JP5239044B2

JP5239044B2 - 垂直搬送式エッチング装置

Info

Publication number: JP5239044B2
Application number: JP2011019393A
Authority: JP
Inventors: 郭明宏
Original assignee: 郭明宏
Priority date: 2011-02-01
Filing date: 2011-02-01
Publication date: 2013-07-17
Anticipated expiration: 2031-02-01
Also published as: JP2012158807A

Description

本発明は、従来の回路基板産業装置のエッチング装置その欠点を改良した装置である。

現在の電子技術はより微細で精密になってきており、単一の精巧なチップに非常に多くの電子素子からなる回路を実装することができ、しかも機能も更に多くなっている。それに伴い電子製品の軽量・薄型・小型化が加速しており、それらを実現するために、電子素子或いはチップを実装した回路基板の板面にエッチングで形成させてなる銅箔回路も微細且つ精密にする必要があるが、一般的な水平式のエッチング装置だと板面にエッチング液が溜まってしまい、均一にエッチングすることができず細かい回路を形成させることができない。従って、水平方向に回路基板を搬送してエッチングする方式に取って代わり、垂直搬送式エッチング装置が登場している。この方式によると、エッチングする回路基板を垂直に搬送することにより、吹きかけたエッチング液が素早く板面から滑り落ちるため、板面にエッチング液が溜まることがなく、エッチングの精度と品質を向上させることができる。

従来の垂直搬送式エッチング装置は、主に、回路基板を挟みこむ直立した二列の搬送ローラー柱と、各列の搬送ローラー柱に回転動力を伝達する動力入力ギアセットと、二列の搬送ローラー柱の外側に垂直に立てて設けられるとともにエッチング液パイプに連通するエッチング液ノズルと、複数のローラー柱台座と、ケースとによって構成する。しかしながら、この装置の多くの構成部材はケース内に取り付けられるものの、その動力入力ギアセットは一番先に動力装置から動力が伝わるのは第一のヘリカルギアセットであり、そこから各単一の水平の高さにある柱の頂部から動力を伝達し、この動力入力ギアセットはケース頂板からすべて露出する単一層のギアセットである。このため、外部の動力装置から伝達される動力に接続するために、ケースの頂板には、第一列の搬送ローラー柱の頂部のひとつひとつに対応した孔を設けなければならない。そうすることではじめて、各柱の頂部をケースの頂板から突き出させて、動力入力ギアセットの動力を伝えるギアに接続することができる。

ケースの頂部には少なくとも全ての柱の頂部に対応する数の透孔軸受を設けなくてはならないため、エッチング液でエッチング作業を行っている最中に、四方へ噴き出したエッチング液とエッチング液から発生した蒸気が、ケースの頂部における柱の頂部に貫設されたたくさんの透孔軸受の隙間から常時外側へ漏れ出しやすい、その液や蒸気が、周囲の環境を汚染してしまい、それにより、回路基板のエッチング産業業界の環境保護への取り組みに関するイメージを損なうだけでなく、エッチングの品質をも下げてしまいます。

また、直立し且つ回路基板を挟みこんだ二列の搬送ローラー柱に関し、エッチングする回路基板を挟める各搬送ローラー柱の底部には、同じローラー柱台座が対応する位置に垂直方向に差し込まれ、ローラー柱台座によって各搬送ローラー柱はケース内の底面に固定される。また、これらのローラー柱台座には、エッチングする回路基板の底縁を転がす搬送ローラーと両端の搬送ローラー柱とを動かすギアセットが設けられる。そして、ローラー柱台座上の、入力ギアセットの動力を頂部で受けた搬送ローラー柱は、ローラー柱台座のギアセットを介して、動力を搬送ローラーに伝えるだけでなく、さらには、ローラー柱台座のギアセットを介してもう一方の搬送ローラー柱に伝達しなければならない。従って、一列の搬送ローラー柱から他列の搬送ローラー柱まで動力が伝わる経路が長すぎるため、動力の消耗量が大きく、より多くのローラー柱が回転する摩擦力に対応させることが難しい。

