스크라이버SM12의 테이블상으로 반송한다. 스크라이버SM12에서는 액정패널21의 타방의 면에 소정의 스크라이브 라인이 형성되고, 반전 반송기FM15에 의하여 액정패널21은 다시 반전되고, 이렇게 반전된 액정패널21을 반송기FM16이 받고, 브레이크 장치BM12의 테이블상으로 반송하여 액정패널의 타방의 면의 유리판을 브레이크 한다. 그 후에 반송기FM17에 의하여 액정패널21은 분리 테이블BT11로 반송되어 돌출부Q 이외의 불필요한 기판 부분이 제거된다. 그 후에 분리된 셀 기판31을 1장씩 로봇RO11로 픽업하고, 돌출부 절단 장치BQ11의 테이블상으로 반송하여 불필요한 돌출부Q의 부분을 절단한다.
도10의 장치는 스크라이버 2대와 브레이크 장치 2대와 복수의 반송기와 돌출부 절단 장치를 구비하는 구성이지만, 스크라이버 1대와 브레이크 장치 1대와 적어도 1대의 반송기를 구비하여 스크라이브 가공, 브레이크 가공, 스크라이브 가공, 브레이크 가공의 순서로 가공 공정을 거친 후에 돌출부 절단 가공을 하는 돌출부 절단 장치를 구비하는 접합유리(액정패널)의 절단장치로 하더라도 좋다.
이와 같이 일방의 기판 가장자리 부분과 마주 보는 타단의 기판 부분을 남기고 분리한 후에 상기 타방의 기판의 남겨진 부분을 절단함으로써, 접합 취성기판의 절단공정을 완료하는 접합 취성기판의 절단방법 및 절단장치를 사용함으로써, 절단 후의 기판의 갈라짐의 발생 및 유리 부스러기의 발생을 거의 완전하게 억제할 수 있다.
또한 상기한 브레이크 장치BM1, BM2, BM11, BM12에 본원 발명의 브레이크 장치10을 사용하면 브레이크의 불량을 더 방지할 수 있는 접합유리(액정패널) 절단장치가 된다.
이상의 각 브레이크를 할 때에 스크라이브 라인 바로 아래의 테이블12에 홈12a를 형성하면 액정패널21은 구부러지기 때문에 브레이크가 효과적으로 이루어진다. 이 경우에는 도1에 나타나 있는 바와 같은 매트2의 사용을 생략할 수 있다. 여기에서 하부의 설치대에 자석 또는 나사 결합에 의하여 테이블12를 간단하게 교환할 수 있게 하면 스크라이브 장소에 대응하는 홈12a를 형성하는 테이블12를 간단하게 사용할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본원 발명은, 브레이크 바의 가압 부위가 하방으로 활처럼 구부러진 형상의 것을 사용하고, 그 브레이크 바를 유리판에 가압시킨 상태에서 브레이크 바의 길이 방향으로 회전시킴으로써, 유리판으로의 가압점(加壓點)을 수평 이동시켜 유리판을 브레이크 하는 것으로서, 이 브레이크 방법에 의하면, 브레이크 압력을 일정하게 하거나 브레이크 시작점에서 브레이크 압력을 크게 할 수 있어 가공 대상에 대응하는 적확(的確)한 브레이크를 할 수 있다.
그리고 본원 발명의 접합기판의 절단방법 및 장치를 사용함으로써, 절단된 개개의 기판 부분의 접촉을 막을 수 있기 때문에 제품의 가장자리 면에 거의 갈라짐이 생기지 않게 절단할 수 있다.

Claims (7)

  1. 가공하는 취성기판을 반송하는 적어도 1대의 반송장치와 스크라이브 가공하는 적어도 1대의 스크라이버(scriber)와 브레이크 가공하는 적어도 1대의 브레이크 장치를 구비하여 취성기판을 순차적으로 스크라이브, 브레이크 가공하는 절단장치에 있어서,
    제1, 제2기판으로 이루어지는 접합기판을 소정의 스크라이브 라인을 따라 적어도 2이상의 부분으로 절단할 때에,
    1) 상기 적어도 1대의 스크라이버에 의하여 상기 제1기판에 적어도 2개 이상의 스크라이브 라인을 형성하는 것과, 그 스크라이브 후
    2) 상기 적어도 1대의 스크라이버에 의하여 상기 제2기판에 적어도 1개 이상의 스크라이브 라인을 형성하는 것과, 그 스크라이브 후
    3) 상기 적어도 1대의 브레이크 장치에 의하여 상기 제1기판의 제1스크라이브 라인을 따라 제1기판을 나머지 스크라이브 라인을 구비하는 제1부분과 구비하지 않는 제2부분으로 절단하는 것과, 그 브레이크 후
    4) 상기 적어도 1대의 브레이크 장치에 의하여 상기 제2기판의 스크라이브 라인을 따라 절단하는 것과,
    5) 상기 제1기판의 제1부분에서의 제2스크라이브 라인을 따라 제1부분을 2이상의 부분으로 더 절단하는 것을 특징으로 하는 절단장치.
