KR20080060875A - 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙 - Google Patents

습식공정을 위한 기판 이송용 트랙 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판표시장치의 제조공정 중, 소정의 액체를 이용하여 기판 표면을 처리하는 습식공정을 진행하는 기판 이송용 트랙에 있어서, 트랙이 2중으로 구성되는 더블 회전롤러부에 관한 것이다.
본 발명의 특징은 기판의 두께에 따라 더블 회전롤러부의 제 1 및 제 2 롤러부의 고정된 사이간격이 자동으로 조절되도록 하는 것으로, 기존의 제 1 및 제 2 롤러부의 사이간격에 의해 기판의 파손 및 기판이 안정적으로 이송되지 못하고 이탈되었던 문제점을 미연에 방지할 수 있다.
이로 인하여, 기판 이송에 대한 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있다.
또한, 기존의 트랙 상에 이송되는 기판의 두께에 따라 상기 제 1 및 제 2 롤러부의 사이간격을 일일이 조절함으로써, 많은 공정시간과 동시에 작업상의 불편을 가져왔던 문제점 역시 미연에 방지할 수 있다.
트랙, 더블 롤러, 습식공정, 평판표시장치

Description

습식공정을 위한 기판 이송용 트랙{A substrate convey track for wet process}
도 1은 일반적인 트랙을 개략적으로 나타낸 사시도.
도 2는 더블 회전롤러부의 일부분을 개략적으로 도시한 정면도.
도 3은 상, 하부블록의 정면을 개략적으로 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 더블 롤러부의 일부를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 5는 상, 하부블록의 정면을 개략적으로 도시한 도면.
도 6은 도 5의 상부블록을 확대 도시한 정면도.
도 7a ~ 7b는 더블 롤러부의 사이간격이 자동으로 조절되는 모습을 개략적으로 도시한 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
116 : 하부블록
136a, 136b : 제 1 및 제 2 블록(상부블록)
142, 144 : 베어링
146a, 146b : 고정볼트
본 발명은 평판표시장치의 제조공정 중, 소정의 액체를 이용하여 기판 표면을 처리하는 습식공정을 진행하는 기판 이송용 트랙에 있어서, 트랙이 2중으로 구성되는 더블 회전롤러부에 관한 것이다.
최근 본격적인 정보화 시대에 발맞추어 각종 전기적 신호에 의한 대용량의 데이터를 시각적 화상으로 표시하는 디스플레이(display) 분야 또한 급속도로 발전하였고, 이에 부응하여 경량화, 박형화, 저소비전력화 장점을 지닌 평판표시장치(Flat Panel Display device : FPD)로서, 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display device : ELD) 등이 소개되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.
이들 일반적인 평판표시장치는 나란한 두 기판 사이로 고유의 형광 또는 편광물질층을 개재한 형태로, 제조공정의 대부분은 기판을 대상으로 진행되는데, 상기 기판 표면에 소정의 박막을 형성하는 박막증착(deposition)공정, 상기 박막의 선택된 일부를 노출시키는 포토리소그라피(photo lithography)공정, 상기 박막의 노출된 부분을 제거하기 위해 패터닝(patterning) 하는 식각(etching)공정이 수차 례 반복되며, 그밖에 세정, 합착, 절단 등의 수많은 공정이 수반된다.
이 같은 평판표시장치의 제조공정 중 특히 소정의 액체를 이용하여 기판 표면을 처리하는 공정을 습식공정이라 하는데, 그 대표적인 예로는 습식식각과 세정 등을 들 수 있다.
그리고 이들 평판표시장치의 제조를 위한 습식공정은 통상 밀폐된 반응조인 베스(bath)에서 진행되는 것이 일반적이며, 상기 베스 내에는 기판을 일 방향으로 슬라이딩 이동시키기 위한 기판 이송용 트랙(이하, 간략하게 트랙이라 함.)이 구비된다.
