CN101320158B - 传动模块 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种传动模块,其适于传送基板,基板具有上表面、下表面与两相对侧面且沿着移动轴线移动,此传动模块包括传动装置、固定座与多个穿设件。传动装置包括多个第一支撑滚轮、多个第一传动滚轮以及多个导引滚轮,其中各第一支撑滚轮与各第一传动滚轮分别沿支撑轴线与传动轴线设置,且分别适于接触下表面与上表面,传动轴线与支撑轴线彼此平行。各导引滚轮沿导引轴线设置且邻近侧面之一,导引轴线垂直于支撑轴线与传动轴线,且移动轴线垂直于支撑轴线、传动轴线与导引轴线。此外,穿设件与固定座一体成型,各穿设件穿设导引滚轮之一。
Description
技术领域
本发明是有关于一种传动模块,且特别是有关于一种具有导正基板传送方向的传动模块。
背景技术
针对多媒体社会的急速进步,多半受惠于半导体组件或人机显示装置呈飞跃性进步。就显示装置而言,具有高画质、空间利用效率佳、低消耗功率、无辐射等优越特性的平面显示装置已逐渐成为市场的主流。而在各种平面显示装置中,液晶显示器又为目前技术较为成熟的平面显示装置。液晶显示器主要是由液晶显示面板以及背光模块所组成。
一般而言,在液晶显示器的制造过程中,产品的产能以及制造合格率与生产机械设备的精确度息息相关。其中,生产机械设备的传动模块为影响产品产能以及合格率的重要因素。举例而言,传动模块的精确度越高,产能就能适度提升。再者,传动模块无发尘之虞时,就能维持产品的合格率。因此,传动模块优劣攸关产品的制造成本,进而影响产业的竞争力。
具体而言,液晶显示面板主要是由上基板、下基板以及一位于上基板与下基板之间的液晶层所构成,而上基板与下基板在液晶显示面板的制作过程中通常需要经过数道的制程步骤以分别形成彩色滤光基板以及主动元件阵列基板,这些制程步骤例如为:薄膜沉积、光刻制程以及蚀刻制程,之后再将彩色滤光基板以及主动元件阵列基板组立。其中,上基板或下基板在上述制程中通常是通过机械设备中的传动模块加以传送,以达到量产的目的。然而,上述基板在传送过程中容易发生位置偏移,导致基板撞击而产生破片。
图1A为公知一种传动模块的示意图。请参照图1A,传动模块100中的传动装置120包括传动滚轮140以及位于基板110传送路径两旁的导引滚轮130,其中导引滚轮130用以导正基板110的传送方向,避免基板110在传送过程中因传送方向歪斜,导致基板撞击而产生破片的情形。图1B为图1A中的导引滚轮130的侧面示意图。请参照图1B,导引滚轮130通过穿设件132而枢设于一上固定座134a上,而上固定座134a再以螺丝螺接于下固定座134b上。如图1B所示,穿设件132的中心位置与下固定座134b的中心位置不重合,并且导引滚轮130的旋转中心与导引滚轮130的中心线并不重合。请同时参照图1A与图1B,通过调整上固定座134a与下固定座134b之间的相对位置,使用者可以任意调整基板110与导引滚轮130之间的距离。
由于导引滚轮130属于耗材,需要定时更换,且导引滚轮130在更换后需要个别调整导引滚轮130与基板110之间的距离以加以定位,换言之,公知的传动模块100中的导引滚轮130由于更换时期不一,因此位于传动模块100中不同位置的导引滚轮130是在不同时期被调整的,即使不同位置的导引滚轮130是同时期被调整的,其调整者亦不同,使得位于基板110传输路径两旁的导引滚轮130调整的标准不一。此外,实务上,在机台的一般保养时程或者是故障排除时,由于机台可容许的停滞时间不长,无法对机台内所有的导引滚轮作整体性的大规模调整。因此,公知的传动模块100中的导引滚轮130经长时间的运转之后,仍然不可避免地会产生如图1A中排列歪斜的问题。
如此一来,不仅会影响传动的精确度外,严重者还会使得基板产生破片,或是会将基板与导引滚轮之间磨耗产生的微粒(particle)滞留于生产的产品中,尤其对于集成电路或液晶显示器等无尘等级要求度甚高的半导体制程而言,这种由单独调整导引滚轮所构成的传动模块对产品的产能以及合格率是一大杀手。因此,如何在量产的机械装置中避免基板在传动模块产生位置偏移、磨擦、或破片成为产业发展的一大重要课题。
