CN105116574B - 一种基板传送装置及基板清洗设备 - Google Patents

一种基板传送装置及基板清洗设备 Download PDF

Info

Publication number
CN105116574B
CN105116574B CN201510624905.0A CN201510624905A CN105116574B CN 105116574 B CN105116574 B CN 105116574B CN 201510624905 A CN201510624905 A CN 201510624905A CN 105116574 B CN105116574 B CN 105116574B
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
roller
roll body
roll
base plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201510624905.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105116574A (zh
Inventor
王俊杰
龚磊
陈晨
陈国�
关江兵
韩亚军
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOE Technology Group Co Ltd
Beijing BOE Display Technology Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Beijing BOE Display Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOE Technology Group Co Ltd, Beijing BOE Display Technology Co Ltd filed Critical BOE Technology Group Co Ltd
Priority to CN201510624905.0A priority Critical patent/CN105116574B/zh
Publication of CN105116574A publication Critical patent/CN105116574A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105116574B publication Critical patent/CN105116574B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

本发明公开了一种基板传送装置及基板清洗设备。基板传送装置，包括多个双辊单元，每个所述双辊单元包括下辊和上辊，所述下辊为主动辊，包括辊体以及设置于辊体上的多个用于支撑基板的主动滚轮；所述上辊包括第一辊体和第二辊体，所述第一辊体和第二辊体分别设置于基板垂直于传送方向的两侧上方，且所述第一辊体和第二辊体上分别设置有至少一个用于向下方基板施压的从动滚轮。本发明技术方案的基板传送装置，通过主动滚轮的转动带动基板传送，基板的传送带动从动滚轮转动，当喷洗装置释放喷洗物清洗基板时，上辊不会受到强烈振动，从而可以有效减少基板在清洗过程中损坏的可能，进而减少宕机时间，提高生产效率和产品产量。