도 1은 일반적인 트랙을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도시한 바와 같이, 회전 가능한 다수의 샤프트축(12)을 서로 나란하게 일렬로 배열시키며, 각각의 샤프트축(12)에는 고리형상을 갖는 복수개의 회전롤러(14)가 일정 간격을 유지하도록 둘러 장착된다.
이때, 상기 샤프트축(12)의 양 말단은 베어링이 구성된 블록(16)을 통해 각각 지지되며, 상기 샤프트축(12)의 일 말단에는 상부기어(18)와 하부기어(20)로 구성된 동력전달기어가 각각 설치되어 있는데, 상기 상부기어(18)의 회전방향과 수직한 방향으로 회전하는 하부기어(20)의 회전력을 전달받아 상기 샤프트축(12)을 일정한 방향으로 회전시키게 된다.
상기 하부기어(20)의 회전은 상기 하부기어(20)를 중심 회전축으로 작용하는 지지축(22)의 회전에 의해 회전하게 되는데, 상기 하부기어(20)와 지지축(22)의 회전은 상기 트랙 장비에 배치된 구동모터(24) 등의 동력에 의하여 회전하게 된다.
따라서, 처리대상물인 기판(2)은 각 샤프트축(12)에 장착된 회전롤러(14)에 얹혀져 상기 샤프트축(12)과 회전롤러(14)의 회전에 의해 슬라이딩 방식으로 이동되고, 이 같은 이동 중에 분사노즐 등을 통해 기판(2) 표면으로 분사되는 에천트 내지는 세정액에 접촉되어 목적하는 습식공정이 진행된다.
한편, 이러한 트랙에 있어서 기판(2)의 고속반송구간 또는 습식공정 중의 고압 샤워구간 등의 특정구간에서는 트랙이 2중으로 구성되는 더블 회전롤러부가 구성되는데, 이는 도 2를 참조하여 자세히 설명하도록 하겠다.
도 2는 더블 회전롤러부의 일부분을 개략적으로 도시한 정면도이다.
도시한 바와 같이, 기판(2)이 상기 샤프트축(12)과 회전롤러(14)를 포함하는 제 1 롤러부(10)에 얹혀져, 상기 제 1 롤러부(10)의 회전에 의해 슬라이딩 방식으로 이동되는 가운데, 상기 기판(2)의 상부에는 상기 기판(2)을 압착하는 동시에, 상기 기판(2)을 밀어주는 제 2 롤러부(30)가 위치한다.
상기 제 2 롤러부(30) 역시 샤프트축(32)과 회전롤러(34)로 구성되는데, 상기 제 1 롤러부(10)와 제 2 롤러부(30)는 서로 대응되도록 구성된다. 즉, 상, 하로 이격되어 구성되는 샤프트축(12, 32)에 각각 대응되는 회전롤러(14, 34)가 장착되며, 상기 각각의 샤프트축(12, 32)에는 베어링을 포함하는 상, 하부블록(block : 16, 36)이 서로 대응되어 좌우에 각각 위치하고 있다.
따라서, 상기 제 1 및 제 2 롤러부(10, 30) 사이에 기판(2)이 삽입되고, 상기 제 1 롤러부(10)의 구동에 의해 상기 기판(2)은 슬라이딩 방식으로 이송된다. 그리고, 상기 제 2 롤러부(30)는 상기 제 1 롤러부(10)에 의해 이송되는 기판(2)을 지지하여 이송 중 기판(2)이 이탈되는 것을 방지하게 되는 것이다.
한편, 상기 제 1 및 제 2 롤러부(10, 30)는 상기 제 1 및 제 2 롤러부(10, 30) 사이를 기판(2)이 슬라이딩 이동하도록 상기 상, 하부블록(16, 36)을 통해 일정간격(도 3의 G)이 이격되어 구성된다.
도 3은 상, 하부블록의 정면을 개략적으로 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 제 1 및 제 2 롤러부(도 2의 10, 30)의 샤프트축(도 2의 12, 32)의 양말단을 지지하기 위한 베어링(42, 44)이 각각 구성되는 별개의 상, 하부블록(16, 36)이 구성되며, 상기 상, 하부블록(16, 36)은 적어도 두 개의 고정볼트(46a, 46b)를 통해 서로 조립되어 고정된다.