发明内容
本发明的目的是提供一种传动模块,其具有导正基板传送方向的导引滚轮,且导引滚轮具有易维护性。
本发明提出一种传动模块,适于传送一基板,基板沿着移动轴线移动且具有上表面、相对于上表面的下表面以及连接上表面与下表面的两相对侧面,传动模块包括传动装置、固定座以及多个穿设件。传动装置包括多个第一支撑滚轮、多个第一传动滚轮以及多个导引滚轮,其中各第一支撑滚轮沿支撑轴线设置,且适于接触下表面,各第一传动滚轮沿传动轴线设置,且适于接触上表面,并且传动轴线与支撑轴线彼此平行。各导引滚轮沿导引轴线设置且邻近侧面之一,导引轴线垂直于各支撑轴线与各传动轴线,并且移动轴线垂直于支撑轴线、传动轴线与导引轴线。穿设件与固定座一体成型,各穿设件穿设导引滚轮之一。
在本发明的一实施例中,上述传动装置更包括多个第二支撑滚轮以及多个第二传动滚轮,各第二支撑滚轮与各第二传动滚轮分别轴设于支撑轴线以及传动轴线,各第一支撑滚轮与各第二支撑滚轮分别接触下表面的两对侧,且各第一传动滚轮与各第二传动滚轮分别接触上表面的两对侧。
在本发明的一实施例中,上述第二支撑滚轮的尺寸大于第一支撑滚轮的尺寸。
在本发明的一实施例中,上述传动模块更包括多个定位套环,各导引滚轮限制于各定位套环与穿设件之间。
在本发明的一实施例中,上述传动模块更包括多个轴承,各轴承具有一轴孔以及一外周面,各穿设件沿着导引轴线而穿设于轴孔,导引滚轮环设于外周面。
在本发明的一实施例中,上述基板的侧面包括第一侧面以及第二侧面,第一侧面与第二侧面之间的距离为基板的宽度,位于第一侧面的导引滚轮与位于第二侧面的导引滚轮之间具有最短距离,此最短距离略大于基板的宽度。在一实施例中,此最短距离与基板的宽度差值实质上介于0厘米与0.5厘米之间。在一实施例中,传动模块更包括第一位置调整基座以及第二位置调整基座,而固定座包括多个固定件,邻近第一侧面的固定件共同架设于第一位置调整基座上,邻近第二侧面的固定件共同架设于第二位置调整基座上。
在本发明的一实施例中,上述固定座的材质包括不锈钢。
在本发明的一实施例中,上述导引滚轮的硬度小于55D。
在本发明的一实施例中,上述导引滚轮的材质包括铁氟龙。
在本发明的一实施例中,上述传动模块更包括多个喷嘴配置于传动滚轮上方,喷嘴适于喷洒一流体于基板上。在一实施例中,上述之流体例如是蚀刻液或是水。
本发明另提出一种传动模块,其包括多个第一支撑滚轮以及多个第二支撑滚轮、多个第一传动滚轮以及多个第二传动滚轮、固定座、多个穿设件以及多个导引滚轮,其中第一支撑滚轮与第二支撑滚轮沿支撑轴线设置,而第一传动滚轮以及第二传动滚轮位于第一支撑滚轮以及第二支撑滚轮上方,并沿传动轴线设置。穿设件分布于支撑轴线的两端,并与固定座一体成型。各导引滚轮分别位于穿设件上并被穿设件穿设。
在本发明的一实施例中,上述传动模块更包括多个定位套环,各导引滚轮限制于各定位套环与固定座之间。
在本发明的一实施例中,上述传动模块更包括多个轴承,各轴承具有轴孔以及外周面,各穿设件穿设于轴孔,导引滚轮环设于外周面。
在本发明的一实施例中,上述位于支撑轴线的两端的穿设件的最短距离约为0厘米与0.5厘米之间。
在本发明的一实施例中,上述传动模块更包括第一位置调整基座以及第二位置调整基座,固定座包括多个固定件,邻近第一侧面的固定件共同架设于第一位置调整基座上,邻近第二侧面的固定件共同架设于第二位置调整基座上。
在本发明的一实施例中,上述固定座的材质包括不锈钢。
在本发明的一实施例中,上述导引滚轮的材质包括铁氟龙。
基于上述,本发明传动装置通过导引滚轮来导正基板的传动方向,导引滚轮主要是架构在一体成型的固定座与穿设件上,并且使得导引滚轮的旋转中心与导引滚轮的中心线重合。因此,本发明的传动装置可以有效降低导引滚轮的调整次数,提高基板传送的精确度。
附图说明
图1A为公知一种传动模块的示意图。
图1B为图1A中的导引滚轮的侧面示意图。
图2为本发明的一种传动模块的部分俯视示意图。
图3为本发明的传动模块的一种侧视示意图。
图4A与图4B分别绘示本发明的传动模块中导引滚轮枢设于固定座的一种固定方式示意图。