そこで、本発明は、エッチング液がケースの外に漏れるのを防ぎ且つエッチングの品質を高めることができる垂直搬送式エッチング装置を提供することを目的とする。

従来のエッチング装置はほとんどヘリカルギヤを使用しておりますが本発明では全面的にスーパギヤを採用することで動力の伝動より確実にするだけでなく普段の機械保守にも有利となります。

本発明による垂直搬送式エッチング装置は、主に、回路基板をエッチングするためのほぼ直立した二列の（基板を垂直に支える）搬送ローラー柱と、動力入力ギアセットと、複数のローラー柱台座と、複数のエッチング液ノズルと、ケースとによって構成する。動力入力ギアセットは、二列の搬送ローラー柱の頂部に設けられるとともに、外部の動力によって作動する上層ギアセットと、下に動力を伝える下層ギアセットとによって構成する。また、下層ギアセットの両側の反対方向に回転する最終動力伝達ギアは、対応する搬送ローラー柱の頂部に差し込まれ、各搬送ローラー柱の底部は、対応するローラー柱台座を挿入することで、ケース内の底面に固定され、単一列の搬送ローラー柱の底部のローラー柱台座は、二列の搬送ローラー柱の底部の中間に向かって延伸し、エッチングする回路基板の底縁を転がす搬送ローラーを形成する。なお、上層ギアセットを除いた全ての構成部材はケース内に密封される。それにより、ケースの頂板に、搬送ローラー柱の頂部に対応する孔を一つ一つ設ける必要がなくなる。

また、本発明による垂直搬送式エッチング装置は、その動力入力ギアセットの下層ギアセットの最終動力伝達ギアの開口部が、二列の搬送ローラー柱の頂部に差し込まれ、二列の搬送ローラー柱は下層ギアセットからの動力をほぼ同時に受ける。また、単一列の搬送ローラー柱の底部のローラー柱台座は、二列の搬送ローラー柱の底部の中間に向かって延伸して、エッチングする回路基板の底縁を転がす搬送ローラーを形成する。前記ローラー柱台座に対応する搬送ローラーと、前記ローラー柱台座上の搬送ローラー柱との間に、互いにかみ合わされるギアセットが設けられ、この際、他列の搬送ローラー柱には歯部は噛み合わされず、搬送ローラー柱の底部の動力は搬送ローラーに伝わるだけである。それにより、従来のエッチング装置では、まず一列の搬送ローラー柱に動力を伝達し、その動力が搬送ローラー柱の底のローラー柱台座を介して搬送ローラーまで伝わり、さらに他列の搬送ローラー柱に伝わるという構造であるため、動力伝達距離が長く抵抗力が大きいという欠点を本発明では克服している。

本発明による垂直搬送式エッチング装置の外観を示した斜視図である。本発明による垂直搬送式エッチング装置の構造を示した分解斜視図である。本発明による垂直搬送式エッチング装置の一部を示した拡大図である。本発明による垂直搬送式エッチング装置のローラー柱台座と搬送ローラー柱を示した分解斜視図である。本発明による垂直搬送式エッチング装置が回路基板を搬送する動作をケース板とエッチング液ノズルを取り除いた状態で示した側面図である。本発明による垂直搬送式エッチング装置が回路基板を搬送する動作を、ケース板を取り除いた状態で示した正面図である。本発明による垂直搬送式エッチング装置のケース板を取り除いた状態を示した俯瞰図である。本発明による垂直搬送式エッチング装置のローラー柱台座と搬送ローラー柱の実施例２の構造を示した分解斜視図である。本発明による垂直搬送式エッチング装置のローラー柱台座と搬送ローラー柱の実施例２の組み合わせた状態を示した斜視図である。本発明による垂直搬送式エッチング装置の実施例２のケース板を取り除いた状態を示した俯瞰図である。