Description

一种基板传送装置及基板清洗设备
技术领域
本发明涉及显示装置的制造技术领域，尤其涉及一种基板传送装置及基板清洗设备。
背景技术
在平板显示装置中，TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器，简称TFT-LCD)具有体积小、功耗低、制造成本相对较低和无辐射等特点，在当前的平板显示器市场占据了主导地位。随着玻璃基板的尺寸大型化，为保证产品的合格率，每一步制造工艺都面临着更大的挑战。
在TFT-LCD面板的制造过程中，基板的清洗工序尤为重要。如图1和图2所示，现有的基板清洗装置包括：多个双辊单元100，每个双辊单元100包括下辊2和上辊1，所述下辊2为主动辊，所述下辊的辊体上设置有多个用于支撑上方基板3的主动滚轮20，所述上辊1的辊体上设置有至少一个用于向下方基板3施压的从动滚轮10。当多个双辊单元的下辊按照图示方向转动时，基板沿图示直线箭头方向被传送，多个双辊单元的上辊被基板带动按照图示方向相对下辊反向转动。在基板的传送过程中，高压水气喷射装置对基板喷射高压水气，从而对基板进行清洗。
现有技术存在的缺陷在于，受高压水气的冲击，上辊会产生剧烈震荡，从而易使玻璃基板边缘被滚轮夹碎，一旦玻璃基板破碎，会导致长时间宕机，从而影响到生产效率和产品产量。
发明内容
本发明的目的是提供一种基板传送装置及基板清洗设备，以有效减少基板在清洗过程中损坏的可能，进而减少宕机时间，提高生产效率和产品产量。
本发明实施例提供一种基板传送装置，包括多个双辊单元，每个所述双辊单元包括下辊和上辊，所述下辊为主动辊，包括辊体以及设置于辊体上的多个用于支撑基板的主动滚轮；所述上辊包括第一辊体和第二辊体，所述第一辊体和第二辊体分别设置于基板垂直于传送方向的两侧上方，且所述第一辊体和第二辊体上分别设置有至少一个用于向下方基板施压的从动滚轮。
本发明实施例的基板传送装置，每个双辊单元的下辊上设置有主动滚轮，上辊的第一辊体和第二辊体分别设置有至少一个从动滚轮，通过主动滚轮的转动带动基板传送，基板的传送带动从动滚轮相对主动滚轮的反向转动，由于第一辊体和第二辊体分别设置于基板垂直于传送方向的两侧上方，当喷洗装置释放喷洗物清洗基板时，上辊不会受到强烈振动，从而可以有效减少基板在清洗过程中损坏的可能，进而减少宕机时间，提高生产效率和产品产量。
较优的，所述上辊的从动滚轮设置于基板垂直于传送方向的边缘区域上方。
更优的，所述下辊的所述多个主动滚轮中，至少一个设置于基板垂直于传送方向的边缘区域下方。将至少一个主动滚轮设置于基板垂直于传送方向的边缘区域下方，可以与设置于基板垂直于传送方向的边缘区域上方的从动滚轮一起，稳固地夹持基板，从而进一步减少基板在传送过程中被损坏的可能。
较佳的，所述下辊位于所述上辊的正下方。将下辊设置在上辊的正下方，可减少基板受到下辊和上辊产生的剪切力，进一步保护基板在传送过程中不被损坏。
较佳的，所述下辊位于所述上辊的斜下方。
优选的，所述上辊和下辊的同一侧端部通过辊体架连接。
更优的，所述上辊和下辊的同一侧端部通过两个辊体架连接。通过在上辊和下辊之间安装两个辊体架，可以有效地保护设置于基板垂直于传送方向的边缘区域上方和下方的从动滚轮和主动滚轮间隙，使该间隙不易发生变化，当喷洗装置释放喷洗物时，可以有效地降低基板被损坏的可能性。
较优的，所述基板传送装置，还包括位于相邻两个双辊单元的下辊之间的支撑辊。通过在相邻两个双辊单元的下辊之间设置支撑辊，可以为基板提供更加均匀的支撑，从而保护基板传送的安全性。
本发明实施例提供一种基板清洗设备，包括如上述任一技术方案所述的基板传送装置，以及位于所述多个双辊单元上方的喷洗装置。
优选的，所述喷洗装置包括高压水气喷洗装置。
本发明实施例提供的基板清洗设备，当喷洗装置释放喷洗物时，该基板清洗装置可以有效地清洗基板，并减少基板在清洗过程中被损坏的可能，进而减少宕机时间，提高生产效率和产品产量。
附图说明
图1为现有技术中基板传送装置结构示意图；
图2为现有技术中双辊单元结构示意图；
图3为本发明实施例基板传送装置结构示意图；
图4为本发明实施例双辊单元结构示意图；
图5a为本发明一实施例滚轮相对基板位置示意图；
图5b为本发明另一实施例滚轮相对基板位置示意图；
图6为本发明实施例双辊单元正视图。
现有技术附图标记：
1-上辊 2-下辊
10-从动滚轮 20-主动滚轮
100-双辊单元 3-基板
本发明实施例附图标记：
200-双辊单元 3-基板
40-上辊 50-下辊
40a-第一辊体 40b-第二辊体
41-从动滚轮 51-主动滚轮
42-辊体架 60-支撑辊
7-喷洗装置
具体实施方式
为了有效减少基板在清洗过程中损坏的可能，进而减少宕机时间，提高生产效率和产品产量，本发明实施例提供了一种基板传送装置及基板清洗设备。
本发明实施例提供一种基板传送装置，如图3和图4所示，包括多个双辊单元200，每个双辊单元200包括下辊50和上辊40，其中，下辊50为主动辊，包括辊体以及设置于辊体上的多个用于支撑基板3的主动滚轮51；上辊40包括第一辊体40a和第二辊体40b，第一辊体和第二辊体分别设置于基板3垂直于传送方向的两侧上方，基板传送方向如图中直线箭头所示,且第一辊体40a和第二辊体40b上分别设置有至少一个用于向下方基板3施压的从动滚轮41。
本发明实施例的基板传送装置，每个双辊单元的下辊上设置有主动滚轮，上辊的第一辊体和第二辊体分别设置有至少一个从动滚轮，如图3所示，当多个双辊单元的下辊按照图示方向转动时，基板沿图示直线箭头方向被传送，多个双辊单元的上辊被基板带动按照图示方向相对下辊反向转动。由于第一辊体和第二辊体分别设置于基板垂直于传送方向的两侧上方，当喷洗装置释放喷洗物(例如高压水气)清洗基板时，上辊不会受到强烈振动，从而可以有效减少基板在清洗过程中损坏的可能，进而减少宕机时间，提高生产效率和产品产量。
请继续参照图3和图4所示，上辊的从动滚轮41设置于基板3垂直于传送方向的边缘区域上方，当基板位于基板传送装置上时，上辊的从动滚轮可以施压于基板的边缘，并且避开基板的上表面清洗区域，可以使基板得到充分清洗，同时下辊的多个主动滚轮支撑基板，与从动滚轮一起稳固夹持基板，使基板在传送过程中稳定传送。
在本发明的优选实施例中，如图3和图4所示，上辊的从动滚轮41设置于基板3垂直于传送方向的边缘区域上方，下辊50的多个主动滚轮中，至少一个设置于基板垂直于传送方向的边缘区域下方。将至少一个主动滚轮设置于基板垂直于传送方向的边缘区域下方，可以与设置于基板垂直于传送方向的边缘区域上方的从动滚轮一起，稳固地夹持基板边缘，从而进一步减少基板在传送过程中被损坏的可能。
在本发明实施例中，下辊位于上辊的斜下方。这里所说的斜下方，指的是上辊和下辊的轴线所在平面与基板所在平面所成角度小于90度，优选为上辊与下辊轴线的水平距离小于一个滚轮的直径，图5a所示为当下辊位于上辊的斜下方时主动滚轮51与从动滚轮41相对基板3的位置示意图，此时，上辊和下辊对基板的剪切影响相对较小，可以传送基板并降低基板被传送装置损坏的可能性。
在本发明的优选实施例中，如图3和图4所示，下辊50位于上辊40的正下方。这里所说的正下方，指的是上辊和下辊的轴线所在平面与基板所在平面垂直。图5b所示为当下辊位于上辊的正下方时主动滚轮51与从动滚轮41相对基板3的位置示意图，当下辊位于上辊的正下方时，下辊对基板的支撑力和上辊对基板的压力为一对相互作用力，支撑力和压力相互抵消，可以有效减小剪切力对基板形状的影响，使基板被稳定夹持于多个双辊单元的下辊和上辊之间，保障了基板传送的安全性。
在本发明实施例的技术方案中，上辊和下辊的同一侧端部通过辊体架连接。具体的，辊体架具有与上辊和下辊连接的枢装孔，双辊单元的上辊和下辊通过枢装孔与辊体架连接。通过设置辊体架，可以维持设置于基板垂直于传送方向的边缘区域上方和下方的从动滚轮和主动滚轮的间隙，以防从动滚轮受到强烈冲击时压碎基板边缘，同时主动滚轮可以稳定支撑基板。
一个优选实施例中，如图3、图4和图6所示，上辊40和下辊50的同一侧端部通过两个辊体架42连接。当主动滚轮转动带动基板传送时，基板的传送会带动从动滚轮相对主动滚轮反向转动，在基板的传送过程中，当喷洗装置7释放喷洗物清洗基板时，双辊单元的上辊会受到强烈冲击，容易压碎基板，当在上辊和下辊的每一侧端部设置两个辊体架后，辊体架可以有效地保护设置于基板垂直于传送方向的边缘区域上方和下方的从动滚轮和主动滚轮间隙，使该间隙保持稳定，当喷洗装置释放喷洗物时，可以有效地降低基板被损坏的可能性。
在图3所示的实施例中，基板传送装置还包括位于相邻两个双辊单元的下辊之间的支撑辊60，每个支撑辊上设置有多个用于支撑基板的滚轮，当基板位于多个双辊单元和多个支撑辊之上时，可以得到均匀的支撑，在主动滚轮转动时，基板可以稳定地传送，从而进一步保证基板传送的安全性。
本发明实施例提供一种基板清洗设备，包括如上述任一技术方案所述的基板传送装置，以及位于所述多个双辊单元上方的喷洗装置。
在实际应用中，喷洗装置的具体类型不限，例如可以为高压水气喷洗装置、狭缝式喷雾喷洗装置、蒸汽喷洗装置等。
本发明实施例提供的基板清洗设备，当喷洗装置释放喷洗物时，该基板清洗装置可以有效地清洗基板，并减少基板在清洗过程中被损坏的可能，进而减少宕机时间，提高生产效率和产品产量。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (4)