图5为本发明的传动模块中的导引滚轮设置于穿设件与固定座上的一种剖面示意图。
附图标记说明:
100、200:传动模块
110、210:基板
120、220:传动装置
130:导引滚轮
132、240:穿设件
134a:上固定座
134b:下固定座
140:传动滚轮
212:上表面
214:下表面
216:侧面
216A:第一侧面
216B:第二侧面
230:固定座
232:固定件
250:第一支撑滚轮
252:第二支撑滚轮
260:第一传动滚轮
262:第二传动滚轮
270:导引滚轮
272A:第一位置调整基座
272B:第二位置调整基座
280:轴承
282:轴孔
284:外周面
290:定位套环
292:喷嘴
294:流体
A1:移动轴线
A2:支撑轴线
A3:传动轴线
A4:导引轴线
D:最短距离
W:基板宽度
具体实施方式
为让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合附图,作详细说明如下。
图2为本发明的一种传动模块的部分俯视示意图。请参照图2,传动模块200适于传送一基板210,使得基板210沿着移动轴线A1移动,其中基板210可以是玻璃基板、晶片或其它待处理物。基板210具有上表面212、相对于上表面212的下表面214以及连接上表面212与下表面214的两相对侧面216(绘示于图3)。如图2所示,传动模块200主要是由传动装置220、固定座230以及多个穿设件240所构成的,其中固定座230的材质例如为不锈钢。传动模块200包括传动装置220、固定座230以及多个穿设件240。传动装置220包括多个接触于基板210下表面214的第一支撑滚轮250、多个接触于基板210上表面212的第一传动滚轮260以及多个邻近基板210侧面216之一的导引滚轮270,其中导引滚轮270用以导正基板210的传送方向。穿设件240与固定座230一体成型,而各穿设件240穿设导引滚轮270之一。
如图2所示,位于基板210下方的第一支撑滚轮250用以支撑基板210,而第一传动滚轮260例如通过一马达而转动,用以运送基板210,在本实施例中,为了进一步增强第一传动滚轮260传输基板210的效率,更可将部分第一支撑滚轮250的设置位置扩及至第一传动滚轮260的正下方,且接触于基板上表面212以及下表面214的第一传动滚轮260分别通过不同的旋转方向来控制基板210的传送方向。当然,第一传动滚轮260仅接触于基板210的上表面212亦可以达到基板210传输的效果,本发明并不以此为限。此外,第一支撑滚轮250受基板210行进时的带动而转动,换言之,第一支撑滚轮250相对于第一传动滚轮260而言属于一种从动(被动)滚轮。
更详细而言,请参照图2与图3,其中图3为本发明的传动模块的一种侧视示意图。如图3所示,传动装置220中的第一支撑滚轮250与第一传动滚轮260是分别沿着支撑轴线A2与传动轴线A3而设置,其中支撑轴线A2与传动轴线A3彼此平行,且移动轴线A1垂直于支撑轴线A2与传动轴线A3。换言之,当第一支撑滚轮250与第一传动滚轮260分别沿着支撑轴线A2与传动轴线A3而转动时,即可将夹持于其间的基板210往移动轴线A1的方向作传送。此外,如图3所示,各导引滚轮270沿着导引轴线A4而设置,其中导引轴线A4垂直于各支撑轴线A2与各传动轴线A3,并且移动轴线A1垂直于支撑轴线A2、传动轴线A3与导引轴线A4。更具体而言,各导引滚轮270邻近基板210侧的切线方向与移动轴线A1相互平行,将位于同侧的多个导引滚轮270邻近基板210侧的切线方向连接在一起时,即为构成基板210的传送方向。
实务上,设计者基于力学平衡的考虑可依基板210的种类、尺寸、重量、表面粗糙度、传动马达的马力等来设计支撑滚轮与传动滚轮的设置位置、分布以及数量,以使得基板210的重量可以均匀地分散在支撑滚轮上,并使得传动滚轮得以用最佳驱动力驱动传动滚轮。举例而言,如图3所示,在本实施例中,传动模块200更包括多个第二支撑滚轮252以及多个第二传动滚轮262,各第二支撑滚轮252与各第二传动滚轮262分别轴设于支撑轴线A2以及传动轴线A3,各第一支撑滚轮250与各第二支撑滚轮252分别接触下表面214的两对侧,且各第一传动滚轮260与各第二传动滚轮262分别接触上表面212的两对侧。如此一来,可进一步增进基板传送的效率。