이때, 상기 상, 하부블록(16, 36)을 고정하는 고정볼트(46a, 46b)에는 상기 상, 하부블록(16, 36)의 사이간격(G)을 일정하게 유지하기 위한 와셔(washer) 등의 간격형성부재(48)가 구비된다.
그러나, 상기 상, 하부블록(16, 36)의 사이간격(G)이 일정하게 유지됨으로써, 기판(2)의 두께가 상기 사이간격(G)에 비해 두꺼울 경우 기판(2)의 파손을 가져오거나, 그 반대로 기판(2)의 두께가 상기 사이간격(G)에 비해 얇을 경우 기판(2)이 안정적으로 이송되지 못하고 이탈되는 문제점을 야기하게 된다.
따라서, 상기 기판(2)의 두께가 변하거나 상기 기판(2)과 상기 제 2 롤러부(도 2의 30)의 접촉량 변경이 요구될 때에는, 상기 상, 하부블록(16, 36)을 조립 고정하는 고정볼트(46a, 46b)를 풀어 상기 상부블록(36)의 위치를 조정함으로써 상기 상, 하부블록(16, 36) 사이간격(G)을 조절해야 한다.
이러한 작업은 많은 공정시간을 요하는 동시에 작업상의 불편을 가져오게 된다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 더블 롤러부에서 상, 하부블록의 사이간격이 이송되는 기판의 두께에 따라 자동으로 조절이 가능하도록 하고자 하는 것을 제 1 목적을 한다.
이로 인하여, 기판 이송에 대한 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있는 기판 이송용 트랙을 제공하고자 하는 것을 제 2 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 복수개의 회전롤러가 장착된 다수의 제 1 샤프트축과, 상기 제 1 샤프트축의 양측 말단을 고정하는 하부블록으로 이뤄진 제 1 롤러부와; 상기 하부블록의 상부에 위치하고, 상기 하부블록에 고정된 제 1 블록과 상기 제 1 블록의 내부에 위치하여 상, 하 승강운동하는 제 2 블록으로 구성된 상부블록과, 상기 제 2 블록에 양측 말단이 고정되어 상기 제 2 블록과 함께 상, 하 승강운동하며 복수개의 회전롤러가 장착된 제 2 샤프트축을 포함하는 제 2 롤러부를 포함하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙을 제공한다.
상기 제 1 롤러부는 동력에 의해 회전하는 구동롤러로, 상기 제 1 롤러부의 회전에 의해 기판이 슬라이딩 이동되며, 상기 제 2 롤러부는 상기 기판을 압착하는 동시에 상기 기판을 밀어주게 되는 피동롤러인 것을 특징으로 하며, 상기 제 1 및 제 2 롤러부는 상기 기판의 두께에 따라 사이간격의 폭이 자동으로 조절되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제 2 블록과 하부블록에는 샤프트축 양말단을 각각 지지하기 위한 베어링이 구성되는 것을 특징으로 하며, 상기 제 1 블록과 하부블록은 적어도 두 개의 고정볼트를 통해 서로 조립되어 고정되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제 1 블록은 수직한 제 1 및 제 2 수직면과, 상기 제 1 및 제 2 수직면과 수직한 제 3 수평면으로 구성된 대략 "ㄷ" 형태인 것을 특징으로 하며, 상기 제 2 블록은 상기 제 1 블록의 요입부(凹入部)에 위치하는 것을 특징으로 하며, 상기 제 1 및 제 2 수직면의 서로 마주보는 내측면에는 레일이 구성되어, 상기 제 2 블록은 자중(自重)에 의해 상기 레일을 통해 상, 하 승강운동하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제 2 블록에는 상기 제 2 롤러부의 샤프트축을 지지하는 베어링이 구성되는 것을 특징으로 하며, 상기 제 1 롤러부는 상기 샤프트축의 일말단에 구성된 동력전달기어를 통해 회전하는 것을 특징으로 하며, 상기 동력전달기어는 수직하게 구성된 상하부기어로 구성되어, 구동모터에 의해 회전하게 되는 것을 특징으로 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 대해 자세히 설명하도록 하겠다.
