CN101181958A - 基板移载机及其基板收纳匣 - Google Patents

基板移载机及其基板收纳匣 Download PDF

Info

Publication number
CN101181958A
CN101181958A CNA2007101987453A CN200710198745A CN101181958A CN 101181958 A CN101181958 A CN 101181958A CN A2007101987453 A CNA2007101987453 A CN A2007101987453A CN 200710198745 A CN200710198745 A CN 200710198745A CN 101181958 A CN101181958 A CN 101181958A
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
box
take
roller
conveying end
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2007101987453A
Other languages
English (en)
Inventor
陈盈吉
陈信达
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AU Optronics Corp
Original Assignee
AU Optronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by AU Optronics Corp filed Critical AU Optronics Corp
Priority to CNA2007101987453A priority Critical patent/CN101181958A/zh
Publication of CN101181958A publication Critical patent/CN101181958A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

本发明公开了一种基板移载机及其基板收纳匣,用以装载玻璃基板。基板移载机包括有置放箱及取出装置,置放箱具有多个收纳匣,每一个收纳匣都可装载玻璃基板,且各个收纳匣内排列有多个滚轮,并且各个滚轮间具有倾斜于水平线之公切线,通过取出装置移送玻璃基板至滚轮上,滚轮即可导引玻璃基板移动到基板收纳匣内定位。