值得注意的是,如图3所示,本发明的穿设件240与固定座230为一体成型,而导引滚轮270是通过穿设件240而枢设于固定座230上,并且,在本实施例中,各穿设件240是一体成型地设置在固定座230的中心上,且导引滚轮270的旋转中心与穿设件240的中心线以及固定座230的中心线重合。在本实施例中,穿设件240穿设导引滚轮270后会凸出导引滚轮的表面,当然,穿设件240在穿设导引滚轮270后也可以与导引滚轮270的表面切齐,本发明并不以此为限。此外,在本实施例中,固定座230包括多个固定件232,每一导引滚轮270个别有与其对应的固定件232。当然,各导引滚轮270所对应的固定座230可以为同一固定座230,将详述于图4A,本发明并不限定固定座230的设计型态。
此外,具体而言,导引滚轮270的材质例如为铁氟龙,而导引滚轮270材料的洛氏硬度实质上小于55D。承上述,导引滚轮270相对于基板210属于耗材,传动模块220在长时问运作之后,需要定时进行导引滚轮270的更换,或者在故障排除的些许情况下,导引滚轮270亦需进行更换。
值得一提的是,导引滚轮270由于穿设件240与固定座230的搭配设计,使得本发明不同于公知,在进行新品更换时,无须重新定位。详言之,本发明的导引滚轮270在最初始的调整之后,由于固定座230的基准为固定,且导引滚轮270的旋转中心与导引滚轮270中心线会与导引轴线A4重合,因此更换后的导引滚轮270到基板210之间的距离实质上为固定值。实务上,在机台的日常保养时程或是故障排除时,仅需更换导引滚轮270,而无须一一调整各导引滚轮270与基板210之间的距离,可以使得机台的产能利用率大幅提升。下文将针对传动模块200的导引滚轮270的最初始调整设定列举一例进行说明。
请继续参照图3,令基板210的侧面216包括第一侧面216A以及第二侧面216B,并将第一侧面216A与第二侧面216B之间的距离定义为基板210的宽度W,位于第一侧面216A的导引滚轮270与位于第二侧面216B的导引滚轮270之间具有最短距离D,为了使得导引滚轮270充分发挥导正基板210传送方向的功能,此基板210两旁的导引滚轮270之间的最短距离D越接近基板210宽度W越好。另一方面,为了避免基板210在传送过程中与两旁的导引滚轮270频繁碰撞,而造成导引滚轮270上产生基板210的刻痕或磨耗,基板210两旁的导引滚轮270之间的最短距离D则不能过于接近基板210宽度W,因此实务上导引滚轮270与基板210之间的调整目标较佳地是将最短距离D与基板210宽度W的差值控制于实质上0厘米至0.5厘米之间。
在最初始的位置设定中,可以先调整基板210两旁的固定座230的基准,使得基板210两旁的导引滚轮270在通过穿设件240而枢设于固定座230时,可以达到上述的位置调整目标。图4A与图4B分别绘示本发明的传动模块中导引滚轮枢设于固定座的一种固定方式示意图。如图4A所示,位于基板210同一侧的导引滚轮270可以固定于同一固定座230上,在此种设计中,仅需调整基板210两旁的二固定座230之间的距离即可完成导引滚轮270之间最短距离D的位置初始设定。如图4B所示,在本实施例中,由于每一导引滚轮270个别有与其对应的固定件232,基于缩短最初始位置设定的调整时间的考虑,更可以将邻近第一侧面216A的固定件232共同架设于第一位置调整基座272A上,并将邻近第二侧面216B的固定件232共同架设于第二位置调整基座272B上。则在进行位置初始设定时,先将邻近第一侧面216A的固定件232以及邻近第二侧面216B的固定件232分别通过第一位置调整基座272A以及第二位置调整基座272B调整为一直线,使得位于基板两旁的导引滚轮270之间的最短距离D符合位置初始设定目标值,因此机台在长时间使用后,仅需更换各固定件232上的各导引滚轮270,而不需如公知技术般地一一调整导引滚轮270与固定件232之间的相对位置,可以有效防止公知技术所面临到的导引滚轮270排列歪斜的问题。
图5为本发明的传动模块中的导引滚轮设置于穿设件与固定座上的一种剖面示意图。请参照图5,导引滚轮270可以通过轴承280而枢设于固定座230上,具体而言,轴承280具有轴孔282以及外周面284,其中外周面284得以相对于轴孔282作转动。如图5所示,穿设件240是沿着导引轴线A4而穿设于轴孔282内,使得轴承280例如是以紧配的型态固定在穿设件240上,而导引滚轮270是环设于轴承280的外周面284,使得导引滚轮270紧配于轴承280的外周面284上。因此,当基板210在制程中发生传送方向些许偏移时,导引滚轮270通过与基板210的侧面216接触可以导正基板210的传送方向,且导引滚轮270适于通过轴承280而相对于固定座230作转动,因此在导正基板210传送方向的同时,可以有效减少导引滚轮270的磨耗。
此外,为了进一步防止导引滚轮270与固定座230之间产生沿着导引轴线A4的位移,如图5所示,可于导引滚轮270与穿设件240之间选择性地设置定位套环290,以将导引滚轮270限制于定位套环290与穿设件240之间。
在实际的应用层面上,如前述的图2所示,当传动模块200应用于制程机台上,可以选择性地于在传动滚轮上方设置多个喷嘴292,而依据制程选用适当的流体294种类,举例而言,当其应用于蚀刻制程中时,流体294例如是蚀刻液,当其应用于光刻制程时,流体294例如是显影液,当然流体294还可以是应用于清洗机台的水或应用于去光阻制程中的去光阻液,本发明并不以此为限。此外,喷嘴292的位置亦可依机台内部空间选择适当位置来设置,例如喷嘴292也可以位于导引滚轮270的上方或其它适当位置。
此外,在本实施例中,第二支撑滚轮252的尺寸实质上等于第一支撑滚轮250的尺寸,换言之,基板210的传送方向平行于水平面。当然,在其它实施例中,基于制程上的特殊考虑,传送模块200中的第二支撑滚轮252的尺寸可以实质上大于第一支撑滚轮250的尺寸,使得基板210可以与水平面形成一夹角而传送,例如在一些制程中欲增加喷洒于基板210上流体294的流动性时,可以利用上述手段加以达成增加流体流动性的目的。
综上所述,本发明的传动模块是利用一体成型的穿设件与固定座来将导引滚轮固定在固定座上,并且导引滚轮的旋转中心是与其中心线重合,因此本发明相较于公知传动装置具有至少以下的优点:
1.在机台的日常保养时程或是故障排除时,无须一一校正各导引滚轮与基板之间的距离,而仅作导引滚轮的更换,可以使得机台的产能利用率大幅提升。
2.导引滚轮所固定的固定座以及穿设件位置固定,故不会因为调整位置而使得导引滚轮相对位置歪斜,可以有效避免基板撞击位置凸出的导引滚轮而发生破片,可以降低基板的报废率,提升合格率。
3.本发明的传动模块可因应制程种类而使用于多种制程机台中,例如:薄膜沉积制程机台、光刻制程的光阻涂布/显影制程机台、蚀刻制程机台或是清洗机台等机台。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然其并非用以限定本发明,任何所属技术领域中具有通常知识者,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作些许的更动与润饰,因此本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
Claims (12)
1.一种传动模块,适于传送一基板,该基板沿着一移动轴线移动且具有一上表面、一相对于该上表面的下表面以及连接该上表面与该下表面的两相对侧面,该传动模块包括:
一传动装置,包括:
多个第一支撑滚轮,其中各该第一支撑滚轮沿一支撑轴线设置,且适于接触该下表面;
多个第一传动滚轮,其中各该第一传动滚轮沿一传动轴线设置,且适于接触该上表面,并且该些传动轴线与该些支撑轴线彼此平行;以及
多个导引滚轮,各该导引滚轮沿一导引轴线设置且邻近该些侧面之一,该导引轴线垂直于该支撑轴线与该传动轴线,并且该移动轴线垂直于该支撑轴线、该传动轴线与该导引轴线;