（実施例１）
図１から図４を参照する。図１は、本発明による垂直搬送式エッチング装置の外観を示した斜視図であり、図２は、本発明による垂直搬送式エッチング装置の構造を示した分解斜視図であり、図３は、本発明による垂直搬送式エッチング装置の一部を示した拡大図であり、図４は、本発明による垂直搬送式エッチング装置のローラー柱台座と搬送ローラー柱を示した分解斜視図である。まず、一般的な回路基板をエッチングする装置を例に挙げて説明を行う。図１〜図４から分かるように、本発明による垂直搬送式エッチング装置は、主に、ほぼ直立した二列の搬送ローラー柱１０、１１、１２、２０、２１、２２と、動力入力ギアセット３０と、複数のローラー柱台座４０、４１、４２、４３と、複数のエッチング液ノズル５０、５１と、ケース６０とによって構成する。動力入力ギアセット３０は、二列の搬送ローラー柱１０、１１、１２、２０、２１、２２の頂部に設けられるとともに、外部の動力によって作動する上層ギアセット３１と、下に動力を伝える下層ギアセット３２とによってなる。

上層ギアセット３１は、ケース頂板６１の上端に設けられるとともに、主動ベベルギア３３と、従動ベベルギア３４とによってなり、主動ベベルギア３３は、外部動力装置９１の入力軸８２（回転主軸）に、各一定の直線距離（約一メートル）ごとに連結され、従動ベベルギア３４は、主動ベベルギア３３に縦方向に噛み合わされる。なお、ケース６０における従動ベベルギア３４の軸ボス部３４Ａに対応する箇所には、軸ボス部３４Ａを貫設するための透孔６８が設けられる。また、下層ギアセット３２は、相互に噛み合わされて一列に配列されたトランスミッションギア３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄと、トランスミッションギア３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄの傍に配置された最終動力伝達ギア３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄとを相互に噛み合わせてなる。そして、軸ボス部３４Ａの下方に設けられたトランスミッションギア３２Ｄの中心には軸３２Ｅが設けられ、その軸３２Ｅは上方の軸ボス部３４Ａに差し込まれ、それ以外の残りのトランスミッションギア３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｄの中心には螺合吊軸３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃが設けられ、螺合吊軸３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃは、ケース頂板６１の底部の吊り下げる位置に設けられた丸皿ネジ孔６２、６３、６４に螺合される。また、同じ列における次の順番のトランスミッションギア（例えば、図の３２Ａの次の３２Ｂ）に噛み合わされる最終動力伝達ギアは反対側に配置され（例えば、図の３２ａと３２ｂは異なる側に配置される）、最終動力伝達ギア３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄはトランスミッションギア３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄの両側に互い違いに配列されてそれぞれ反対方向に回転する。また、最終動力伝達ギア３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄの中心には、開口部が下を向いており且つベアリングによって頂端にねじが連結されたスリーブ３６Ａ、３６Ｂ、３６Ｃが設けられ、スリーブ３６Ａ、３６Ｂ、３６Ｃの頂部のねじは、ケース頂板６１の底部の吊り下げる位置に設けられた丸皿ネジ孔６５、６６、６７に螺合される。また、スリーブ３６Ａ、３６Ｂ、３６Ｃの開口部は、図２に示すように対応する搬送ローラー柱１０、１１、１２、２０、２１、２２の頂部に差し込まれる。

また、各搬送ローラー柱１０、１１、１２、２０、２１、２２の底部は、対応するローラー柱台座４０、４１、４２、４３を差し込むことによってケース６０内の底面に固定され、一列の搬送ローラー柱１０、１１、１２の底部のローラー柱台座４０、４２は、二列の搬送ローラー柱１０、１１、１２、２０、２１、２２の底部の中間に向かって延伸して、エッチングする回路基板の底縁を転がす搬送ローラー８０を形成する。また、複数のエッチング液ノズル５０、５１は、二列の搬送ローラー柱１０、１１、１２、２０、２１、２２の外側にそれぞれ直立させて設けられるとともに、各二つの隣接する搬送ローラー柱（１０と１１、１１と１２、２０と２１、２１と２２）の間に配置され、エッチング液ノズル５０、５１の底の開口部は、ケース６０を突き抜けエッチングパイプ７０に連通する。そして、上層ギアセット３１を除いた全ての構成部材はケース６０内に密封される。それにより、各搬送ローラー柱１０、１１、１２、２０、２１、２２を動かす軸を取り付けるためのケース頂板６１の孔の数を減らすことができ、ひいては、エッチング液ノズル５０、５１から噴出したエッチング液が孔の隙間から外に漏れるのを減らすことができるとともに、ケース６０の外部の不純物が孔の隙間からケース内に進入してくるのを減らし、エッチング液が汚れる確率を減らすことができる。