본 발명은 소정의 액체를 이용하여 기판 표면을 처리하는 습식공정 중, 기판을 일 방향으로 슬라이딩 이동시키기 위한 기판 이송용 트랙에 있어서, 기판의 고 속 반송구간 또는 습식공정 중의 고압 샤워구간 등의 특정구간에서 트랙이 2중으로 구성되는 더블 회전롤러부에 관한 것이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 더블 롤러부의 일부를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도시한 바와 같이, 회전 가능한 다수의 샤프트축(112)을 서로 나란하게 일렬로 배열시키며, 각각의 샤프트축(112)에는 고리형상을 갖는 복수개의 회전롤러(114)가 일정 간격을 유지하도록 둘러 장착된 제 1 롤러부(110)가 구비된다.
이때, 상기 샤프트축(112)의 양 말단은 베어링이 구성된 하부블록(116)을 통해 각각 지지되며, 상기 샤프트축(112)의 일 말단에는 상부기어(118)와 하부기어(120)로 구성된 동력전달기어가 각각 설치되어 있는데, 상기 상부기어(118)의 회전방향과 수직한 방향으로 회전하는 하부기어(120)의 회전력을 전달받아 상기 샤프트축(112)을 일정한 방향으로 회전시키게 된다.
상기 하부기어(120)의 회전은 상기 하부기어(120)를 중심 회전축으로 작용하는 지지축(122)의 회전에 의해 회전하게 되는데, 상기 하부기어(120)와 지지축(122)의 회전은 상기 트랙 장비에 배치된 구동모터(124) 등의 동력에 의하여 회전하게 된다.
따라서, 기판(102)은 상기 제 1 롤러부(110)에 얹혀져, 상기 제 1 롤러부(110)의 회전에 의해 슬라이딩 방식으로 이동되는 가운데, 상기 기판(102)의 상부에는 상기 기판(102)을 압착하는 동시에, 상기 기판(102)을 밀어주는 제 2 롤러부(130)가 위치한다.
상기 제 2 롤러부(130) 역시, 샤프트축(132)과 회전롤러(134)로 구성하는데, 상기 제 1 롤러부(110)의 샤프트축(112)과 상기 제 2 롤러부(130)의 샤프트축(132)은 서로 대응되도록 구성하며, 상기 각 샤프트축(112, 136)에 둘러 장착된 회전롤로(114, 134) 역시 서로 대응되도록 구성한다.
이때, 상기 제 2 롤러부(130)의 샤프트축(132)의 양말단에도 샤프트축(132)을 지지하는 베어링을 포함하는 상부블록(136)이 좌우에 각각 위치하도록 한다.
상기 전술한 구성은 일반적인 기판 이송용 트랙 중의 더블 롤러부와 유사하지만 본 발명은 특히 상기 제 1 및 제 2 롤러부(110, 130)의 사이간격(도 5의 G′)이 이송되는 기판(102)의 두께에 따라 자동으로 조절이 가능한 것을 특징으로 한다. 이는 제 1 및 제 2 롤러부(110, 130)의 샤프트축(112, 132) 양말단을 지지하는 상, 하부블록(116, 136)을 통해 가능한데, 이에 대해서는 도 5를 참조하여 좀더 자세히 설명하도록 하겠다.
도 5는 상, 하부블록의 정면을 개략적으로 도시한 도면이며, 도 6은 도 5의 상부블록을 확대 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 제 1 및 제 2 롤러부(도 4의 110, 130)의 샤프트축(도 4의 112, 132)의 양말단을 지지하기 위한 베어링(142, 144)이 각각 구성되는 상, 하부블록(116, 136)이 구성되는데, 상기 상부블록(136)은 또다시, 상기 하부블록(116)과 적어도 두 개의 고정볼트(146a, 146b)를 통해 고정되는 제 1 블록(136b)과, 상기 제 1 블록(136b)의 내부에 위치하여 별도로 상하 승강운동하는 제 2 블록(136a)으로 구분된다.