1.一种基板传送装置，其特征在于，包括多个双辊单元，每个所述双辊单元包括下辊和上辊，所述下辊为主动辊，包括辊体以及设置于辊体上的多个用于支撑基板的主动滚轮；所述上辊包括第一辊体和第二辊体，所述第一辊体和第二辊体分别设置于基板垂直于传送方向的两侧上方，且所述第一辊体和第二辊体上分别设置有至少一个用于向下方基板施压的从动滚轮；
所述上辊的从动滚轮设置于基板垂直于传送方向的边缘区域上方；所述下辊的所述多个主动滚轮中，至少一个设置于基板垂直于传送方向的边缘区域下方；且所述下辊位于所述上辊的斜下方，所述上辊与所述下辊轴线的水平距离小于一个滚轮的直径；
所述上辊和下辊的同一侧端部通过两个辊体架连接。
2.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，还包括：位于相邻两个双辊单元的下辊之间的支撑辊。
3.一种基板清洗设备，其特征在于，包括如权利要求1～2任一项所述的基板传送装置，以及位于所述多个双辊单元上方的喷洗装置。
4.如权利要求3所述的基板清洗设备，其特征在于，所述喷洗装置包括高压水气喷洗装置。
CN201510624905.0A 2015-09-25 2015-09-25 一种基板传送装置及基板清洗设备 Expired - Fee Related CN105116574B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510624905.0A CN105116574B (zh) 2015-09-25 2015-09-25 一种基板传送装置及基板清洗设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510624905.0A CN105116574B (zh) 2015-09-25 2015-09-25 一种基板传送装置及基板清洗设备