Description

基板移载机及其基板收纳匣
技术领域
本发明涉及玻璃基板的存放与取用设备,尤其涉及一种用来装载玻璃基板的基板移载机及其基板收纳匣。
背景技术
近年来,随着大尺寸液晶显示器的量产,使得液晶显示面板的尺寸跟着增大,而玻璃基板的尺寸与产能需求也不断的加大。所以,在生产液晶显示面板的繁复工艺中,如何能够有效率地搬移及存放大尺寸的玻璃基板就成为面板制造厂首先面对的问题。一般而言,玻璃基板在每道工艺完成后都会先被存放在架子上,然后等到要进行下一道工艺时再由机械手臂自架子上取出。目前业界较常用来存放玻璃基板的架子有标准式卡匣架(normal cassette)、钢索式卡匣架(wire cassette)及托架式卡匣架(tary cassette)。
标准式卡匣架为一种内部具有多层载板的匣箱,而且每个载板上面还设置有多个垂直的顶柱。玻璃基板放在每一层载板上面,并且被顶柱撑起而与载板的表面保持一适当间隙。因此,要由标准式卡匣架中取放玻璃基板时,机械手臂前端的牙叉可以直接伸入顶柱之间而将玻璃基板迅速取出或放回。但是,标准式卡匣架却因为顶柱的设置使每个载板之间需预留较大的间隔,不但限制了卡匣架存放玻璃基板的数量,而且也增加了卡匣架本身的体积。
钢索式卡匣架为一种内部具有多层钢索的匣箱,其中玻璃基板就是存放于每一层钢索上。钢索式卡匣架主要是由多个皮带传送带伸入每一层钢索,而依序一层一层地取放玻璃基板。因此,钢索式卡匣架中每层钢索间所需预留的间隔就可以缩小,可在同样的大小的卡匣架中存放更多的玻璃基板。但是,皮带传送带只能够由下而上依序地取放玻璃基板,而直接由卡匣架上特定的一层钢索上取出玻璃基板,取放相当不方便。
托架式卡匣架为一种内部具有多层托盘的匣箱,其中每个托盘互相堆栈,而且每个托盘上都可以放置玻璃基板。托架式卡匣架主要是先利用一升降机将特定的托盘上方的所有托盘都升高,然后再利用另一升降机将特定的托盘升高,以空出供机械手臂伸入托盘间的空间。因此,机械手臂可以顺利伸入匣箱中取出特定的玻璃基板,而且托盘间的间隙也可以缩小,使匣箱存放更多玻璃基板。虽然托架式卡匣架拥有标准式卡匣架与钢索式卡匣架的优点,但是当升降机将托盘升高时,托盘上的灰尘会掉到下方托盘上的玻璃基板,而污染到下层的玻璃基板。这样的话,可能会导致液晶显示面板的良率降低,而且必须额外花时间清洗玻璃基板。
此外,在标准式卡匣架与托架式卡匣架中,因为机械手臂必须整个伸入卡匣架中才能够取出玻璃基板,使机械手臂的尺寸往往过长。如此一来,机械手臂就需要相当大的操作空间与很长的移动行程,使得控制机械手臂移动的机具也跟着加大,会导致机械手臂与其周边机具太过庞大,而不利于厂房空间的利用。
现有技术中用来存取玻璃基板的机械手臂伸入卡匣架的行程过长,导致机械手臂及其周边机具会占用太多空间。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于提供一种基板移载机及其基板收纳匣,以解决现有用来存取玻璃基板的卡匣架所存在的问题。
本发明提供一种基板移载机及其基板收纳匣,用以装载基板,其中基板可为但不局限于液晶显示面板的玻璃基板。基板移载机包括有基板收纳匣及取出装置,适用于收纳或传送基板。基板收纳匣包含有框架及多个滚轮。框架上设置有承载盘,而且框架具有取出口及相对于取出口的抵靠边。滚轮设置于承载盘上,而且滚轮由取出口朝向抵靠边沿水平线排列,其中滚轮用以承载基板,并导引基板移动放置到定位。这些滚轮具有一公切线,且此公切线由取出口朝抵靠边倾斜,并与水平线之间具有夹角。取出装置通过取出口,而由基板收纳匣中取出基板,或是将基板置入基板收纳匣中。当取出装置将基板置入基板收纳匣时,滚轮会导引基板移动到定位。
为实现上述目的,本发明提供一种基板收纳匣,包含有:一框架,其内部设置有一承载盘,而且该框架具有一取出口及一相对于该取出口的抵靠边;及多个滚轮,设置于该承载盘上,而且该滚轮由该取出口朝向该抵靠边沿一水平线排列,其中该滚轮具有一公切线,该公切线由该取出口朝该抵靠边倾斜并与该水平线之间具有一夹角。
为实现上述目的,本发明提供一种基板移载机,包含:一基板收纳匣,具有一取出口及一相对于该取出口的抵靠边,该基板收纳匣内设有多个滚轮,该滚轮具有一公切线,该公切线由该取出口朝向该抵靠边延伸且向下倾斜;及一取出装置,设置于该基板收纳匣的一侧。
而且,为实现上述目的,本发明提供一种基板移载机,适用于收纳或传送多个基板,包含:多个沿一纵轴方向层迭的基板收纳匣,各该基板收纳匣分别具有一取出口及一相对于该取出口的抵靠边,且各该基板收纳匣内设有多个滚轮,该滚轮承载该些基板的其中之一,该滚轮具有一公切线,由该取出口朝向该抵靠边延伸且向下倾斜,以导引该基板朝向该抵靠边滑动;及一取出装置,位于该些基板收纳匣的一侧,且面对于各该取出口,并可沿该纵轴方向上下移动,以选择性地对应于该基板收纳匣其中之一,以分别通过各该基板收纳匣的该取出口取出该基板,或是将该基板放置于该滚轮上。
本发明的功效在于,装设于基板收纳匣中的各滚轮具有倾斜的公切线,使滚轮能够导引置入基板收纳匣的基板自动移动到定位,能够减少手臂本身的长度及移动行程,并使基板移载机的体积缩小,而减少基板移载机所占用的空间。
以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述,但不作为对本发明的限定。
附图说明
图1为本发明第一实施例中基板移载机的示意图;
图2为图1中多个基板收纳匣的分解示意图;
图3为本发明中基板收纳匣的示意图;
图4为本发明中基板收纳匣的示意图;
图5为本发明中基板放置于基板收纳匣的示意图;
图6为本发明第一实施例中取出装置由基板移载机取出基板的示意图;
图7为本发明第一实施例中取出装置由基板移载机取出基板的示意图;
图8为本发明第一实施例中取出装置由基板移载机取出基板的示意图;
图9为本发明第一实施例中取出装置将基板放入基板移载机的示意图;
图10为本发明第二实施例中取出装置由基板移载机取出基板的示意图。
图11为本发明第二实施例中取出装置由基板移载机取出基板的示意图。
其中,附图标记:
11:基板收纳匣                                 12:框架
121:取出口                                    122:抵靠边
123:缓冲件                                    13:承载盘
131:滚轮                                      132:上表面
20:取出装置                                   21:移动盘
22:滚轮                                       23:手臂
231:吸盘                                      232:夹爪
30:基板                                       A1:夹角
D1:间距                                       H1:凸出高度
L1:水平线                                     L2:公切线
具体实施方式
为使对本发明的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解,兹配合实施例详细说明如下。
请参阅图1及图2所示,为本发明第一实施例所提供的一种基板移载机,适用于收纳或传送基板30。基板30可为但不局限于液晶显示面板的玻璃基板。在本实施利中的基板移载机包括有多个基板收纳匣11及取出装置20。每一个基板收纳匣11是互相上下堆栈组合而成,而且基板收纳匣11可以被一一拆卸下来进行清洗。在本发明的其它实施方式中,基板收纳匣11也可以是仅设置单一个来存放与取用基板30。
请参阅图3、图4及图5所示。基板收纳匣11用以存放基板30,其中各基板收纳匣11包含有框架12,而框架12上设置有承载盘13。框架12的一侧具有取出口121,而且框架12的另一侧具有相对于取出口121的抵靠边122。抵靠边122上装设有缓冲件123,而承载盘13上设置有多个滚轮131。各滚轮131枢设于承载盘13上,使各滚轮131可以在承载盘13上原地转动。滚轮131用以承载基板30,并导引基板30相对于承载盘13移动。各滚轮131由取出口121朝向抵靠边122沿水平线L1排列,而且相邻两个滚轮131设置的间隔距离D1介于50mm至100mm,其中水平线L1是一条大致与地面平行的假想线。各滚轮131的下半部分位于承载盘13的上表面132的下方,且各滚轮131的上半部分突出于承载盘13的上表面132。各滚轮131的上半部分的凸出高度H1介于5mm至10mm,即滚轮131顶端与承载盘13的上表面132的距离介于5mm至10mm,而且凸出高度H1的值由框架12的取出口121朝抵靠边122递减。承载盘13上的各滚轮131的顶端连接形成公切线L2,而且公切线L2位于承载盘13的上表面132的上方。公切线L2由框架12的取出口121朝抵靠边122倾斜且向下延伸,并与水平线L1之间具有夹角A1,其中夹角A1为3度至5度。缓冲件123为具有缓冲作用的对象,例如海绵、橡胶等等,用以在抵靠边122上承接基板30,而提供基板30适当的保护。
滚轮131设置的间隔距离D1可以是50mm、75mm或是100mm,以基板30的尺寸作为设置间隔距离D1的主要考虑,只要是使基板30在承载盘13上移动时不会卡到下一个滚轮131即可。滚轮131的上半部分的凸出高度H1高度介于5mm至10mm,例如最靠近取出口121的滚轮131上半部分的高度为10mm,而且越远离取出口121的滚轮131上半部分的高度沿着公切线L2越来越小,使基板30的前端不会撞到承载盘13的上表面132即可。公切线L2与水平线L1间的夹角A1可以是3度、4度或5度,只要使基板30可以通过滚轮131在承载盘13上自动移动即可,而且基板30碰撞缓冲件123的力道也不会太大。
请同时参阅图4及图6所示,取出装置20设置于基板收纳匣11的一侧,且分别面对于各取出口121。取出装置20包含有移动盘21及手臂23,用以将基板30由基板收纳匣11中取出,或者是将基板30放入基板收纳匣11中。移动盘21可以相对于各基板收纳匣11上下移动,而对应到每一个基板收纳匣11的取出口121。手臂23可移动地设置于移动盘21上,而且可以在移动盘21上左右移动。吸盘231设置于手臂23的端部,而且位于手臂23端部的底面上。手臂23前端可以通过取出口121,而伸入基板收纳匣11中利用其吸盘231吸住基板30,然后由基板收纳匣11中取出基板30。手臂23以其吸盘231吸住基板30,而将基板30置入基板收纳匣11中并释放。移动盘21上设置有多个滚轮22,滚轮22用以承载手臂23由基板收纳匣11中取出的基板30,并支撑基板30在移动盘21上跟随手臂23移动到定位。
请参阅图7、图8及图9所示。当移动盘21移动而对准其中一个基板收纳匣11时,手臂23就可以由取出口121伸入基板收纳匣11中,然后利用吸盘231持取基板30。此时,手臂23可以移动退出取出口121,使基板30通过滚轮131在承载盘13上移动。当手臂23将基板30拉出取出口121后,基板30会通过滚轮22在移动盘21上跟随手臂23移动到定位,然后移动盘21就可以将基板30移载到其它地方。相反地,手臂23可以利用吸盘231持取基板30,并一起由取出口121伸入基板收纳匣11,然后将基板30放置在承载盘13的滚轮131上,并使吸盘231释放基板30。此时,基板30会在重力的作用下被滚轮131导引而在承载盘13上朝抵靠边122自行移动,直到基板30碰到缓冲件123才会停止。
请参阅图10及图11所示,为本发明第二实施例所提供的一种基板收纳匣及应用收纳匣的基板移载机,其具体实施方式与前述第一实施例大致相同,其中第二实施例与第一实施例的差异处如下。本发明的第二实施例中手臂23具有一夹爪232,而夹爪232设置于手臂23的端部上。夹爪232可以由取出口121伸入基板收纳匣11中,而夹住基板30并将基板30由取出口121拉出基板收纳匣11外。手臂23也能以其夹爪232夹住基板30,而将基板30置入基板收纳匣11中并释放。
本发明中装设于基板收纳匣11中的各滚轮131具有倾斜的公切线L2,使滚轮131能够导引置入基板收纳匣11的基板30自动移动并放置到定位,能够减少手臂23本身的长度及移动行程,并使基板移载机的体积缩小,而减少基板移载机所占用的空间。且取出装置20在取出特定的基板30时无须移动其它的基板收纳匣11,不但可以避免灰尘污染下层的基板30,也保有取出特定基板30的便利性与存放大量基板30的空间优势。
当然,本发明还可有其它多种实施例,在不背离本发明精神及其实质的情况下,熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形,但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

Claims (13)

1.一种基板收纳匣,其特征在于,包含有:
一框架,其内部设置有一承载盘,而且该框架具有一取出口及一相对于该取出口的抵靠边;及
多个滚轮,设置于该承载盘上,而且该滚轮由该取出口朝向该抵靠边沿一水平线排列,其中该滚轮具有一公切线,该公切线由该取出口朝该抵靠边倾斜并与该水平线之间具有一夹角。
2.根据权利要求1所述的基板收纳匣,其特征在于,该公切线及该水平线之间的夹角为3至5度。
3.根据权利要求1所述的基板收纳匣,其特征在于,各该滚轮的下半部分位于该承载盘的一上表面下方,且各该滚轮的上半部分突出于该承载盘的上表面。
4.根据权利要求3所述的基板收纳匣,其特征在于,各该滚轮的上半部分的高度介于5mm至10mm。
5.根据权利要求1所述的基板收纳匣,其特征在于,相邻二个各该滚轮的间隔距离介于50mm至100mm。
6.一种基板移载机,其特征在于,包含:
一基板收纳匣,具有一取出口及一相对于该取出口的抵靠边,该基板收纳匣内设有多个滚轮,该滚轮具有一公切线,该公切线由该取出口朝向该抵靠边延伸且向下倾斜;及
一取出装置,设置于该基板收纳匣的一侧。
7.根据权利要求6所述的基板移载机,其特征在于,该取出装置具有:
一移动盘;及
一手臂,设置于该移动盘上。
8.根据权利要求7所述的基板移载机,其特征在于,该手臂具有一吸盘,且该吸盘设置于该手臂端部的底面上。
9.根据权利要求7所述的基板移载机,其特征在于,该手臂具有一夹爪,且该夹爪设置于该手臂的端部上。
10.一种基板移载机,适用于收纳或传送多个基板,其特征在于,包含:
多个沿一纵轴方向层迭的基板收纳匣,各该基板收纳匣分别具有一取出口及一相对于该取出口的抵靠边,且各该基板收纳匣内设有多个滚轮,该滚轮承载该些基板的其中之一,该滚轮具有一公切线,由该取出口朝向该抵靠边延伸且向下倾斜,以导引该基板朝向该抵靠边滑动;及
一取出装置,位于该些基板收纳匣的一侧,且面对于各该取出口,并可沿该纵轴方向上下移动,以选择性地对应于该基板收纳匣其中之一,以分别通过各该基板收纳匣的该取出口取出该基板,或是将该基板放置于该滚轮上。
11.根据权利要求10所述的基板移载机,其特征在于,该取出装置具有:
一移动盘;及
一手臂,设置于该移动盘上,用以移动该基板于该收纳匣及该移动盘间。
12.根据权利要求11所述的基板移载机,其特征在于,该手臂具有一吸盘,且该吸盘设置于该手臂端部的底面上。
13.根据权利要求11所述的基板移载机,其特征在于,该手臂具有一夹爪,且该夹爪设置于该手臂的端部上。
CNA2007101987453A 2007-12-12 2007-12-12 基板移载机及其基板收纳匣 Pending CN101181958A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNA2007101987453A CN101181958A (zh) 2007-12-12 2007-12-12 基板移载机及其基板收纳匣

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNA2007101987453A CN101181958A (zh) 2007-12-12 2007-12-12 基板移载机及其基板收纳匣

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101181958A true CN101181958A (zh) 2008-05-21

Family

ID=39447403

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2007101987453A Pending CN101181958A (zh) 2007-12-12 2007-12-12 基板移载机及其基板收纳匣

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101181958A (zh)

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101320158B (zh) * 2008-06-26 2010-06-02 友达光电股份有限公司 传动模块
CN101875363A (zh) * 2010-03-19 2010-11-03 常州亿晶光电科技有限公司 升降式电池层压件中转装载车
CN102277974A (zh) * 2011-05-10 2011-12-14 江苏德一新型建筑材料科技有限公司 移载机中的夹紧臂
CN102616567A (zh) * 2012-03-23 2012-08-01 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板的取出装置
CN101992901B (zh) * 2009-08-11 2012-11-21 北京京东方光电科技有限公司 玻璃基板卡匣
WO2014201706A1 (zh) * 2013-06-18 2014-12-24 深圳市华星光电技术有限公司 一种取放大尺寸液晶基板的自动化设备
CN107546167A (zh) * 2017-07-25 2018-01-05 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种对位装置
CN107765460A (zh) * 2017-09-16 2018-03-06 合肥惠科金扬科技有限公司 一种液晶基板缓存装置的承载机构的加工方法
CN107765457A (zh) * 2017-09-16 2018-03-06 合肥惠科金扬科技有限公司 一种液晶基板缓存装置
CN107892057A (zh) * 2017-09-16 2018-04-10 合肥惠科金扬科技有限公司 一种液晶基板缓存装置的承载机构
CN108263709A (zh) * 2017-12-08 2018-07-10 安徽安缆模具有限公司 一种安全冰箱隔层运输架组件
CN108466822A (zh) * 2018-04-24 2018-08-31 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 在线缓存设备及其控制方法、控制装置、传输系统
CN108615332A (zh) * 2016-12-13 2018-10-02 海太半导体(无锡)有限公司 贴片设备基板位置传感器感应和报警系统
CN109051485A (zh) * 2018-08-31 2018-12-21 东莞智库信息技术有限公司 自动化电子料盘出入仓系统
CN109051824A (zh) * 2018-09-17 2018-12-21 江苏佳芬斯泰自动化科技有限公司 一种玻璃窗扇自动码垛装置
CN109533763A (zh) * 2018-12-30 2019-03-29 南通明光电线有限公司 一种接线铜板存取货架
CN112224886A (zh) * 2020-11-25 2021-01-15 广州市智新自动化设备有限公司 一种玻璃基板自动装卸设备
CN115072376A (zh) * 2022-08-03 2022-09-20 展视网(北京)科技有限公司 一种agv牵引小车

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101320158B (zh) * 2008-06-26 2010-06-02 友达光电股份有限公司 传动模块
CN101992901B (zh) * 2009-08-11 2012-11-21 北京京东方光电科技有限公司 玻璃基板卡匣
CN101875363A (zh) * 2010-03-19 2010-11-03 常州亿晶光电科技有限公司 升降式电池层压件中转装载车
CN102277974A (zh) * 2011-05-10 2011-12-14 江苏德一新型建筑材料科技有限公司 移载机中的夹紧臂
CN102277974B (zh) * 2011-05-10 2013-01-02 江苏德一新型建筑材料科技有限公司 移载机中的夹紧臂
CN102616567A (zh) * 2012-03-23 2012-08-01 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板的取出装置
WO2013139053A1 (zh) * 2012-03-23 2013-09-26 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板的取出装置
CN102616567B (zh) * 2012-03-23 2014-02-05 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板的取出装置
WO2014201706A1 (zh) * 2013-06-18 2014-12-24 深圳市华星光电技术有限公司 一种取放大尺寸液晶基板的自动化设备
CN108615332A (zh) * 2016-12-13 2018-10-02 海太半导体(无锡)有限公司 贴片设备基板位置传感器感应和报警系统
CN107546167A (zh) * 2017-07-25 2018-01-05 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种对位装置
CN107546167B (zh) * 2017-07-25 2020-03-17 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种对位装置
CN107765457A (zh) * 2017-09-16 2018-03-06 合肥惠科金扬科技有限公司 一种液晶基板缓存装置
CN107892057A (zh) * 2017-09-16 2018-04-10 合肥惠科金扬科技有限公司 一种液晶基板缓存装置的承载机构
CN107765460A (zh) * 2017-09-16 2018-03-06 合肥惠科金扬科技有限公司 一种液晶基板缓存装置的承载机构的加工方法
CN108263709A (zh) * 2017-12-08 2018-07-10 安徽安缆模具有限公司 一种安全冰箱隔层运输架组件
CN108466822A (zh) * 2018-04-24 2018-08-31 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 在线缓存设备及其控制方法、控制装置、传输系统
CN108466822B (zh) * 2018-04-24 2022-08-26 上海祖强能源有限公司 在线缓存设备及其控制方法、控制装置、传输系统
CN109051485A (zh) * 2018-08-31 2018-12-21 东莞智库信息技术有限公司 自动化电子料盘出入仓系统
CN109051824A (zh) * 2018-09-17 2018-12-21 江苏佳芬斯泰自动化科技有限公司 一种玻璃窗扇自动码垛装置
CN109533763A (zh) * 2018-12-30 2019-03-29 南通明光电线有限公司 一种接线铜板存取货架
CN112224886A (zh) * 2020-11-25 2021-01-15 广州市智新自动化设备有限公司 一种玻璃基板自动装卸设备
CN115072376A (zh) * 2022-08-03 2022-09-20 展视网(北京)科技有限公司 一种agv牵引小车

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101181958A (zh) 基板移载机及其基板收纳匣
TWI227212B (en) Substrate transporting system
CN102874718A (zh) 堆垛机及堆垛机对接系统
WO2014019246A1 (zh) 玻璃基板卡匣和玻璃基板的取放系统
US20100324717A1 (en) Thin-film solar-cell manufacturing system and common substrate storage rack
US20120199065A1 (en) Multi-Module System for Processing Thin Film Photovoltaic Devices
CN102502260B (zh) 玻璃基板存储搬运系统以及玻璃基板存储平台
TWI403450B (zh) Substrate handling system
CN209374422U (zh) 一种自动化上下料系统
JP4356233B2 (ja) 基板移載装置
CN107628443A (zh) 一种液晶面板的自动分等暂存装置及自动分等暂存方法
CN102642714B (zh) 基板移运装置
JPH11349105A (ja) 物品処理装置
CN1948105A (zh) 多层出入库式码垛装置
JP4496447B2 (ja) 基板移載装置
CN1270948C (zh) 基板输送装置及方法
WO2020042306A1 (zh) 一种显示面板的搬运系统和搬运方法
CN110451151A (zh) 圆柱状物料立体储存系统
CN103268850B (zh) 一种太阳能电池片离子注入机
JPS63181441A (ja) ウエ−ハ移し替え装置
KR20130048465A (ko) 스토커 시스템
JP2010052866A (ja) ガラス基板移載システム
KR101051283B1 (ko) 덤퍼 및 이를 구비한 스토커 시스템
CN201914651U (zh) 搬运装置以及货物储存和运输系统
CN101628657A (zh) 一种玻璃基板用篮具

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C12 Rejection of a patent application after its publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20080521