ローラー柱台座４０、４１、４２、４３の詳細な構成に関しては、図４のローラー柱台座と搬送ローラー柱を示した分解斜視図を参照する。ローラー柱台座４０、４１、４２、４３は、二列の搬送ローラー柱１０、１１、２０、２１に対応する位置に配置されるとともに、構造が異なる二列の台座を形成する。なお、各ローラー柱台座４０、４１、４２、４３には、搬送ローラー柱１０、１１、２０、２１の底端が下方向へ差し込まれる柱カバー回転盤４０Ａが設けられ、一列の搬送ローラー柱１０、１１の底部に設けられたローラー柱台座４０、４２は、二列の搬送ローラー柱１０、１１、２０、２１の底部の中間に向かって延伸して、エッチングする回路基板の底縁を転がす搬送ローラー８０を形成する。搬送ローラー８０のローラー面は、それに隣接する柱カバー回転盤４０Ａの盤面に対して垂直であり、搬送ローラー８０の中心軸は、柱カバー回転盤４０Ａの盤面の高さより低い。また、搬送ローラー８０とそれに隣接する柱カバー回転盤４０Ａとの、回転時に相互に接する当接面は、相互に噛み合って回転するギアセット８１を形成する。そして、動力が二列の搬送ローラー柱１０、１１、２０、２１から同時に下方向へ伝達された後、一列の搬送ローラー柱１０、１１の底部の動力だけ、ローラー柱台座４０、４２のギアセット８１を介して伝達されて搬送ローラー８０を回転させ、他列の搬送ローラー柱１０、１１と動力が干渉しあうことはない。

本発明の装置の搬送動作に関しては、図５から図７を参照する。図５は、本発明による垂直搬送式エッチング装置が回路基板を搬送する動作をケース板とエッチング液ノズルを取り除いた状態で示した側面図であり、図６は、本発明による垂直搬送式エッチング装置が回路基板を搬送する動作を、ケース板を取り除いた状態で示した正面図であり、図７は、本発明による垂直搬送式エッチング装置のケース板を取り除いた状態を示した俯瞰図である。まず、本発明の装置を起動させると、各搬送ローラー柱１０、１１、１２、２０、２１、２２と搬送ローラー８０は動力を受けて回転し、それにより回路基板９０は垂直の状態で装置の入り口から入り二列の搬送ローラー柱１０、１１、１２、２０、２１、２２の間に挟まれる。そして、垂直状態の回路基板９０の底板の縁は、搬送ローラー８０のローラー頂部の縁に当接し、挟まれた回路基板９０は自動的に前方へ搬送される。その際、図６に示すように、両側のエッチング液ノズル５０、５１は、エッチング液を絶え間なく噴射して回路基板９０のエッチングを行う。また、図７の俯瞰図からはっきりと分かるように、両側のエッチング液ノズル５０、５１は、二列の搬送ローラー柱１０、１１、１２、２０、２１、２２の外側に直立させて設けられているとともに、各二つの隣接する搬送ローラー柱（１０と１１、２０と２１）の間に互い違いに配置されているため、噴出されたエッチング液は搬送ローラー柱１０、１１、１２、２０、２１、２２のローラー面に邪魔されず、通過する回路基板９０の面に直接吹きかけることができる。

（実施例２）
以上の実施例１では、搬送中に曲がりにくい厚めの回路基板を例に挙げて説明を行ったが、本発明による垂直搬送式エッチング装置は、硬さが軟らかめの薄い回路基板の処理を行えるよう変更することができる。図８を参照する。図８は、本発明による垂直搬送式エッチング装置のローラー柱台座と搬送ローラー柱の実施例２の構造を示した分解斜視図である。ローラー柱台座４０、４１は、二列の搬送ローラー柱１０、１１、２０、２１のそれぞれの位置に対応して配置され、構造が異なる二列の台座を形成する。なお、各ローラー柱台座４０、４１の搬送箇所に近い台座面には、搬送ローラー柱１０、１１、２０、２１の底端が下方向へ差し込まれる二つの柱カバー回転盤４０Ｂ、４０Ｃがそれぞれ設けられ、一列の搬送ローラー柱１０、１１の底部に設けられたローラー柱台座４０、４１は、各柱カバー回転盤４０Ｂ、４０Ｃの横方向の位置に対応して配置される。また、ローラー柱台座４０、４１は、二列の搬送ローラー柱１０、１１、２０、２１の底部の中間に向かって延伸して、エッチングする回路基板の底縁を転がす搬送ローラー８３、８４を形成し、搬送ローラー８３、８４ローラー面は、それに隣接する柱カバー回転盤４０Ｂ、４０Ｃの盤面に対して垂直であり、搬送ローラー８３、８４の中心軸は、柱カバー回転盤４０Ｂ、４０Ｃの盤面の高さより低い。また、各搬送ローラー８３、８４とそれに隣接する柱カバー回転盤４０Ｂ、４０Ｃとの、回転時に相互に接する当接面は、相互に噛み合って回転するギアセット８５を形成する。そして、動力が二列の搬送ローラー柱１０、１１、２０、２１から同時に下方向へ伝達された後、一列の搬送ローラー柱１０、１１の底部の動力だけ、ローラー柱台座４０のギアセット８５を介して伝達されて搬送ローラー８３、８４を回転させ、他列の搬送ローラー柱２０、２１と動力が干渉しあうことはない。

また、ローラー柱台座４０、４１における各柱カバー回転盤４０Ｂ、４０Ｃと同じ側に、中心が柱カバーを形成する従動ギア４４、４５が設けられ、柱カバー回転盤４０Ｂ、４０Ｃの底面の盤の中心に近い箇所は、下方向に向かって延伸して駆動ギア４６を形成し、ローラー柱台座４０、４１、４２、４３に対応する各従動ギア４４、４５と駆動ギア４６の間には、駆動ギア４６及び従動ギア４４、４５に噛み合わされる間接動力伝達ギア４７が設けられ、それにより柱カバー回転盤４０Ｂ、４０Ｃの動力は従動ギア４４、４５に伝達される。従動ギア４４、４５の軸カバーには、増設された搬送ローラー柱１０、１１、１０Ａ、１１Ａの底部が差し込まれ、前記ローラー柱台座４０、４１には同じ列の四本の搬送ローラー柱１０、１１、１０Ａ、１１Ａが差し込まれ、四本の搬送ローラー柱１０、１１、１０Ａ、１１Ａは、前記ローラー柱台座４０、４１上で、搬送ローラーの前後と上下に密集し交錯した状態で配列される。それにより、薄い回路基板を更にきつく挟んで搬送させることができる。

二列の搬送ローラー柱１０、１１、１２、２０、２１、２２と、増設された複数の搬送ローラー柱１０Ａ、１１Ａはローラー柱台座４０、４１、４２に差し込まれるとともに（４２は図示せず、図９を参照）、エッチング液ノズル５０、５１に対応して配置される。図９の斜視図に示すように、エッチング液ノズル５０、５１は、一定の間隔を空けて数個ずつ互い違いにしてローラー柱台座４２、４３の外側の一部に配列される。しかもローラー柱台座４２、４３に対応する各エッチング液ノズル５０、５１が直接エッチング液をふきつける箇所には、増設した複数の搬送ローラー柱１０Ａ、１１Ａを設けないことで、エッチング液を直接吹きかけるための部分開放空間をつくりだす。なお、全体の配置に関しては、図１０の俯瞰図に示す。この図からはっきりと分かるように、エッチング液ノズル５０、５１は、ローラー柱台座４２、４３の外側の一部に、一定の間隔を空けて数個ずつ互い違いにして配列される。また、エッチング液ノズル５０、５１のノズルの前方には搬送ローラー柱１０Ａ、１１Ａが設けられておらず、エッチング液を直接吹きかけることができるようになっている。また、図９に示す部分、即ち、図１０のＡ領域の搬送ローラー柱１０、１１、１２、２０、２１、２２の頂部の駆動構造に関しては、前述の厚めの回路基板の駆動方式とほぼ同様であるが、唯一の違いとして、増設された複数の搬送ローラー柱１０Ａ、１１Ａの頂部には、最終動力伝達ギア３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄのスリーブ３６Ａ、３６Ｂ、３６Ｃが差し込まれず、空転する。それにより、薄い回路基板を搬送することができると同時に、エッチングの作業も行うことができる。

１０、１１、１０Ａ、１１Ａ、１２、２０、２１、２２搬送ローラー柱
３０動力入力ギアセット
３１上層ギアセット
３２下層ギアセット
３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄトランスミッションギア
３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄ最終動力伝達ギア
３２Ｅ軸
３３主動ベベルギア
３４従動ベベルギア
３４Ａ軸ボス部
３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ螺合吊軸
３６Ａ、３６Ｂ、３６Ｃスリーブ
４０、４１、４２、４３ローラー柱台座
４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ柱カバー回転盤
４４、４５従動ギア
４６駆動ギア
４７間接動力伝達ギア
５０、５１エッチング液ノズル
６０ケース
６１ケース頂板
６２、６３、６４、６５、６６、６７丸皿ネジ孔
６８透孔
７０エッチングパイプ
８０搬送ローラー
８１、８５ギアセット
８２入力軸
８３、８４搬送ローラー
９０回路基板
９１外部動力装置

Claims

エッチングする回路基板を挟み且つほぼ直立した二列の搬送ローラー柱と、動力入力ギアセットと、複数のローラー柱台座と、複数のエッチング液ノズルと、ケースとによって構成する垂直搬送式エッチング装置であって、
前記動力入力ギアセットは、二列の搬送ローラー柱の頂部に設けられるとともに、外部の動力によって作動する上層ギアセットと、下に動力を伝える下層ギアセットとによってなり、下層ギアセットの両側の反対方向に回転する最終動力伝達ギアは、対応する列の搬送ローラー柱の頂部に差し込まれ、各搬送ローラー柱の底部は、対応するローラー柱台座を差し込むことによってケース内の底面に固定され、一列の搬送ローラー柱の底部のローラー柱台座は、二列の搬送ローラー柱の底部の中間に向かって延伸して、エッチングする回路基板の底縁を転がす搬送ローラーを形成し、上層ギアセットを除いた全ての構成部材はケース内に密封されることを特徴とする、垂直搬送式エッチング装置。
前記上層ギアセットは、ケース頂板の上端に設けられるとともに、主動ベベルギアと、従動ベベルギアとによってなり、主動ベベルギアは、外部動力装置の入力軸に、各一定の直線距離ごとに連結され、従動ベベルギアは、主動ベベルギアに縦方向に噛み合わされ、ケースにおける従動ベベルギアの軸ボス部に対応する箇所には、軸ボス部を貫設するための透孔が設けられることを特徴とする、請求項１に記載の垂直搬送式エッチング装置。
前記下層ギアセットは、相互に噛み合わされて一列に配列されたトランスミッションギアと、トランスミッションギアの傍に配置された最終動力伝達ギアとを相互に噛み合わせてなり、軸ボス部の下方に設けられたトランスミッションギアの中心には軸が設けられ、その軸は上方の軸ボス部に差し込まれ、それ以外の残りのトランスミッションギアの中心には螺合吊軸が設けられ、螺合吊軸はケース頂板の底部の吊り下げる位置に設けられた丸皿ネジ孔に螺合され、同じ列における次の順番のトランスミッションギアに噛み合わされる最終動力伝達ギアは反対側に配置されることにより最終動力伝達ギアはトランスミッションギアの両側に互い違いに配列されてそれぞれ反対方向に回転し、最終動力伝達ギアの中心には、開口部が下を向いており且つベアリングによって頂端にねじが連結されたスリーブが設けられ、スリーブの頂部のねじは、ケース頂板の底部の吊り下げる位置に設けられた丸皿ネジ孔に螺合され、スリーブの開口部は、対応する搬送ローラー柱の頂部に差し込まれることを特徴とする、請求項２に記載の垂直搬送式エッチング装置。