一固定座;以及
多个穿设件,其中该些穿设件与该固定座一体成型,各该穿设件穿设该些导引滚轮之一,且各该导引滚轮的旋转中心与穿设件的中心线重合。
2.如权利要求1所述的传动模块,其特征在于,该传动装置更包括多个第二支撑滚轮以及多个第二传动滚轮,各该第二支撑滚轮与各该第二传动滚轮分别轴设于该支撑轴线以及该传动轴线,各该第一支撑滚轮与各该第二支撑滚轮分别接触该下表面的两对侧,且各该第一传动滚轮与各该第二传动滚轮分别接触该上表面的两对侧。
3.如权利要求1所述的传动模块,其特征在于,该些第二支撑滚轮的尺寸大于该些第一支撑滚轮的尺寸。
4.如权利要求1所述的传动模块,其特征在于,该传动模块更包括:
多个定位套环,各该导引滚轮限制于各该定位套环与该穿设件之间;以及
多个轴承,各该轴承具有一轴孔以及一外周面,各该穿设件沿着该导引轴线而穿设于该轴孔,该导引滚轮环设于该外周面。
5.如权利要求1所述的传动模块,其特征在于,该基板的该些侧面包括一第一侧面以及一第二侧面,该第一侧面与该第二侧面之间的距离为该基板的一宽度,位于该第一侧面的该些导引滚轮与位于该第二侧面的该些导引滚轮之间具有一最短距离,该最短距离略大于该基板的该宽度,其中该最短距离与该基板的该宽度差值介于0厘米与0.5厘米之间,且该传动模块更包括一第一位置调整基座以及一第二位置调整基座,该固定座包括多个固定件,邻近该第一侧面的该些固定件共同架设于该第一位置调整基座上,邻近该第二侧面的该些固定件共同架设于该第二位置调整基座上。
6.如权利要求1所述的传动模块,其特征在于,该固定座的材质包括不锈钢,该些导引滚轮的硬度小于55D,且该些导引滚轮的材质包括铁氟龙。
7.如权利要求1所述的传动模块,其特征在于,该传动模块更包括多个喷嘴配置于该些传动滚轮上方,该些喷嘴适于喷洒一流体于该基板上。
8.一种传动模块,包括:
多个第一支撑滚轮以及多个第二支撑滚轮,沿一支撑轴线设置;
多个第一传动滚轮以及多个第二传动滚轮,位于该些第一支撑滚轮以及该些第二支撑滚轮上方,沿一传动轴线设置;
一固定座;
多个穿设件,分布于该支撑轴线的两端,与该固定座一体成型;以及
多个导引滚轮,分别位于该些穿设件上并被该穿设件穿设,且各该导引滚轮的旋转中心与穿设件的中心线重合。
9.如权利要求8所述的传动模块,其特征在于,该传动模块更包括:
多个定位套环,各该导引滚轮限制于各该定位套环与该固定座之间;以及
多个轴承,各该轴承具有一轴孔以及一外周面,各该穿设件穿设于该轴孔,该导引滚轮环设于该外周面。
10.如权利要求8所述的传动模块,其特征在于,位于该支撑轴线两端的该导引滚轮的最短距离与该基板宽度的差值介于0厘米与0.5厘米之间。
11.如权利要求8所述的传动模块,其特征在于,该传动模块更包括一第一位置调整基座以及一第二位置调整基座,该固定座包括多个固定件,邻近该第一侧面的该些固定件共同架设于该第一位置调整基座上,邻近该第二侧面的该些固定件共同架设于该第二位置调整基座上。
12.如权利要求11所述的传动模块,其特征在于,该固定座的材质包括不锈钢,该些导引滚轮的材质包括铁氟龙。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN1569590A (zh) * | 2003-07-11 | 2005-01-26 | 友达光电股份有限公司 | 传送机构及其湿式处理设备 |
CN200964439Y (zh) * | 2006-10-20 | 2007-10-24 | 扬博科技股份有限公司 | 电路板的蚀刻装置 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1569590A (zh) * | 2003-07-11 | 2005-01-26 | 友达光电股份有限公司 | 传送机构及其湿式处理设备 |
CN200964439Y (zh) * | 2006-10-20 | 2007-10-24 | 扬博科技股份有限公司 | 电路板的蚀刻装置 |
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