여기서, 도 6을 참조하여 상기 상부블록(136)에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 상기 제 1 블록(136b)은 수직한 제 1 및 제 2 수직면(138a, 138b)과, 상기 제 1 및 제 2 수직면(138a, 138b)과 수직한 제 3 수평면(138c)으로 구성된 대략 "ㄷ" 형태가 수직하게 세워진 형태로 구성되며, 상기 제 2 블록(136a)은 상기 제 1 및 제 2 수직면(138a, 138b)과 제 3 수평면(138c)이 이루는 요입부(凹入部)에 별도로 위치하게 되는데, 비록 도면상에 도시하지는 않았지만, 상기 제 1 및 제 2 수직면(138a, 138b)의 서로 마주보는 내측면에는 레일이 구성되어 상기 제 2 블록(136a)을 상하 승강운동 하도록 하는 것이다.
이때, 상기 상부블록(136)에 구성되는 베어링(144)은 상기 제 2 블록(136a)에 구성되어, 상기 제 2 롤러부(도 4의 130)의 샤프트축(도 4의 132)은 상기 상부블록(136)의 유동가능한 제 2 블록(136a)에 구성된 베어링(144)을 통해 양말단이 지지되므로, 상기 제 2 블록(136a)의 유동에 따라 상기 샤프트축(도 4의 132) 역시 유동된다.
따라서, 상기 제 1 롤러부(도 4의 110)와 제 2 롤러부(도 4의 130)의 사이간격(도 5의 G′)이 이송되는 기판(102)의 두께에 따라 자동으로 조절되는 것이다. 이는 도 7a ~ 7b를 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다.
도 7a ~ 7b는 더블 롤러부의 사이간격이 자동으로 조절되는 모습을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7a에 도시한 바와 같이, 기판(102)이 이동되지 않을 경우에는 상기 제 1 및 제 2 롤러부(110, 130)는 사이간격(G′)이 없다가, 상기 제 1 및 제 2 롤러 부(110, 130) 사이로 일정 두께를 갖는 기판(102)이 슬라이딩 이송되어 오면, 도 7b에 도시한 바와 같이, 상기 제 2 롤러부(130)의 샤프트축(132)과, 상기 샤프트축(132)의 양말단을 지지하는 베어링(도 6의 144)과 함께 상기 제 2 블록(136a)이 상기 제 1 블록(136b)에 구성된 레일(미도시)을 통해 상기 기판(102)의 두께만큼 상측으로 자연스럽게 승강운동하게 된다.
즉, 상기 제 1 롤러부(110)는 구동롤러이고, 상기 제 2 롤러부(130)는 자중(自重)에 의해 기판(102)을 누르는 역할을 하는 피동롤러가 되는 것이다.
따라서, 상기 제 1 및 제 2 롤러부(110, 130) 사이에 기판(102)이 삽입되고, 상기 제 1 롤러부(110)의 구동에 의해 상기 기판(102)은 슬라이딩 방식으로 이송되는 과정에서, 상기 제 2 롤러부(130)는 상기 제 1 롤러부(110)에 의해 이송되는 기판(102)을 지지하여 이송 중에 기판(102)이 이탈되는 것을 방지하게 된다.
한편, 상기 기판(102)의 이송이 완료되면 상기 제 2 블록(136a)의 자중(自重)에 의해 상기 베어링(도 6의 144)을 포함하는 제 2 블록(136a)과, 상기 베어링(도 6의 144)에 의해 양말단이 지지되는 샤프트축(132)은 다시 하측으로 승강운동하게 된다.
이렇게, 기판(102)의 두께에 따라 제 1 및 제 2 롤러부(110, 130)의 사이간격(G′)이 자동으로 조절됨으로써, 기존의 제 1 및 제 2 롤러부(도 2의 10, 30)의 사이간격(도 3의 G)에 비해 두꺼운 기판(2)이 상기 제 1 및 제 2 롤러부(도 2의 10, 30) 사이간격(도 3의 G)을 통과하지 못하고 파손되었던 문제점과, 상기 제 1 및 제 2 롤러부(도 2의 10, 30)의 사이간격(도 3의 G)에 비해 얇은 기판(2)이 안정 적으로 이송되지 못하고 이탈되는 문제점을 미연에 방지하게 된다.