  2. 가공하는 취성기판을 반송하는 적어도 1대의 반송장치와 스크라이브 가공하는 적어도 1대의 스크라이버와 브레이크 가공하는 적어도 1대의 브레이크 장치를 구비하여 취성기판을 순차적으로 스크라이브, 브레이크 가공하는 절단장치에 있어서, 제1, 제2기판으로 이루어지는 접합기판을 소정의 스크라이브 라인을 따라 적어도 2이상의 부분으로 절단할 때에,
    1) 상기 적어도 1대의 스크라이버에 의하여 상기 제1기판에 적어도 2개 이상의 스크라이브 라인을 형성하는 것과, 그 스크라이브 후
    2) 상기 적어도 1대의 브레이크 장치에 의하여 상기 제1기판의 제1스크라이브 라인을 따라 제1기판을 나머지 스크라이브 라인을 구비하는 제1부분과 구비하지 않는 제2부분으로 절단하는 것과, 그 브레이크 후
    3) 상기 적어도 1대의 스크라이버에 의하여 상기 제2기판에 적어도 1개 이상의 스크라이브 라인을 형성하는 것과, 그 스크라이브 후
    4) 상기 적어도 1대의 브레이크 장치에 의하여 상기 제2기판의 스크라이브 라인을 따라 절단하는 것과,
    5) 상기 제1기판의 제1부분에서의 제2스크라이브 라인을 따라 제1부분을 2이상의 부분으로 더 절단하는 것을 특징으로 하는 절단장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 브레이크 장치는, 취성기판이 셋팅(setting)되는 테이블과, 취성기판을 가압하는 브레이크 바를 구비하고,
    상기 테이블에는, 상기 브레이크 바가 압력을 가하는 라인을 따라 소정 폭의 홈이 형성되어 있는 것을
    특징으로 하는 절단장치.
  4. 제3항에 있어서,
    취성기판이 셋팅되는 테이블을 지지하는 지지수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 절단장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 브레이크 바가 상기 취성기판에 접촉하는 위치의 가압 하중을 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 절단장치.
  6. 가공하는 취성기판을 반송하는 적어도 1대의 반송장치와 스크라이브 가공하는 적어도 1대의 스크라이버와 브레이크 가공하는 적어도 1대의 브레이크 장치를 구비하는 절단장치를 사용하여 제1, 제2기판으로 이루어지는 접합기판을 소정의 스크라이브 라인을 따라 적어도 2이상의 부분으로 절단 가공하는 절단방법에 있어서,
    1) 상기 제1기판에 적어도 2개 이상의 스크라이브 라인을 형성하는 공정과,
    2) 상기 제2기판에 적어도 1개 이상의 스크라이브 라인을 형성하는 공정과,
    3) 상기 제1기판의 제1스크라이브 라인을 따라 제1기판을 나머지 스크라이브 라인을 구비하는 제1부분과 구비하지 않는 제2부분으로 절단하는 공정과,
    4) 상기 제2기판의 제1스크라이브 라인을 따라 절단하는 공정과,
    5) 상기 제1기판의 제1부분에서의 제2스크라이브 라인을 따라 제1부분을 더 절단하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 절단방법.
  7. 가공하는 취성기판을 반송하는 적어도 1대의 반송장치와 스크라이브 가공하는 적어도 1대의 스크라이버와 브레이크 가공하는 적어도 1대의 브레이크 장치를 구비하는 절단장치를 사용하여,
    제1, 제2기판으로 이루어지는 접합기판을 소정의 스크라이브 라인을 따라 적어도 2이상의 부분으로 절단 가공하는 절단방법에 있어서,
    1) 상기 제1기판에 적어도 2개 이상의 스크라이브 라인을 형성하는 공정과,
    2) 상기 제1기판의 제1스크라이브 라인을 따라 제1기판을 나머지 스크라이브 라인을 구비하는 제1부분과 구비하지 않는 제2부분으로 절단하는 공정과,
    3) 상기 제2기판에 적어도 1개 이상의 스크라이브 라인을 형성하는 공정과,
    4) 상기 제2기판의 제1스크라이브 라인을 따라 절단하는 공정과,
    5) 상기 제1기판의 제1부분에 있어서의 제2스크라이브 라인을 따라 제1부분을 더 절단하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 절단방법.
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