前記ローラー柱台座は、二列の搬送ローラー柱に対応する位置に配置されるとともに、構造が異なる二列の台座を形成し、各ローラー柱台座には、搬送ローラー柱の底端が下方向へ差し込まれる柱カバー回転盤が設けられ、一列の搬送ローラー柱の底部に設けられたローラー柱台座は、二列の搬送ローラー柱の底部の中間に向かって延伸して、エッチングする回路基板の底縁を転がす搬送ローラーを形成し、この搬送ローラーのローラー面は、それに隣接する柱カバー回転盤の盤面に対して垂直であり、搬送ローラーの中心軸は柱カバー回転盤の盤面の高さより低く、前記搬送ローラーとそれに隣接する柱カバー回転盤との、回転時に相互に接する当接面は、相互に噛み合って回転するギアセットを形成し、動力が二列の搬送ローラー柱から同時に下方向へ伝達された後、一列の搬送ローラー柱の底部の動力だけ、ローラー柱台座のギアセットを介して伝達されて搬送ローラーを回転させることを特徴とする、請求項１に記載の垂直搬送式エッチング装置。
前記エッチング液ノズルは、二列の搬送ローラー柱の外側にそれぞれ直立させて設けられるとともに、各二つの隣接する搬送ローラー柱の間に配置されることを特徴とする、請求項４に記載の垂直搬送式エッチング装置。
前記ローラー柱台座は、二列の搬送ローラー柱のそれぞれの位置に対応して配置されるとともに、構造が異なる二列の台座を形成し、各ローラー柱台座の搬送箇所に近い台座面には、搬送ローラー柱の底端が下方向へ差し込まれる二つの柱カバー回転盤がそれぞれ設けられ、一列の搬送ローラー柱の底部に設けられたローラー柱台座は、各柱カバー回転盤の横方向の位置に対応して配置され、ローラー柱台座は、二列の搬送ローラー柱の底部の中間に向かって延伸して、エッチングする回路基板の底縁を転がす搬送ローラーを形成し、前記搬送ローラーローラー面は、それに隣接する柱カバー回転盤の盤面に対して垂直であり、前記搬送ローラーの中心軸は、柱カバー回転盤の盤面の高さより低く、各搬送ローラーとそれに隣接する柱カバー回転盤との、回転時に相互に接する当接面は、相互に噛み合って回転するギアセットを形成し、動力が二列の搬送ローラー柱から同時に下方向へ伝達された後、一列の搬送ローラー柱の底部の動力だけ、ローラー柱台座のギアセットを介して伝達されて搬送ローラーを回転させることを特徴とする、請求項１に記載の垂直搬送式エッチング装置。
前記ローラー柱台座における各柱カバー回転盤と同じ側に、中心が柱カバーを形成する従動ギアが設けられ、柱カバー回転盤の底面の盤の中心に近い箇所は、下方向に延伸して駆動ギアを形成し、ローラー柱台座に対応する各従動ギアと駆動ギアの間には、駆動ギア及び従動ギアに噛み合わされる間接動力伝達ギアが設けられ、それにより柱カバー回転盤の動力は従動ギアに伝達され、従動ギアの軸カバーには、増設された搬送ローラー柱の底部が差し込まれ、前記ローラー柱台座には同じ列の四本の搬送ローラー柱が差し込まれ、四本の搬送ローラー柱は、薄い回路基板を更にきつく挟んで搬送させるために、前記ローラー柱台座上で、搬送ローラーの前後と上下に密集し交錯した状態で配列されることを特徴とする、請求項６に記載の垂直搬送式エッチング装置。
前記エッチング液ノズルは、ローラー柱台座の外側の一部に、一定の間隔を空けて数個ずつ互い違いにして配列され、ローラー柱台座に対応する各エッチング液ノズルが直接エッチング液をふきつける箇所には、増設の搬送ローラー柱は設けず、エッチング液を直接吹きかけるための部分開放空間をつくりだすことを特徴とする、請求項７に記載の垂直搬送式エッチング装置。