또한, 기존의 트랙 상에 이송되는 기판(102)의 두께에 따라 상기 상, 하부블록(도 3의 16, 36)을 조립 고정하는 고정볼트(도 3의 46a, 46b)를 풀어 상기 상, 하부블록(도 3의 16, 36) 사이간격(도 3의 G)을 일일이 조절함으로써, 많은 공정시간과 동시에 작업상의 불편을 가져왔던 문제점 역시 미연에 방지하게 된다.
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
즉, 상술한 설명과 같이 기판의 두께에 따라 제 1 및 제 2 롤러부의 사이간격이 자동으로 조절되도록 함으로써, 기존의 제 1 및 제 2 롤러부의 사이간격에 의해 기판의 파손 및 기판이 안정적으로 이송되지 못하고 이탈되었던 문제점을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 기존의 트랙 상에 이송되는 기판의 두께에 따라 상기 제 1 및 제 2 롤러부의 사이간격을 일일이 조절함으로써, 많은 공정시간과 동시에 작업상의 불편을 가져왔던 문제점 역시 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
이로 인하여, 기판 이송에 대한 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (10)

  1. 복수개의 회전롤러가 장착된 다수의 제 1 샤프트축과, 상기 제 1 샤프트축의 양측 말단을 고정하는 하부블록으로 이뤄진 제 1 롤러부와;
    상기 하부블록의 상부에 위치하고, 상기 하부블록에 고정된 제 1 블록과 상기 제 1 블록의 내부에 위치하여 상, 하 승강운동하는 제 2 블록으로 구성된 상부블록과, 상기 제 2 블록에 양측 말단이 고정되어 상기 제 2 블록과 함께 상, 하 승강운동하며 복수개의 회전롤러가 장착된 제 2 샤프트축을 포함하는 제 2 롤러부
    를 포함하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 롤러부는 동력에 의해 회전하는 구동롤러로, 상기 제 1 롤러부의 회전에 의해 기판이 슬라이딩 이동되며, 상기 제 2 롤러부는 상기 기판을 압착하는 동시에 상기 기판을 밀어주게 되는 피동롤러인 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 롤러부는 상기 기판의 두께에 따라 사이간격의 폭이 자동 으로 조절되는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 블록과 하부블록에는 샤프트축 양말단을 각각 지지하기 위한 베어링이 구성되는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 블록과 하부블록은 적어도 두 개의 고정볼트를 통해 서로 조립되어 고정되는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 블록은 수직한 제 1 및 제 2 수직면과, 상기 제 1 및 제 2 수직면과 수직한 제 3 수평면으로 구성된 대략 "ㄷ" 형태인 것을 특징으로 하며, 상기 제 2 블록은 상기 제 1 블록의 요입부(凹入部)에 위치하는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 수직면의 서로 마주보는 내측면에는 레일이 구성되어, 상기 제 2 블록은 자중(自重)에 의해 상기 레일을 통해 상, 하 승강운동하는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 2 블록에는 상기 제 2 롤러부의 샤프트축을 지지하는 베어링이 구성되는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 롤러부는 상기 샤프트축의 일말단에 구성된 동력전달기어를 통해 회전하는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 동력전달기어는 수직하게 구성된 상하부기어로 구성되어, 구동모터에 의해 회전하게 되는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120020585A (ko) * 2010-08-30 2012-03-08 주식회사 디엠에스 기판처리장치
KR101131181B1 (ko) * 2009-02-24 2012-03-28 (유)에스엔티 기판이송장치
KR20130063637A (ko) * 2011-12-07 2013-06-17 주식회사 케이씨텍 기판 이송 장치
KR102008142B1 (ko) * 2019-03-04 2019-08-08 (주)엠에스솔루션 기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더

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