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105116574A CN105116574A (zh) 2015-12-02
CN105116574B true CN105116574B (zh) 2018-09-11

Family

ID=54664600

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510624905.0A Expired - Fee Related CN105116574B (zh) 2015-09-25 2015-09-25 一种基板传送装置及基板清洗设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105116574B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3049942A1 (fr) * 2016-04-06 2017-10-13 Saint Gobain Dispositif de convoyage et de maintien pour feuille de verre notamment dans une installation de lavage
CN106698022B (zh) * 2017-01-18 2019-03-22 武汉华星光电技术有限公司 一种基板传送装置及方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202145461U (zh) * 2011-07-28 2012-02-15 东旭集团有限公司 一种玻璃基板清洗机上用的防滑装置
CN204583783U (zh) * 2015-04-30 2015-08-26 浙江触捷光电科技有限公司 手机基板贴膜机用清洁装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101320158B (zh) * 2008-06-26 2010-06-02 友达光电股份有限公司 传动模块
KR101085886B1 (ko) * 2009-09-24 2011-11-22 (주)신진엔지니어링 평판 디스플레이 장치용 도광판 제조 장치
JP5512349B2 (ja) * 2010-03-30 2014-06-04 株式会社日立製作所 基板反転装置及び基板反転方法
CN201712796U (zh) * 2010-05-13 2011-01-19 蓝十字生物药业（北京）有限公司 输送带式自动压壳机
JP2012170872A (ja) * 2011-02-21 2012-09-10 Shibaura Mechatronics Corp 基板洗浄装置、基板洗浄方法、表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法
KR101839453B1 (ko) * 2011-08-02 2018-03-16 엘지디스플레이 주식회사 플렉시블 디스플레이 장치의 제조 장비 및 제조 방법
CN103708225B (zh) * 2013-12-24 2015-10-21 合肥京东方光电科技有限公司 一种传送装置
CN204587393U (zh) * 2015-04-30 2015-08-26 浙江触捷光电科技有限公司 手机基板单面贴膜机

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202145461U (zh) * 2011-07-28 2012-02-15 东旭集团有限公司 一种玻璃基板清洗机上用的防滑装置
CN204583783U (zh) * 2015-04-30 2015-08-26 浙江触捷光电科技有限公司 手机基板贴膜机用清洁装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN105116574A (zh) 2015-12-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105116574B (zh) 一种基板传送装置及基板清洗设备
CN104386906B (zh) 基板裂片装置和方法
CN102643018B (zh) 裂片分离设备及方法
TW201831413A (zh) 玻璃壓斷裝置、玻璃壓斷方法和玻璃切割系統
CN102785834A (zh) 一种对称的可移动玻璃货架
WO2014024931A1 (ja) 強化ガラスの割断方法
CN101284365A (zh) 基板的旋转装置、磨边装置及磨边方法
CN203862690U (zh) 一种热轧试验机轧辊与轴承座拆卸装置
CN103056160A (zh) H型钢的x-i短流程轧制机组
JP6251061B2 (ja) 脆性材料基板のスクライブ装置
CN206015022U (zh) 一种防止淬火钢轨弯曲上翘的装置
CN102929043B (zh) 一种摩擦布老化装置
CN104950522A (zh) 摩擦配向方法及其装置
CN210098475U (zh) 一种减少玻璃基板表面灰尘的装置
CN104261665A (zh) 基板切割装置和方法
CN102764775A (zh) 用于棒材冷床输入辊道的推钢装置
CN207872647U (zh) 一种基于铁塔生产的引料设备
CN107498473A (zh) 一种玻璃快速水切割装置
US20140047735A1 (en) Cleaning Apparatus for Glass Substrate
CN202784846U (zh) 一种玻璃生产线传送装置
CN202308008U (zh) 一种生产太阳能电池片的烧结炉网带自动擦洗装置
CN204280712U (zh) 基板传送机构
CN203936140U (zh) 一种用于异型连铸钢坯的主动式除鳞装置
CN102910432A (zh) 一种传送带的支撑装置
CN105083951B (zh) 翻盒机

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20180911

Termination date: 20200925

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee